RU1282634C - Turbomolecular vacuum pump - Google Patents
Turbomolecular vacuum pumpInfo
- Publication number
- RU1282634C RU1282634C SU3880640A RU1282634C RU 1282634 C RU1282634 C RU 1282634C SU 3880640 A SU3880640 A SU 3880640A RU 1282634 C RU1282634 C RU 1282634C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vacuum pump
- turbomolecular vacuum
- vacuum
- turbomolecular
- pump
- Prior art date
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
11
|Ю| Yu
|Ш 1|чЭ О W| W 1 | hE O W
Изобретенме относитс к вакуумной техники.The invention relates to vacuum technology.
Цель изобретени - улучшение откач- ных характеристик турбомолекул рного вакуумного насоса.The purpose of the invention is to improve the pumping characteristics of a turbomolecular vacuum pump.
Ни чертеже изображен турбомопеку- л рный вакуумный нэсос, продольный разрез .Not shown in the drawing is a turbomaterial vacuum vacuum pump, longitudinal section.
Турбомолекул рный вакуумный Нгэсос содержит корпус 1, рэзмеи(енные в нем основные осевые ступени, образованнь е стзторными дисками 2 и установленными на валу 3 роторными дисками 4, и расположенные со стороны нагнетани вспомогательные ступени, образованные цилиндрическими канавками с ответными выступами 6. последние из которых расположены на корпусе, при этом вал 3 снабжен стаканом 7, канавки 5 выполнены в последнем , выступы 6 имеют с обеих сторон спиThe turbomolecular vacuum Ngesos contains a housing 1, rezmei (the main axial stages formed therein, formed by stator disks 2 and rotor disks 4 mounted on the shaft 3, and auxiliary steps located on the discharge side formed by cylindrical grooves with reciprocal protrusions 6. the last of which located on the housing, while the shaft 3 is equipped with a glass 7, the grooves 5 are made in the latter, the protrusions 6 are on both sides of the back
ральные пазы 8, ориентированные по на- прапленмю вращени вала 3, а по крайней мере од|/:н юторный диск установлен на наружной поверхности стакана 7.ral grooves 8, oriented along the direction of rotation of the shaft 3, and at least one | /: n the disc is mounted on the outer surface of the cup 7.
Насос работает следующим образом.The pump operates as follows.
Поток молекул газа, попада п насос И.З откачиваемого объема, под воздейс - вием роторных 4 и статорных 2 дисков переноситс в осевом направлени к вспомогательным.ступен м, образованным цилиндрическими канавками 5 м ответными выступами 6.The flow of gas molecules entering the pump I.Z of the pumped-out volume, under the influence of the rotor 4 and stator 2 disks, is transferred in the axial direction to the auxiliary steps formed by cylindrical grooves of 5 m mating protrusions 6.
Во вспомогательной ступени происходит дополнительное сжатие откачивземогс газа до величины фореакуумного давлени , после чего газ откачиваетс форвакуумным насосог.In the auxiliary stage, an additional compression of the evacuated gas occurs to the value of the fore-vacuum pressure, after which the gas is evacuated by the fore-vacuum pump.
(56) Латорское свидетельство СССР М; 102.3141. кл. F04 D 19/04, 1981.(56) Latorial certificate of the USSR M; 102.3141. class F04 D 19/04, 1981.
С (V. /х21 C (V. / x21
i4 i; 7p;z:r :27rc2xfo -.i:7-/-z7-7-rW . Л i4 i; 7p; z: r: 27rc2xfo -.i: 7 - / - z7-7-rW. L
SS
ss
i lilpiisip-. . ilii|i| i%f i lilpiisip-. . ilii | i | i% f
-r & - - i- -fs:s:-r & - - i- -fs: s:
ЬЬB
ЬЬB
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3880640 RU1282634C (en) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | Turbomolecular vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3880640 RU1282634C (en) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | Turbomolecular vacuum pump |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1282634C true RU1282634C (en) | 1993-10-15 |
Family
ID=21171831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU3880640 RU1282634C (en) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | Turbomolecular vacuum pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1282634C (en) |
-
1985
- 1985-04-08 RU SU3880640 patent/RU1282634C/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1023141,кл. F04D 19/04, 1981, * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU1776333C (en) | Composite turbomolecular vacuum pump | |
| US3969039A (en) | Vacuum pump | |
| US4639199A (en) | Two-shaft vacuum pump with internal compression | |
| EP0155419A2 (en) | Noise control for conically ported liquid ring pumps | |
| EP0445855B1 (en) | Improved turbomolecular pump | |
| GB1397179A (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| KR950008989A (en) | Turbo Vacuum Pump | |
| FR2446934A1 (en) | HIGH VACUUM ROTARY PUMP | |
| FR2641582B1 (en) | GAEDE CHANNEL TYPE VACUUM PUMP | |
| RU1282634C (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| JPH0419393B2 (en) | ||
| JPS5614887A (en) | Screw pump | |
| SU1366709A1 (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| JPH02136595A (en) | Vacuum pump | |
| SU881372A1 (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| SU1023141A1 (en) | Turbo-molecular vacuum pump | |
| SU666300A1 (en) | Axial turbomolecular pump | |
| SU1267055A1 (en) | Vacuum molecular pump | |
| SU1573234A1 (en) | Double-stage tubromolecular vacuum pump | |
| SU1459352A1 (en) | Turbomolecular vacuum pump | |
| JPH02264196A (en) | Turbine vacuum pump | |
| RU2016255C1 (en) | Molecular vacuum pimp | |
| SU1265400A1 (en) | Molecular vacuum pump | |
| RU1433133C (en) | Scoop pump | |
| SU918534A1 (en) | Sealed rotation blower |