SU1267055A1

SU1267055A1 - Vacuum molecular pump

Info

Publication number: SU1267055A1
Application number: SU853899965A
Authority: SU
Inventors: Вадим Павлович Иванов
Priority date: 1985-04-08
Filing date: 1985-04-08
Publication date: 1986-10-30

Abstract

ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус и расположенные в нем статорные диски со спиральными пазами и роторные диски, отличающийс тем, что, с целью улучшени откачных характеристик, пазы имеют глубину, определ емую из соотношени 0,05л 6 0,143л, где г - радиус роторных дисков, причем паз первого по ходу откачиваемого газа статорного диска имеет глубину, большую, чем у остальных дисков. (Л к 05 о ел елVACUUM MOLECULAR PUMP, comprising a housing and stator disks with spiral grooves and rotor disks located in it, characterized in that, in order to improve pumping performance, the grooves have a depth determined from the ratio of 0.05 liters 6 0.143 liters, where r is the radius of the rotors disks, and the groove of the first in the course of the pumped gas stator disk has a depth greater than that of other disks. (L to 05 about eaten

Description

Изобретение относитс к вакуумной технике .The invention relates to vacuum technology.

Целью изобретени вл етс улучшение откачных характеристик.The aim of the invention is to improve the pumping performance.

На чертеже изображен вакуумный молекул рный насос.The drawing shows a vacuum molecular pump.

Насос содержит корпус 1 и расположенные в нем статорные диски 2 со спиральными пазами 3. и роторные диски 4, при этом пазы 3 имеют глубину Ь, определ емую из соотношени : 0, О.ИЗг, где г - радиус роторных дисков 4, причем паз первого по ходу откачиваемого газа статорного диска имеет глубину большую, чем у остальных дисков.The pump comprises a housing 1 and stator disks 2 located therein with spiral grooves 3. and rotor disks 4, while the grooves 3 have a depth b, determined from the relation: 0, O. IZg, where r is the radius of the rotor disks 4, and the groove The first stator disk along the pumped gas has a greater depth than other disks.

Кроме того, корпус 1 насоса снабжен всасывающим и нагнетательным патрубками 5 и 6, опорными кольцами 7.In addition, the housing 1 of the pump is equipped with a suction and discharge nozzles 5 and 6, the support rings 7.

Откачиваемый газ поступает через всасывающий патрубок 5, поступает к спиральным пазам 3 статорного диска 2 первой ступени. Вдоль спиральных пазов 3 газ перемещаетс поверхностью роторного диска 4 к периферии насоса, откуда через радиальный зазор между роторным диском 4 и опорными кольцами 7 на вход второй ступени и так далее к нагнетательному патрубку 6.Pumped gas flows through the suction nozzle 5, flows to the spiral grooves 3 of the stator disc 2 of the first stage. Along the spiral grooves 3, the gas moves the surface of the rotor disk 4 to the periphery of the pump, from where through the radial clearance between the rotor disk 4 and the support rings 7 to the second stage inlet, and so on to the discharge pipe 6.

Выбор глубины паза 3 в соответствии с предложенными рекомендаци ми дл первой ступени обеспечивает максимальную быстроту откачки дл выбранных размеров насоса, а выполнение пазов последующих ступеней меньщей глубины обусловливает высокую степень сжати насоса в целом.The choice of the depth of the groove 3 in accordance with the proposed recommendations for the first stage provides maximum pumping speed for the selected pump sizes, and the implementation of the grooves of the subsequent stages of lesser depth causes a high degree of compression of the pump as a whole.

Claims

VACUUM MOLECULAR PUMP comprising a housing and stator disks with spiral grooves and rotor disks located therein, characterized in that, in order to improve pumping performance, the grooves have a depth determined from the ratio

0.05r <b those 0.143g, where r is the radius of the rotor disks, and the groove of the first stator disk along the pumped gas has a depth greater than that of the other disks.

SU. „. 1267055