SU1573234A1 - Double-stage tubromolecular vacuum pump - Google Patents

Double-stage tubromolecular vacuum pump Download PDF

Info

Publication number
SU1573234A1
SU1573234A1 SU884437716A SU4437716A SU1573234A1 SU 1573234 A1 SU1573234 A1 SU 1573234A1 SU 884437716 A SU884437716 A SU 884437716A SU 4437716 A SU4437716 A SU 4437716A SU 1573234 A1 SU1573234 A1 SU 1573234A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
stage
rotor
stator
vacuum pump
outer diameter
Prior art date
Application number
SU884437716A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Борис Васильевич Харламов
Борис Дмитриевич Жлукто
Василий Иванович Гагарин
Original Assignee
Предприятие П/Я А-1614
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я А-1614 filed Critical Предприятие П/Я А-1614
Priority to SU884437716A priority Critical patent/SU1573234A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1573234A1 publication Critical patent/SU1573234A1/en

Links

Landscapes

  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики насоса. Между первой турбомолекул рной и второй молекул рной, ступен ми насоса ротор (Р) 6 имеет торцовый участок 11. На поверхности последнего выполнены спиральные канавки 12, причем внешний диаметр цилиндрического участка 10 Р 6 равен внешнему диаметру лопаток роторных дисков 8. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.The invention relates to vacuum technology and allows for improved pumping performance of a pump. Between the first turbomolecular and the second molecular, the pump rotor (P) 6 has end section 11. On the surface of the latter there are spiral grooves 12, and the outer diameter of the cylindrical section 10 P 6 is equal to the outer diameter of the blades of the rotor disks 8. .f-ly, 2 Il.

Description

7Z7Z

фиг.22

Claims (2)

Формула изобретенияClaim 1. Двухступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с входным патрубком, размещенные на внутренней, поверхности корпуса статорные лопаточные диски первой ступени, статор второй ступени с каналами на внутренней поверхности, имеющими уменьшающуюся по ходу газа глубину, и ротор с валом, установленным по оси корпуса на опорах, роторными лопаточными дисками, ответными статорным дискам первой ступени, цилиндрическим участком, ответным статору второй ступени, и торцовым участком, расположенным между ступенями, отличающийся тем, что с целью улучшения откачных характеристик, на торцовом участке выполнены спиральные канавки.1. A two-stage turbomolecular vacuum pump containing a housing with an inlet pipe, stator vanes of the first stage located on the inner surface of the housing, a stator of the second stage with channels on the inner surface having a decreasing depth along the gas, and a rotor with a shaft mounted along the housing axis on supports, rotor blade disks, reciprocal stator disks of the first stage, a cylindrical section, reciprocal of the stator of the second stage, and an end section located between the steps, characterized I mean that in order to improve the pumping characteristics, spiral grooves are made at the end section. 2. Насос по π. 1, отличающийся тем, что внешний диаметр цилиндрического участка ротора равен внешнему диаметру лопаток роторных дисков.2. The pump according to π. 1, characterized in that the outer diameter of the cylindrical portion of the rotor is equal to the outer diameter of the blades of the rotor discs. Техред А. КравчукTehred A. Kravchuk Тираж 500Circulation 500 Корректор С. Шевкун ПодписноеProofreader S. Shevkun Subscription
SU884437716A 1988-06-07 1988-06-07 Double-stage tubromolecular vacuum pump SU1573234A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884437716A SU1573234A1 (en) 1988-06-07 1988-06-07 Double-stage tubromolecular vacuum pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884437716A SU1573234A1 (en) 1988-06-07 1988-06-07 Double-stage tubromolecular vacuum pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1573234A1 true SU1573234A1 (en) 1990-06-23

Family

ID=21380133

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884437716A SU1573234A1 (en) 1988-06-07 1988-06-07 Double-stage tubromolecular vacuum pump

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1573234A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2560133C1 (en) * 2014-10-10 2015-08-20 Общество с ограниченной ответственностью "Владимирский центр механической обработки" Single-flow four-stage turbomolecular pump

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР № 1285198, кл. F 04 D 19/04, 1985. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2560133C1 (en) * 2014-10-10 2015-08-20 Общество с ограниченной ответственностью "Владимирский центр механической обработки" Single-flow four-stage turbomolecular pump

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4732529A (en) Turbomolecular pump
EP0568069B1 (en) Turbomolecular vacuum pumps
CA2404623A1 (en) Ventricular assist system secondary impeller
EP0445855B1 (en) Improved turbomolecular pump
DE69101455T2 (en) Stator for a turbomolecular pump.
JP2003515037A (en) Radial flow turbo molecular vacuum pump
SU1573234A1 (en) Double-stage tubromolecular vacuum pump
KR890004933B1 (en) Turbo molecular pump
JP2004360698A (en) Small vacuum pump
US5927940A (en) Double-flow gas friction pump
JPH0219694A (en) Oil-free vacuum pump
SU1366711A1 (en) Vacuum pump
SU1267055A1 (en) Vacuum molecular pump
SU1240957A1 (en) Molecular vacuum pump
JP3045418B2 (en) Turbo vacuum pump
SU1581865A1 (en) Centrifugal pump impeller
SU1152308A1 (en) Method of manufacturing blade disc of turbomolecular pump
JPH02264196A (en) Turbine vacuum pump
SU1707257A1 (en) Double-stage turbomolecular vacuum pump
SU1366709A1 (en) Turbomolecular vacuum pump
RU2016256C1 (en) Molecular pump stage
JPH03237297A (en) Turbo-molecular pump
JPS61247894A (en) Turbo molecular pump
RU1282634C (en) Turbomolecular vacuum pump
SU1746068A1 (en) Electrical machine cooling fan