RO128144A2 - Metodă de acoperire a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante şi antiuzură, din materiale lubrifiante uscate, precum: nitrura de bor hexagonală/cubică (hbn/cbn), bisulfura de wolfram (ws)şi bisulfura de molibden (mos), aflate sub formă de pulberi nanometrice sau de ţinte de pulverizare - Google Patents

Metodă de acoperire a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante şi antiuzură, din materiale lubrifiante uscate, precum: nitrura de bor hexagonală/cubică (hbn/cbn), bisulfura de wolfram (ws)şi bisulfura de molibden (mos), aflate sub formă de pulberi nanometrice sau de ţinte de pulverizare Download PDF

Info

Publication number
RO128144A2
RO128144A2 ROA201100603A RO201100603A RO128144A2 RO 128144 A2 RO128144 A2 RO 128144A2 RO A201100603 A ROA201100603 A RO A201100603A RO 201100603 A RO201100603 A RO 201100603A RO 128144 A2 RO128144 A2 RO 128144A2
Authority
RO
Romania
Prior art keywords
hbn
methods
cbn
lubricating
nanometric
Prior art date
Application number
ROA201100603A
Other languages
English (en)
Other versions
RO128144B1 (ro
Inventor
Gheorghe Mateescu
Alice Ortansa Mateescu
Original Assignee
Aeg Progresiv Srl
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aeg Progresiv Srl filed Critical Aeg Progresiv Srl
Priority to ROA201100603A priority Critical patent/RO128144B1/ro
Publication of RO128144A2 publication Critical patent/RO128144A2/ro
Publication of RO128144B1 publication Critical patent/RO128144B1/ro

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Lubricants (AREA)

Abstract

Invenţia se referă la nişte materiale lubrifiante uscate şi la metode de obţinere a acoperirilor multistrat folosind aceste materiale, pentru reducerea valorii coeficienţilor de frecare static şi dinamic ai pieselor aflate în mişcare, ceea ce reduce uzura şi măreşte durata de viaţă a acestora. Materialele lubrifiante uscate, conform invenţiei, sunt din 4 familii, după cum urmează: WS+ MoS+ Me; WS+ hBN + Me; MoS+ hBN + Me; (WS+ MoS) + hBM + Me, unde Me poate fi un metal precum Ti, Al, Zr, Ni, Cu, Ar, Au, Mo şi altele asemenea, sau un compus metalic precum TiC, TiN, WC, BC, AlN etc., realizate sub formă de strat subţire multiplu cu g< 10 μm, sau strat gros multiplu g> 10 μm, obţinute din pachete repetitive de câte 2 straturi fiecare, sau din pachete repetitive de câte trei straturi fiecare. Metodele de acoperire/depunere conform invenţiei se realizează: 1. în vid, din ţinte de pulverizare prin metode tip: a. depunere fizică din vapori, prin pulverizare magnetron standard sau prin pulverizare magnetron reactivă, b. depunere fizică din vapori ionizaţi, prin pulverizare magnetron în impuls de mare putere, prin depunere cu laser pulsat sau prin evaporare în arc catodiv, 2. la presiune atmosferică, prin metode clasice, realizând acoperiri monostrat sau multistrat, din pulberi cu dimensiuni nanometrice sau micrometrice, prin metode de tip: a. presare mecanică a pastei de pulberi în amestec cu alcool sau prin vibrare şi rotire cu un vibrator a pulberilor şi a pieselor, b. suflarea pulberilor nanometrice pe piesa de acoperit cu aer comprimat sau prin spreiere cu aerosoli, sau prin combinarea metodelor noi cu cele clasice care permit r

Description

Metode de acoperire a pieselor metalice cu straturi subțiri lubrifiante si antiuzura, din materiale lubrifiante uscate, precum: Nitrura de bor hexagonala/cubica (h/cBN)/; Bisulfura de wolfram (WSfi si Bisulfura de molibden (M0S2), aflate sub forma de pulberi nanometrice sau de tinte de pulverizare
Frecarea este problema esențiala a tuturor sistemelor mecanice, ce provoacă prin uzura, zgomote si încălzire exagerata, distrugerea înainte de termen a acestora.
Frecarea este o măsură a forței ce se opune mișcării in contact a doua materiale/obiecte si este redata prin coeficientul de frecare, ce reprezintă raportul dintre forța tangențiala de punere in mișcare a unui obiect si sarcina normala pe care acesta o exercita asupra obiectului in contact.
In realitate, coeficientul de frecare este un parametru dependent de sistem ce este puternic influențat de: natura materialelor, rugozitatea, aderenta moleculara si efectele de deformare a suprafețelor aflate in contact; mediul in care se afla obiectele (aerul ambiental, vacuum, mediu special) si parametrii acestuia (copozitie, presiune, umiditate, temperatura, etc.).
Practica arata ca exista un coeficient de frecare static, ce apare la punerea in mișcare a obiectului si un coeficient de frecare dinamic (mult mai mic decât cel static), ce apare atunci când cel puțin unul dinte obiectele aflate in contact se gaseste in mișcare.
Tot practica a demonstrat ca atunci când suprafața materialului obiectului de contact se durifica, coeficientul de frecare se reduce. In baza acestui fapt, in cadrul invenției se utilizează întotdeauna ca prim strat al acoperirilor lubrifiante nitrura de bor (eventual cu un metal de adaos), ce acopera o gama foarte larga a scării de duritate (2-10pe scara Mohs).
Spre exemplificare, conform studiilor efectuate recent, coeficientul de frecare pentru:
- fîer-fier, in aer uscat este: 1,00 static
- fier-fier, cu lubrifiant fluid (ulei/vaselina) este: 0,15-0,2
- otel-otel, in aer uscat, cu suprafețe curate este: 0,78 static si 0,42 dinamic
- otel-otel, in aer uscat, cu suprafețe oxidate este: 0,27 static
- otel-otel, cu lubrifiant fluid (ulei/vaselina) este: 0,05-0,11 static si 0,029-0,12 dinamic
- otel-grafit, in aer uscat este: 0,1 static
- otel dur-grafit, in aer uscat este: 0,09 static
- otel-grafit, cu lubrifiant fluid (ulei/vaselina) este: 0,1 static
- otel-bronz, cu lubrifiant fluid (ulei/vaselina) este: 0,16 static
- otel-carbura de wolfram, in aer uscat este: 0,4-0,6 static
- otel-carbura de wolfram, cu lubrifiant fluid (ulei/vaselina) este: 0,08-0,2 dinamic
- otel-teflon, in aer uscat este: 0,04 static
Soluția radicala de reducere a frecării o constituie utilizarea lubrifiantilor uscati de top (cu: coeficient de frecare in aer fata de otel = CF < 0,1-0,4; rezistenta chimica si termica buna), ce permit funcționarea fara lubrifiant lichid, din care fac parte:
- teflonul (poli-tetra-fluor-etilena)-ca. marca comerciala DuPont-cu coeficientul de frecare de 0,05-0,08 si temperatura maxima de lucru de 288 °C.
- compușii metalelor tranzitionale din grupa a 6-a a tabelului periodic al elementelor (Mo/ W) cu materialele din grupa a 16-a a tabelului periodic (denumite chalcogenide”), precum: sulful-S; Seleniul-Se si Telurul-Te, cu formula generala: MX2 (Me =Mo/Wsi X= S/ Se/Te). Cele mai cunoscute si mai utilizate materiale lubrifiante uscate din aceasta categorie sunt Bisulfura de Molibden (M0S2) - cu CF=0,06 static si 0,15 dinamic si Bisulfura de wolfram (WSfi, cu CF = 0,03 static si 0,07 dinamic.
- grafitul sau carbonul de tip diamant (Diamond Like Carbon-DLC), de tipul: a-C (carbon amorf)·, a-C:H (carbon amorf hidrogenat)', ta-C (carbon amorf tetraedal) sau ta-C:H (carbon amorf hidrogenat, tetraedal), cu CF = 0,01 ...0,1/0,5.
^2 0 1 ί - 0 Oflo 3 - 2 7 -06- 2011
- carburile si nitrurile metalelor tranzitionale precum: TiN cu CF=0,4; TiCN cj CF=0,3; TiAIN cu CF=0,35; CrN cu CF=0,45 .
Nitrura de bor hexagonala (hBN), cunoscuta sub denumirea de “Grafit alb” are: o structura cristalina similara grafitului, un coeficient de frecare in aer de 0,15 .. 0,7; o stabilitate ridicata la temperatura (1000 °C in aer; 1400 °C in vid si 1800 °C in atmosfera inerta) si o duritate Mohs-2, cu ceva mai mare decât a M0S2 sau WS2. Nitrura de bor cu structura cubica (cBN) are o duritate Mohs foarte mare (9,5-10) si un coeficient de frecare in aer de 0,35.
Nitrura de bor hexagonala (hBN) sub forma de pulbere nanometrica este utilizata astazi pentru acoperirea cu straturi subțiri dure si lubrifiante a gloanțelor si a țevilor pentru armament.
Invenția se refera la 3 metode de acoperire a pieselor metalice, cu straturi subțiri lubrifiante si antiuzura uscate, din materiale cu coeficienți de frecare foarte reduși si aflate atat sub forma de pulberi nanometrice cat si de tinte de pulverizare, precum: Nitrura de bor (hBN-duritate Mohs-2 si coeficient de frecare in aer, CF=0,15... 0,30); Bisulfura de Wolfram (WS2duritate Mohs-1,5 si CF = 0,03... 0,07); Bisulfura de Molibden (M0S2-CU duritate Mohs-1 si CF = 0,06...0,15).
Invenția are drept scop imbunatatirea coeficientului de frecare a celor mai utilizate materiale lubrifiante uscate, WS2 si M0S2, prin utilizarea nitrurii de bor, cu structura hexagonala (hBN), ca pulbere nanometrica, sau ca strat subțire, cu duritatea Mohs-2 si CF<0,3, sau cu structura cubica (cBN) ca strat subțire cu duritatea Mohs 9,5-10 si CF<0,3, ca prim strat de acoperire in acoperirile multistrat, sau ca material de adaos in acoperirile monostrat si care prezintă o duritate mai mare si o rezistenta chimica si termica mai buna decât a materialelor de baza, WS2 sau M0S2.
Metoda -1, utilizata pentru realizarea straturilor compozite din pulberi nanometrice de hBN, WS2 si M0S2. La utilizarea materialelor de acoperire sub forma de pulberi nanometrice, procesul de acoperire se desfasoara in mediul ambiant, folosind tehnicile clasice recomandate de producătorii acestor pulberi nanometrice (MK Impex-Canada, Micro Surface CorporationUSA, Qinhuangdao Eno High-Tech Material Development CO-China, Hanbyul CorporationKorea, etc.) pentru realizarea de monostraturi de hBN, WS2 sau M0S2, prin metoda:
a) - sprayere pulbere (cu aerosoli, sau cu aer comprimat),
b) - presare si frecare cu pasta din alcool si pulbere
c) - placare cu pulbere prin impact in tambur vibrator.
Fata de soluțiile cunoscute de acoperire a pieselor metalice cu straturi subțiri lubrifiante si antiuzura, uscate, din pulberi nanometrice ce prezintă numai realizarea de straturi subțiri singulare (monostraturi) din Bisulfura de wolfram (WS2), Bisulfura de Molibden (M0S2), sau din Nitrura de bor hexagonala (hBN) si cu grosimi limitate de dimensiunile nanopulberilor si de forțele de legătură van der Waals dintre constituentii materialului de acoperire (maxim 0,5 pm pentru WS2M0S2), potrivit invenției noua metoda de acoperire din pulberi nanometrice a pieselor metalice, cu straturi lubrifiante si antiuzura uscate, se caracterizează prin aceea ca, datorita legaturilor covalente ce apar intre constitui entii celor doua materiale permite acoperirea pieselor metalice cu:
a) straturi subțiri lubrifiante singulare (monostraturi) din amestecuri de pulberi nanometrice de hBN si WS2 sau hBN si M0S2, in concentrația dorita si de grosimi mai mari decât la utilizarea unui singur material de acoperire,
b) straturi subțiri lubrifiante multiple (multistraturi) din I1BN+WS2, sau hBN+MoS2, etc. de grosimi mai mari decât la utilizarea unui singur material de acoperire.
Avantajele esențiale ale acestei metode sunt realizarea de:
a) monostraturi compozite din I1BN+WS2 sau I1BN-1-M0S2, in concentrații diferite
b) multistraturi din hBN+ WS2 sau I1BN+M0S2 <1-2 0 1 1 - 0 0 ^05 - 2 7 -06- zoii
Metoda - 2, utilizata pentru realizarea monostraturilor compozite, sau a multistraturilor din tinte de pulverizare de BN (care este de tipul hBN)fâ, WS2 sau M0S2. La utilizarea materialelor de acoperire sub forma de tinte de pulverizare (disponibile comercial), procesul de acoperire se desfasoara in vid, folosind metode tip Physical Vapor Deposition (PVD), precum: Pulverizarea magnetron in cc sau RF; Evaporarea catodica in arc electric, Ablatie laser clasica, etc. sau Ionised Physical Vapor Deposition (IPVD) precum: Pulverizarea Magnetron in Impuls de Mare Putere, Evaporare prin ablatie laser in impuls de mare putere si durata mica (femtosecunde), etc.
Pulverizarea de tip magnetron este metoda cea mai potrivita pentru depunera simultana/ succesiva, in concentrațiile dorite si cu o aderenta imbunatatita la substrat a lubrifiantilor uscati, precum: BN, WS2, M0S2 (mai buna decât in cazul acoperirile clasice din pulbere nanometrica).
Pulverizarea magnetron cu ionizare (Ionised Magnetron Sputtering) este o metoda noua de pulverizare magnetron ce utilizează pentru producerea materialului ionizat un magnetron clasic (Catod de pulverizare Penning) si o sursa de putere in impuls, (High Power Impulse Magnetron Sputtering) si datorita gradului foarte înalt de ionizare al materialului de depunere (peste 90%) asigura fata de pulverizarea magnetron standard, realizarea de pelicule dense (fara porozitate) si cu aderenta imbunatatita la substrat.
Pentru refacerea compoziției stoechiometrice a țintelor din hBN, respectiv din WS2 sau M0S2 se poate utiliza un proces de tip reactiv, prin adaugarea gazului reactiv N2, respectiv HS2 (gaz care ridica insa probleme mari de coroziune si toxicitate).
In acord cu ultimele studii si cercetări publicate, din tinta de pulverizare hBN se pot obține straturi subțiri atat de tipul cBN cat si de tipul hBN. Peliculele de tipul cBN se pot obține doar când tensiunea negativa de polarizare a substratului in descărcarea magnetron de tip reactiv (in atmosfera de Ar si Νχ) este suficient de scăzută. Pentru realizarea straturilor subțiri de tipul cBN sau hBN se poate utiliza si pulverizarea magnetron de tip reactiv, cu utilizarea tintei de pulverizare din Bor (B) si a amoniacului (NHj) drept gaz reactiv.
Pentru imbunatatirea aderentei si a durității stratului depus este recomandata utilizarea unui metal dopant (de adaos), precum Ti, Al, Cr, etc.
Fata de soluțiile cunoscute de acoperire a pieselor metalice numai cu straturi subțiri lubrifîante si antiuzura, uscate, singulare (monostraturi) din tinte de pulverizare, ce prezintă numai realizarea de straturi subțiri singulare (monostraturi) realizate din Bisulfura de wolfram (WS2), Bisulfura de Molibden (M0S2), sau din Nitrura de bor (BN)/ Bor (B), potrivit invenției noua metoda de acoperire a pieselor metalice cu straturi lubrifîante si antiuzura uscate, din tinte de pulverizare din BN/B; WS2 sau M0S2, se caracterizează prin aceea ca permite acoperirea pieselor metalice cu:
c) straturi subțiri lubrifîante complexe/compozite din amestecuri ale materialelor prezentate anterior, in orice concentrație, sub forma de monostrat de grosimea dorita, obținute prin pulverizarea simultana a țintelor de pulverizare cu diferite puteri/rate de pulverizare,
d) straturi subțiri lubrifîante multiple (multistraturi) din: cBN/hBNs+WS2; cBN/hBN+ M0S2; cBN/hBN+WS2+MoS2, cu sau fara metal de adaos, pentru creșterea durității si a aderentei peliculelor depuse.
e) multistraturi cu structuri nanometrice (multistraturi cu “superlatice structure ”) Tehnologiile tip PVD (Evaporarea in arc catodic, Pulverizarea magnetron standard, Evaporare prin ablatie laser standard, etc.), sau IPVD (Pulverizarea magnetron in impuls de mare putere; Evaporare prin ablatie laser in impuls de mare putere si durata mica, etc.) recomandate a fi utilizate in cadrul invenției la depunerea in vid a bisulfurii de wolfram, sau a ίΥ201 1 - 0 0^03- 2 7 -06- 2011 bisulfurii de molibden, elimina dificultățile enorme de toxicitate si coroziune, pentru depunerea in vid a acestui compus prin “sinteza”, folosind pulverizare magnetron de tip reactiv (ce utilizează wolframul/ molibdenul ca tinta de pulverizare si H2S ca gaz reactiv extrem de toxic si de coroziv).
Metodele tip PVD sau IPVD recomandate in cadrul invenției permit depunerea straturilor subțiri combinate (de tip monostrat) din c/hBN+ WS2 + MoS2, cu diverse concentrații ale constituentilor, sau succesive (de tip multistrat) din c/hBN; WS2 si/sau MoS2, cu concentrații si grosimi variate (inclusiv cu “structura superlattice”).
Straturile subțiri combinate/compozite de tip monostrat se pot realiza cu compoziție constanta a constituentilor (cBN/hBN, WS2 si M0S2) pe întreaga grosime, sau cu o compoziție graduala.
Straturile intermediare din structura straturilor subțiri multiple, depuse prin metode PVD sau IPVD pot avea:
a) o concentrație graduala si uniforma a stratului dur si lubrifiant din c/hBN (de la 100% BN si pana la 0% BN, ce asigura o aderenta sporita la substrat si o creștere a durității peliculei depuse precum si un coeficient de frecare foarte scăzut),
b) o structura in straturi nanometrice multiple (cu superlattice structure) si cu diverse concentrații de c/hBN in fiecare strat,
c) o porozitate foarte scăzută, in cazul utilizării metodelor de acoperire tip IPVD
d) o aderenta la substrat sau intre straturi imbunatatita fata de materialul de baza (WS2), prin utilizarea unui metal dopant, ce imbunatateste aderenta si duritatea,
e) o duritate mai mare decât a materialului de baza, permițând sarcini mai mari,
f) grosimi mai mari decât grosimea practica maxima de realizare a straturilor lubrifiante din pulberi nanometrice de WS2/ MoS2 (de 0,5pm).
Avantajele esențiale ale acestei metode sunt:
1. realizarea de monostraturi compozite din: c/hBN+WS2; c/hBN+MoS2; c/hBN+WS2+MoS2; Metal+hBN+WS2+MoS2
2. realizarea de multistraturi din: Metal (Ti, Al, etc.); hBN; cBN; WS2; MoS2 in diverse combinatii/compozitii si cu diverse grosimi.
Metoda-3, utilizata pentru realizarea multistraturilor din: hBN+WS2 sau hBN+MoS2. Potrivit invenției straturile subțiri lubrifiante si antiuzura, uscate de tip multiplu se pot realiza si printr-o a treia metoda ce combina cele doua metode prezentate anterior in sensul ca primul strat cu duritate mai mare si buna aderenta la substrat (de exemplu stratul dur si lubrifiant din hBN) se poate obține din pulberi nanometrice, iar stratul sau straturile următoare se pot depune in vid folosind metodele tip PVD sau IPVD, reducandu-se in acest fel costurile procesului de acoperire.
Fata de soluțiile cunoscute de acoperire a pieselor metalice doar cu un singur strat din pulberi nanometrice de hBN, WS2 sau MoS2, potrivit invenției, noua metoda se caracterizează prin aceea ca piesele metalice acoperite cu pulberi nanometrice ce folosesc tehnicile clasice specificate de producătorii pulberilor, se acopera cu un al doilea, sau cu mai multe straturi din WS2 si MoS2, folosind una din tehnicile PVD sau IPVD.
Avantajul esențial al acestei metode il consituie adaugarea prin metode PVD sau IPVD de multistraturi lubrifiante pe piesele metalice, acoperite cu hBN prin metodele clasice de acoperire cu pulberi metalice si realizarea practica, la costuri mai reduse, a acoperirilor multistrat de tipul: hBN+WS2; hBN+MoS2.

Claims (3)

  1. REVENDICĂRILE INVENȚIEI Metode de acoperire a pieselor metalice cu straturi subțiri lubrifiante si antiuzura, din materiale lubrifiante uscate, precum: Nitrura de bor hexagonala/cubica (h/cBN)/; Bisulfura de wolfram (TESJ si Bisulfura de molibden (M0S2), aflate sub forma de pulberi nanometrice sau de tinte de pulverizare
    1. Metoda de acoperire in vid a pieselor metalice, cu:
    a) straturi subțiri lubrifiante singulare (monostraturi) din amestecuri de pulberi nanometrice de hBN si WS2 sau hBN si M0S2, in concentrația dorita si de grosimi mai mari decât la utilizarea unui singur material de acoperire (monostraturi compozite din hBN+ WS2 sau hBN+MoS2, in concentrații diferite)
    b) straturi subțiri lubrifiante multiple (multistraturi) din I1BN+WS2, sau I1BN+M0S2, etc. de grosimi mai mari decât la utilizarea unui singur material de acoperire (multistraturi din hBN+ WS2 sau hBN+MoS2).
  2. 2. Metoda de acoperire in vid a pieselor metalice, cu:
    a) straturi subțiri lubrifiante complexe/compozite din amestecuri ale materialelor prezentate anterior, in orice concentrație, sub forma de monostrat de grosimea dorita, obținute prin pulverizarea simultana a țintelor de pulverizare cu diferite puteri/rate de pulverizare,
    b) straturi subțiri lubrifiante multiple (multistraturi) din: CBN/I1BNS+WS2; cBN/hBN+ M0S2; cBN/hBN+WS2+MoS2, cu sau fara metal de adaos, pentru creșterea durității si a aderentei peliculelor depuse,
    c) multistraturi cu structuri nanometrice (multistraturi cu “superlatice structure ”)
  3. 3. Metoda de acoperire in vid a pieselor metalice cu multistraturi din: hBN+WS2 sau I1BN+M0S2, la care primul strat din hBN (dur si lubrifiant) este depus in mediul ambient, din pulberi nanometrice prin metodele clasice, iar cel de al doilea strat din WS2 sau MoS2 este depus in vid prin metode tip PVD (Physical Vapor Deposition) sau 1PVD (Ionised Physical Vapor Deposition).
ROA201100603A 2011-06-27 2011-06-27 Metodă de acoperire în vid a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante RO128144B1 (ro)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ROA201100603A RO128144B1 (ro) 2011-06-27 2011-06-27 Metodă de acoperire în vid a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ROA201100603A RO128144B1 (ro) 2011-06-27 2011-06-27 Metodă de acoperire în vid a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RO128144A2 true RO128144A2 (ro) 2013-02-28
RO128144B1 RO128144B1 (ro) 2014-06-30

Family

ID=47741424

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ROA201100603A RO128144B1 (ro) 2011-06-27 2011-06-27 Metodă de acoperire în vid a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante

Country Status (1)

Country Link
RO (1) RO128144B1 (ro)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104561914A (zh) * 2015-01-22 2015-04-29 烟台希尔德新材料有限公司 一种钼靶材的制备方法
CN108585868A (zh) * 2018-06-05 2018-09-28 河北东同光电科技有限公司 一种硫化钨靶材的制备方法
CN113264574A (zh) * 2021-04-22 2021-08-17 东莞理工学院 一种Ni-Fe/MoS2电极的制备方法及其降解氟苯尼考污染物中的应用

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104561914A (zh) * 2015-01-22 2015-04-29 烟台希尔德新材料有限公司 一种钼靶材的制备方法
CN108585868A (zh) * 2018-06-05 2018-09-28 河北东同光电科技有限公司 一种硫化钨靶材的制备方法
CN113264574A (zh) * 2021-04-22 2021-08-17 东莞理工学院 一种Ni-Fe/MoS2电极的制备方法及其降解氟苯尼考污染物中的应用
CN113264574B (zh) * 2021-04-22 2023-04-25 东莞理工学院 一种Ni-Fe/MoS2电极的制备方法及其降解氟苯尼考污染物中的应用

Also Published As

Publication number Publication date
RO128144B1 (ro) 2014-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN114196914B (zh) 一种碳化物高熵陶瓷材料、碳化物陶瓷层及其制备方法和应用
CN102294854B (zh) 硬质涂层及其制备方法及具有该涂层的被覆件
CN101469402B (zh) 类富勒烯碳膜的制备方法
Ou et al. Mechanical and tribological properties of CrN/TiN superlattice coatings deposited by a combination of arc-free deep oscillation magnetron sputtering with pulsed dc magnetron sputtering
JP2005344148A (ja) 耐摩耗性被膜およびこれを用いた表面被覆切削工具
CN101665904A (zh) 一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法
CN110983272A (zh) 自润滑材料、自润滑复合涂层及其制备方法和机械部件
Huang et al. Wear-resistant multilayered diamond-like carbon coating prepared by pulse biased arc ion plating
Mei et al. Effects of V and Cu codoping on the tribological properties and oxidation behavior of AlTiN coatings
JP5159359B2 (ja) 異種材料複合部材の製造方法
CN103243303B (zh) 一种Ta-Mo-N复合涂层及其制备方法
RO128144B1 (ro) Metodă de acoperire în vid a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante
CN109023265A (zh) CrN/CrNiN纳米多层涂层及其制备方法、纳米多层涂层及其制备方法与应用
RO127961B1 (ro) Compus lubrifiant şi antiuzură pe bază de bisulfură de wolfram, de acoperire a unui substrat metalic
JP2011079134A (ja) 表面被覆切削工具の製造方法
CN102383093A (zh) 涂层、具有该涂层的被覆件及该被覆件的制备方法
CN106467959B (zh) 一种基体表面的固体润滑复合涂层及其制备方法
CN102644076A (zh) 用于宽温域自适应的润滑涂层及其制备方法
CN102453856A (zh) 被覆件及其制造方法
KR20050063463A (ko) 윤활특성이 우수한 경질코팅 제조방법 및 경질코팅 구조
RO129649B1 (ro) Procedeu de realizare a unei acoperiri din material lubrifiant solid
CN102443773A (zh) 涂层、具有该涂层的被覆件及该被覆件的制造方法
RO129650B1 (ro) Material şi procedeu de realizare a unor straturi tribologice complexe, pentru acoperirea unor obiecte metalice supuse frecării
JP5126867B2 (ja) 炭素膜の製造方法
RO127963A2 (ro) Metodă de acoperire în vid a pieselor metalice cu straturi subţiri lubrifiante şi antiuzură uscate, pe bază de bisulfură de wolfram (), prin metode tip pvd () sau ipvd ()