RO103016B1 - Generator de aeroioni pentru camere curate - Google Patents

Abstract

Invenția se referă la un generator de aeroioni, destinat neutralizării sarcinilor electrostatice din interiorul camerelor curate, care presupune realizarea vîrfurilor pentru descărcarea corona dintr-un material feromagnetic, microparticulele desprinse din acestea fiind captate cu ajutorul unui sistem de magneți sau electromagneți, plasați în zona vîrfurilor pentru descărcarea corona, magneții sau electromagneții fiind acoperiți cu o folie de aluminiu, care împiedică eliberarea de microparticule de către aceștia.

Description

Invenția se referă la un generator de aeroioni, destinat neutralizării sarcinilor electrostatice din interiorul camerelor curate cu aplicații în microelectronică, mecanică fină, optică, medicină etc.

în acest scop, sînt cunoscute generatoare de aeroioni, utilizate în camerele curate pentru neutralizarea sarcinilor electrostatice, care constau, în principal, dintr-un electrod pentru descărcare corona și dintr-un contraelectrod, întreaga construcție fiind realizată din materiale susceptibile de a produce un număr cit mai redus de microparticule, ca, de exemplu, duraluminiu, oțel inoxidabil, teflon etc. Aceste generatoare de aeroioni prezintă dezavantajul major că impurifică atmosfera camerei curate cu microparticule desprinse din electrodul de descărcare corona, ca urmare a bombardamentului ionic, la care acesta este supus în timpul funcționării.

Scopul invenției este de a realiza un generator de aeroioni, pentru camere curate cu reținerea microparticulelor desprinse de pe vîrful de descărcare corona.

Problema tehnică pe care o rezolvă invenția constă în realizarea vîrfului pentru descărcarea corona dintr-un material feromagnetic, microparticulele desprinse din acest vîrf fiind captate pe cale magnetică.

Generatorul conform invenției înlătură dezavantajele generatoarele de aeroioni, menționate mai sus, prin aceea că presupune realizarea vîrfurilor pentru descărcarea corona dintr-un material feromagnetic, microparticulele desprinse din acestea fiind captate cu ajutorul unui sistem de magneți sau electromagneți plasați în vecinătatea vîrfurilor pentru descărcarea corona, în toate situațiile magneții sau electromagneții fiind acoperiți cu o folie de aluminiu, care împiedică eliberarea de microparticule de către aceștia.

Se dă în continuare un exemplu de realizare a invenției, în legătură și cu fig.

1...3, care reprezintă:

- fig.l, generator de aeroioni pentru camere curate cu magnet circular pentru captarea microparticulelor;

- fig.2, generator de aeroioni pentru camere curate cu magneți tip bară pentru captarea microparticulelor;

- fig.3, generator de aeroioni pentru camere curate cu un sistem de electromagneți pentru captarea microparticulelor.

Conform invenției, generatorul de aeroioni pentru camere curate este format dintr-o carcasă electroizolantă 1 în formă de cilindru, cu una din baze prevăzută cu un' ștuț 2 pentru trecerea unui cablu de înaltă tensiune 3, care alimentează un electrod ac 4, pentru descărcarea corona realizat dintr-un material feromagnetic, ca, de exemplu, oțel, menținut pe axul longitudinal al carcasei 1 și cu vîrful la o anumită distanță de’baza liberă a acesteia cu o rondea metalică 5, pe care electrodul 4 este lipit, o piesă electroizolantă de ghidare și sprijin 6, o piesă de fixare 7, un arc 8 și un inel de siguranță 9. La alimentarea cu înaltă tensiune a electrodului 4, apare descărcarea corona la vîrful său și formîndu-se aeroioni, simultan fiind emise însă și microparticule de material desprins din electrod, ca urmare a bombardamentului cu ioni accelerați în cîmpul său electric, răspîndirea în incintă a acestor microparticule fiind împiedicată prin atracția lor, potrivit diferitelor soluții constructive, spre un magnet circular 10, ca în fig.l, spre doi magneți de tip bară 11 și 12, ca în fig.2, sau spre armăturile a doi electromagneți 13 și 14, ca în fig.3. Atît magneții, cît și electromagneții, utilizați după caz, sînt fixați pe exteriorul carcasei 1 în imediata vecinătate a bazei libere în . dreptul acestora fiind practicate în peretele carcasei 1 niște orificii circulare sau fante a, acestea permițînd deplasarea microparticulelor feromagnetîce spre magneți sau electromagneți, care sînt acoperiți cu o folie de aluminiu 15, ce împiedică desprinderea unor microparticule din materialul acestora, folia de aluminiu 15, fiind conectată la pămînt, servind și contraelectrod-în procesul descărcării corona, configurația cîmpului electric astfel format în spațiul electrod de descărcare - contraelectrod facilitînd, de asemenea, deplasarea microparticulelor desprinse de pe vîrful electrodului 4 spre magneți sau electromagneți. Pentru compensarea curentului de aer ce apare prin vîrful aeroelectric produs de la vîrful' electrodului 4 spre exteriorul carcasei 1, pe partea laterală a acesteia sînt practicate niște orificii circulare b.

Generatorul conform invenției prezintă următoarele avantaje:

- permite aplicarea aeroionizării în camerele curate, fără a crește concentrația de microparticule: - poate fi adaptată generatoarelor de aeroioni cunoscute;

- nu necesită materiale speciale pentru realizarea practică.

Claims (4)

1. Generator de aeroioni pentru camere curate, format dintr-un electrod tip vîrf și un contraelectrod fixați într-o carcasă, caracterizat prin aceea că carcasa electroizolantă în formă de cilindru (1), cu una din baze prevăzută cu un ștuț (2) pentru trecerea unui cablu de înaltă tensiune (3), care alimentează electrodul ac (4) pentru descărcarea corona, realizat dintr-un material feromagnetic ce se menține pe axul longitudinal al carcasei (1), cu vîrful la o anumită distanță de baza liberă a acestuia cu o rondelă (5) pe care electrodul (4) este lipit, o piesă de fixare (7) și un arc (8), ce se sprijină pe o piesă electroizolantă de ghidare, și fixată cn un inel de siguranță (9), niște magneți circulari (10), de tipul bară (11,12) sau electromagneți (13,14) fiind fixați pe exteriorul carcasei (1) în imediata vecinătate a bazei libere, atrăgînd particulele feromagnetice desprinse de pe electrodul (41 în procesul descărcării corona.

2. Generator, conform revendicării 1, caracterizat prin aceea că magneții (10,11^

12) sau electromagneții (13.14) sînt acoperiți cu o folie de aluminiu (16), conectată la pămînt.

3. Generator de aeroioni, conform revendicării 1, caracterizat prin aceea că, în peretele carcasei (1) se practică niște orificii circulare sau fante (a), catepemit accesul microparticulelor feromagnetice spre magneți sau electromagneți.

4. Generator de aeroioni, conform revendicării 1, caracterizat prin aceea că, pe partea laterală a carcasei (1) sînt practicate orificii circulare (b) pentru compensarea curentului de aer ce apare prin vîntul aeroelectric produs de la vîrful electrodului (4) spre exteriorul carcasei (1).

(56)Referințe bibliografice