PL92835B1 - - Google Patents

Description

Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarza¬ nia wielowarstwowych polaczen pomiedzy cerami¬ ka a metalem, stosowanych powszechnie w prze¬ mysle lampowym i pólprzewodnikowym.

Od wielowarstwowych polaczen ceramika-—imetal 5 wymagana jest duza wytrzymalosc zlacza, odpor¬ nosc na nagle zmiany temperatury, wysoka opor¬ nosc materialu ceramicznego, a jednoczesnie dobra przewodnosc warstw metalowych, próznioszczelmosc polaczenia. 10 Znane sposoby wytwarzania polaczen ceramika— —metal: opis patentowy USA 2 706 ©82, brytyjski opis patentowy nr 727 462, opis patentowy RFN nr 968 976, przewiduja uzycie róznych metali jak, nip.

Cu, Mo, Mo-Mn lub ich zwiazków, które po na- 15 lozeniu na wypalone ksztaltki ceramiczne sa spie¬ kane wraz z ksztaltika w temperaturze 1200 do 1450°C w atmosferze wilgotnego wodoru. Do in¬ nych sposobów wykonywania polaczen nalezy me¬ toda wykorzystujaca, tzw. pierwiastki aktywne, 20 które w warunkach laczenia (wysoka temperatura i próznia okolo l0-5Tr) zachowuja sie .aktywnie wzgledem ceramiki. Dyfunduja do niej przez co stanowia dobra warstwe do polaczenia sie z me¬ talem poprzez warstwe lutowia. 25 Jeszcze jedna ze znanych metod polega na lacze¬ niu metali z ceramika za pomoca specjalnie do te¬ go celu przygotowanych szkliw.

Wszystkie znane metody laczenia ceramiki z me¬ talami wymagaja oddzielnego spiekania jednej, a 30 nawet dwóch warstw metalicznych i dopiero w kon¬ cowej operacji lutowanie tych elementów.

Sposób wytwarzania wielowarstwowych polaczen ceramika—metal wedlug wynalazku polega na do¬ braniu warstw metalicznych do ceramiki tak, aby spiekanie ceramiki i warstw metalicznych naste¬ powalo równoczesnie w czasie jednego zabiegu.

Jako ceramike stosuje sie folie alundowa, na któ¬ ra nanosi sie, np. metoda sitodruku waristwy me¬ taliczne oparte na bazie Mo lub W. Nastepnie ca¬ losc laczy sde pod cisnieniem i w temperaturze o- kolo 75°C. Spiekanie uprzednio polaczonych ele¬ mentów przeprowadza sie w temperaturze 1500— —1700°C w atmosferze wilgotnego wodoru. Sposób wytwarzania polaczen ceramika—metal wedlug wy¬ nalazku jest procesem prostym, nie wymaga prze¬ prowadzania oddzielnych zabiegów spiekania dla ceramiki i dla warstw metalicznych. Proces ten nie wymaga ,tak jak sposób oparty o pierwiastki ak¬ tywne stosowania drogich pieców prózniowych.

Polaczenia uzyskane sposobem wedlug wynalaz¬ ku maja wystarczajaca wytrzymalosc oraz osiaga¬ ja prózniolsziczelnosc równa lXl0_8Trl/sek«, wytrzy¬ malosc na wibracje mechaniczne w ilosci 4000 cykli przy obciazeniu 150 g i wytrzymalosc na nagle zmiany temperatury od — 60 do +155°C.

Przyklad. Na wyciete ksztaltki z folii alun- dowej nanosi sie warstwy metaliczne metoda sito¬ druku. Pasta metaliczna stosowana na warstwy o- parta jest na bazie Mo lub W. 92 83502 835 3 4 Pometalizowane ksztaltki suszy sie w warunkach naturalnych, a nastepnie laczy sie pod cisnieniem w temperaturze T5°C.

Spiekanie uprzednio polaczonych ksztaltek prze¬ prowadza sie w temperaturze 1G50°C w atmosferze wilgotnego wodoru. W ten sposcfo otrzymane ele¬ menty mozna galwanicznie pokryc niklem, zlotem itp.

Claims (1)

1. Zastrzezenie patentowe Sposóib wytwarzania wielowarstwowych polaczen ceramiczno—metalowych, znamienny tym, ze na surowe folie alun-dowe nanosi s\a warstwy meta¬ liczne na ibazie Mo 'lub Wo, folie laczy pod cis¬ nieniem i w temperaturze 70^C, a nastepnie ca¬ losc spieka w temperaturze 1500—1700°C w atmo¬ sferze wilgotnego wodoru. 5 Bltk 1104/77 r. 130 egz. A4 Cena 10 zl