PL59981B1 - - Google Patents

Description

Pierwszenstwo: Opublikowano: 20. IV. 1970 59981 KI. 48 b, 15/00 W MKP € 2^e UKD 621. 793.12 Wspóltwórcy wynalazku: dr Mieczyslaw Jachimowski, dr Edward Leja, mgr Adam Czapla Wlasciciel patentu: Akademia Górniczo-Hutnicza (Katedra Fizyki), Kra¬ ków (Polska) Sposób nanoszenia oporowych warstw przepuszczajacych swiatlo, zwlaszcza na powierzchnie szklane i ceramiczne i Przedmiotem' wynalazku jest sposób nanoszenia oporowych warstw przepuszczajacych swiatlo, zwlaszcza na powierzchnie szklane i ceramiczne, znajdujacy zastosowanie w produkcji elektrod do komórek elektroluminescencyjnych, lamp analizu- 5 jacych obraz i do innych urzadzen elektro- optycznych.Znany dotychczas chemiczny sposób nanoszenia oporowych warstw przepuszczajacych swiatlo na podloze szklane lub ceramiczne polega na wdmu- io chiwaniu do przelotowego pieca grzewczego, z umieszczonym w nim elementem, na którym ma byc wytworzona warstwa, przepuszczajaca swia¬ tlo, rozpylonej mieszaniny, zlozonej z czterochlor¬ ku cyny i alkoholu rozpuszczonego w wodzie. W 15 temperaturze wnetrza pieca, wynoszacej okolo 450°C„ nastepuje osadzanie sie warstwy dwutlen¬ ku cyny na powierzchni elementu.Wada tej metody jest trudna kontrola przebie¬ gu procesu. Powstala warstwa jest na ogól nie- 20 jednorodna, ma rózna grubosc oraz niepowtarzal¬ ne parametry elektryczne i optyczne, a przepusz¬ czalnosc jej dla swiatla w obszarze widzialnym wynosi okolo 70%.Znany sposób reaktywnego katodowego nano- 25 szenia kadmowych warstw, przepuszczajacych swiatlo, na podloze szklane lub ceramiczne, pole¬ ga na doprowadzaniu do prózniowej komory ka¬ todowej mieszaniny argonu i tlenu. Przy ujem¬ nym napieciu katody, wynoszacym okolo 1500 V 30 i cisnieniu 10_1Tr nastepuje bombardowanie ka¬ tody jonami argonu, w wyniku czego z katody' wyzwalaja sie atomy kadmu. Atomy te, laczac sie z atomami tlenku, osadzaja sie na powierzchni usytuowanego na przeciw katody elementu, prze¬ znaczonego do pokrycia warstwa tlenku kadmu.Wada tego sposobu jest zóltawe zabarwienie uzy¬ skanych warstw, przy którym przepuszczalnosc swiatla w obszarze widzialnym wynosi okolo 70%.Warstwy te sa ponadto malo stabilne.Celem wynalazku jest umozliwienie nanoszenia, zwlaszcza na podloze szklane lub ceramiczne cien¬ kich oporowych warstw z dwutlenku cyny, prze¬ puszczajacych swiatlo.Cel ten zostal, osiagniety w sposobie nanoszenia oporowych warstw przepuszczajacych swiatlo, zwlaszcza na powierzchnie szklane i ceramiczne, wedlug wynalazku, który polega na reaktywnym, katodowym rozpylaniu metalicznej cyny, "zawie¬ rajacej domieszke antymonu. Proces przeprowadza sie w komorze prózniowej w atmosferze tlenu lub tlenu z argonem pod cisnieniem od 10_1Tr do 5 • 10"2Tr przy napieciu, wynoszacym od 1000 V do 1500 V. Element przeznaczony do pokrycia warstwa • dwutlenku cyny umieszcza sie na prze¬ ciw chlodzonej katody, wykonanej ze stopu cyny z antymonem i podgrzewa do temperatury okolo 250°C Sposób nanoszenia oporowych warstw przepusz¬ czajacych swiatlo, zwlaszcza na powierzchnie 59981599S1 szklane lub ceramiczne, wedlug wynalazku, prze¬ prowadza sie w komorze prózniowej, w której mocuje sie na kadlubie, wyposazonym w uklad chlodzenia, katode, wykonana ze stopu cyny z an¬ tymonem, zawierajacego 1—10% antymonu. Na przeciw katody umieszcza sie element, przezna¬ czony do pokrycia oporowa warstwa, przepuszcza¬ jaca swiatlo. Katode i scianki komory prózniowej, stanowiace anode, laczy sie z obwodem wysokie¬ go napiecia, wynoszacego od 1000 V do 1500 V.Nastepnie komore prózniowa laczy sie z jednej strony ze zbiornikiem tlenu lub tlenu z argonem, a z drugiej strony z pompa prózniowa, wytwa¬ rzajaca wewnatrz komory cisnienie od 10-1 Tr do 5 • lO-2 Tr. Przy napieciu U pradu, pomiedzy ka¬ toda a sciankami zbiornika, wynoszacym 1000 V lub 1500 V i przy cisnieniu p. wewnatrz próznio¬ wej komory równym 10"1 Tr lub 5 • 10~2 Tr, opór naniesionej warstwy przepuszczajacej swiatlo R [Q/B] oraz wspólczynnik temperaturowy opornosci Ar zaleza od procentowej zawartosci anty- RoAt monu w stopie cyna—antymon, z którego jest wy¬ konana katoda. Zaleznosc oporu warstwy R i. wspólczynnika temperaturowego opornosci a od procentowej zawartosci antymonu przedstawiono w ponizszym zestawieniu.Zaleta sposobu nanoszenia oporowych warstw przepuszczajacych swiatlo zwlaszcza na powierz¬ chnie szklane i ceramiczne wedlug wynalazku, jest duza przepuszczalnosc warstw dla swiatla w obszarze widzialnym, wynoszaca okolo 95%. Na¬ niesione warstwy sa odporne na dzialanie czyn¬ ników chemicznych i bardzo trudno scieralne. 10 15 20 25 30 U [V] 1000 1700 P [Tr] io-i 5.10-2 #Sb 1,8.10-1 1,8 5 11 1,8.10-1 1,8 5 11 4 Rq [a/B] 5-105 7 • IO3 5-102 1,2 • 102 3-105 6-103 2-102 90 L. " A* ro a lO"2 io-4 lO"5 ' io-2 io-5 io-5 io-6 gdzie B — pole przekroju poprzecznego warstwy. PL

Claims (2)

1. Zastrzezenia patentowe 1. Sposób nanoszenia oporowych warstw prze¬ puszczajacych swiatlo, zwlaszcza na powierz¬ chnie szklane i ceramiczne przez reaktywne katodowe rozpylanie, znamienny tym, ze od¬ bywa sie w atmosferze tlenu lub tlenu z argo¬ nem, pod cisnieniem od 10_1 Tr do 5 • IO-2 Tr,. przy napieciu wynoszacym od 1000 V do 1500 V, przy uzyciu katody, wyposazonej w uklad chlo¬ dzenia, przy czym element przeznaczony da pokrycia warstwa cyny, podgrzewa sie do tem¬ peratury okolo 250°C.
2. 2. Sposób wedlug zastrz. 1 znamienny tym, ze ka¬ tode stanowi stop cyny z antymonem, zawiera¬ jacy 1—10% antymonu. PZG w Pab., zam. 198-70, nakl. 250 egz. PL