PL402008A1 - Sposób wytwarzania nanosłupków GaN - Google Patents

Sposób wytwarzania nanosłupków GaN

Info

Publication number
PL402008A1
PL402008A1 PL402008A PL40200812A PL402008A1 PL 402008 A1 PL402008 A1 PL 402008A1 PL 402008 A PL402008 A PL 402008A PL 40200812 A PL40200812 A PL 40200812A PL 402008 A1 PL402008 A1 PL 402008A1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
gan
pillars
gan nano
gallium nitride
producing gan
Prior art date
Application number
PL402008A
Other languages
English (en)
Other versions
PL219980B1 (pl
Inventor
Marek Ekielski
Original Assignee
Instytut Technologii Elektronowej
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Instytut Technologii Elektronowej filed Critical Instytut Technologii Elektronowej
Priority to PL402008A priority Critical patent/PL219980B1/pl
Publication of PL402008A1 publication Critical patent/PL402008A1/pl
Publication of PL219980B1 publication Critical patent/PL219980B1/pl

Links

Landscapes

  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Led Devices (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

Przedmiotem wynalazku jest sposób wytwarzania nanosłupków azotku galu (GaN) na ściśle określonym obszarze powierzchni GaN. W sposobie tym, najpierw na powierzchni azotku galu GaN, za pomocą litografii, i osadzania warstwy metalicznej, określa się obszary, w których wytworzone zostaną nanosłupki. Następnie powierzchnię GaN wraz z warstwą metaliczną trawi się plazmą indukcyjnie sprzężoną o składzie Cl2/BCl3, przy zerowym napięciu na dolnej elektrodzie reaktora.
PL402008A 2012-12-11 2012-12-11 Sposób wytwarzania nanosłupków GaN PL219980B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL402008A PL219980B1 (pl) 2012-12-11 2012-12-11 Sposób wytwarzania nanosłupków GaN

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL402008A PL219980B1 (pl) 2012-12-11 2012-12-11 Sposób wytwarzania nanosłupków GaN

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL402008A1 true PL402008A1 (pl) 2014-06-23
PL219980B1 PL219980B1 (pl) 2015-08-31

Family

ID=50943671

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL402008A PL219980B1 (pl) 2012-12-11 2012-12-11 Sposób wytwarzania nanosłupków GaN

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL219980B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL219980B1 (pl) 2015-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201614799A (en) Structure of integrated inductor
PH12018500223B1 (en) Entry sheet for cutting fiber reinforced composite material or metal, and cutting method for cutting fiber reinforced material or metal
AR090973A1 (es) Anticuerpos utiles para el diagnostico del cancer
MX2015010427A (es) Anticuerpos anti-tnf-alfa altamente galactosilados y sus usos.
MY159614A (en) Microorganism producing o-phosphoserine and method of producing l-cysteine or derivatives thereof from o-phosphoserine using the same
AR083733A1 (es) Articulo abrasivo y metodo para su formacion
KR102205800B9 (ko) 금속판, 금속판의 제조 방법, 및 금속판을 사용하여 증착 마스크를 제조하는 방법
PL402131A1 (pl) Sposób laserowego napawania warstwy metalicznej na element metalowy
ES2530809T3 (es) Fragmento de silicio policristalino y procedimiento para la limpieza de fragmentos de silicio policristalino
EP2960908A4 (en) ELECTRICALLY CONDUCTIVE NANODRAHT NETWORK, ELECTRICALLY CONDUCTIVE SUBSTRATE AND TRANSPARENT ELECTRODE THEREFOR, AND METHOD FOR PRODUCING THE ELECTRICALLY CONDUCTIVE NANODRAHT NETWORK, THE ELECTRICALLY CONDUCTIVE SUBSTRATE AND THE TRANSPARENT ELECTRODE
MX2013012512A (es) Collar de limite mejorado.
FR3005280B1 (fr) Outillage pour la fixation d'un renfort metallique sur le bord d'attaque d'une aube de turbomachine et procede utilisant un tel outillage
TWI562376B (en) Composite high-k metal gate stack for enhancement mode gan semiconductor devices and fabrication method thereof
GB2538368A (en) Vapor-depositing metal oxide on surfaces for wells or pipelines to reduce scale
PL407166A1 (pl) Zawiesina nanopłatków tlenku grafenu w wodzie, jej zastosowanie i sposób jej otrzymywania
PH12017501437A1 (en) Heat generation element and method for producing same
EP3063791A4 (en) Metal oxide semiconductor sensor and method of forming a metal oxide semiconductor sensor using atomic layer deposition
EP2991080A4 (en) COMPOSITION FOR FORMING A CONDUCTIVE STRUCTURE, METHOD FOR FORMING A CONDUCTIVE STRUCTURE THEREFOR AND RESIN STRUCTURE WITH CONDUCTIVE STRUCTURE
MX378395B (es) Mejoras a, o relacionadas con compuestos organicos.
MX2015013931A (es) Estructura para el refuerzo de pavimentos que comprenden conjuntos de filamentos metalicos agrupados acoplados a o integrados en un sustrato.
CL2016000626A1 (es) Soldadura por proyección a una segunda lámina metálica a soldar encima de una primera lámina metálica, que es de metal o aleación de metal no ferroso teniendo, como componente principal, aluminio o magnesio, con una proyección alargada extendida localmente por encima de la superficie superior y principal de la primera lámina
SG11201901749RA (en) Tomato ketchup with improved storage stability
MX360500B (es) Herramienta del fondo del pozo con capa resistente a la erosion y metodo de uso de la misma.
EA201690345A1 (ru) Формирование проводящего изображения с использованием высокоскоростного нанесения покрытия химическим восстановлением
PL402008A1 (pl) Sposób wytwarzania nanosłupków GaN

Legal Events

Date Code Title Description
LICE Declarations of willingness to grant licence

Effective date: 20150108