PL24340B1 - Sposób rozpraszania katodowego. - Google Patents

Description

Wynalazek niniejszy umozliwia szybkie i ekonomiczne rozpraszanie na katodzie metali, jak tez rozpraszanie katodowe me¬ tali, które dotychczas nie nadawaly sie do rozpraszania lub których rozpraszanie by¬ lo polaczone z trudnosciami. Oprócz tego w sposobie wedlug wynalazku rozpraszanie moze byc dokonywane przy wyzszych ci¬ snieniach niz cisnienia stosowane dotych¬ czas.Sposób wedlug wynalazku jest oparty na spostrzezeniu, iz powodem trudnosci przy rozpraszaniu katodowem jest warstwa gazu o malej grubosci, która powstaje na powierzchni rozpylanego metalu, a to z po¬ wodu adsorpcji chemicznej lub aktywnej.Jako adsorpcje aktywna nalezy rozumiec adsorpcje gazów do cial stalych, polega¬ jaca na dzialaniu pierwotnych sil poten¬ cjalnych, która to adsorpcja, jak sie oka¬ zuje, dopiero po przekroczeniu pewnej temperatury zwieksza sie, skoro tempera¬ tura zostaje podwyzszona do pewnej gra¬ nicy, i nie moze byc w tym przypadku u- sunieta jedynie przez zmniejszenie prezno¬ sci (patrz H. Dohse i H. Mark ,,Die Ad- sorption von Gasen und Dampfen an fe- sten Kórpern", Akademische Verlagsge- sellschaft m. b. H. 1933, S. 18, szczegól¬ nie str. 66, ustep 3, jakotez James William Mc. Bain ,,The absorption of gases and vapours by solids", London, George Rout- ledge and Sons Ltd. 1932, str. 475 i 479 — 481).W sposobie wedlug wynalazku usuwa sie wymieniona warstwe gazu przed rozpo¬ czeciem rozpylania wzglednie równocze¬ snie z rozpoczeciem rozpylania, a miano-wicie w temperaturach powyzej 800°C. Do¬ brze jest przeprowadzac ten zabieg w o- becnosci gazu, który laczy sie chemicznie z gazem zwiazanej warstwy.Temperatura, do której nalezy ogrzac katode, zalezy od rodzaju rozpraszanego metalu, chemicznych wlasciwosci gazu na¬ pelniajacego i rodzaju zwiazanej warstwy gazu* Przy stosowaniu elektrod z pewnych metali temperatura powyzsza odpowiada temperaturze bialego zaru, a przy elektro¬ dach np. z platyny lub wolframu przekra¬ cza ona 1300°C. Ogrzewanie elektrody do pozadanej temperatury i utrzymywanie jej w tej temperaturze moze byc dokonywane w sposób dowolny. Tak np. katode mozna ogrzewac zapomoca pradu, powodujacego rozpylanie, lub tez, bezposrednio stosujac oddzielny obwód pradu.W pewnych przypadkach dobrze jest zapobiegac podczas usuwania warstwy ga¬ zu z elektrod doprowadzaniu rozproszone¬ go metalu na powlekany przedmiot przez umieszczenie np. pomiedzy tym przedmio¬ tem a elektrodami odpowiedniej prze¬ gródki.Temperature, konieczna do usuwania warstwy gazu, mozna zmniejszyc stosujac jonizowanie gazu napelniajacego lub zwiek¬ szajac jego jonizacje np. dzialaniem elek¬ trod pomocniczych. Ten sam cel osiaga sie zapomoca promieni rentgenowskich, otrzy¬ mywanych dzialaniem radu, lub zapomoca elektrod rozpylanych.Sposób wedlug wynalazku nadaje sie przy dowolnem rozpraszaniu katod, a wiec np. przy wyrobie grzejników, oporników elektrycznych i luster.Przyklad I. W celu rozproszenia na katodzie kobaltu stosuje sie jako elektrody tasmy z kobaltu o szerokosci 4 mm i gru¬ bosci 2 mm, a jako gaz napelniajacy —- wodór. Usuwanie warstwy gazu przepro¬ wadza sie przy cisnieniu 0,36 mm vslupa rteci a katody ogrzewa sie do temperatury mniej wiecej 1100°C. Przylegajaca war* Druk L. Boguslawski) stwa gazu (tlen) zostaje usunieta w przy¬ blizeniu w przeciagu 1 minuty. Nastepnie przeprowadza sie rozpraszanie przy napie¬ ciu 20Ó0 V w przeciagu mniej wiecej 5 mi¬ nut. Otrzymuje sie warstwe kobaltu o gru¬ bosci mniej wiecej 40 milimikronów.Przyklad II. Do rozpraszania molibde¬ nu stosuje sie druty z tego metalu o sred¬ nicy 0,8 mm, a jako gaz napelniajacy — wodór. Usuwanie warstwy gazu przepro¬ wadza sie przy cisnieniu 0,4 mm slupa rte¬ ci, a katody ogrzewa sie do temperatury 1200°C. Warstwa zostaje usunieta w prze¬ ciagu mniej wiecej 2 minut, a nastepnie molibden zostaje rozproszony w przeciagu 4 minut przy napieciu mniej wiecej 1400 V.Otrzymuje sie warstwy molibdenu o gru¬ bosci mniej wiecej 40 milimikronów. PL

Claims (3)

1. Zastrzezenia pat entowe. 1. Sposób rozpraszania katodowego, znamienny tern, ze warstwe gazu, zwiaza¬ na na powierzchni elektrody dzialaniem pochlaniania chemicznego lub aktywnej wzglednie aktywowanej adsorpcji, usuwa sie przed rozpraszaniem lub przy rozpo¬ czeciu rozpraszania stosujac temperatury powyzej 800°C.
2. 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamien¬ ny tern, ze usuwanie warstwy gazu prze¬ prowadza sie w obecnosci gazu napelnia¬ jacego, który laczy sie chemicznie z gazem warstwy usuwanej.
3. 3. Sposób wedlug zastrz. 1, znamien¬ ny tern, ze usuwanie warstwy gazu prze¬ prowadza sie w obecnosci gazu napelnia¬ jacego, który zostaje zjonizowany podczas usuwania warstwy gazowej wzglednie kto* rego jonizacja zostaje zwiekszona podczas wymienionego zabiegu. La Dispersion Ca thodiaue, S. A. Zastepca: Inz. H. Sokal, rzecznik patentowy. jo i Ski, Warszawa. PL