PL236571B1 - Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych - Google Patents

Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych Download PDF

Info

Publication number
PL236571B1
PL236571B1 PL410079A PL41007914A PL236571B1 PL 236571 B1 PL236571 B1 PL 236571B1 PL 410079 A PL410079 A PL 410079A PL 41007914 A PL41007914 A PL 41007914A PL 236571 B1 PL236571 B1 PL 236571B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
plasma
chamber
reactor
plasmochemical
applying coatings
Prior art date
Application number
PL410079A
Other languages
English (en)
Other versions
PL410079A1 (pl
Inventor
Tadeusz UHL
Tadeusz Uhl
Karol Kyzioł
Karolina Kozłowska
Piotr Żakiewicz
Original Assignee
Akademia Gorniczo Hutnicza Im Stanislawa Staszica W Krakowie
Ec Grupa Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia
Innowacja Polska Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Akademia Gorniczo Hutnicza Im Stanislawa Staszica W Krakowie, Ec Grupa Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia, Innowacja Polska Spolka Z Ograniczona Odpowiedzialnoscia filed Critical Akademia Gorniczo Hutnicza Im Stanislawa Staszica W Krakowie
Priority to PL410079A priority Critical patent/PL236571B1/pl
Publication of PL410079A1 publication Critical patent/PL410079A1/pl
Publication of PL236571B1 publication Critical patent/PL236571B1/pl

Links

Landscapes

  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych, celem przedłużenia czasu ich eksploatacji charakteryzuje się tym, oczyszczoną nakładkę wykonaną z materiału kompozytowego na osnowie polimeru, umieszcza się w reaktorze RF CVD i odpompowuje się w układzie do próżni (5 • 10-5 ÷ 1 • 10-6 Tr), poddaje procesowi trawienia jonowego i funkcjonalizacji powierzchni w czasie 10 minut w temperaturze pokojowej, dozując do komory reaktora RF, Ar i pokrywa powłoką DLC, podlegającą następnie procesowi depozycji w czasie 60 minut, w temperaturze pokojowej, poprzez dozowanie do komory reaktora RF mieszaniny reakcyjnej, CH4, H2, Ar, przy ciśnieniu w komorze nie mniejszym niż 0.1 Tr, jonizując cząsteczki mieszaniny gazowej do powstania plazmy.

Description

Opis wynalazku
Przedmiotem wynalazku jest plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych, celem przedłużenia czasu ich eksploatacji.
Znane jest powszechne zastosowanie technologii nanoszenia powłok w celu uzyskiwania powłok oraz powłok przeciwużyciowych na metalach i ich stopach. Znane jest również zastosowanie tej technologii do uzyskiwania powłok na tworzywach sztucznych, przy czym nie występują przemysłowe zastosowania wykorzystania tej technologii.
Znane są również metody polegające na mocowaniu do stalowych powierzchni czołowych zderzaków nakładek w celu przeniesienia procesu zużycia tribologicznego właśnie na te nakładki. Gdy następuje ich zużycie uniemożliwiające dalszą eksploatację zderzaka, wymienia się jedynie nakładki. Bez zastosowania takich nakładek konieczna byłaby wymiana całej pochwy zderzaka, z którą stalowa powierzchnia czołowa zderzaka jest nierozłącznie związana. Dąży się do ograniczenia zużycia także nakładek w celu zmniejszenia częstotliwości przeprowadzania operacji serwisowych związanych z ich wymianą.
Znany jest z amerykańskiego opisu patentowego US5976308A reaktor wykorzystujący komorę próżniową oraz antenę wysokoczęstotliwościową w celu chemicznego nakładania powłok. Antena powoduje wygenerowanie plazmy w reaktorze za pomocą sprzężenia indukcyjnego W innych wariantach wynalazku reaktor wyposażony jest w urządzenia do wstrzykiwania plazmy z prędkością ponaddźwiękową, w obszar komory powyżej próbki m. in. wykorzystuje do tego proste dysze wstrzykujące plazmę do wewnątrz komory próżniowej.
Znany jest z niemieckiego opisu patentowego DE19718518A1 proces nakładania warstwy diamentowej za pomocą plazmy wykorzystujący podłoże dla substratu o regulowanej temperaturze, w trakcie którego następuje chłodzenie substratu na który nakłada się materiał. Chłodzenie dokonuje się za pomocą substancji ciekłej przepuszczanej przez podłoże oraz za pomocą strumienia gazu który schładza powierzchnię podłoża skierowaną ku substratowi.
Znana jest z amerykańskiego zgłoszenia patentowego US2009229657A1 przeźroczysta przewodząca warstwa oraz metoda jej nakładania przy pomocy plazmy generowanej za pomocą impulsów elektrycznych. Metoda obejmuje umieszczenie substratu w reaktorze, stworzenie w nim atmosfery o składzie korzystnie obejmującym gaz poddający się jonizacji, taki jak argon, oraz kolejne nałożenie na substrat dwóch warstw cienkiego filmu z których pierwsza jest warstwą nieprzewodzącą elek trycznie z tlenku metalu, natomiast druga warstwa jest warstwą przewodzącą prąd elektryczny, z tlenku metalu.
Znany jest z amerykańskiego zgłoszenia patentowego US2004200417A1 proces chemicznego nakładania powłok w niskich temperaturach obejmujący wykorzystanie toroidalnego przepływu plazmy. Proces zakłada umieszczenie substratu w komorze reaktora następnie wprowadzenie doń mieszanki gazowej zawierającej nakładany półprzewodnik, później wytworzenie w nim toroidalnego przepływu plazmy przy utrzymaniu temperatury substratu poniżej 100 stopni Celsjusza.
Znany jest z amerykańskiego opisu patentowego US9410242B2 mikrofalowy, plazmowy reaktor do nakładania powłok. Reaktor posiada komorę plazmową, nośnik substratu, komponenty do wytwarzania promieniowania mikrofalowego oraz system przepływu gazu, przy czym nośnik otoczony jest przez pierścień przewodzący prąd, stabilizujący plazmę.
Znany jest ze zgłoszenia patentowego WO2015187389A3 mikrofalowy komorowy reaktor plazmowy do nakładania powłok oraz sposób mikrofalowego, wspomaganego plazmą, nakładania materiału takiego jak diament. Proces wykorzystuje reaktor mikrofalowy wyposażony w komorę mikrofalową, zaopatrzoną m. in. w źródło promieniowania elektromagnetycznego, przechodzącą w komorę plazmową następnie w segment przewodzący który zawiera substrat. Sposób zakłada, po uprzednim dostrojeniu reaktora za pomocą jego próbnego uruchomienia, które umożliwia identyfikację pożądanych warunków jego pracy, uruchomienie reaktora pod ciśnieniem od 10 do 760 Torów w warunkach pracy zidentyfikowanych we wcześniejszym kroku.
Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych według wynalazku polega na tym, że oczyszczoną rozpuszczalnikiem organicznym, np. C2H50H, nakładkę wykonaną z materiału kompozytowego na osnowie polimeru, korzystnie polimidu6 (PA6), umieszczoną w reaktorze RF CVD odpompowuje się w układzie do próżni (5-10-5 : 1-10-6 Tr), poddaje procesowi trawienia jonowego i funkcjonalizacji powierzchni w czasie 10 minut w temperaturze pokojowej, po uzyskaniu poziomu próżni, korzystnie 1-10-6Tr, dozując do komory reaktora RF Ar, przepływający
PL 236 571 B1 z szybkością 200 cm3/min i ciśnieniu w komorze, korzystnie 0.4 Tr, następnie z wykorzystaniem generatora fal radiowych, korzystnie 13.56 MHz, jonizuje się cząsteczki do powstania plazmy argonowej, przy mocy generatora plazmy korzystnie 10 W. Następnie poddaje się procesowi depozycji powłokę DLC na powierzchni PA6 w czasie 60 minut, w temperaturze pokojowej i ciśnieniu w komorze nie mniejszym niż 0.1 Tr. Do komory reaktora RF dozuje się mieszaninę reakcyjną CH4, H2, Ar, o stosunku przepływu CH4/H2/Ar=8/80/50, przy ciśnieniu, korzystnie 0.2 Tr. Następnie z wykorzystaniem generatora fal radiowych, korzystnie 13.56 MHz, jonizuje się cząsteczki mieszaniny do powstania plazmy, przy mocy generatora plazmy, korzystnie 80 W. Po procesie układ odpompowuje się i wyciąga nakładkę z reaktora.
Celem wynalazku jest modyfikacja powierzchni nakładek w procesie plazmochemicznym przez naniesienie powłoki prowadzące do ograniczenia zużycia nakładek, bez potrzeby modyfikacji technologii ich wytwarzania. Pozwala to uniknąć czasochłonnych, generujących koszty badań, o niepewnym rezultacie. Dodatkowo, uzyskuje się większe możliwości smarne otrzymanej powłoki, co wynika z różnego udziału wiązań sp2/sp3 w poszczególnych jej warstwach atomowych. Warstwy wierzchnie powłoki są bogatsze w stany sp2. Takie rozwiązanie w rezultacie ogranicza stosowanie substancji smarnych na nakładki.
Korzystnym skutkiem wynalazku jest zwiększenie odporności na zużycie tribologiczne powierzchni nakładki prowadzące do wydłużenia jej czasu eksploatacji. Umożliwia to zmniejszenie częstotliwości wykonywania prac serwisowych związanych z wymianą zużytych nakładek.

Claims (4)

  1. Zastrzeżenia patentowe
    1. Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych, znamienny tym, że oczyszczoną nakładkę wykonaną z materiału kompozytowego na osnowie polimeru, umieszczoną w reaktorze RF CVD odpompowuje się w układzie do próżni (5-10-5 : 1-10-6 Tr), poddaje procesowi trawienia jonowego i funkcjonalizacji powierzchni w czasie 10 minut w temperaturze pokojowej, dozując do komory reaktora RF, Ar i pokrywa powłoką DLC, podlegającą następnie procesowi depozycji w czasie 60 minut, w temperaturze pokojowej, poprzez dozowanie do komory reaktora RF mieszaniny reakcyjnej CH4, H2, Ar, przy ciśnieniu w komorze nie mniejszym niż 0.1 Tr, jonizując cząsteczki mieszaniny gazowej do powstania plazmy.
  2. 2. Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok według zastrz. 1, znamienny tym, że nakładka wykonana jest korzystnie z poliamidu6 (PA6).
  3. 3. Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok według zastrz. 1, znamienny tym, że po uzyskaniu poziomu próżni, korzystnie 1-10-6 Tr, do komory reaktora RF dozuje się Ar, przepływający z szybkością 200 cm3/min i ciśnieniu w komorze, korzystnie 0.4 Tr, następnie z wykorzystaniem generatora fal radiowych, korzystnie 13.56 MHz, jonizuje się cząsteczki do powstania plazmy argonowej, przy mocy generatora plazmy, korzystnie 10 W.
  4. 4. Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok według zastrz. 1, znamienny tym, że w procesie depozycji powłoki DLC na powierzchni PA6, do komory reaktora RF dozuje się mieszaninę reakcyjną CH4, H2, Ar, o stosunku przepływu CH4/H2/Ar=8/80/50 i ciśnieniu, korzystnie 0.2 Tr, następnie z wykorzystaniem generatora fal radiowych, korzystnie 13.56 MHz, jonizuje się cząsteczki do powstania plazmy, przy mocy generatora plazmy, korzystnie 80 W.
PL410079A 2014-11-06 2014-11-06 Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych PL236571B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL410079A PL236571B1 (pl) 2014-11-06 2014-11-06 Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL410079A PL236571B1 (pl) 2014-11-06 2014-11-06 Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL410079A1 PL410079A1 (pl) 2016-05-09
PL236571B1 true PL236571B1 (pl) 2021-01-25

Family

ID=55910574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL410079A PL236571B1 (pl) 2014-11-06 2014-11-06 Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL236571B1 (pl)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19718518A1 (de) * 1997-05-02 1998-11-05 Daimler Benz Ag Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Diamant auf einem Substrat
US5976308A (en) * 1993-08-27 1999-11-02 Applied Materials, Inc. High density plasma CVD and etching reactor
US20040200417A1 (en) * 2002-06-05 2004-10-14 Applied Materials, Inc. Very low temperature CVD process with independently variable conformality, stress and composition of the CVD layer
US20090229657A1 (en) * 2008-03-17 2009-09-17 Nanopv Technologies Inc. Transparent conductive layer and method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5976308A (en) * 1993-08-27 1999-11-02 Applied Materials, Inc. High density plasma CVD and etching reactor
DE19718518A1 (de) * 1997-05-02 1998-11-05 Daimler Benz Ag Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung von Diamant auf einem Substrat
US20040200417A1 (en) * 2002-06-05 2004-10-14 Applied Materials, Inc. Very low temperature CVD process with independently variable conformality, stress and composition of the CVD layer
US20090229657A1 (en) * 2008-03-17 2009-09-17 Nanopv Technologies Inc. Transparent conductive layer and method

Also Published As

Publication number Publication date
PL410079A1 (pl) 2016-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100775789B1 (ko) 소수성 또는 초소수성 처리를 위하여 상압 플라즈마를이용한 표면코팅방법
JP5378552B2 (ja) 非晶質炭素膜、非晶質炭素膜の形成方法、非晶質炭素膜を備えた導電性部材および燃料電池用セパレータ
CN101802259B (zh) 用于大气压力下的甚高频等离子体辅助cvd的设备和方法及其应用
TWI846716B (zh) 電漿噴塗系統及方法
CN103695869A (zh) 一种石墨烯薄膜的制备方法
KR20110115291A (ko) Dlc 코팅장치
Wang et al. Mechanism of Al2O3 coating by cathodic plasma electrolytic deposition on TiAl alloy in Al (NO3) 3 ethanol-water electrolytes
US20220127726A1 (en) Methods and apparatuses for deposition of adherent carbon coatings on insulator surfaces
Ladwig et al. Atmospheric plasma deposition of glass coatings on aluminum
CN114008153A (zh) 导电性涂料及使用该导电性涂料的屏蔽封装体的制造方法、以及含有屏蔽层的树脂成型品的制造方法
Singh et al. Field-enhanced chemical vapor deposition: new perspectives for thin film growth
KR101688175B1 (ko) 플라즈마 결합형 패럴린 코팅장치
PL236571B1 (pl) Plazmochemiczny sposób nanoszenia powłok na nakładki w zderzakach kolejowych
JPWO2017068931A1 (ja) 電磁波吸収遮蔽体及びその製造方法
DE102008064134A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Gegenständen mittels eines Niederdruckplasmas
CN103194714B (zh) 一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法
Sohbatzadeh et al. Development of a radio frequency atmospheric pressure plasma jet for diamond-like carbon coatings on stainless steel substrates
CN109280889A (zh) 聚对二甲苯有机高分子薄膜干式镀膜制程
KR20160001133U (ko) 파이프 내면 코팅장치
CN103714880B (zh) 防止高压线表面电晕放电和污闪的陶瓷材料及喷涂方法
DE102012209650B4 (de) Plasma-unterstütztes chemisches Gasabscheidungs-Verfahren mit erhöhter Plasmadichte
EP1893784A2 (en) Method and apparatus for producing a coating on a substrate
Batan et al. Evidence of covalent bond formation at the silane–metal interface during plasma polymerization of bis-1, 2-(triethoxysilyl) ethane (BTSE) on aluminium
Wang et al. Deposition of polymer thin film using an atmospheric pressure micro-plasma driven by dual-frequency excitation
CN102041470B (zh) 具有穿孔零件的镀膜工艺及设备