PL19767B1 - Sposób powlekania przedmiotów warstwa metalu zapomoca rozpylania katodowego. - Google Patents

Sposób powlekania przedmiotów warstwa metalu zapomoca rozpylania katodowego. Download PDF

Info

Publication number
PL19767B1
PL19767B1 PL19767A PL1976732A PL19767B1 PL 19767 B1 PL19767 B1 PL 19767B1 PL 19767 A PL19767 A PL 19767A PL 1976732 A PL1976732 A PL 1976732A PL 19767 B1 PL19767 B1 PL 19767B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
electrodes
objects
metal layer
coating
sputtering
Prior art date
Application number
PL19767A
Other languages
English (en)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of PL19767B1 publication Critical patent/PL19767B1/pl

Links

Description

Oddawna znany jest sposób wytwarza¬ nia na powierzchni przedmiotów cienkich warstw metalowych zapomoca rozpylania katodowego. Sposób powyzszy ma jednakze male zastosowanie w technice z tego powo¬ du, ze przewazna czesc pradu, doprowadzo¬ na do elektrod, przemienia sie w cieplo Joule'a. Tworzace sie cieplo oddzialywa oczywiscie niekorzystnie na przedmioty, po¬ wlekane metalem, zwlaszcza na materjaly, wrazliwe na cieplo, jak wosk, sprezyny, materjaly jedwabne i t. d.Znane chlodzenie elektrod, wprowa¬ dzone od roku 1925, dzieki któremu odpro¬ wadzono glówna czesc ciepla Joule'a, bylo postepem w tym sposobie.Dzieki temu mozliwe jest powlekanie metalem materjalów, wrazliwych na cieplo, przyczem osiaga sie pewne przyspieszenie procesu, poniewaz mozna stosowac wieksze natezenie pradu, bez obawy, iz doprowa¬ dzany prad bedzie oddzialywal w postaci szkodliwego ciepla; jednakze wydajnosc ta: kiego procesu jest nadzwyczaj mala.Wynalazek polega na tern, ze stosuje sie wieksza ilosc cienkich elektrod z drutu lub tasmy, których srednice sa takie same, jak dlugosci swobodnych dróg atomów me¬ talu. W ten sposób osiaga sie wysoka wy¬ dajnosc procesu oraz ochrone przedmio¬ tów, wrazliwych na cieplo. Mozna to wy¬ tlumaczyc znanem zjawiskiem, ze przy nieznacznej srednicy elektrod zmniejsza sie powrotna dyfuzja oderwanych jonówmetalu do eiektrody, dzieki Czemu wzrasta ich rozpylenie.Wedlug dzisiejszego stanu wiedzy fiije fe- siaga sie coprawda przyspieszenia rozpyle¬ nia elektrod przez ogrzanie. Tkk np. poda* je E. Blechschmidt (Ajnn. d. Phys. 81 S. 1016, 1926), iz przyspieszenie rozpylenia katody nie nastepuje przez ogrzanie tak dlugo, az ogrzanie to przeniesie sie do prze¬ strzeni gazowej. Stwierdzono jednakze, iz mozna osiagnac znaczne przyspieszenie roz¬ pylania, jefli elektrodom fiad«ic wyze| po¬ dana postac i ogrzewac je. Ogrzewanie elektrod moze byc uskuteczniane znanym sposobem, np. przez $ekfr^£ne*o^iewapie oporowe albo wskutek zastosowania pradu o duzej czestotliwosci. Dobre wyniki daje takie dostosowanie przekroju elektrod do sily pradu, aby zadana podwyzka tempera¬ tury elektrod rozpylanych nastepowala sa¬ moczynnie wskutek bombardowania jonów, Ogrzane elektrody wytwarzaja dookola sie¬ bie goraca strefe o nieznacznej glebokosci, co sprawia, iz dlugosc swobodnej drogi w strefie tej jest znacznie wieksza, niz to od¬ powiada normalnemu cisnieniu w przestrze¬ ni gazowej. Dzieki temu, iz w tej goracej strefie zwieksza sie dlugosc swobodnej drogi, zmniejsza sie w dalszym ciagu dyfu¬ zja powrotna, podczas gdy z drugiej strony termicznie pobudzone czasteczki gazowe (wskutek wiekszej zdolnosci do jonizacji) latwiej powracaja do katody. Prócz tego przyrostu, polegajacego na ogrzaniu prze¬ strzeni gazowej, nastepuje dalsze zwiek¬ szenie intensywnosci rozpylania, a tern sa¬ mem zwiekszenie wydajnosci dzialania pra¬ du, prawdopodobnie przez to, iz wskutek malego promienia krzywizny, jaki posiada powierzchnia elektrod, oraz ich wyzszej temperatury odrzucane zostaja czasteczki, dyfundujace zpowrotem, czyli nie przycze¬ piaja sie one do elektrod. Wskutek tego, iz termicznie pobudzone czasteczki gazu la¬ twiej powracaja do elektrody, unika sie przedostawania sie nadmiaru ciepla do przestrzeni gazowej. A zatem zachodzi po¬ zorny paradoks, ze bardzo wrazliwy przed- imtot, powlekany metalem, jak np. plyta woskowa, ^pobiera mniej ciepla, jesli stosu¬ je sie cienkit w postaci drutu elektrody, o- grzane do czerwonego zaru, anizeli przy stosowaniu elektrod o duzej srednicy, które chlodzi sie woda i które wskutek tego po¬ siadaja nizsza temperature. v Opisane dzialanie nie polega na termicz- nem parowaniu, poniewaz intensywne roz- ; pylami* Wystepujeguij; przy temperaturach, przy których skutecznego cisnienia par ma- ,, terj^lu elektrodowego nie mozna jeszcze i^kr^c. 2e stóspw;anie cienkich elektrod powoduje dotychczas niezaobserwowane skutki, wynika to z ponizszych uwag.Dotychczas bylo zasada, iz wrazie zwiekszenia napiecia i zmniejszenia cisnie¬ nia nastepuje wzrost rozpylania. Przy uzy¬ ciu cienkich elektrod zasada powyzsza tra¬ ci swe znaczenie, stwierdzono raczej, ze za kazdym razem wystepuje najlepsze rozpy¬ lanie, zalezne od srednicy elektrod oraz odstepu poszczególnych elektrod od siebie.Przyklad I. Przy cisnieniu absolutnem 0,1 mm slupa Hg, co odpowiada dlugosci swobodnej drogi okolo 0,3 mm, stosuje sie jako elektrode duza ilosc zlotych drucików o srednicy 0,3 mm przy odstepie 20 mm po¬ miedzy poszczególnemi drucikami. Przy u- zyciu C02 jako gazu wypelniajacego, oka¬ zuje sie, iz najlepsze rozpylanie otrzymuje sie przy napieciu 1050 V. Parzy obnizeniu cisnienia do 0,03 mm Hg, przy napieciu 1460 V intensywnosc rozpylania wynosi tylko polowe tej intensywnosci, jaka istnia¬ la w wyzej przytoczonych warunkach. W obu przypadkach stosuje sie jednakowe na¬ tezenie pradu.Przyklad II. Przy absolutnem cisnieniu 0,25 mm slupa Hg, co odpowiada dlugosci swobodnej drogi dla atomów srebra okolo 0,4 mm, stosuje sie jako elektrody srebrne druty o 0,23 mm srednicy w odstepach 40 ram. Przy uzyciu wodoru jako gazu wy- — 2 —pelniajacego uzyskuje sie bardzo duza szyb¬ kosc rozpylania.Przyklad III. Przy uzyciu drucików z czystego srebra o srednicy 0,3 mm jako elektrod posrebrza sie film z acetylocelu¬ lozy. Jako gaz wypelniajacy stosuje sie wodór. Cisnienie wynosi 0,09 mm slupa Hg, co odpowiada dlugosci swobodnej drogi atomu srebra 0,1 mm przy napieciu 1400 v i natezeniu 190 miliamperów. Po 4 minu¬ tach wyjeto film z aparatury, przyczem u- zyskano warstewke grubosci 90 jll. Dla przeciwstawienia posrebrza sie taki sam film elektroda surowa o srednicy 10 mm, chlodzona woda. Potrzeba 50 minut, aby osiagnac równie gruba warstewke srebra. PL

Claims (2)

  1. Zastrzezenia patentowe. 1. Sposób powlekania przedmiotów warstwa metalu zapomoca rozpylania kato¬ dowego, znamienny tern, ze stosuje sie o- grzane elektrody, których grubosc jest ta¬ ka sama, jak dlugosc swobodnych dróg ato¬ mów metalu.
  2. 2. Sposób wedlug zastrz. 1, znamien¬ ny tern, ze stosuje sie wieksza ilosc cien¬ kich elektrod w postaci drucików lub tasm. Julius v. Bossc, Kurt Richter. Zastepca: Dr. inz. M. Kryzan, rzecznik patentowy. Druk L. Boguslawskiego i Ski, Warszawa. PL
PL19767A 1932-03-21 Sposób powlekania przedmiotów warstwa metalu zapomoca rozpylania katodowego. PL19767B1 (pl)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL19767B1 true PL19767B1 (pl) 1934-03-31

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Mi et al. Plasma formation mechanism of microarc oxidation
US2665229A (en) Method of coating by vapor deposition
US2665475A (en) Highly refractory body
SU1069611A3 (ru) Электрод-инструмент дл электроэрозионной вырезки
BR112015011879B1 (pt) Método de produção de eletrodo para eletrólise
US2795040A (en) Joining metals having high temperature melting points
US2771666A (en) Refractory bodies
Huang et al. Study on the influence of metal particles on the characteristics of high-current vacuum arc plasma
US2188399A (en) Electric resistance element
PL19767B1 (pl) Sposób powlekania przedmiotów warstwa metalu zapomoca rozpylania katodowego.
US2305539A (en) Electrode
US3635824A (en) Resistance heater and method for preparation thereof
US3765944A (en) Battery having a molten alkali metal polysulfide catholyte and carbon coated metallic electrode for use therein
Mallory Ternary and quaternary electroless nickel alloys
PL80089B1 (pl)
US4239604A (en) Selective layer for absorbing compartment of solar collectors
RU2066514C1 (ru) Способ изготовления резистивного нагревательного элемента
JPH03100193A (ja) 電極保護体
GB713929A (en) Selenium rectifiers and method of manufacture
US3469074A (en) Method of electrically heating an aqueous electrolyte
US1752239A (en) Protection of metals
US1738044A (en) Electric material and process for making same
EP0334007B1 (de) Verfahren zur Verringerung des Abbrands von Graphitelektroden
JPS59169723A (ja) 放電加工用電極ワイヤ
US1232843A (en) Electrical resistance element and process of making the same.