PL161619B1 - Sodium-calcium glass panel - Google Patents
Sodium-calcium glass panelInfo
- Publication number
- PL161619B1 PL161619B1 PL88276000A PL27600088A PL161619B1 PL 161619 B1 PL161619 B1 PL 161619B1 PL 88276000 A PL88276000 A PL 88276000A PL 27600088 A PL27600088 A PL 27600088A PL 161619 B1 PL161619 B1 PL 161619B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- layer
- glass
- thickness
- ions
- wavelength
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 31
- VEUACKUBDLVUAC-UHFFFAOYSA-N [Na].[Ca] Chemical compound [Na].[Ca] VEUACKUBDLVUAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 17
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- -1 carbon ions Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 claims abstract description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 8
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000003251 Pruritus Diseases 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 230000007803 itching Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/0055—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by ion implantation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
A rkusz szkla sodow o-w apn iow ego o odbiciu energii 7% i wspólczynniku zalam ania 1,52 jak o w artosc srednia dla dlugosci fal sw iatla bialego i m aksym alnym odbiciu energii 15,9% przy dlugosci fali 1 µm, znamienny tym, ze po siad a pierw sza warstwe zaw ierajaca jony azotu i karboniow e w stosunku 85:15, implan- tow ane na grubosci 0,186 µ m w tym szkle, druga warstwe wolna od im plantowanych jonów , lezaca pod pierw sza warstwa i m ajaca grubosc 0,136 µ m oraz trzecia warstwe lezaca pod druga warstwa i zaw ierajaca jony azotku 1 karboniow e w stosunku 85:15 im plantowane na grubosci 0,234 µ m. F lG .1 PL PL
Description
Przedmiotem wynalazku jest arkusz szkła sodowo-wapniowego o poprawionych własnościach przepuszczania i odbijania energii promienistej.
Arkusze szkła stosowane zwykle w samochodach osobowych, samolotach i ogólnie w środkach transportu jak również w dziedzinie budownictwa przepuszczają i odbijają ilość energii cieplnej i świetlnej różniącą się od padającej w zależności od własności szkła.
Własności szkła mogą być poprawione przez osadzenie jednej lub więcej cienkich warstw z właściwych materiałów na jednej lub obu powierzchniach zewnętrznych przy pomocy operacji znanych w stanie techniki jako rozpylanie katodowe i osadzanie chemiczne w stanie gazowym.
Cienkie warstwy osadzone zewnętrznie na szkle mogą zostać porysowane przez ciała stałe, być ścierane w niekorzystnych warunkach otoczenia (kurz, grad, gazy zanieczyszczające i podobne) oraz ich przyczepność do podłoża może pogorszać się w wyniku niezgodności chemicznej z samym podłożem lub niedostatecznej czystości. Wadliwe działanie urządzenia do osadzania może powodować powstanie niejednorodności warstwy. Przy oddziaływaniu na warstwy zewnętrzne wysokiej temperatury mogą one wykazywać tendencję do uszkodzeń i pęknięć.
Znana jest metoda implantacji jonowej wykorzystywana do modyfikacji powierzchni. Dzięki tej metodzie jest możliwe otrzymanie po obróbce materiałów o właściwościach mechanicznych, elektrycznych, optycznych, chemicznych i fizycznych różniących się od pierwotnych, w celu poprawienia tych własności lub uzyskania nowych stopów o danych własnościach. Szczegółowy opis tego można znaleźć w publikacji „Implantacja jonowa i technologia wiązkowa11 J. S. Williamsa i J. M. Poate'a, wydajnej przez Academic Press.
W technologii wytwarzania elementów mikroelektronicznych jest obecnie stosowana metoda implantacji jonów o wielkiej energii, w której jony są zdolne do wnikania na głębokości kilku mikrometrów poniżej powierzchni styku z powierzchnią zewnętrzną podłoża krzemowego, na którym są zbudowane mikroobwody.
Dzięki zastosowaniu tej metody jest możliwe, na przykład w wyniku implantacji jonów tlenu, uzyskanie odizolowanych elektrycznie warstw zanurzonych w krzemie i następnie domieszkowanie krzemu na mniejszą głębokość dla uzyskania warstw przewodzących. W ten sposób mikroobwody mogą być zbudowane wewnątrz podłoża krzemowego zamiast na zewnątrz. Mikroobwody tak uzyskane są zwykle nazywane „mikroobwodami zagrzebanymi.
Metoda implantacji jonowej stosowana do uzyskania wielowarstwowych filtrów zagrzebanych jest przedstawiona w opisie patentowym Stanów Zjednoczonych Ameryki nr 4 262 056, który ujawnia, że implantacja azotu w krzemie w temperaturze pomiędzy 600 i 1000°C powoduje wytworzenie warstw S12N4 na różnych poziomach, przeplatających się z warstwami czystego krzemu.
W ten sposób wytworzenie nowego materiału jest przeprowadzane w warstwie, która podlegała implantacji, a która w wyniku wykazuje współczynnik załamania różniący się od współczynnika załamania materiału pierwotnego. Filtr ten może być jednak zastosowany tylko w zakresie podczerwieni i jest nieprzezroczysty dla światła białego.
161 619
Znany jest z opisu patentowego Wielkiej Brytanii nr 1 561 784 element optyczny zawierający podłoże i warstwę optyczną utworzoną przez bombardowanie jonowe dla implantacji jonów atomów lub cząsteczek materiału przez powierzchnię podłoża, stosując energie wystarczające do wytwarzania warstwy optycznej, przynajmniej w części podłoża. Stosowanymi jonami są tu glin, chrom, złoto, rtęć i srebro.
Znany jest z opisu patentowego Stanów Zjednoczonych Ameryki nr 4 465 337 szklany element przepuszczający światło o minimalnym współczynniku odbicia światła od powierzchni wyjściowej, mający określony współczynnik załamania materiału szklanego. Warstwa z implantowanymi jonami, zwykle o jednorodnej grubości w fazie zagrzebanej, jest umieszczona w określonej odległości w tym elemencie poniżej powierzchni wyjściowej i ma współczynnik załamania większy niż współczynnik załamania materiału szklanego. Wyrób znajduje zastosowanie w lampach elektronopromieniowych.
Według wynalazku arkusz szkła sodowo-wapniowego o odbicia energii 7% i współczynniku załamania 1,52 jako wartość średnia dla długości fal światła białego i maksymalnym odbiciu energii 15,9% przy długości fali 1 pm, posiada pierwszą warstwę zawierającą jony azotu i karboniowe w stosunku 85:15, implantowane na grubości 0,186pm w tym szkle, drugą warstwę wolną od implantowanych jonów leżącą pod pierwszą warstwą i mającą grubość 0,136pm oraz trzecią warstwę leżącą pod drugą warstwą i zawierającą jony azotu i karboniowe w stosunku 85:15 implantowane na grubość 0,234μπι.
Zaletą wynalazku jest wytworzenie arkuszy szkła zdolnego do przepuszczania i odbijania właściwych ilości energii o dowolnej długości fali, różniącej się od pierwotnie przepuszczanej i odbijanej, możliwych do zastosowania w środkach transportu i/lub w dziedzinie budownictwa i/lub w przemyśle optycznym. Jony są wprowadzone do struktury molekularnej tych warstw, których gęstość jest modyfikowana, modyfikując w wyniku tego współczynnik załamania.
Zaleta sposobu według wynalazku polega zasadniczo na tym, że wówczas gdy warstwy posiadające zmodyfikowany współczynnik załamania są „zagrzebane w szkle, są one całkiem niewrażliwe na jakiekolwiek uszkodzenia powodowane przez źródła zewnętrzne i mogą być w wyniku tego zastosowane we wszystkich warunkach.
Przedmiot wynalazku jest przedstawiony w przykładach wykonania na rysunku, na któiym fig. 1 przedstawia arkusz szklany z dwiema warstwami o różnych współczynnikach załamania, leżącymi obok siebie, fig. 2 - arkusz szklany z dwiema warstwami o różnych współczynnikach załamania, oddzielonymi od siebie przez szkło.
Na figurze 1 i 2 warstwy 1,2 o różnych współczynnikach załamania są wytwarzane w szkle V przez implantację jonową na jego grubości.
Proces jest przeprowadzany przez urządzenie do implantacji jonowej, przystosowane do dostarczania jonów o wystarczająco dużej energii, takie jak urządzenie EATON 1003, które może dostarczać jony o energii do 6 MeV.
Jest więc możliwe wybranie współczynnika załamania poddawanego implantacji szkła na podstawie rodzaju szkła i rodzaju jonów. W rzeczywistości jony argonu, ksenonu, kryptonu, neonu, helu mogą być korzystnie wprowadzane przez implantację do warstw „zagrzebanych w szkle.
Jony dowolnego innego pierwiastka mogą być również korzystnie wprowadzane przez implantację, pod warunkiem, że temperatura i ciśnienie mają takie wartości, że nie reagują one z pierwiastkami składu szkła.
Dalsze modyfikacje przepuszczania energii można uzyskać przez oddziaływanie na pewną liczbę warstw „zagrzebanych, w których jest przeprowadzana implantacja jonowa. Zmiana kombinacji liczby warstw i rodzaju jonów spowoduje oczywiście zmiany charakterystyk energetycznych szkła.
Można zrozumieć, że wynalazek opisany poprzednio może być wykonany w dowolnej postaci objętej przez istotę tego wynalazku.
Przykład I. Sposobem według wynalazku może być wytworzony arkusz szklany o bardzo małym współczynniku odbicia energii, tj. szkło antyrefleksyjne.
Jak przedstawiono na fig. 1, w szkle sodowo-wapniowym V o współczynniku załamania 1,52, zmierzonym jako wartość średma z wartości uzyskanych na podstawie długośd fal świada białego i
161 619 o współczynniku odbicia energii 7%, była przeprowadzana implantacja jonów azotu w warstwie 2 przy zastosowaniu urządzenia do implantacji zdolnego do dostarczania jonów o energii 270 keV i dawce 1 X 1017 jonów/cm2 na grubości skutecznej 0,469 mitoometta. Następnie była przeprowadzana implantacja jonów argonu w warstwie 1 o energu 7°keV i dawce 0,8 χ 1017 jonów/cm2 na grubości 0,186 mikrometra. Podczas implantacji temperatura szkła wyniosła 525°C. W wyniku tej obróbki warstwa 1 uzyskała współczynnik załamania 1,344, podczas gdy warstwa 2 miała współczynnik załamania 1,660. Odkryto, że uzyskane w ten sposób szkło wykazywało przy długości fali 1 mikrometr współczynnik odbicia energii bardzo bliski zeru.
Przykład II. Może zostać wytworzone szkło, które wykazuje wzrost jego współczynnika odbicia energii.
Jak przedstawiono na fig. 2, w szkle sodowo-wapniowym V o współczynniku odbicia energii 7% i współczynniku załamania 1,52, zmierzonym jako wartość średnia z wartości uzyskanych przy długościach fal światła białego, była przeprowadzana implantacja azotowa i karboniowa w warstwie 3, w stosunku 85:15 i z energią 270 keV oraz dawką 1 X 1017 jonów/cm2 na grut>ości 0,234 mikrometra.
Żadnej implantacji nie przeprowadzono w warstwie 2 na grubośd 0,186 m&rometra. Następnie w warstwie 1 była przeprowadzana implantacja jonów azotowych i karbonowych w stosunku 85:15, z energią 100 keV i dawką 1 χ M17 jonów/cm2 na gruboto 0,234 m&rometra. Temperatura szkła wynosiła około 35°°C. Było więc uzyskiwane szkło wykazujące maksymalny współczynnik odbicia energii 15,9% przy długości fali 1 mikrometr.
Zakład Wydawnictw UP RP. Nakład 90 egz.
Cena 10 000 zł
Claims (1)
- Zastrzeżenie patentoweArkusz szkła sodowo-wapniowego o odbiciu energii 7% i współczynniku załamania 1,52 jako wartość średnia dla długości fal światła białego i maksymalnym odbiciu energii 15,9% przy długości fali 1 μτη, znamienny tym, że posiada pierwszą warstwę zawierającą jony azotu i karboniowe w stosunku 85:15, implantowane na grubości 0,186/rm w tym szkle, drugą warstwę wolną od implantowanych jonów, leżącą pod pierwszą warstwą i mającą grubość 0,136/ym oraz trzecią warstwę leżącą pod drugą warstwą i zawierającą jony azotku i karboniowe w stosunku 85:15 implantowane na grubości 0,234 μτη.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT8748645A IT1211939B (it) | 1987-11-27 | 1987-11-27 | Procedimento per la fabbricazione di vetri con caratteristiche energetiche modificate e prodotto cosi'ottenuto |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
PL276000A1 PL276000A1 (en) | 1989-07-24 |
PL161619B1 true PL161619B1 (en) | 1993-07-30 |
Family
ID=11267824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PL88276000A PL161619B1 (en) | 1987-11-27 | 1988-11-26 | Sodium-calcium glass panel |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5098792A (pl) |
EP (1) | EP0318440B1 (pl) |
JP (1) | JPH01167262A (pl) |
KR (1) | KR890008047A (pl) |
AT (1) | ATE89535T1 (pl) |
BR (1) | BR8806230A (pl) |
CA (1) | CA1327770C (pl) |
DD (1) | DD275860A5 (pl) |
DE (1) | DE3881169T2 (pl) |
ES (1) | ES2041835T3 (pl) |
IT (1) | IT1211939B (pl) |
PL (1) | PL161619B1 (pl) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5250098A (en) * | 1992-07-27 | 1993-10-05 | Ford Motor Company | Thermally durable anti-reflective glass |
JP3533950B2 (ja) * | 1998-08-07 | 2004-06-07 | トヨタ自動車株式会社 | 非線形光学シリカ薄膜の製造方法及び非線形光学シリカ素子 |
US20060201078A1 (en) * | 2005-03-10 | 2006-09-14 | Westcrowns Inc. | Reinforced glass and method |
US20060210783A1 (en) * | 2005-03-18 | 2006-09-21 | Seder Thomas A | Coated article with anti-reflective coating and method of making same |
GB201202128D0 (en) | 2012-02-08 | 2012-03-21 | Univ Leeds | Novel material |
FR3002240B1 (fr) * | 2013-02-15 | 2015-07-10 | Quertech Ingenierie | Procede de traitement par un faisceau d'ions pour produire des materiaux en verre antireflet durable |
EP2948978A4 (en) * | 2014-04-24 | 2015-12-16 | Halliburton Energy Services Inc | MANIPULATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF AN INTEGRATED CALCULATION ELEMENT THROUGH ION IMPLANTATION |
US9695081B2 (en) * | 2014-05-15 | 2017-07-04 | Corning Incorporated | Surface nitrided alkali-free glasses |
US10612129B2 (en) * | 2016-06-28 | 2020-04-07 | Corning Incorporated | Thin glass based article with high resistance to contact damage |
CN112533882A (zh) * | 2018-06-14 | 2021-03-19 | 旭硝子欧洲玻璃公司 | 降低用于透射红外光的基板的反射率 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1561784A (en) * | 1976-11-23 | 1980-03-05 | Atomic Energy Authority Uk | Optical components |
US4262056A (en) * | 1978-09-15 | 1981-04-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Ion-implanted multilayer optical interference filter |
US4465337A (en) * | 1982-03-05 | 1984-08-14 | Westinghouse Electric Corp. | Reduced reflectivity member and ion implantation method of fabrication |
AT382040B (de) * | 1983-03-01 | 1986-12-29 | Guenther Stangl | Verfahren zur herstellung von optisch strukturierten filtern fuer elektromagnetische strahlung und optisch strukturierter filter |
US4521443A (en) * | 1984-05-07 | 1985-06-04 | Northrop Corporation | Integrated optical waveguide fabrication by ion implantation |
US4718905A (en) * | 1986-08-13 | 1988-01-12 | Freeman Jerre M | Haptic element using ion beam implantation for an intraocular lens |
JPS63149601A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-22 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 防曇性光学部材 |
-
1987
- 1987-11-27 IT IT8748645A patent/IT1211939B/it active
-
1988
- 1988-11-21 CA CA000583625A patent/CA1327770C/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-22 ES ES198888830502T patent/ES2041835T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1988-11-22 AT AT88830502T patent/ATE89535T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-11-22 EP EP88830502A patent/EP0318440B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-11-22 DE DE88830502T patent/DE3881169T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-24 DD DD32214788A patent/DD275860A5/de not_active IP Right Cessation
- 1988-11-25 JP JP63297994A patent/JPH01167262A/ja active Pending
- 1988-11-25 BR BR888806230A patent/BR8806230A/pt not_active Application Discontinuation
- 1988-11-26 PL PL88276000A patent/PL161619B1/pl unknown
- 1988-11-26 KR KR1019880015625A patent/KR890008047A/ko not_active Application Discontinuation
-
1991
- 1991-07-08 US US07/727,345 patent/US5098792A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
BR8806230A (pt) | 1989-08-15 |
EP0318440A3 (en) | 1990-06-20 |
ES2041835T3 (es) | 1993-12-01 |
DD275860A5 (de) | 1990-02-07 |
US5098792A (en) | 1992-03-24 |
IT1211939B (it) | 1989-11-08 |
EP0318440A2 (en) | 1989-05-31 |
PL276000A1 (en) | 1989-07-24 |
KR890008047A (ko) | 1989-07-08 |
JPH01167262A (ja) | 1989-06-30 |
DE3881169T2 (de) | 1993-12-02 |
ATE89535T1 (de) | 1993-06-15 |
EP0318440B1 (en) | 1993-05-19 |
DE3881169D1 (de) | 1993-06-24 |
CA1327770C (en) | 1994-03-15 |
IT8748645A0 (it) | 1987-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Hsieh et al. | Thermal radiative properties of glass from 0.32 to 206 μm | |
US5683757A (en) | Surface modification of polymers and carbon-based materials by ion implantation and oxidative conversion | |
PL161619B1 (en) | Sodium-calcium glass panel | |
US6110607A (en) | High reflectance-low stress Mo-Si multilayer reflective coatings | |
US4262056A (en) | Ion-implanted multilayer optical interference filter | |
US4468799A (en) | Radiation lithography mask and method of manufacturing same | |
US4521443A (en) | Integrated optical waveguide fabrication by ion implantation | |
Tripathi et al. | Laser induced changes on a-Ga50Se50 thin films | |
Martin et al. | Properties of indium tin oxide films prepared by ion-assisted deposition | |
Kawaguchi et al. | Composition dependence of Ag photodoping into amorphous Ge‐S films | |
US5102736A (en) | Process for the manufacture of reflecting glass and the product thereof | |
KR100211012B1 (ko) | 리소그래픽마스크구조체와 그 생산방법 및 디바이스제조방법 | |
JPS6137601B2 (pl) | ||
Kortright | Multilayer reflectors for the extreme ultraviolet spectral region | |
Armigliato et al. | Properties of TiN obtained by N+ 2 implantation on Ti‐coated Si wafers | |
Kozhevnikov et al. | Synthesis and measurement of Os Si multilayer mirrors optimized for the wavelength 380 Å | |
Nyberg et al. | Roughened, Graded-Index, Cermet Photothermal Absorbers With Very High Absorptivities | |
JP2535036B2 (ja) | X線・真空紫外線用多層膜反射鏡 | |
Haacke et al. | Exploratory development of transparent conductor materials | |
EP0379738A2 (en) | Optical layer | |
Was et al. | Optical properties of Ti and N implanted soda lime glass | |
Mazzoldi | Production Of Antireflective Coatings By Ion Implantation | |
Jensen et al. | Effect of Ion Implantation on the Reflectivity of Silica | |
Volpyan et al. | The effect of heat treatment on the optical properties of Ta2O5 films | |
Susini et al. | Semitransparent multilayer mirrors in the soft X-ray range |