PL150956B1 - Sposób pomiaru temperatury - Google Patents

Sposób pomiaru temperatury

Info

Publication number
PL150956B1
PL150956B1 PL25789586A PL25789586A PL150956B1 PL 150956 B1 PL150956 B1 PL 150956B1 PL 25789586 A PL25789586 A PL 25789586A PL 25789586 A PL25789586 A PL 25789586A PL 150956 B1 PL150956 B1 PL 150956B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
light
wafer
plate
temperature
semiconductor wafer
Prior art date
Application number
PL25789586A
Other languages
English (en)
Other versions
PL257895A1 (en
Inventor
Andrzej Domanski
Arkadiusz Kilis
Original Assignee
Politechnika Warszawska
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Politechnika Warszawska filed Critical Politechnika Warszawska
Priority to PL25789586A priority Critical patent/PL150956B1/pl
Publication of PL257895A1 publication Critical patent/PL257895A1/xx
Publication of PL150956B1 publication Critical patent/PL150956B1/pl

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

OPIS PATENTOWY
150 956
RZECZPOSPOLITA
POLSKA
CZY i LLNIĄ
Urzęde Fettntoweoo
URZĄD
PATENTOWY
RP
Patent dodatkowy do patentu nrZgłoszono: 86 02 10 /P. 257895/
Pierwszeństwo ____
Int. Cl.® G01K 11/00 G01J 5/10
Zgłoszenie ogłoszono: 87 11 16
Opis patentowy opublikowano: 1990 10 31
Twórcy wynalazku: Andrzej Domański, Arkadiusz Kiliś
Uprawniony z patentu: Politechnika Warszawska, Warszawa /Polska/
SPOSÓB POMIARU TEMPERATURY
Przedniotea wynalazku Jest sposób pomiaru temperatury za pomocą czujnika z płytką półprzewodnikową·
Znany sposób pomiaru temperatury opisany w ASEA □ournml Vol· 58 No 1, 1985 pt· Naw apartuaitles with fibre-optic aeasurement” polega na detekcji zmian widna optycznego luminsscsncji płytki półprzewodnikowej wraz ze zmianami temperatury· źródłem światła pobudzającego do świecenia lunlneecencyjnego jeet dioda elektroluminescencyjna lub laser półprzewodnikowy· Światło to ze pomocą włókien światłowodowych doprowadzone jest do płytki z materiału lumineecencyjnego· Materiał ten w zależności od zmian temperatury znlania swoją charakterystyką widmową luainescencj1· Nastąpnie światło lumineecencji Jeet doprowadzone drugie światłowodem do dwóch diod fotodetakcyjnych przed którymi znajdują elą filtry optyczne o różnych charakterystykach transmisyjnych. Różnice w natężeniu światła docierającego do fotodiod Jeet funkcją zmian temperatury w otoczeniu materiału lumineecencyjnego·
Ten znany sposób pomiaru temperatury wymaga stosowania czujników optoelektronicznych o skomplikowanej budowie układu elektronicznego porównującego sygnały detekowane przez co najmniej dwie fotodiody detekcyjna współpracująca z co najmniej dwoma filtrami optycznymi.
Sposób według wynalazku polega na tya, ża płytkę półprzewodnikową oświetla eię światłem quaslmonochromatycznym o długości fmli odpowiadającej najmniejszej długości fali, które jeet jeszcze transmitowana przez płytkę i detakuja eię przesunięcia krawędzi absorpcji płytki półprzewodnikowej znajdującej eię w pobliżu aakslaua aalsyjnaj charakterystyki widmowej źródła światła poprzez pomiar stosunku energii światłe przepuszczanego przez płytkę do padającego· Teki sposób pomiaru pozwala ne zbudowanie bardzo prostego czujnika składającego eię tylko ze źródła światłe, płytki półprzewodnikowej, jednego fotodetektora oraz dwóch włókien światłowodowych, z których Jedno doprowadza światło do płytki, e drugie odprowadza światło
150 956
150 956 przepuszczone przez płytkę· Pomiar temperatury odbywa elę przez rejestrację zmian prędu lub napięcia na fotodiodzie detekcyjnej wygenerowanych zmianami intensywności strumienia światła docierającego do fotodiody wraz za zmianami temperatury otoczenia płytki półprzewodnikowej ·
Przedmiot wynalazku jest bliżej objaśniony w przykładzie wykonania·
Cienką płytką półprzewodnikową z arsenku galu oświetlono za źródła światła w postaci diody telekomunikacyjnej CQOP przystosowanej do współpracy.ze światłowodem· Oloda ta emituje światło o długości Λ 930 na i szerokości widmowej Δλ 45 nm· Krawędź absorpcji półprzewodnika w temperaturze 300 K położone Jest w pobliżu długości fali Λ 910 nm· Zmiana temperatury powoduje zmianę krawędzi absorpcji płytki 1 zmianę stosunku energii światła przepuszczanego przez płytkę do padającego· Odbierane światło przepuszczane przez płytkę transmitowane jest drugim światłowodem do fotodiody detekcyjnej· Badając za pomocą tej fotodiody energię światła przepuszczanę przez płytkę mierzy się temperaturę w jakiej znajduje się płytka·

Claims (1)

  1. Zastrzeżenie patentowa
    Sposób pomiaru temperatury za poaocą oświetlonej ze źródła światła płytki półprzewodnikowej, znamienny tym, ża płytkę półprzewodnikową oświetla się światłem quasimonochromatycznym o długości fali odpowiadającej najmniejszej długości fali, która jest jeszcze transmitowana przez płytkę i detekujs się przesunięcie krawędzi absorpcji płytki półprzewodnikowej znajdującej się w pobliżu maksimum emisyjnej charakterystyki widmowej źródła światła poprzez pomiar stosunku energii światła przepuszczonego przez płytkę do padającego·
    Zakład Wydawnictw UP RP. Nakład 100 egz.
    Cena 1500 zł
PL25789586A 1986-02-10 1986-02-10 Sposób pomiaru temperatury PL150956B1 (pl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL25789586A PL150956B1 (pl) 1986-02-10 1986-02-10 Sposób pomiaru temperatury

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL25789586A PL150956B1 (pl) 1986-02-10 1986-02-10 Sposób pomiaru temperatury

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL257895A1 PL257895A1 (en) 1987-11-16
PL150956B1 true PL150956B1 (pl) 1990-07-31

Family

ID=20030409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL25789586A PL150956B1 (pl) 1986-02-10 1986-02-10 Sposób pomiaru temperatury

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL150956B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL257895A1 (en) 1987-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE431259B (sv) Fiberoptisk temperaturgivare baserad pa fotoluminiscens hos ett fast material
AU594693B2 (en) Fibre optic sensor and method of use
US5318362A (en) Non-contact techniques for measuring temperature of radiation-heated objects
US4451730A (en) Optical measuring apparatus for measuring force or pressure
US4880972A (en) Fiber-optic measuring apparatus using luminescent material
US4671651A (en) Solid-state optical temperature measuring device
KR970011803A (ko) 스펙트럼식 반사측정 및 투과측정을 위한 방법 및 장치
CA1199197A (en) Fiber optical luminescence measuring system for measuring physical quantities with time-or frequency- divided signal information
US4560868A (en) Fiber optical luminescence sensor for measuring mechanical displacement
CA2786919C (en) Photoluminescent temperature sensor utilizing a singular element for excitation and photodetection
KR890015041A (ko) 광전소자 및 광 도파관을 구비한 아티클 제조방법
KR970066557A (ko) 적외선 수분 측정장치 및 적외선 수분 측정방법
US4607158A (en) Temperature compensated light-generating device
CN101878439B (zh) 对纵向移动纱线中的杂质进行光学检测的设备
KR930023713A (ko) 힘측정용 변환기
US6270254B1 (en) Extended range fiber-optic temperature sensor
GB2179146A (en) Optical sensor
US20220102562A1 (en) Optoelectronic Sensor Arrangement and Optical Measuring Method
JPS62159027A (ja) 油の劣化度検出装置
SU1686321A1 (ru) Устройство дл измерени звукового давлени
JP2621750B2 (ja) 光学式温度測定装置
SU1260692A1 (ru) Устройство дл измерени концентрации вещества,св занного с основным материалом
Domanski Thermo-optic microsensor with double core optical fiber for medical applications
KR20250162773A (ko) 열전기 및 열광학 특성의 공장 또는 현장 교정
EP4698864A1 (en) Spectrometer device for obtaining spectroscopic information on at least one object