PL150956B1 - Sposób pomiaru temperatury - Google Patents
Sposób pomiaru temperaturyInfo
- Publication number
- PL150956B1 PL150956B1 PL25789586A PL25789586A PL150956B1 PL 150956 B1 PL150956 B1 PL 150956B1 PL 25789586 A PL25789586 A PL 25789586A PL 25789586 A PL25789586 A PL 25789586A PL 150956 B1 PL150956 B1 PL 150956B1
- Authority
- PL
- Poland
- Prior art keywords
- light
- wafer
- plate
- temperature
- semiconductor wafer
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 239000012925 reference material Substances 0.000 description 1
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
OPIS PATENTOWY
150 956
RZECZPOSPOLITA
POLSKA
CZY i LLNIĄ
Urzęde Fettntoweoo
URZĄD
PATENTOWY
RP
Patent dodatkowy do patentu nrZgłoszono: 86 02 10 /P. 257895/
Pierwszeństwo ____
Int. Cl.® G01K 11/00 G01J 5/10
Zgłoszenie ogłoszono: 87 11 16
Opis patentowy opublikowano: 1990 10 31
Twórcy wynalazku: Andrzej Domański, Arkadiusz Kiliś
Uprawniony z patentu: Politechnika Warszawska, Warszawa /Polska/
SPOSÓB POMIARU TEMPERATURY
Przedniotea wynalazku Jest sposób pomiaru temperatury za pomocą czujnika z płytką półprzewodnikową·
Znany sposób pomiaru temperatury opisany w ASEA □ournml Vol· 58 No 1, 1985 pt· Naw apartuaitles with fibre-optic aeasurement” polega na detekcji zmian widna optycznego luminsscsncji płytki półprzewodnikowej wraz ze zmianami temperatury· źródłem światła pobudzającego do świecenia lunlneecencyjnego jeet dioda elektroluminescencyjna lub laser półprzewodnikowy· Światło to ze pomocą włókien światłowodowych doprowadzone jest do płytki z materiału lumineecencyjnego· Materiał ten w zależności od zmian temperatury znlania swoją charakterystyką widmową luainescencj1· Nastąpnie światło lumineecencji Jeet doprowadzone drugie światłowodem do dwóch diod fotodetakcyjnych przed którymi znajdują elą filtry optyczne o różnych charakterystykach transmisyjnych. Różnice w natężeniu światła docierającego do fotodiod Jeet funkcją zmian temperatury w otoczeniu materiału lumineecencyjnego·
Ten znany sposób pomiaru temperatury wymaga stosowania czujników optoelektronicznych o skomplikowanej budowie układu elektronicznego porównującego sygnały detekowane przez co najmniej dwie fotodiody detekcyjna współpracująca z co najmniej dwoma filtrami optycznymi.
Sposób według wynalazku polega na tya, ża płytkę półprzewodnikową oświetla eię światłem quaslmonochromatycznym o długości fmli odpowiadającej najmniejszej długości fali, które jeet jeszcze transmitowana przez płytkę i detakuja eię przesunięcia krawędzi absorpcji płytki półprzewodnikowej znajdującej eię w pobliżu aakslaua aalsyjnaj charakterystyki widmowej źródła światła poprzez pomiar stosunku energii światłe przepuszczanego przez płytkę do padającego· Teki sposób pomiaru pozwala ne zbudowanie bardzo prostego czujnika składającego eię tylko ze źródła światłe, płytki półprzewodnikowej, jednego fotodetektora oraz dwóch włókien światłowodowych, z których Jedno doprowadza światło do płytki, e drugie odprowadza światło
150 956
150 956 przepuszczone przez płytkę· Pomiar temperatury odbywa elę przez rejestrację zmian prędu lub napięcia na fotodiodzie detekcyjnej wygenerowanych zmianami intensywności strumienia światła docierającego do fotodiody wraz za zmianami temperatury otoczenia płytki półprzewodnikowej ·
Przedmiot wynalazku jest bliżej objaśniony w przykładzie wykonania·
Cienką płytką półprzewodnikową z arsenku galu oświetlono za źródła światła w postaci diody telekomunikacyjnej CQOP przystosowanej do współpracy.ze światłowodem· Oloda ta emituje światło o długości Λ 930 na i szerokości widmowej Δλ 45 nm· Krawędź absorpcji półprzewodnika w temperaturze 300 K położone Jest w pobliżu długości fali Λ 910 nm· Zmiana temperatury powoduje zmianę krawędzi absorpcji płytki 1 zmianę stosunku energii światła przepuszczanego przez płytkę do padającego· Odbierane światło przepuszczane przez płytkę transmitowane jest drugim światłowodem do fotodiody detekcyjnej· Badając za pomocą tej fotodiody energię światła przepuszczanę przez płytkę mierzy się temperaturę w jakiej znajduje się płytka·
Claims (1)
- Zastrzeżenie patentowaSposób pomiaru temperatury za poaocą oświetlonej ze źródła światła płytki półprzewodnikowej, znamienny tym, ża płytkę półprzewodnikową oświetla się światłem quasimonochromatycznym o długości fali odpowiadającej najmniejszej długości fali, która jest jeszcze transmitowana przez płytkę i detekujs się przesunięcie krawędzi absorpcji płytki półprzewodnikowej znajdującej się w pobliżu maksimum emisyjnej charakterystyki widmowej źródła światła poprzez pomiar stosunku energii światła przepuszczonego przez płytkę do padającego·Zakład Wydawnictw UP RP. Nakład 100 egz.Cena 1500 zł
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL25789586A PL150956B1 (pl) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | Sposób pomiaru temperatury |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PL25789586A PL150956B1 (pl) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | Sposób pomiaru temperatury |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| PL257895A1 PL257895A1 (en) | 1987-11-16 |
| PL150956B1 true PL150956B1 (pl) | 1990-07-31 |
Family
ID=20030409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PL25789586A PL150956B1 (pl) | 1986-02-10 | 1986-02-10 | Sposób pomiaru temperatury |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| PL (1) | PL150956B1 (pl) |
-
1986
- 1986-02-10 PL PL25789586A patent/PL150956B1/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| PL257895A1 (en) | 1987-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE431259B (sv) | Fiberoptisk temperaturgivare baserad pa fotoluminiscens hos ett fast material | |
| AU594693B2 (en) | Fibre optic sensor and method of use | |
| US5318362A (en) | Non-contact techniques for measuring temperature of radiation-heated objects | |
| US4451730A (en) | Optical measuring apparatus for measuring force or pressure | |
| US4880972A (en) | Fiber-optic measuring apparatus using luminescent material | |
| US4671651A (en) | Solid-state optical temperature measuring device | |
| KR970011803A (ko) | 스펙트럼식 반사측정 및 투과측정을 위한 방법 및 장치 | |
| CA1199197A (en) | Fiber optical luminescence measuring system for measuring physical quantities with time-or frequency- divided signal information | |
| US4560868A (en) | Fiber optical luminescence sensor for measuring mechanical displacement | |
| CA2786919C (en) | Photoluminescent temperature sensor utilizing a singular element for excitation and photodetection | |
| KR890015041A (ko) | 광전소자 및 광 도파관을 구비한 아티클 제조방법 | |
| KR970066557A (ko) | 적외선 수분 측정장치 및 적외선 수분 측정방법 | |
| US4607158A (en) | Temperature compensated light-generating device | |
| CN101878439B (zh) | 对纵向移动纱线中的杂质进行光学检测的设备 | |
| KR930023713A (ko) | 힘측정용 변환기 | |
| US6270254B1 (en) | Extended range fiber-optic temperature sensor | |
| GB2179146A (en) | Optical sensor | |
| US20220102562A1 (en) | Optoelectronic Sensor Arrangement and Optical Measuring Method | |
| JPS62159027A (ja) | 油の劣化度検出装置 | |
| SU1686321A1 (ru) | Устройство дл измерени звукового давлени | |
| JP2621750B2 (ja) | 光学式温度測定装置 | |
| SU1260692A1 (ru) | Устройство дл измерени концентрации вещества,св занного с основным материалом | |
| Domanski | Thermo-optic microsensor with double core optical fiber for medical applications | |
| KR20250162773A (ko) | 열전기 및 열광학 특성의 공장 또는 현장 교정 | |
| EP4698864A1 (en) | Spectrometer device for obtaining spectroscopic information on at least one object |