KR930023713A - 힘측정용 변환기 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract 8
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims abstract 3
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims abstract 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
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Abstract
본 발명은 힘측정용 변환기에 관한 것이다.
상기 변환기는 몸체부(15), 감지소자 (27,37)및 광검출 어셈브리(1,2,3,4,5,6)를 포함하며, 상기 감지소자는 몸체부(15)상에 스프링으로 장착되며, 작동되는 감지소자는 몸체부(15)에 대해 그 편향이 감지소자(27,37)에 인가된 힘을 계산하기 위해 사용될 수 있는 힘수용 소자로서 작용하며, 상기 광검출 어셈블리는 감지소자(27,37)의 편향을 결정하는 데 사용된다.
본 발명에 따라서 몸체부(15)및 감지소자(27,37)는 편향모드에서 작동하는 짧은 광학 패브리-패로 공진기(21,23)를 형성하며, 광편향 어셈블리(1,2,3,4,5,6)는 넓은 스펙트럼 광원(1)과 광도체(2,3)와 분산소자(5)와, 검출기 소자(6)를 구비하며, 상기 광도체(2,3)는 광선을 광원(1)으로 부터 공진기(33)로 그리고 공진기로 부터 검출소자를 경로시키며, 상기 분산소자는 수신된 광스텍트럼을 공진기로 부터 파장대역으로 분해 시키며, 상기 검출기 소자(6)는 분산된광스펙트럼내 흡수 최대치의 파장을 검출하며, 따라서 스펙트럼 강도 최소치의 위치는, 감지소자(27,37)로 인가된 힘(F,F')에 비례하는 공진기(33)의 광학 길이를 계산하는데 사용된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 변환기의 개략도, 제2도는 본 발명에 따른 변환기의 길이방향 측단면도, 제3도는 본 발명에 따른 변환기의 검출기 소자상의 측정신호 형태도.
Claims (9)
- 몸체부(15)와, 상기 몸체부(15)상에 스프링으로 장착되며, 상기 몸체부(15)에 대한 편향이 감지소자(27,37)에 인가된 힘을 계산하는데 사용될 수 있는 힘 수용소자로서 작용하는 감지소자(27,37)와 상기 감지소자(27,37)는 편향을 결정하기 위한 편향 어셈블리(1,2,3,4,5,6)를 갖는 힘측정용 변환기에 있어서, 상기 몸체부(15)및 감지소자(27,37)는 편향모드에서 작동되는 짧은 광학패부리-패로 공진기(21,23)를 형성하며, 상기 광학 검출 어셈블리(1,2,3,4,5,6)는, 넓은 스펙트럼 광원(1)과, 상기 광원으로 부터 광선을 상기공진기(33)로 그리고 상기공진기로 부터 검출소자를 경로시키기 위한 광도체(2,3)와, 수신된 광스펙트럼을 상기 공진기(33)로 부터 파장대역으로 분해하기 위한 분산소자(5)와, 분산된 광스펙트럼의 흡수 최대치의 파장을 검출하기 위한 검출기소자(6)를 구비하며, 따라서 스펙트럼 강도 최소치의 위치는 감지소자(27,37)에 인가된 힘(F,F')에 비례하는 공진기(33)의 광학 길이를 계산하는데 사용될 수 있는 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 제1항에 있어서, 상기 검출기소자(6)는 선형 어레이 감지기 인것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 제1항에 있어서, 상기 광원(1)은 백열전구인 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 제1항에 있어서, 상기 광원(1)은 LED인 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 제1항에 있어서, 상기 분산소자(5)는 소형 프리즘인 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 제1항에 있어서, 상기 분산소자(5)는 광그레이팅(grating) 그리드인 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 제6항에 있어서, 상기 광그레이팅 그리드(5)는 집적된 광학장치의 유사한 조립기술을 사용하여 상기 선형 어레이 감지기소자와 같은 기판상에 제조되는 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 전항중 어는 한 항에 있어서, 상기 몸체부(15)는 전체 변환기의 기판으로서 작용하는 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.
- 전항중 어느 한 항에 있어서, 상기 보호소자(30)는 전체 변환기의 기판으로서 작용하는 것을 특징으로 하는 힘측정용 변환기.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI922262 | 1992-05-19 | ||
| FI922262A FI98094C (fi) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | Fabry-Perot resonaattoriin perustuva optinen voima-anturi |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930023713A true KR930023713A (ko) | 1993-12-21 |
Family
ID=8535310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930008560A KR930023713A (ko) | 1992-05-19 | 1993-05-19 | 힘측정용 변환기 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0571106A1 (ko) |
| JP (1) | JPH0634469A (ko) |
| KR (1) | KR930023713A (ko) |
| CN (1) | CN1047662C (ko) |
| BR (1) | BR9301923A (ko) |
| FI (1) | FI98094C (ko) |
| MX (1) | MX9302894A (ko) |
| NO (1) | NO931789L (ko) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI98094C (fi) * | 1992-05-19 | 1997-04-10 | Vaisala Technologies Inc Oy | Fabry-Perot resonaattoriin perustuva optinen voima-anturi |
| JP2005291945A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Masaki Esashi | センサ装置 |
| JP2005291946A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Masaki Esashi | 光ファイバセンサ |
| CN100386598C (zh) * | 2005-03-04 | 2008-05-07 | 南开大学 | 应力长周期光纤光栅可读施力构件 |
| WO2007019714A1 (de) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Inficon Gmbh | Optischer interferometrische drucksensor |
| US7728984B2 (en) | 2008-02-28 | 2010-06-01 | Inficon Gmbh | Method for evaluating a measured parameter |
| US9320942B2 (en) | 2010-01-20 | 2016-04-26 | Nike, Inc. | Golf ball with cover layer having zones of differing materials |
| DE102012111533A1 (de) | 2012-11-28 | 2014-05-28 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Druckmesszelle |
| GB2509105B (en) * | 2012-12-20 | 2017-02-22 | Oxsensis Ltd | Mechanical resonator sensor |
| CN106969874B (zh) * | 2016-01-14 | 2019-09-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 力敏薄膜厚度精确可控的差压传感结构及其制备方法 |
| CN111366189A (zh) * | 2020-02-24 | 2020-07-03 | 北京理工大学 | 用于感测压力或振动的系统和方法 |
| JP2023067342A (ja) * | 2021-11-01 | 2023-05-16 | 朝日インテック株式会社 | 光学式圧力センサおよびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8414671D0 (en) * | 1984-06-08 | 1984-07-11 | Sira Ltd | Wavelength detection |
| DE3816529A1 (de) * | 1988-05-14 | 1989-11-23 | Kistler Instr Gmbh | Druckmessvorrichtung |
| US5020910A (en) * | 1990-03-05 | 1991-06-04 | Motorola, Inc. | Monolithic diffraction spectrometer |
| EP0460357A3 (en) * | 1990-06-08 | 1992-07-29 | Landis & Gyr Betriebs Ag | Device for optical measurement of pressure differences |
| FI98094C (fi) * | 1992-05-19 | 1997-04-10 | Vaisala Technologies Inc Oy | Fabry-Perot resonaattoriin perustuva optinen voima-anturi |
-
1992
- 1992-05-19 FI FI922262A patent/FI98094C/fi not_active IP Right Cessation
-
1993
- 1993-05-06 EP EP93303504A patent/EP0571106A1/en not_active Withdrawn
- 1993-05-18 NO NO931789A patent/NO931789L/no not_active Application Discontinuation
- 1993-05-18 JP JP5115978A patent/JPH0634469A/ja active Pending
- 1993-05-18 MX MX9302894A patent/MX9302894A/es unknown
- 1993-05-18 BR BR9301923A patent/BR9301923A/pt not_active Application Discontinuation
- 1993-05-19 CN CN93106073A patent/CN1047662C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1993-05-19 KR KR1019930008560A patent/KR930023713A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NO931789D0 (no) | 1993-05-18 |
| FI98094C (fi) | 1997-04-10 |
| CN1047662C (zh) | 1999-12-22 |
| JPH0634469A (ja) | 1994-02-08 |
| FI98094B (fi) | 1996-12-31 |
| FI922262A (fi) | 1993-11-20 |
| FI922262A0 (fi) | 1992-05-19 |
| EP0571106A1 (en) | 1993-11-24 |
| CN1079821A (zh) | 1993-12-22 |
| BR9301923A (pt) | 1993-11-23 |
| NO931789L (no) | 1993-11-22 |
| MX9302894A (es) | 1994-02-28 |
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Legal Events
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