PL119322B1 - Energoelectronic power supply for ion source,especially ion implantator osobenno implantatora ionov - Google Patents

Energoelectronic power supply for ion source,especially ion implantator osobenno implantatora ionov Download PDF

Info

Publication number
PL119322B1
PL119322B1 PL20103177A PL20103177A PL119322B1 PL 119322 B1 PL119322 B1 PL 119322B1 PL 20103177 A PL20103177 A PL 20103177A PL 20103177 A PL20103177 A PL 20103177A PL 119322 B1 PL119322 B1 PL 119322B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
ion source
input
current
voltage
voltage regulator
Prior art date
Application number
PL20103177A
Other languages
English (en)
Other versions
PL201031A1 (pl
Inventor
Jozef Kuczynski
Miroslaw Kaczynski
Original Assignee
Inst Badan Jadrowych
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inst Badan Jadrowych filed Critical Inst Badan Jadrowych
Priority to PL20103177A priority Critical patent/PL119322B1/pl
Publication of PL201031A1 publication Critical patent/PL201031A1/pl
Publication of PL119322B1 publication Critical patent/PL119322B1/pl

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Control Of Voltage And Current In General (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest uklad energoelek¬ troniczny zasilania zródla jonów zwlaszcza implan¬ tatora jonów. Uklad ma zastosowanie do zaplonu elektrycznego pomiedzy elektrodami zródla jonów oraz do stabilizacji pradu lulku zródla jonów. Dla potrzeb implantacji jonów wymagane sa zródla z róznymi gazami i cisnieniami, co stwarza koniecz¬ nosc zaplonu luku i stabilizacji jego pradu w sze¬ rokim zakresie zmian parametrów luku. iZnany jesit i stosowany ulklad energoeflekirotniez- ny zasilania opisany w dokumentacji wykonaw¬ czej Nr 8372 Instytutu Automatyki Systemów Energetycznych.W znanym ukladzie sterownik tyrystorowy ste¬ rowany fazowo jest polaczony poprzez transfor¬ mator, prostownik niesterowany, filtr pasywny prostownika oraz rezystancyjny dzielnik napiecia do sterownika tyrystorowego impulsowego. Wyjs¬ cie sterownika polaczone jest poprzez filtr doklad¬ ny z anoda zródla jonów. Katoda zródla jonów jest polaczona z rezystorem pomiarowym pradu oraz z wejsciem porównujacym regulatora pradu.Wyjscie regulatora pradu polaczone jest poprzez uklad wyzwalajacy z wejsciem sterujacym impul¬ sowego sterownika tyrystorowego. Wejscia zadajace regulatora pradu oraz regulatora napiecia sa po¬ laczone z wyjsciem ukladu zadawania. Wyjscie regulatora napiecia jest poprzez uklad sterowania fazowego polaczony z wejsciem sterujacym ste¬ rownika tyrystorowego sterowanego fazowo. Wejs- 10 15 20 25 30 cie porównujace tego regulatora polaczone jest z dzielnikiem napiecia.W znanym ukladzie na skutek braku rodziele- nia ukladu zadawania pradu i ukladu zadawania napiecia oraz na skutek braku mozliwosci objecia petla napieciowego sprzezenia zwrotnego zródla jonów wystepu!je wada (polegajaca- na braku moz¬ liwosci zapalenia luku elektrycznego w zakresie malych pradów ponizej 0,6 A. Dzieje sie tak dlate¬ go, ze w tym zakresie pradu charakterystyka na- pieciowo-pradowa urzadzenia zasilajacego znajdu¬ je sie ponizej charakterystyki napieciowo-prado- wej luku elektrycznego.W ukladzie wedlug wynalazku transformator polaczony jest z prostownikiem sterowanym, na¬ stepnie prostownik sterowany polaczony jest po¬ przez filtr pasywny z dlawikiem ograniczajacym.Anoda zródla jonów polaczona jest z dlawikiem ograniczajacym, natomiast katoda zródla jonów polaczona jest z wejsciem zasilajacym sterownika tranzystorowego o dzialaniu ciaglym oraz z wejs¬ ciem porównujacym regulatora napiecia, natomiast uklad ustalajacy napiecie sterownika tranzystoro¬ wego polaczony jest z wejsciem zadajacym regu¬ latora napiecia. Wyjscie regulatora napiecia jest polaczone z wejsciem ukladu sterowania fazowe¬ go, natomiast wyjscie ukladu sterowania fazowego jest polaczone z wejsciem sterujacym prostownika sterowanego. Wyjscie sterownika tranzystorowego o dzialaniu ciaglym polaczone jest z rezystorem 119 322119 322 3 4 pomiarowym pradu oraz z wejsciem porównuja¬ cym regulatora pradu, do którego wejscia zadaja¬ cego dolaczone jest wyjscie ukladu zadawania pradu. Wyjscie regulatora pradu polaczone jest z wejsciem sterujacym sterownika tranzystorowego o dzialaniu ciaglym.W ukladzie wedlug wynalazku przez rozdziele¬ nie bloków zadawania pradu luku i ustalania na¬ piecia sterownika tranzystorowego oraz przez obje¬ cie petla napieciowego (sprzezenia zwrotnego zró¬ dla jonów uzyskuje sie warunki umozliwiajace za¬ plon luku w szerokim zakresie pradów. Uklad wedlug wynalazku zapewnia ponadto stabilizacje dlugoczasowa pradu luku rzedu 10_1% w szerokim zakresie zmian cisnien i rodzajów gazów zródla jonów.Wynalazek jest objasniony w przykladzie wyko¬ nania odtworzonym na rysunku przedstawiiagaicym schemat blokowy energoelektronicznego ukladu zasilania zródla jonów.Transformator 1 zasila prostownik sterowany 2 energia elektryczna o napieciu*' które jest wystar¬ czajace do zapalenia luku dla róznych warunków pracy zródla jonów. Na wyjsciu prostownika ste¬ rowanego 2 jest podlaczony filtr pasywny 3. Filtr ten jest polaczony dalej z dlawikiem ogranicza¬ jacym 4 prad luku w momencie zaplonu. Zródlo jonów 5 od strony anody jest polaczone z dlawi¬ kiem ograniczajacym 4, a od strony katody ze sterownikiem tranzystorowym o dzialaniu ciaglym 6. Prad luku regulowany jest przez sterowanie tranzystorowego sterownika o dzialaniu ciaglym 6 regulatorem pradu 11. Regulator pradu 11 swoim wejsciem zadajacym jest polaczony z ukladem za¬ dawania pradu 12, a wejsciem porównujacym po¬ laczony z rezystorem pomiarowym pradu 7. Regu¬ lator napiecia 9 swoim wejsciem zadajacym jest polaczony z ukladem ustalajacym napiecie stero¬ wnika tranzystorowego o dzialaniu ciaglym 10, a wejsciem porównujacym polaczony z katoda zródla jonów 5.W poczatkowym okresie po wlaczeniu ukladu, zródlo jonów 5 nie przewodzi pradu. Sterownik tranzystorowy o dzialaniu ciaglym 6 wysterowany jest przez regulator pradu 11 do stanu nasycenia.Regulator napiecia 9 jest wyisterowywany do takie¬ go napiecia, alby za posrednictwem ukladu stero¬ wania fazowego 8 ustalic kat fazowy przewodzenia tyrystorów prostownika sterowanego 2 tak, aby otrzymane napiecie wystarczylo do zaplonu luku miedzy anoda i katoda zródla jonów 5.Zastrzezenia patentowe Uklad energoelektroniczny zasilania zródla jo¬ nów zwlaszcza implantatora z zastosowaniem tran¬ sformatora, prostownika sterowanego, filtru pa¬ sywnego, dlawika ograniczajacego, sterownika tran¬ zystorowego o dzialaniu ciaglym, rezystora pomia¬ rowego pradu, ukladu zadawania pradu, regulatora pradu, regulatora napiecia, ukladu sterowania fa¬ zowego, ukladu ustalajacego napiecie sterownika tranzystorowego, znamienny tym, ze anoda zródla jonów (5) polaczona jest z dlawikiem ograniczaja¬ cym (4) natomiast katoda zródla jonów (5) pola¬ czona jest z wejsciem zasilajacym sterownika tran¬ zystorowego o dzialaniu ciaglym (6) oraz z wejs¬ ciem porównujacym regulatora napiecia (9) przy czym uklad ustalajacy napiecie sterownika tranzy¬ storowego (10) polaczony jest z wejsciem zadaja¬ cym regulatora napiecia (9), natomiast wyjscie re¬ gulatora napiecia (9) jest polaczone z wejsciem ukladu sterowania fazowego (8). 10 15 20 » 30119 322 1 2 tf 3 i 4 l 5 1 I 8 9 1 # h 7 // 11 I 12 PL

Claims (1)

1. Zastrzezenia patentowe Uklad energoelektroniczny zasilania zródla jo¬ nów zwlaszcza implantatora z zastosowaniem tran¬ sformatora, prostownika sterowanego, filtru pa¬ sywnego, dlawika ograniczajacego, sterownika tran¬ zystorowego o dzialaniu ciaglym, rezystora pomia¬ rowego pradu, ukladu zadawania pradu, regulatora pradu, regulatora napiecia, ukladu sterowania fa¬ zowego, ukladu ustalajacego napiecie sterownika tranzystorowego, znamienny tym, ze anoda zródla jonów (5) polaczona jest z dlawikiem ograniczaja¬ cym (4) natomiast katoda zródla jonów (5) pola¬ czona jest z wejsciem zasilajacym sterownika tran¬ zystorowego o dzialaniu ciaglym (6) oraz z wejs¬ ciem porównujacym regulatora napiecia (9) przy czym uklad ustalajacy napiecie sterownika tranzy¬ storowego (10) polaczony jest z wejsciem zadaja¬ cym regulatora napiecia (9), natomiast wyjscie re¬ gulatora napiecia (9) jest polaczone z wejsciem ukladu sterowania fazowego (8). 10 15 20 » 30119 322 1 2 tf 3 i 4 l 5 1 I 8 9 1 # h 7 // 11 I 12 PL
PL20103177A 1977-09-23 1977-09-23 Energoelectronic power supply for ion source,especially ion implantator osobenno implantatora ionov PL119322B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL20103177A PL119322B1 (en) 1977-09-23 1977-09-23 Energoelectronic power supply for ion source,especially ion implantator osobenno implantatora ionov

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL20103177A PL119322B1 (en) 1977-09-23 1977-09-23 Energoelectronic power supply for ion source,especially ion implantator osobenno implantatora ionov

Publications (2)

Publication Number Publication Date
PL201031A1 PL201031A1 (pl) 1979-04-09
PL119322B1 true PL119322B1 (en) 1981-12-31

Family

ID=19984701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL20103177A PL119322B1 (en) 1977-09-23 1977-09-23 Energoelectronic power supply for ion source,especially ion implantator osobenno implantatora ionov

Country Status (1)

Country Link
PL (1) PL119322B1 (pl)

Also Published As

Publication number Publication date
PL201031A1 (pl) 1979-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE295010T1 (de) Leistungspulsanordnung mit hoher pulsrate, kurzer anstiegszeit und niedrigem leckstrom
DE60014664D1 (de) Leistunspulsanordnung mit hoher pulsrate und flüssigkeitskühlung
CA2114852A1 (en) Dimmable High Power Factor High-Efficiency Electronic Ballast Controller Integrated Circuit with Automatic Ambient Over-Temperature Shutdown
CA2007458A1 (en) Electric power supply equipment and method
PL119322B1 (en) Energoelectronic power supply for ion source,especially ion implantator osobenno implantatora ionov
SE8500634D0 (sv) Ljusregleringsanordning for urladdningslampor med en elektronisk belastning
US4691325A (en) Control apparatus for a direct current arc furnace
ES8302398A1 (es) Perfeccionamientos en un dispositivo para la alimentacion de emergencia de una lampara fluorescente.
US3424946A (en) Method of energizing gas tube light source
JPS554680A (en) Power source control system
US2790947A (en) Power supply circuits for radiation detectors or the like
SU1758841A2 (ru) Вторичный источник питани
SU1056153A1 (ru) Высоковольтный стабилизатор посто нного напр жени
GB2019138A (en) Method and apparatus for controlling the supply of power to loads from a limited electricity supply
JPS57152020A (en) Power supply circuit for device with small sized printer
RU2037184C1 (ru) Устройство для регулирования температуры
RU32954U1 (ru) Источник питания магнетрона
SU758100A1 (ru) Импульсный стабилизатор постоянного напряжения '
SU708330A1 (ru) Стабилизатор переменного напр жени
SU1307545A2 (ru) Регул тор дл зар да накопительного конденсатора
SU970311A2 (ru) Релейный регулирующий прибор
SU898396A1 (ru) Импульсный стабилизатор посто нного напр жени
SU1008721A1 (ru) Импульсный стабилизированный источник питани посто нного напр жени с токовой защитой
SU1179480A1 (ru) Зар дное устройство дл аккумул тора
KR790001053B1 (ko) 직류 정전압(定電壓)발생장치