Przedmiotem wynalazku jest sposób i ukladdo wypro¬ wadzania informacji z elipsometru automatycznego, umozliwiajacego pomiar zwlaszcza parametrów warstw cienkich w trakcie ich nanoszenia.Znany jest sposób wyprowadzania informacji z elipso¬ metru automatycznego skladajacej sie z kolejnych infor¬ macji skladowych o polozeniu polaryzatora, o polozeniu analizatora oraz informacji o czasie trwania cyklu pomiarowego. Caly cykl pomiarowy sklada sie z podcy- kli pomiaru polozenia polaryzatora, z podcyklu pomiaru polozenia analizatora oraz z podcyklu pomiaru czasu trwania cyklu pomiarowego. Po wykonaniu kazdego podcyklu pomiarowego informacja ta zapisywana jest w pamieci pomocniczej danej informacji czastkowej. Po zapisie informacji o czasie trwania cyklu pomiarowego mógl dopiero rozpoczynac sie nastepnycykl pomiarowy.Znany uklad do wyprowadzania informacji z elipso¬ metru automatycznego do urzadzenia zewnetrznego posiada blok sterujacy praca elipsometru automaty¬ cznego, którego wyjscia polaczone sa z pamiecia polary¬ zatora, pamieciaanalizatoraoraz pamieciaczasu trwania cyklu pomiarowego. Wyjscia tychpamieci polaczone saz urzadzeniem zewnetrznym.Znane uklady do wyprowadzania informacji z elipso¬ metru automatycznego charakteryzuja sie niekorzyst¬ nym przedluzaniem cyklu pomiarowego, a tym samym zwiekszeniem bledów pomiarowych. Wynika to z faktu, ze kazda informacja czastkowa wyprowadzana jest po wykonaniu podcyklu pomiarowego.Istota sposobu wyprowadzania informacji z elipsome¬ tru automatycznego polega na tym, ze po zapisie infor¬ macji skladowej w pamieci pomocniczej wytwarza sie sygnal o gotowosci wyprowadzania informacji z tej pamieci pomocniczej i zapamietuje sie go oraz wytwarza sie sygnaly sterujace kolejnoscia wyprowadzania infor¬ macji z pamieci pomocniczych. Informacje skladowa wyprowadza sie zpamieci pomocniczej tylko przyjedno¬ czesnym wystapieniu sygnalu gotowosci wyprowadzania informacji z tej pamieci pomocniczej oraz sygnalu steru¬ jacego kolejnoscia wyprowadzania informacji z tej pamieci pomocniczej.Istota ukladu doprzekazywania informacji zelipsome¬ tru automatycznego polega na tym,ze dowyjscia pamieci pomocniczej polaryzatora, do wyjscia pamieci analiza¬ tora i do wyjscia pamieci pomocniczej czasu trwania cyklu pomiarowego polaczone sa wejscia bloku steruja¬ cego wyprowadzaniem informacji z pamieci pomocni¬ czych. Blok ten jest ponadto polaczony z blokiem sterujacym praca elipsometru automatycznego oraz polaczony jest z urzadzeniem zewnetrznym.Rozwiazanie wedlug wynalazku charakteryzuje sie tym, ze informacja uzyteczna dotyczaca poprzedniego cyklu pomiarowego wyprowadzana jest w trakcie tego oraz kolejnego cyklu pomiarowego, co znacznie zmniej¬ sza bledy pomiarowe.Wynalazek zostanie blizej objasniony przykladowo na podstawie ukladu przedstawionego na rysunku, który pokazuje uklad blokowy umozliwiajacy wyprowadzenie_ 114 i95 4 informacji z elipsometru automatycznego sposobem wedlug wynalazku.Uklad zawiera blok sterujacy praca elipsometru auto¬ matycznego SI, którego wyjscia polaczone sa z wejsciem pamieci pomocniczej polaryzatora PI, wejsciem pamieci pomocniczej analizatora P2, wejsciem pamieci pomocni¬ czej czasu trwania cyklu pomiarowego PC. Wyjscia tych pamieci pomocniczych polaczone sa z blokiem steruja¬ cym S2 wyprowadzaniem informacji z pamiecipomocni¬ czych, który polaczony jest ponadto z blokiem sterujacym praca elipsometru automatycznego SI oraz urzadzeniem zewnetrznym UZ.Blok sterujacy SI praca elipsometru automatycznego podaje do bloku sterujacego S2 wyprowadzaniem infor¬ macji z pamieci pomocniczych impuls sygnalizujacy gotowosc wyprowadzania informacji o polozeniu ekstynkcji polaryzatora. Jezeli jest to pierwszy cykl pomiarowy, albo tez informacja dotyczaca poprzedniego cyklu zostala przekazana do urzadzenia zewnetrznego UZ na przyklad dziurkarki tasmy, wówczas blok S2 ste¬ rujacy wyprowadzaniem informacji z pamieci pomocni¬ czych przechodzi w stan uniemozliwiajacy wyprowadza¬ nie informacji z pamieci pomocniczej polaryzatora PI.Informacja ta zostaje wyprowadzona z tej pamieci PI wówczas, gdy pamiec pomocnicza polaryzatora PI bedzie w stanie gotowosci do wyprowadzania informacji i bedzie odpowiedni stan bloku sterujacego wyprowadza¬ niem informacji z pamieci pomocniczych S2. Gdy infor¬ macja z pamieci pomocniczej polaryzatora PI jest przygotowana do przekazania na zewnatrz, z bloku ste¬ rujacego S2 wyprowadzaniem informacji z pamieci pomocniczych zostaje wyslany do urzadzenia zewnet¬ rznego UZ impuls o stanie gotowosci do przekazywania informacji. Po odebraniu informacji urzadzenie zewnet¬ rzne UZ przesyla do bloku sterujacego S2 wyprowadza¬ niem informacji z pamieci pomocniczych impuls infor¬ mujacy o zakonczeniu pobierania informacji i gotowosci doprzyjecia nastepnej informacji. Po otrzymaniu sygnalu o pobraniu informacji przez urzadzenie zewnetrzne UZ blok sterujacy S2 wyprowadzaniem informacji z pamieci pomocniczych ustawia sie w stan umozliwiajacy wypro¬ wadzanie informacji z kolejnej pamieci pomocniczej, która jest pamiec pomocnicza analizatora P2. Do bloku sterujacego S2 wyprowadzaniem informacji z pamieci pomocniczych saprzesylane impulsyz bloku sterujacego SI praca elipsometru automatycznego o gotowosci wyp¬ rowadzania informacjiz poszczególnychpamieci pomoc¬ niczych PI, P2, PC w miare przechodzenia do kolejnych podcykli cyklu pomiarowego. W celu zabezpieczenia sie przed sytuacja gdy informacja z danej pamieci pomocni¬ czej nie zostala jeszcze wyprowadzona, a po rozpoczeciu kolejnego cyklu pomiarowego sygnalizowana jest juz gotowosc do wyprowadzenia informacji z tej samej pamieci pomocniczej, ale dotyczaca kolejnego cyklu pomiarowego, stosuje sie wewnetrzne sprawdzanie stanu pamieci bloku sterujacego S2wyprowadzaniem informa¬ cji z pamieci pomocniczej, zawierajacej wiadomosc o wyprowadzaniu informacji. Kolejny cykl pomiarowy moze byc rozpoczety gdy informacja z pamiecipomocni¬ czej PI, dotyczaca poprzedniego cyklu pomiarowego, zostala przekazana do urzadzenia zewnetrznego UZ.Zastrzezenia patentowe 1. Sposób wyprowadzania informacji z elipsometru automatycznego, skladajacej sie z informacji skladowych o polozeniu polaryzatora, o polozeniu analizatora i informacji skladowej o czasie trwania cyklu pomiaro¬ wego, polegajacy na zapisie kazdej informacji skladowej w pamieci pomocniczej przed przekazaniem jej do urza¬ dzenia zewnetrznego, zaaukMy tym, ze po zapisie infor¬ macji skladowej w pamieci pomocniczej wytwarza sie sygnal o gotowosci wyprowadzania informacji z tej pamieci pomocniczej i zapamietuje sie go oraz po wypro¬ wadzeniu informacji skladowej wytwarza sie sygnaly ste¬ rujace kolejnoscia wyprowadzania informacji z pamieci pomocniczych, przy czym informacje skladowa wypro¬ wadza sie z pamieci pomocniczej tylko przy jednoczes¬ nym wystapieniu sygnalu gotowosci wyprowadzania informacji z tej pamieci pomocniczej oraz sygnalu steru- jacego kolejnoscia wyprowadzania informacji z tej pamieci pomocniczej. 2. Uklad do wyprowadzania informacji z elipsornciiii automat)c/nego do urzadzenia zewnetrznego, posiada¬ jac) blok sterujac) praca elipsometru automatycznego, którego wyjscia polaczone sa z wejsciem pamieci pomoc¬ niczej polaryzatora, z wejsciem pamieci pomocniczej analizatora i wejsciem pamieci pomocniczej czasu trwa¬ nia c\klu pomiarowego, znamienny tym. ze wyjscie pamieci polaryzatora (PI), wyjscie pamieci pomocniczej analizatora (P2). oraz wyjscie pamieci pomocniczej czasu trwania c\klu pomiarowego (PC) polaczone sa z wejs¬ ciem bloku sterujacego wyprowadzaniem informacji z pamieci pomocniczych (S2). który polaczony jest rów¬ niez z blokiem sterujacym praca elipsometru automaty¬ cznego (SI) oraz z urzadzeniem zewnetrznym (UZ).114 895 U=fcs SI 1 i V PI \7 V 1 P2 ' i7 i V PC II S2 7 uz PL