NO322957B1 - Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfæregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere. - Google Patents

Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfæregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere. Download PDF

Info

Publication number
NO322957B1
NO322957B1 NO20052614A NO20052614A NO322957B1 NO 322957 B1 NO322957 B1 NO 322957B1 NO 20052614 A NO20052614 A NO 20052614A NO 20052614 A NO20052614 A NO 20052614A NO 322957 B1 NO322957 B1 NO 322957B1
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
gas
liquid
optical
monitor
light source
Prior art date
Application number
NO20052614A
Other languages
English (en)
Other versions
NO20052614D0 (no
Inventor
Ove Gunnar Bjorøy
Axel Fredrik Bohman
Ivar Linnerud
Original Assignee
Norsk Elektro Optikk As
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Norsk Elektro Optikk As filed Critical Norsk Elektro Optikk As
Priority to NO20052614A priority Critical patent/NO322957B1/no
Publication of NO20052614D0 publication Critical patent/NO20052614D0/no
Priority to PCT/NO2006/000200 priority patent/WO2006130016A1/en
Publication of NO322957B1 publication Critical patent/NO322957B1/no

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • G01N2021/396Type of laser source
    • G01N2021/399Diode laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfeeregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere.
Bakgrunn for oppfinnelsen
Ved måling av gasser med spektroskopiske teknikker er det normalt vanskelig å måle lave konsentrasjoner av gasser som også er tilstede i atmosfæren hvor gassanalysatoren er montert eller har blitt sammensatt. Dette er et problem typisk i prosesser som er forseglet eller isolert fra den normale atmosfæren, men hvor deler av den optiske løypa som lyset går gjennom er inni analysator
innkapslingen. Det er målsetningen med denne
oppfinnelsen å redusere interferensen fra gasser som kan være tilstede innen selve analysatoren.
For å være i stand til å måle lave konsentrasjoner av-
gasser vil man normalt bruke optiske, det vil si spektroskopiske, teknikker slik som laser spektroskopi basert på avstembare diodelasere, TDL(tuneable diode lasers). En gassanalysator eller gassmonitor basert på
TDL teknologi vil, som vist i figur 1, normalt inneholde:
• En avstembar laser lyskilde, 1000
• Optikk for å forme laserstrålen, 3010
• Et vindu 3020 for å isolere analysatoren fra prosessen
eller gassen som skal analyseres, 4000
• Et andre vindu 3020 på motsatt side av gass som skal analyseres eller prosess
• Et detektorlinse-system 3030 som fokuserer lyset på
• En detektor 2000.
Andre deler i en typisk gassanalysator, men ikke invovert i den optiske løypa, er elektronikksystemet 5000 inneholdende: elektronikk for temperaturkontroll av laser, modulasjon av laser, detektor forsterkere, analog til digitalkonvertere for å digitalisere analoge signaler slik som detektorsignalet og en mikroprosessor med programvare (firmware) for å kontrollere instrumentet så vel som å beregne en gasskonsentrasjon basert på samplede signaler.
Som det kan sees av figur 1, kan tilstedeværelse av gass i den optiske løypa også bidra til det optiske signalet. Dette gjelder for løypa mellom laseren 1000 og linse 3010, løypa mellom linse 3010 og vindu 3020 (venstre), løype mellom vindu 3020 (høyre) og linse 3030 and til slutt løype mellom linse 3030 og detektor 2000.
En beskrivelse av en optisk gassmålingsteknikk basert på laserspektroskopi kan finnes i den akademiske artikkelen publisert i Applied Physics B 67, side 297-305, 1998. Tittelen på denne publikasjonen er "Gas monitoring in the process industry using diode laser spectroscopy."
(Linnerud et.al.) Denne artikkelen gir også en kortfattet oppsummering av optisk måleteknikk og dens spektroskopiske grunnlag.
I prosesser som er forseglet(avstengt) fra den normale atmosfære ønsker man ofte å måle lave konsentrasjoner av gasser normalt tilstede i atmosfæren. Disse gassene vil bli regnet som forurensninger i prosessen og kan lede til lavere utbytte i produksjonsprosessen, eksplosjonsfare eller andre uønskede tilstander i prosessen. To eksempler på gasser man ønsker å måle i slike prosesser er vanndamp og oksygen. Noen få eksempler på slike prosesser er halvlederfabrikasjon, produksjon av (super-) rene gasser, kvalitetskontroll av lyspærer og medisinske beholdere ("vials") og deteksjon av oksygen i høyeksplosive prosesser.
Vanndamp og oksygen så vel som andre gasser er tilstede i den normale atmosfæren og vil typisk være tilstede i huset/innkapslingen til en gassanalysator. Spesielt dersom man ønsker å måle vanndamp i en forseglet prosess, vil signalet fra delen av løypa inni analysatoren typisk være mye sterkere enn absorbsjonen fra den delen av løypa som er inni prosessen. Signalbidraget fra den delen av løypa som er inni analysatoren kan endre seg med tiden på grunn av endring i fuktighet, temperatur og trykk og gjøre det nærmet umulig å få en pålitelig måling av gassen i prosessen.
Gassblandingen inni gassanalysatoren kan være. et resultat av luften (atmosfæren) der analysatoren ble montert, hvor den er installert (lekkasjer) og bidrag kan også komme fra emisjon av gas fra innsiden av veggene på innkapslingen/huset eller fra andre komponenter inni huset.
I figur 1 kan vi se at laserstrålen 1100 vil gå gjennom gassen inni analysatoren fra laseren 1000 til kollimeringslinsa 3010 and så til vinduet 3020 som isolerer monitoren fra prosessen og gassen som skal analyseres 4000. Lysstrålen går så inn i den andre siden av analysatoren gjennom et annet vindu 3020. Strålen vil gå gjennom mer gass fra vinduet til detektorlinsen 3030 og så til detektoren 2000. Dersom absorbsjonen fra gassen inni analysatoren selv er mye kraftigere enn absorbsjonen fra den samme gassen i prosessen, kan det i praksis være umulig å måle absorbsjonsbidraget fra prosessen på en pålitelig måte. Dette er spesielt et problem dersom konsentrasjonen i gassanalysatorhuset endrer seg over tid.
Kjent teknikk / prior art
En løsning normalt brukt i industrien er å spyle analysatorhuset med en gass som inneholder ingen eller små mengder av den gass man ønsker å måle. For oxygen-måling er nitrogen normalt brukt. For lav-nivå vanndampmåling må det benyttes nitrogen av høyere kvalitet, typisk kvalitet "6.0", som tilsvarer en N2
renhet på 99.9999% (seks ni-tall). En spyling av instrumenthuset med enten standard nitrogen eller enda verre med høykvalitetsnitrogen er dyrt og derfor ikke ønsket dersom det kan bli unngått.
Andre vanlige metoder brukt for å løse problemet inkluderer bygging av hermetisk forseglede optiske systemer som kan evakueres ved bruk av en vakumpumpe for deretter å bli fylt med en intert gas slik som høykvalitets nitrogen. Dette er en tidkrevende og arbeidsintensiv produksjonsprosess og dersom forseglingen i det optiske systemet starter å lekke, vil
gassanalysatoren raskt ikke lenger virke som tilsiktet.
En annen ulempe med et hermetisk tett optisk system er at
de indre overflatene kan emitere gasser slik som vanndamp selv etter at det har blitt evakuert med vakumpumpe og fylt med inert gass.
Sammendragene fra konferansen "The 5th International Conference on Tuneable Diode Laser Spectroscopy" 11-15
july 2005, Firenze, Italia ble publisert på den følgende adresse på internett i april 2005: http://www.ino.it/~pwwerle/Download/2005_Abstracts.pdf I et av sammendragene på side 22-23, nemlig "State-of-the-art of Diode-Laser based Gas Analysis in Process Industries", av Michael W. Markus fra Siemens AG Automation & Drives, Tyskland, er en annen metode for å måle lave konsentrasjoner av vanndamp beskrevet. Denne metoden bruker 2 målekanaler, en for prosessgassen og de gass-spylte delene av analysatoren og den andre kanalen kun for gassen brukt til spyling. Ved bruk av denne oppstillingen måler de vanndamp innholdet i spylegassen og kompenserer for det samme vanndamp innholdet i de spylte delene av instrumentet og muliggjør dermed å måle lave vanndampkonsentrasjoner i prosessen av interesse ved bruk av. lavkost spyleteknikker.
Amerikansk patent US 5,804,702 (Hovde et.al./Southwest Sciences Inc.) beskriver en prosess for å redusere interfererende signaler ved optisk måling av vanndamp..: I dette patentet blir normal vanndamp (H20) inni analysatoren erstattet med tungtvann-damp (D20 eller DHO). De tunge vannmolekylene har andre
absorbsjonslinjer enn normal vanndamp noe som gjør det mulig å måle lave konsentrasjoner av normal vanndamp i et forseglet system uten interferens fra vanndamp inni analysatoren selv. Etter at de normale vannmolekylene har blitt erstattet med tungtvann blir det optiske systemet forseglet. Tungtvann-isotoper er normalt ikke tilgjengelig for vanlige instrumentprodusenter på grunn restriksjoner pålagt på grunn av deres potensielle anvendelse i atomindustrien.
Beskrivelse av oppfinnelsen
Denne oppfinnelsen bruker en væske for å fortrenge de uønskede gassene fra den optiske løypa til
gassanalysatoren slik at lysstrålen fra lyskilden går gjennom væsken på dens vei fra lyskilden til vinduet som isolerer analysatoren fra prosessen. Tilsvarende vil væsken erstatte luft eller gass mellom optiske komponenter på mottakersiden foran detektoren. Væsker vil typisk ha andre brytningsindekser enn luft eller andre gasser og derfor vil det overordnede optiske designet bli modifisert for å kompensere for dette.
Fortrengning av gasser i monitorhuset/innkapslingen vil
virke på grunn av to ulike effekter. Den første og åpenbare effekten er at gassen vi ønsker å fjerne er fullstendig fortrengt av væsken. Den andre effekten.er. at selv om gassen vi ønsker.å fjerne fortsatt til en-viss grad er tilstede i væsken, vil linjefasongen til denne gassens absorbsjonslinjer bli signifikant endret på..grunn av kraftig linjeforbredning. Derfor vil ikke absorbsjon fra gassen i væsken influere målingen av den samme gassen i den forseglede prosessen. Fra et spektroskopisk synspunkt vil det til og med virke å bruke vann for måling av lavkonsentrasjon vanndamp så lenge vannet har tilstrekkelig transmisjon på den bølgelengde man vil benytte. Oljer med tilfredsstillende optiske og elektriske, det vil si isolerende egenskaper vil være det foretrukne valg.
Denne opfinnelsens teknikk kan anvendes på alle optiske gassmå1ernetoder selv om eksemplene og figurene i denne patentsøknaden viser målinger basert på avstembare diodelasere.
Den valgte væske må ha tilstrekkelig transmisjon i det bølgelengdeområde hvor lyskilden emiterer lys. Andre krav til væske-valg er at den må hverken fryse eller koke innenfor gassmonitorens operasjonelle temperaturområde.
Dette vil også gjelde for lagrings og transport temperaturområde. Andre viktige kriterier for væske-valg er at det ikke må dannes bobler eller skum i væsken under industrielle forhold slik som kraftige vibrasjoner.
Ulike deler av den optiske løypa inni gassmonitoren kan
ha ulike krav til væskens egenskaper. Området rundt lyskilden, som i den foretrukne utførelsesformen er en laser, kan kreve en væske med høy termisk ledningsevne og gode elektriske isolasjonsegenskaper mens andre deler av den optiske løypa kan kreve en væske med en spesiell
. brytnings indeks . Derfor vil ulike utførelsesf ormer, .av denne oppfinnelsen, benytte ^forskjellige ^væsker i de--;. .f orskj.éllige delene av den optiske : løypa inni .gassmonitoren.. En oppstilling hvor løypa mellom gassmonitoren og en beholder, slik som en lyspære eller medisinflaske ("vial"), er fylt med væske og hvor væsken
kan være en av væskene brukt inni gassmonitoren eller enda en annen type væske, er beskrevet i denne søknaden.
Den sistnevnte væske kan velges basert på
problemstillinger slik som produktrester på beholdere og helse, miljø og sikkerhetsbetraktninger.
Under er det listet opp noen mulige utførelsesformer for
den delen av monitoren som inneholder den
gassfortrengende væsken. Denne oppfinnelsen er dog ikke begrenset til disse utførelsesformene. Monitorens
forseglede deler inneholdende strålegang kan ha følgende utførelsesformer:
• Fullstendig fylt med væske, det vil si ingen gass
tilstede
• Fullstendig fylt med væske og væsken har et overtrykk.
• Fullstendig fylt med væske og omfattende midler for å kompensere for variabelt internt trykk på grunn av
temperaturutvidelse
• Fylt med væsken, noe rom avsatt for inert gass over
væsken
• Fylt med væsken, men noe rom avsatt for inert gass over væsken, denne gassen satt under trykk for å unngå
skumdannelse og bobler i væsken
• Enhver utførelsesform som over inkludert mider for å regulere temperaturen til væsken.
Med hensyn på lysstrålen både på innsiden og utsident av-instrumentet kan flere utførelsesf ormer anvendes inkludert en divergerende stråle, en kollimert stråle, en-, fokusert stråle og en diffus stråle basert på en op.t-isk- ........ diffuserenhet basert på en hvilken som helst teknikk.
En annen utførelsesform med hensyn på den optiske løypa
er vist i figur 7 hvor en fiber-(3200) koblet laser 1000
er brukt. Ved å bruke denne utførelsesformen vil temperaturkontrollen av laseren bli dekoblet fra væsken
med den mulige ulempe at et luftrom blir introdusert mellom laser og optisk fiber. I dette rom vil normalt isolatorlinser som kober laserlyset inn i fiberen være tilstede. For å kompensere for dette kan en
fibersplitter og en ekstra detektor instroduseres. To fibre vil da komme fra laseren og en av dem er koblet til gassanalysatoren som vist i figur 7 mens den andre fiberen er koblet til en detektor nummer to. Signalet
fra denne detektor nummer to er så brukt til å måle mulig
interferens og denne målingen er så brukt til å justere målingen i gassanalysatoren tilsvarende.
Nok en annen utførelsesform for det optiske systemet er basert på en dobbel løype ("dual path") angrepsmåte hvor både lyskilde og detektor er plassert på samme siden av den gass som skal måles og en retroreflektor er plassert på motsatt side.
En dobbel-løype analysator i følge denne oppfinnelsen vil
ha en retroflektor muligens fylt med væske og speilarrangement som muliggjør nullpunktssjekk en en løype inni instrumentet selv og en "gain" sjekk (sjekk på høyere nivå i 2- eller fler-punkts kalibrering) med en gasscelle satt inn i måleløypa. Speilarrangement og gasscelle er plassert i den væskéfylte del av V analysatoren.
En multipass celle utførelsesform av denne oppfinnelsen vil ha alle deler av multipass instrumentets optiske løype utenfor selve gasscellen fylt med væske.
Gasscellen kan for eksempel være en Herriott celle, men
er ikke begrenset til dette design.
For å optimalisere den optiske løypa når man måler gass i forseglede beholdere slik som flasker, medisinflasker ("vials") og lyspærer kan disse beholderne være designet
med et inkludert optisk vindu som del av beholderen med de optiske egenskapene endret for å gi en bedre optisk ytelse av kombinasjonen av gassanalysatoren og beholderen.
Normalt er laseren i en TDL gassmonitor temperatur-
regulert med en nøyaktighet bedre enn 10 mK (1 milli-
Kelvin tilsvarer 1/1000 °C) . I en utførelsesform av denne oppfinnelsen er temperaturkontrollen av laseren 1000
gjort indirekte ved å temperaturkontrollere væsken 6100 i den forseglede delen 6000 mens det i en annen
utførelsesform som i figur 7 er laseren plassert utenfor den forseglede delen 6000 og temperaturregulert som i kj ent teknikk.
Med hensyn på måleteknikk kan denne oppfinnelsen ha flere utførelsesformer. Den foretrukne utførelsesformen er basert på avstembare diodelasere, men andre
utførelsesformer er også mulig. Roterende optisk filterhjul med filter selektive for to eller flere spektrale områder, et filter i gassens absorbsjonsbølge-lengdeområde og et utenfor er en vanlig brukt teknikk..
FTIR teknikker kan også anvendes' så vel som teknikker basert på andre optiske filterteknikker slik som det; .som .-..*-,>..■■ er beskrevet i amerikansk patent US 5,606,419 (Norsk...- '; "Hydro) '■" \ 6c .
Beskrivelse av figurer.
Figur 1 viser kjent teknikk for en metode for optisk gassmåling ved bruk av en avstembar diodelaser 1000, emitterende laserlys 1100 som blir samlet av linse 3010
og sendt gjennom vindu 3020 som isolerer de indre delene av gassmonitoren fra omgivelses atmosfæren og
prosessgassen, gassen som skal måles 4000. Lyset passerer gjennom gassen som skal måles 4000 og blir samlet opp av mottakerdelen av gassmonitoren gjennom isolasjonsvindu 3020, lysstrålen blir fokusert på
detektor 2000 av linse 3030. Alt dette blir kontollert av elektronikksystemet 5000 omfattende midler for kontroll av lasermodulasjon og temperatur, midler for
forsterkning av detektorsignalet, midler for
digitalisering av analoge signaler, midler for beregning av gasskonsentrajon og midler for generell kontroll av instrumentet.
Som kan sees av figuren passerer lysstrålen gjennom deler både inni gassmonitoren (på innsiden av isolasjonsvindu 3020) og i den forseglede prosessen hvor det måles gass som skal analyseres 4000.
Dersom konsentrasjonen av gass som skal måles 4000 er ekstremt lav og denne samme gassen også er tilstede inni monitoren i signifikante mengder, vil absorbsjonssignalet fra gassen som skal måles kunne bli overskygget (skjult)
av absobsjonssignalet fra gassen inni selve monitoren.
Figur 2^viser det grunnleggende prinsippet- for denne,. oppfinnelsen hvor .lysstrålen 1100 går gjennom en væske • ;:, 6100 inni instrumentets hus og hvor væsken fortrenger
mulige interfererende gasser eller influerer kraftig på absorbsjonsspekteret på grunn av linjeforbrednings-
effekter. Dette gjør det mulig å måle ekstremt lave konsentrasjoner av gassen som skal måles 4000.
Væsken er plassert i forseglede deler 6000 og 6010.
Figur 3 viser et mulig oppsett for måling i en lyspære 9010 hvor også omgivelsesatmosfæren er fortrengt av væsken 6100. Figur 4 viser et mulig oppsett for måling av målgass (forurensning) 4000 i en medisinsk beholder "vial" 9020 inneholdene materiale 9030 som skal beskyttes mot forurensning. Figur 5 viser et forskjellig oppsett for måling i en medisinsk beholder "vial" ved å bruke fleksible pakninger 9050 for å koble gassanalysatoren til beholderen. Midler er tilgjengelige for variere væskehøyden slik at ikke noe blir sølt ut når beholdere ("vials") blir byttet. Figur 6 viser et tilsvarende oppsett som i figur 5, men for en lyspære. Figur 7 viser en modifikasjon av sendersiden av gassanalysatoren hvor laseren 1000 har blitt plassert utenfor volumet 6000 fylt med væske 6100. Laseren 1000 er blitt utstyrt med en fiber optisk "pig-tail" 3200 som går inn i det væskefylte volumet 6000 gjennom en forseglet gjennomføring 6040.

Claims (9)

1. Gassanalysator basert på optiske teknikker omfattende en lyskilde, optiske midler for å sende lyset fra lyskilde gjennom en gass som skal måles inn til en detektor og midler for å beregne en eller flere gasskonsentrasjoner basert på detektorsignalet karakterisert ved at de interne optiske løypene i gassananlysatoren er fylt med en væske.
2 . Gassmonitor som i krav 1 hvor væsken fullstending fortrenger gasser som kan interferere med målingen av målgassen.
3. Gassmonitor som i krav 1 hvor væsken fører til signifikante linjeforbredningseffekter for interfererende gass inneholdt i væsken slik at målingen av målgassen er upåvirket av den interfererende gassen inneholdt i væsken inni monitorinnkapslingen.
4. Gassmonitor som i krav 1, 2 eller 3 karakterisert ved at den er utstyrt med midler til å fylle volum mellom gassmålervinduer og forseglet beholder med en tilsvarende væske som brukt inni gassmonitoren.
5. Gassmonitor som i ethvert av kravene 1, 2, 3 eller 4 hvor lyskilden er en avstembar diodelaser.
6. Gassmonitor som i ethvert av kravene 1, 2, 3 eller 4 hvor lyskilden er en bredbåndslyskilde og midler til å rette lysstrålen omfatter optiske filtre for å velge ut spektralt område av interesse.
7. Gassmonitor som i ethvert av kravene 1, 2, 3, 4, 5 eller 6 karakterisert ved at ulike væsker har blitt benyttet for ulike deler av den optiske løypa.
8. Optisk metode for måling av gass ved å bruke en lyskilde, optiske midler til å rette lys fra lyskilde gjennom en målgass inn på en detektor og midler for beregne en eller flere gasskonsentrasjoner basert på detektorsignalet karakterisert ved at interne lysbaner i gassanalysatoren er fylt med en væske.
9. Optisk metode som gitt i krav 8 karakterisert ved at deler av optisk løype mellom gassmonitor og en beholder med målgass er fylt med en tilsvarende væske.
NO20052614A 2005-05-31 2005-05-31 Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfæregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere. NO322957B1 (no)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO20052614A NO322957B1 (no) 2005-05-31 2005-05-31 Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfæregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere.
PCT/NO2006/000200 WO2006130016A1 (en) 2005-05-31 2006-05-29 Apparatus and method for reducing interfering signals from atmospheric gases in optical measurement of gas in sealed processes or containers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO20052614A NO322957B1 (no) 2005-05-31 2005-05-31 Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfæregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NO20052614D0 NO20052614D0 (no) 2005-05-31
NO322957B1 true NO322957B1 (no) 2006-12-18

Family

ID=35295050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO20052614A NO322957B1 (no) 2005-05-31 2005-05-31 Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfæregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere.

Country Status (2)

Country Link
NO (1) NO322957B1 (no)
WO (1) WO2006130016A1 (no)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1399109B1 (it) * 2010-03-31 2013-04-05 Bonfiglioli Engineering S R L Ora Bonfiglioli Engineering S P A Metodo di analisi di una componente gassosa presente in un contenitore sigillato ermeticamente
IT1401562B1 (it) * 2010-06-28 2013-07-26 L Pro S R L Apparecchiatura per la misura della concentrazione di un gas in un contenitore chiuso
CN102519905A (zh) * 2011-12-14 2012-06-27 中国农业大学 一种汽车尾气检测方法
CN104874238A (zh) * 2015-06-02 2015-09-02 成都虹华环保科技股份有限公司 一种有机废气处理系统用排放通道

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2442968A1 (de) * 1974-09-07 1976-03-18 Bosch Gmbh Robert Geraet zur optischen bestimmung der truebung von stroemenden gasen
EP0768523B1 (en) * 1995-10-10 2004-06-09 L'air Liquide, S.A. à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude Method and system for sensitive detection of molecular species in a vacuum by harmonic spectroscopy
FI963388A (fi) * 1996-08-30 1998-03-01 Instrumentarium Oy Väliaineiden spektroskooppisessa analysoinnissa käytettävän mittausanturin lisärakenne
US6016372A (en) * 1997-10-16 2000-01-18 World Precision Instruments, Inc. Chemical sensing techniques employing liquid-core optical fibers

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
D1 *
D2 *

Also Published As

Publication number Publication date
NO20052614D0 (no) 2005-05-31
WO2006130016A1 (en) 2006-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5705816A (en) Process and device for analyzing traces of impurities in a gas sample by means of a diode laser
CN102656441B (zh) 具有验证单元的光谱仪
NO824027L (no) Maaling av konsentrasjonen av gassformig hydrogenfluorid
US6028310A (en) Linear cavity laser system for intracavity laser spectroscopy
US9719878B2 (en) Photonic article, process for making and using same
US6636316B1 (en) Spectroscopic method for analyzing a gas by using laser beam
CN105765381B (zh) 用于测量溶解在液体中的气体的气体浓度的方法及系统
AU2013359242A1 (en) Optical reflectors for spectrometer gas cells
WO2008048994A2 (en) Detection of moisture in refrigerants
Stimler et al. High precision measurements of atmospheric concentrations and plant exchange rates of carbonyl sulfide using mid‐IR quantum cascade laser
KR20210127719A (ko) 분자 종의 광학 감지를 위한 분광 장치, 시스템, 및 방법
NO322957B1 (no) Apparat og metode for å redusere interferenssignaler fra atmosfæregasser ved optisk måling av gass i forseglede prosesser og beholdere.
JP4790949B2 (ja) 分析装置
Melin et al. Gas cell based on optical contacting for fundamental spectroscopy studies with initial reference absorption spectrum of H2O vapor at 1723 K and 0.0235 bar
Wu et al. Quantitative analysis of trace moisture in N2 and NH3 gases with dual-cell near-infrared diode laser absorption spectroscopy
US8097856B2 (en) Super-miniaturized NDIR gas sensor
Persijn Purity Analysis of Gases Used in the Preparation of Reference Gas Standards Using a Versatile OPO‐Based CRDS Spectrometer
JP2019056560A (ja) 検査方法及び検査システム
US9086421B1 (en) Device and method for cavity detected high-speed diffusion chromatography
JP5661859B2 (ja) バリアエレメント及び超バリアエレメントの浸透率の測定装置及び測定方法
ES2655203T3 (es) Espectroscopia mejorada de fase de vapor
RU2823517C1 (ru) Газоанализатор
Dakin et al. Latest developments in gas sensing using correlation spectroscopy
Mironchuk et al. Measurement of the concentration ratio for 13Ñ and 12Ñ isotopes at atmospheric pressure by carbon dioxide absorption of diode laser radiation at∼ 2 μm
Cocola et al. A non-dispersive approach for a Raman gas sensor

Legal Events

Date Code Title Description
CHAD Change of the owner's name or address (par. 44 patent law, par. patentforskriften)

Owner name: NEO MONITORS AS, NO

CREP Change of representative

Representative=s name: ACAPO AS, POSTBOKS 1880 NORDNES, 5817 BERGEN, NORG