NO309215B1 - Miniatyrnettverk av lyssperreanordninger - Google Patents

Miniatyrnettverk av lyssperreanordninger Download PDF

Info

Publication number
NO309215B1
NO309215B1 NO943381A NO943381A NO309215B1 NO 309215 B1 NO309215 B1 NO 309215B1 NO 943381 A NO943381 A NO 943381A NO 943381 A NO943381 A NO 943381A NO 309215 B1 NO309215 B1 NO 309215B1
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
network
light
micro
aperture
devices according
Prior art date
Application number
NO943381A
Other languages
English (en)
Other versions
NO943381L (no
NO943381D0 (no
Inventor
Jean-Marc Moret
Philippe Renaud
Felix Rudolf
Raymond Vuilleumier
Original Assignee
Suisse Electronique Microtech
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suisse Electronique Microtech filed Critical Suisse Electronique Microtech
Publication of NO943381D0 publication Critical patent/NO943381D0/no
Publication of NO943381L publication Critical patent/NO943381L/no
Publication of NO309215B1 publication Critical patent/NO309215B1/no

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
    • G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
    • G09F9/37—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements
    • G09F9/372—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being movable elements the positions of the elements being controlled by the application of an electric field

Abstract

Nettverkets tetningsanordninger kan påvirkes for å modulere en innfallende lysstråle (L). Mikrolukkere (5) er festet til et substrat ved hjelp av festeanordninger som yter motstand mot dreining av disse bort fra en hvilestilling. Mikrolukkerne (5) er plassert på optiske baner (X-X) slik at de er i stand til å avbryte banene eller etablere disse. De er utstyrt med reflekterende overflater (7) slik at de avbøyer lyset når de befinner seg i blokkeringsstillingen. På hver optisk bane (X-) er det plassert en supplerende, reflekterende overflate (8) , en blender (6) og en fokuserings-anordning (4). I overensstemmelse med sin stilling kan således hver mikrolukker fokusere lyset på blenderen (6) slik at det tillates å passere eller slik at det avbøyes for å blokkere lyset. Anven-delsen av nettverket er ved omforming av en lysstråle (L) til en modulert lysstråle (Lm).

Description

Oppfinnelsen angår et nettverk av miniatyr-lyssperreanordninger (light obturators) som mer spesielt er beregnet for å omforme en lysstråle til et sett av lyspunkter, i matriseform eller lineær form, idet hvert av disse punkter selektivt er egnet for aktivering eller deaktivering for å tillate passering av eller blokkere lys. Et slikt nettverk kan også kalles et "lysmodulerende nettverk".
Bakgrunn for oppfinnelsen
Nettverk av denne type er allerede blitt perfeksjonert og beskrevet, særlig i US-A-4 383 255 og EP-0 453 400 Al, i en avhandling av R. Vuilleumier m.fl. som ble publisert i anledning av Eurodisplay 84 Conference, i Paris i september 1984, og i den senere tid i to avhandlinger av V.P. Jaecklin m.fl. som ble publisert henholdsvis i anledning av MEMS-93 som ble avholdt fra 7. til 10. februar 1993 i Ft. Lauderdale, Florida, USA, og i Digest of Technical Papers i TRANSDUCERS, Yokohama, Japan, 7. til 10. juni 1993.
Det nettverk som er beskrevet i det nest siste dokument som er nevnt ovenfor, omfatter et substrat i hvilket nettverkets sperreanordninger er dannet. Hver sperreanordning omfatter en mikrolukker som er festet til substratet ved hjelp av elastiske festeanordninger som motsetter seg rotasjonsbevegelse av mikrolukkeren bort fra en forutbestemt hvilestilling. Nettverket omfatter også elektrostatiske styreanordninger for mikrolukkerne for på selektiv måte å styre rotasjonen eller dreiningen av disse over en forholdsvis liten vinkel. Videre er hver mikrolukker utstyrt med en reflekterende overflate.
Nettverket, og mer spesielt mikrolukkernes reflekterende overflater, kan bestråles av en lysstråle som skal moduleres, idet modulasjonen utføres ved å bringe mikrolukkerne, hvis styring kan være matriseformet eller "matrisieU" (engelsk: matricial), til å rotere selektivt.
Dokumentet Special Light Modulators and Applications, august 1989, San Diego, USA, side 86-108, XP000351394 L. J. Hombeck, "Deformable mirror spatial light modulators", beskriver en anordning med deformerbare speil som oppviser verken en blender som er plassert på den optiske bane som er knyttet til nettverket, eller reflekterende overflater som vender mot hverandre og som er innbyrdes parallelle i mikrolukkernes hvilestilling.
US-A-4 566 935 beskriver en romlig lysmodulator som omfatter et nettverk av miniatyr-lyssperrer med mikrolukkere, i hvilken anordning den supplerende, reflekterende overflate ikke vender mot mikrolukkernes reflekterende overflate.
EP-A-0 453 400 beskriver en lysmodulasjonsanordning med matriseformet adressering eller styring, i hvilken det ikke er anordnet noen blender og i hvilken den supplerende, reflekterende overflate ikke vender mot mikrolukkernes reflekterende overflate.
Formålet med oppfinnelsen er å tilveiebringe et forbedret nettverk av miniatyr-lyslukkere av den type som er kort beskrevet ovenfor.
Sammendrag av oppfinnelsen
Ifølge oppfinnelsen er det tilveiebrakt et nettverk av miniatyr-lyssperrer, mer spesielt beregnet for omforming av en lysstråle til modulert lys , og som er dannet av et matriseformet eller lineært sett av lyspunkter, idet hver av disse sperrer er egnet for selektiv aktivering eller deaktivering for å tillate passering av eller blokkere lyset, idet nettverket omfatter et substrat til hvilket mikrolukkere som danner respektive sperrer, er festet ved hjelp av elastiske festeanordninger som yter motstand mot dreining bort fra en forutbestemt hvilestilling, idet nettverket også omfatter slyreanordninger for mikrolukkerne for selektiv styring av dreining av disse bort fra den nevnte hvilestilling, idet mikrolukkerne er plassert i de optiske baner for lyset for å være i stand til å avbryte eller å etablere de nevnte baner i overensstemmelse med sin stilling, idet hver mikrolukker videre er utstyrt med en reflekterende overflate for å avbøye lyset når den er i sin blokkeringsstilling, og nettverket er kjennetegnet ved at det, i den optiske bane som er knyttet til hver mikrolukker, omfatter en supplerende, reflekterende overflate, en blender såvel som en fokusermgsanordning, idet den supplerende reflekterende overflate, blenderen og fokusermgsanordningen er plassert på en slik måte at når mikrolukkeren er i den ene av sine stillinger, fokuseres lyset på blenderen for å tillate dette lys å passere, og slik at lyset avbøyes i forhold til blenderen og følgelig blokkeres når mikrolukkeren er i sin andre stilling, at den reflekterende overflate og den supplerende, reflekterende overflate vender mot hverandre, at membranen er anordnet i den ene av de reflekterende overflater, og at de reflekterende overflater er parallelle i mikrolukkernes hvilestilling.
En av de fordeler som oppnås ved hjelp av et nettverk med de angitte særtrekk, ligger i selektiviteten mellom overføring og blokkering av lyset, hvilket så å si er det samme som stråleomkopling med alt eller ingenting. Denne egenskap går hånd i hånd med de fordeler som allerede er sikret i det nettverk som er beskrevet i den foran omtalte artikkel og som spesielt på den ene side består i den meget lille rotasjonsvinkel (for å gi en idé kan sistnevnte være av størrelsesorden bare 7°), og på den annen side i den lave styrespenning og den meget korte responstid, hvilke egenskaper skriver seg fra denne lille rotasjonsvinkel.
Takket være egenskapene til dette nettverk, er det videre mulig å samle en vesentlig del av det innfallende lys (typisk mer enn halvparten) som treffer hver mikrolukker, for å danne den utgangsstråle som er knyttet til sistnevnte. På denne måte oppnås et meget gunstig lysutbytte fra nettverket ifølge oppfinnelsen.
Andre egenskaper og fordeler med oppfinnelsen vil fremgå av den etterfølgende beskrivelse som er gitt bare som eksempel og er laget under henvisning til ledsagende tegninger.
Kort beskrivelse av tegningene
Fig. 1 viser skjematisk to individuelle sperreanordninger i et nettverk ifølge oppfinnelsen, idet mikrolukkeren i den ene av disse speireanordninger er i den aktiverte stilling og mikrolukkeren i den andre er i sin ikke-aktiverte stilling, fig. 2 viser en kraftig forstørret fremstilling av fire sperreanordninger i et nettverk ifølge oppfinnelsen, fig. 3 viser et tverrsnittsriss etter linjen III-III på fig. 2, fig. 4 viser et tverrsnitt etter linjen IV-IV på fig. 2, fig. 5 viser et perspektivriss i meget stor målestokk av en mikrolukker og dens tilhørende styreelektroder, fig. 6 viser meget skjematisk og i liten målestokk en lysomkoplingsenhet som omfatter et nettverk ifølge oppfinnelsen, fig. 7 viser et skjematisk toppriss av enheten på fig. 6, fig. 8 viser skjematisk hvordan flere enheter ifølge fig. 6 og 7 kan benyttes i kombinasjon for å danne et lysfordelingsarrangement, fig. 9 viser et skjematisk riss, igjen i meget stor målestokk, av en avvikende utførelse av oppfinnelsen, og fig. 10 viser en avvikende utførelse av en sperreanordning ifølge oppfinnelsen.
Beskrivelse av de foretrukne utførelser
Det henvises først til fig. 1 som viser prinsippet for konstruksjon og virkemåte av et nettverk av lyssperreanordninger ifølge oppfinnelsen, i overensstemmelse med en første utførelse av denne.
Sperreanordninger la, lb, ... etc. danner hver en optisk bane X-X som fortrinnsvis er parallell med hovedretningen av det innfallende lys L som treffer nettverket. Det er klart at dette omfatter et stort antall sperreanordninger la, lb,... etc. som samvirker med hverandre og er anordnet for eksempel i en matriseoppstilling.
Nettverket 1 omfatter en gjennomsiktig plate 2, fortrinnsvis av glass, gjennom hvilken lysstrålen L kan gå inn. På den motsatte side omfatter nettverket en utgangsplate 3 som likeledes er gjennomsiktig og fortrinnsvis av glass, og gjennom hvilken det modulerte lys Lm går ut som en funksjon av nettverkets styremetode (for eksempel matrisiell).
Hver sperreanordning la, lb,... omfatter - sentrert på den optiske bane X-X som er knyttet til denne - en konvergerende fokuseringslinse 4 og en mikrolukker 5 som er forsynt med en blender 6 og oppviser en reflekterende overflate 7, så vel som en supplerende, reflekterende overflate 8 som er dannet på linsen 4.
På fig. 1 er sperreanordningen la i en såkalt ikke-aktivert konfigurasjon, hvilket betyr at ingen styrespenning er påtrykt på denne. Dette betyr også, i sammenheng med de her beskrevne utførelser, at sperceanorclningen la tillater passering av lyset gjennom sin blender 6. Det innfallende lys L, som i begynnelsen fokuseres av linsen 4, sendes bakover av mikrolukkerens 5 reflekterende overflate 7, reflekteres deretter fremover av den supplerende, reflekterende overflate 8, og sendes til slutt i retning mot det ytre gjennom blenderen 6 for å passere gjennom støtteplaten 3 og bli en komponent av den modulerte lysstråle Lm.
Omvendt er sperreanordningen lb vist i sin såkalte aktiverte konfigurasjon i hvilken dens mikrolukker 5 er dreid en liten vinkel (f. eks. 7°) om en akse Y-Y (ikke vist på fig. 1) som står normalt på aksen X-X. For å oppnå denne konfigurasjon, må en styrespenning påtrykkes på sperreanordningen lb, slik det skal beskrives nærmere i det følgende.
Det innses at den aktiverte konfigurasjon fører til avbøyning av den lysstråle som er sendt tilbake av den reflekterende overflate 7 som er til stede på rnikrolukkeren 5, og i begynnelsen ble fokusert av linsen 4, utenfor det felt som er knyttet til den supplerende, reflekterende overflate 8. Sistnevnte er således ikke lenger i stand til å forårsake passering av lyset gjennom blenderen 6.
Undertrykkelse av styrespenningen tilbakestiller mikrolukkeren 5 til dens opprinnelige stilling (stillingen av sperreanorciningen la) takket være den elastiske deformasjonskraft som er frembrakt i mikrolukkerfestene som skal beskrives nærmere i det følgende.
Det er således klart at den nye anordning som er foreslått ved hjelp av oppfinnelsen, fører til en utvetydig "alt-eller-mtet"-styring av de punkter som er materialisert av sperreanordningenes blendere 6. Sett fra utgangsplatens 3 side svarer den ikke-aktiverte konfigurasjon til tilstedeværelse av et lyspunkt, og det omvendte tilfelle til fravær av et slikt punkt.
Uttrykkene "ikke-aktivert" og "aktivert" som benyttes i den foreliggende beskrivelse, må ikke tas i den egentlige eller strenge betydning. I realiteten betegner de ganske enkelt henholdsvis tilstedeværelse og fravær av lys på utgangen av en sperreanordning, hvilke situasjoner kan oppnås enten ved tilstedeværelse eller fravær av en styrespenning i overensstemmelse med konfigurasjonen og formen på de elektroder som er knyttet til hver mikrolukker.
Det henvises nå til fig. 2-5 som mer spesielt viser en foretrukket utførelse av nettverket ifølge oppfinnelsen.
Slik som allerede angitt i forbindelse med fig. 1, omfatter nettverket en inngangsplate 2 og en utgangsplate 3. Mellom disse plater 2 og 3 er det anordnet en skive 9 som danner et substrat som fortrinnsvis er av silisium. Denne skive 9 er mikromaskinert for på denne å danne mikrolukkerne 5 og settene av elektroder som er knyttet til disse.
En ramme 10 som danner en avstandsholder, omgir nettverket av mikrolukkere og opprettholder en definert avstand mellom utgangsplaten 3 og skiven 9.
En foretrukket metode for mikromaskinering som kan benyttes for å oppnå de ønskede former i en slik skive 9, er beskrevet i de foran anførte patentskrifter og artikler, og det er således ikke nødvendig å gå tilbake til disse i den foreliggende beskrivelse.
Slik det kan innses ut fra fig. 2, er nettverket 1 "matrisielt" eller matriseformet med rekker Ra, Rb, Rc, ... og kolonner Ca, Cb, Cc ... av sperreanordninger som er betegnet henholdsvis Ra-1, Ra-2, Ra-3, ... Rb-1, Rb-2, Rb-3 ... etc, idet hver rekke typisk omfatter 100 sperreanordninger og antallet av nettverksrekker er for eksempel 50.
Fig. 5, som viser et perspektivriss av en eneste mikrolukker 5 og dens elektroder, viser klart at mikrolukkeren 5 er anordnet i en åpning 11 som er dannet i skiven 9, og at den er festet til skiven ved hjelp av to elastiske fester (eller opphengingsarmer) 12 som er rettet langs aksen Y-Y som står normalt på den optiske akse X-X til den sperreanordning som betraktes, idet aksen Y-Y er mikrolukkerens 5 rotasjons- eller dreieakse.
Parallelt med aksen Y-Y strekker det seg (se fig. 2 og 5):
- en styreelektrode 13 som er elektrisk forbundet med en felles styreleder 14 (fig. 2) som løper langs rekken av mikrolukkere under betraktning; - to stoppelektroder 15a og 15b som ved hjelp av en leder 15c er koplet i fellesskap til en leder 16 som også sammenkopler alle mikrolukkere 5 fra en felles kolonne i nettverket ved hjelp av deres ledende festeanordninger 12; - to holdeelektroder 17a og 17b som strekker seg i kolonnenes retning langs motsatte kanter av åpningen 11. Slike elektroder er sammenkoplet i rekke ved hjelp av en felles leder 18.
Styreelektrodene 13 og stoppelektrodene 15a og 15b strekker seg tvers over åpningen 11 over hver mikrolukker 5. Hva det øvrige angår, krysser lederne 16 lederne 14 og 18 uten å være elektrisk forbundet med disse.
Slik det tydelig fremgår på fig. 6 i de første, tidligere anførte avhandlinger av V.P. Jaecklin m.fl., oppviser forskyvningskarakteristikken som funksjon av styrespenningen til en mikrolukker, slik den benyttes ved den foreliggende oppfinnelse, hysterese. Ut fra dette faktum er det da mulig å tilveiebringe matriseformet adressering, slik som for eksempel den som er beskrevet i det foran anførte europeiske patent, ved hjelp av en skjønnsom kombinasjon av elektroder og passende styrespenninger.
Det fastslås således at det nettverk som er utformet på denne måte, kan styres på matrisiell måte ved at det til lederne 14, 16 og 18 tilføres passende signaler i binær form. Nettverket muliggjør således omforming av en bred lysstråle til en matrise av lyspunkter av hvilke hvert punkt kan styres individuelt.
De reflekterende overflater 7 og 8 oppnås hensiktsmessig i form av aluminiumsjikt som avsettes ved pådampings- eller påspmtingsteknikker. Linsene 4 kan oppnås direkte ved mikromaskinering i inngangsplaten 2, for eksempel i form av Fresnel-linser, i sentrum av hvilke det er tilveiebrakt respektive sjikt for realisering av de supplerende, reflekterende overflater. Linsene kan også oppnås i form av avbøyende, optiske elementer.
Som eksempel kan en mikrolukker i nettverket 1 ha kvadratisk form med en side på 100 um, idet blenderen 6 er sirkulær og har en diameter som er valgt mellom 5 og 20 um. I betraktning av den lille rotasjonsvinkel for mikrolukkerne kan omkoplingstiden for hver sperreanordning være på bare 50 us med en styrespenning på
15 volt.
Et eksempel på anvendelse av et nettverk ifølge oppfinnelsen er vist på fig. 6 og 7.1 dette tilfelle er det plassert på en ugjennomsiktig, sylindrisk kapsel 19 hvis topp 20 er gjennomboret på en slik måte at en lysstråle kan innføres i denne fra en optisk fiber 21. Nettverket 1 er plassert i kapselens 19 bunnåpning, idet en kollimasjonslinse 22 er plassert i dens nærhet for ut fra den innkommende stråle å danne et bestrålingsnettverk 1 med en kollimert stråle. Som et eksempel kan nettverket 1 omfatte 100 sperreanordninger per rekke og 50 speireanordninger per kolonne. Fig. 7 viser skjematisk hvordan nettverket 1 og linsen 22 kan være knyttet til hverandre, idet toppen 20 av kapselen er antatt fjernet.
Fig. 8 viser en anvendelse av en rekke kapsler 19 ifølge fig. 6 og 7 for å stille opp et arrangement for fordeling av lys. I dette tilfelle er en lyskilde 23 ved hjelp av en bunt 24 av optiske fibrer forbundet med en rekke kapsler 19. En slik anordning tillater for eksempel trykking av sider med høy oppløsning ved å tillate et lysfølsomt underlag å passere foran rekken av kapsler, idet hvert mikrolukkernettverk er passende styrt slik som beskrevet i det foregående.
Man kan likeledes tenke seg å benytte et nettverk 1 med store dimensjoner for projeksjon av bilder av fjernsynstype. I dette tilfelle kan et lysmodulerende nettverk ifølge oppfinnelsen sikre høy oppløsning ved at det for hver fargekomponent til-veiebringes et nettverk som omfatter et meget stort antall sperreanordninger. Fig. 9 viser en variant av oppfinnelsen som kan oppnås på nivået for hver sperreanordning i nettverket. I dette tilfelle er en mikrolukker 5A med sin reflekterende overflate 7A plassert i sentrum av fokuserings- eller samlelinsen 4A, mens det supplerende speil 8A er dannet på den motsatte side og forsynt med blenderen 6A. Fig. 10 viser en annen utførelse av oppfinnelsen som, fra det optiske synspunkt, likner på utførelsen på fig. 3-5, men som er forskjellig fra denne ved sin konstruksjon. I dette tilfelle er nettverket av sperreanordninger dannet direkte på utgangsplaten 3 i stedet for å være dannet på denne måte på en separat silisiumskive. Nettverket er altså bygget opp ved hjelp av tynne sjikt eller lag av polysilisium som oppviser de samme elektroder som på fig. 3-5. Det kan være ønskelig, ikke bare i denne utførelse, men også i de som er beskrevet i det foregående, som supplement å tilveiebringe en såkalt kompenserende elektrode som er angitt ved henvisningstallet 25 på fig. 10. Denne elektrode har som formål å opprettholde mikrolukkeren 5 i dens horisontale stilling når den er i hviletilstanden. I virkeligheten kan det forekomme at mikrolukkeren er svakt dreid ved fravær av all styrespenning.

Claims (10)

1. Nettverk av miniatyr-lyssperrer, mer spesielt beregnet for omforming av en lysstråle (L) til modulert lys (Lm), og som er dannet av et matriseformet eller lineært
sett av lyspunkter, idet hver av disse sperrer er egnet for selektiv aktivering eller deaktivering for å tillate passering av eller blokkere lyset, idet nettverket (1) omfatter et substrat (9) til hvilket mikrolukkere (5; 5A) som danner respektive sperrer, er festet ved hjelp av elastiske festeanordninger (12) som yter motstand mot dreining bort fra en forutbestemt hvilestilling, idet nettverket (1) også omfatter styreanordninger (13) for mikrolukkerne for selektiv styring av dreining av disse bort fra den nevnte hvilestilling, idet mikrolukkerne (5; 5A) er plassert i de optiske baner (X-X) for lyset for å være i stand til å avbryte eller å etablere de nevnte baner i overensstemmelse med sin stilling, idet hver mikrolukker (5; 5A) videre er utstyrt med en reflekterende overflate (7; 7A) for å avbøye lyset når den er i sin blokkeringsstilling,karakterisert ved at nettverket, i den optiske bane (X-X) som er knyttet til hver mikrolukker (5; 5 A), omfatter en supplerende, reflekterende overflate (8; 8A), en blender (6; 6A) såvel som en fokusermgsanordning (4; 4A), idet den supplerende reflekterende overflate, blenderen og fokuseringsanordningen er plassert på en slik måte at når mikrolukkeren (5; 5A) er i den ene av sine stillinger, fokuseres lyset på blenderen (6; 6A) for å tillate dette lys å passere, og slik at lyset avbøyes i forhold til blenderen (6; 6A) og følgelig blokkeres når mikrolukkeren (5; 5A) er i sin andre stilling, at den reflekterende overflate og den supplerende, reflekterende overflate vender mot hverandre, at membranen er anordnet i den ene av de reflekterende overflater, og at de reflekterende overflater er parallelle i mikrolukkernes hvilestilling.
2. Nettverk av sperreanordninger ifølge krav 1,karakterisert ved at den supplerende, reflekterende overflate (8) er anordnet ved sentrum av fokusermgsanordningen (4), og at blenderen (6) er gjennomboret i mikrolukkeren (5).
3. Nettverk av sperreanordninger ifølge krav 1,karakterisert ved at mikrolukkeren (5A) er plassert i sentrum av fokusermgsanordningen (4A), og at den supplerende, reflekterende overflate (8A) er gjennomboret i sitt sentrum av blenderen (6A).
4. Nettverk av sperreanordninger ifølge ett av kravene 1-3, karakterisert ved at fokuseringsanordningen (4; 4A) er en samlelinse.
5. Nettverk av sperreanordninger ifølge krav 4, karakterisert ved at linsen (4; 4A) er en Fresnel-linse.
6. Nettverk av sperreanordninger ifølge krav 4, karakterisert ved at linsen (4; 4A) er et avbøyende, optisk element.
7. Nettverk av sperreanordninger ifølge ett av de foregående krav, karakterisert ved at den supplerende, reflekterende overflate (8) er dannet av et speilende lag som er avsatt i sentrum av foloisermgsanordningen (4).
8. Nettverk av sperreanordninger ifølge ett av de foregående krav, karakterisert ved at dets mikrolukkere (5; 5 A) og deres styreanordninger (13) er mikromaskinert på en eneste silisiumskive (9) som strekker seg normalt på de optiske baner (X-X).
9. Nettverk av sperreanordninger ifølge krav 8, karakterisert ved at skiven (9) er montert mellom to gjennomsiktige plater (2, 3) parallelt med disse, eventuelt med mellomliggende anbringelse av en avstandsramme (10), idet de nevnte plater (2, 3) danner henholdsvis en inngangsplate og en utgangsplate for nettverket, og at fokusermgsanordningen (4) er mikromaskinert i inngangsplaten (2).
10. Nettverk av sperreanordninger ifølge ett av kravene 1-7, karakterisert ved at dets mikrolukkere (5) og deres styreanordninger (13) er direkte mikromaskinert i en gjennomsiktig plate (3) som danner en utgangsplate for nettverket, og at den gjennomsiktige utgangsplate (3) er anordnet parallelt med den gjennomsiktige inngangsplate (2) for nettverket, eventuelt med mellomliggende anbringelse av en avstandsramme, i hvilken inngangsplate (2) foloisermgsanordningen (4) er mikromaskinert.
NO943381A 1993-09-13 1994-09-12 Miniatyrnettverk av lyssperreanordninger NO309215B1 (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9310960A FR2710161B1 (fr) 1993-09-13 1993-09-13 Réseau miniature d'obturateurs de lumière.

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO943381D0 NO943381D0 (no) 1994-09-12
NO943381L NO943381L (no) 1995-03-14
NO309215B1 true NO309215B1 (no) 2000-12-27

Family

ID=9450871

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO943381A NO309215B1 (no) 1993-09-13 1994-09-12 Miniatyrnettverk av lyssperreanordninger

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5579149A (no)
EP (1) EP0643378B1 (no)
JP (1) JP3485206B2 (no)
DE (1) DE69407370T2 (no)
DK (1) DK0643378T3 (no)
ES (1) ES2113019T3 (no)
FI (1) FI114509B (no)
FR (1) FR2710161B1 (no)
NO (1) NO309215B1 (no)

Families Citing this family (148)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5835255A (en) * 1986-04-23 1998-11-10 Etalon, Inc. Visible spectrum modulator arrays
US6674562B1 (en) 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US6710908B2 (en) 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US6040937A (en) * 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US20010003487A1 (en) * 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US6680792B2 (en) 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US8014059B2 (en) 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US6046840A (en) 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US7907319B2 (en) 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
US5916179A (en) * 1997-04-18 1999-06-29 Sharrock; Nigel System and method for reducing iatrogenic damage to nerves
GB2328312B (en) * 1997-08-14 1999-08-04 John Quentin Phillipps Mirror controlled display device
US6191882B1 (en) 1997-09-22 2001-02-20 Creo Srl Micromachined linear light valve
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
KR100635589B1 (ko) * 1998-09-24 2006-10-18 리플렉티버티 인코퍼레이티드 자기-제한 정밀기계소자를 가진 2중 기판 반사형의 공간 광 변조기 및 이의 제조방법
US6529310B1 (en) 1998-09-24 2003-03-04 Reflectivity, Inc. Deflectable spatial light modulator having superimposed hinge and deflectable element
CN100343717C (zh) * 1998-09-24 2007-10-17 反射公司 带有自限制微型机械元件的双层介质反射空间光调制器
US6201633B1 (en) 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
JP3643508B2 (ja) * 1999-09-28 2005-04-27 株式会社東芝 可動フィルム型表示装置
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6396619B1 (en) 2000-01-28 2002-05-28 Reflectivity, Inc. Deflectable spatial light modulator having stopping mechanisms
US6741383B2 (en) 2000-08-11 2004-05-25 Reflectivity, Inc. Deflectable micromirrors with stopping mechanisms
US6535318B1 (en) * 1999-11-12 2003-03-18 Jds Uniphase Corporation Integrated optoelectronic devices having pop-up mirrors therein and methods of forming and operating same
WO2001048549A1 (en) * 1999-12-23 2001-07-05 Alcatel Shutter for satellite tracking antenna
US6443637B1 (en) 2000-03-15 2002-09-03 Eastman Kodak Company Camera with electrostatic light valve that functions as diaphragm
US6325554B1 (en) 2000-03-15 2001-12-04 Eastman Kodak Company Camera with electrostatic light valve that functions as image reflecting mirror for viewfinder
JP2002006241A (ja) * 2000-06-19 2002-01-09 Sony Corp 光スイッチング素子およびこれを用いたスイッチング装置並びに画像表示装置
US7099065B2 (en) * 2000-08-03 2006-08-29 Reflectivity, Inc. Micromirrors with OFF-angle electrodes and stops
ATE367172T1 (de) * 2001-11-08 2007-08-15 Atrium Medical Corp Intraluminale vorrichtung mit einer ein therapeutisches-mittel enthaltenden beschichtung
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US7781850B2 (en) 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
US7405860B2 (en) * 2002-11-26 2008-07-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
TWI289708B (en) 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
JP2010172190A (ja) * 2002-12-27 2010-08-05 Nippon Signal Co Ltd:The プレーナ型電磁アクチュエータ
TW570896B (en) 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
JP3934578B2 (ja) * 2003-06-09 2007-06-20 ペンタックス株式会社 走査ミラー、ビーム走査型プローブ
JP2005121906A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Fuji Photo Film Co Ltd 反射型光変調アレイ素子及び露光装置
US7342705B2 (en) 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7119945B2 (en) * 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7164520B2 (en) 2004-05-12 2007-01-16 Idc, Llc Packaging for an interferometric modulator
US7787170B2 (en) 2004-06-15 2010-08-31 Texas Instruments Incorporated Micromirror array assembly with in-array pillars
US7113322B2 (en) * 2004-06-23 2006-09-26 Reflectivity, Inc Micromirror having offset addressing electrode
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US7808703B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for implementation of interferometric modulator displays
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7916103B2 (en) 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
US7944599B2 (en) 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7750886B2 (en) 2004-09-27 2010-07-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for lighting displays
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7692839B2 (en) 2004-09-27 2010-04-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7561323B2 (en) 2004-09-27 2009-07-14 Idc, Llc Optical films for directing light towards active areas of displays
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7349141B2 (en) 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and post structures for interferometric modulation
US7710629B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7701631B2 (en) 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US20060076634A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter
WO2006037049A2 (en) 2004-09-28 2006-04-06 Atrium Medical Corporation Application of a coating on a medical device
US9012506B2 (en) 2004-09-28 2015-04-21 Atrium Medical Corporation Cross-linked fatty acid-based biomaterials
WO2006036984A2 (en) 2004-09-28 2006-04-06 Atrium Medical Corporation Stand-alone film and methods for making the same
WO2006036970A2 (en) * 2004-09-28 2006-04-06 Atrium Medical Corporation Method of thickening a coating using a drug
US8312836B2 (en) 2004-09-28 2012-11-20 Atrium Medical Corporation Method and apparatus for application of a fresh coating on a medical device
US9801982B2 (en) 2004-09-28 2017-10-31 Atrium Medical Corporation Implantable barrier device
US9000040B2 (en) 2004-09-28 2015-04-07 Atrium Medical Corporation Cross-linked fatty acid-based biomaterials
US8367099B2 (en) 2004-09-28 2013-02-05 Atrium Medical Corporation Perforated fatty acid films
US7092143B2 (en) * 2004-10-19 2006-08-15 Reflectivity, Inc Micromirror array device and a method for making the same
US7295363B2 (en) 2005-04-08 2007-11-13 Texas Instruments Incorporated Optical coating on light transmissive substrates of micromirror devices
GB0510470D0 (en) * 2005-05-23 2005-06-29 Qinetiq Ltd Coded aperture imaging system
US9427423B2 (en) 2009-03-10 2016-08-30 Atrium Medical Corporation Fatty-acid based particles
US9278161B2 (en) 2005-09-28 2016-03-08 Atrium Medical Corporation Tissue-separating fatty acid adhesion barrier
CA2626030A1 (en) 2005-10-15 2007-04-26 Atrium Medical Corporation Hydrophobic cross-linked gels for bioabsorbable drug carrier coatings
US7795061B2 (en) 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
GB2434937A (en) 2006-02-06 2007-08-08 Qinetiq Ltd Coded aperture imaging apparatus performing image enhancement
GB0602380D0 (en) * 2006-02-06 2006-03-15 Qinetiq Ltd Imaging system
GB2434934A (en) * 2006-02-06 2007-08-08 Qinetiq Ltd Processing coded aperture image data by applying weightings to aperture functions and data frames
GB2434877A (en) * 2006-02-06 2007-08-08 Qinetiq Ltd MOEMS optical modulator
GB2434936A (en) 2006-02-06 2007-08-08 Qinetiq Ltd Imaging system having plural distinct coded aperture arrays at different mask locations
GB2434935A (en) * 2006-02-06 2007-08-08 Qinetiq Ltd Coded aperture imager using reference object to form decoding pattern
US7603001B2 (en) 2006-02-17 2009-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing back-lighting in an interferometric modulator display device
US7903047B2 (en) 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US7649671B2 (en) 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7766498B2 (en) 2006-06-21 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Linear solid state illuminator
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
GB0615040D0 (en) * 2006-07-28 2006-09-06 Qinetiq Ltd Processing method for coded apperture sensor
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
KR20150014978A (ko) 2006-10-06 2015-02-09 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 디스플레이 장치 및 디스플레이의 형성 방법
WO2008045207A2 (en) 2006-10-06 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light guide
US9492596B2 (en) 2006-11-06 2016-11-15 Atrium Medical Corporation Barrier layer with underlying medical device and one or more reinforcing support structures
WO2008057344A2 (en) 2006-11-06 2008-05-15 Atrium Medical Corporation Coated surgical mesh
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US7949213B2 (en) 2007-12-07 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light illumination of displays with front light guide and coupling elements
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
WO2009129264A1 (en) 2008-04-15 2009-10-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light with bi-directional propagation
DE102008019600B4 (de) * 2008-04-18 2021-03-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben
GB0822281D0 (en) * 2008-12-06 2009-01-14 Qinetiq Ltd Optically diverse coded aperture imaging
US8172417B2 (en) 2009-03-06 2012-05-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Shaped frontlight reflector for use with display
BRPI1012084A2 (pt) 2009-05-29 2017-01-10 Qualcomm Mems Technologies Inc dispositivo de exibição de luz e método de produção do mesmo
US20110038910A1 (en) 2009-08-11 2011-02-17 Atrium Medical Corporation Anti-infective antimicrobial-containing biomaterials
US10303035B2 (en) 2009-12-22 2019-05-28 View, Inc. Self-contained EC IGU
US11592723B2 (en) 2009-12-22 2023-02-28 View, Inc. Automated commissioning of controllers in a window network
US10747082B2 (en) 2009-12-22 2020-08-18 View, Inc. Onboard controller for multistate windows
US8213074B1 (en) 2011-03-16 2012-07-03 Soladigm, Inc. Onboard controller for multistate windows
CN102834761A (zh) 2010-04-09 2012-12-19 高通Mems科技公司 机电装置的机械层及其形成方法
US10322213B2 (en) 2010-07-16 2019-06-18 Atrium Medical Corporation Compositions and methods for altering the rate of hydrolysis of cured oil-based materials
US11822202B2 (en) 2011-03-16 2023-11-21 View, Inc. Controlling transitions in optically switchable devices
US11703814B2 (en) 2011-03-16 2023-07-18 View, Inc. Security event detection with smart windows
US10989977B2 (en) 2011-03-16 2021-04-27 View, Inc. Onboard controller for multistate windows
US8705162B2 (en) 2012-04-17 2014-04-22 View, Inc. Controlling transitions in optically switchable devices
US11415949B2 (en) 2011-03-16 2022-08-16 View, Inc. Security event detection with smart windows
US11054792B2 (en) * 2012-04-13 2021-07-06 View, Inc. Monitoring sites containing switchable optical devices and controllers
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
JP5803615B2 (ja) * 2011-11-29 2015-11-04 富士通株式会社 電子デバイスとその製造方法
ES2625003T3 (es) 2012-04-13 2017-07-18 View, Inc. Aplicaciones para controlar ópticamente dispositivos conmutables
US10964320B2 (en) 2012-04-13 2021-03-30 View, Inc. Controlling optically-switchable devices
US11255120B2 (en) 2012-05-25 2022-02-22 View, Inc. Tester and electrical connectors for insulated glass units
US9867880B2 (en) 2012-06-13 2018-01-16 Atrium Medical Corporation Cured oil-hydrogel biomaterial compositions for controlled drug delivery
US11868103B2 (en) 2014-03-05 2024-01-09 View, Inc. Site monitoring system
EP3114640B1 (en) 2014-03-05 2022-11-02 View, Inc. Monitoring sites containing switchable optical devices and controllers
US11150616B2 (en) 2014-03-05 2021-10-19 View, Inc. Site monitoring system
CN113267933A (zh) 2014-06-30 2021-08-17 唯景公司 用于在功率可用性降低期间控制光学可切换窗户网络的方法和系统
US11003041B2 (en) 2014-06-30 2021-05-11 View, Inc. Power management for electrochromic window networks
US10514963B2 (en) 2014-12-08 2019-12-24 View, Inc. Multiple interacting systems at a site
US11740948B2 (en) 2014-12-08 2023-08-29 View, Inc. Multiple interacting systems at a site
DE102015112296A1 (de) * 2015-07-28 2017-02-02 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Optische Sensorvorrichtung für ein Kraftfahrzeug, Kraftfahrzeug sowie Verfahren
US11384596B2 (en) 2015-09-18 2022-07-12 View, Inc. Trunk line window controllers
EP3520067B1 (en) 2016-10-03 2023-12-20 View, Inc. Site monitoring system
US11747696B2 (en) 2017-04-26 2023-09-05 View, Inc. Tandem vision window and media display
CN110709784A (zh) 2017-04-26 2020-01-17 唯景公司 可着色窗户系统计算平台
US10571683B2 (en) * 2017-11-28 2020-02-25 Aptiv Technologies Limited Multi-faceted MEMS mirror device useful for vehicle LIDAR
TW202206925A (zh) 2020-03-26 2022-02-16 美商視野公司 多用戶端網路中之存取及傳訊
US11631493B2 (en) 2020-05-27 2023-04-18 View Operating Corporation Systems and methods for managing building wellness

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4087810A (en) * 1976-06-30 1978-05-02 International Business Machines Corporation Membrane deformographic display, and method of making
CH633902A5 (fr) * 1980-03-11 1982-12-31 Centre Electron Horloger Dispositif de modulation de lumiere.
US4420896A (en) * 1981-09-17 1983-12-20 General Electric Company Method for fabrication of electroscopic display devices and transmissive display devices fabricated thereby
US4571603A (en) * 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
US4653859A (en) * 1983-03-04 1987-03-31 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal optical modulating element having particular capacitance between lines and method for driving the same
CH654686A5 (fr) * 1983-11-18 1986-02-28 Centre Electron Horloger Procede de fabrication d'un dispositif a volets miniatures et application d'un tel procede pour l'obtention d'un dispositif de modulation de lumiere.
US4566935A (en) * 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
EP0246547A3 (de) * 1986-05-22 1990-06-13 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung zur optischen Bildverarbeitung
DE3741856C1 (de) * 1987-12-10 1989-04-20 Messerschmitt Boelkow Blohm Optronische stoergeschuetzte Flugkoerperortung
US5101236A (en) * 1989-12-21 1992-03-31 Texas Instruments Incorporated Light energy control system and method of operation
CH682523A5 (fr) * 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
US5083857A (en) * 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
GB9107144D0 (en) * 1991-04-05 1991-05-22 Rank Cintel Ltd Recording video signals on cinematographic film

Also Published As

Publication number Publication date
DK0643378T3 (da) 1998-08-24
JPH07181404A (ja) 1995-07-21
NO943381L (no) 1995-03-14
FR2710161A1 (fr) 1995-03-24
FR2710161B1 (fr) 1995-11-24
ES2113019T3 (es) 1998-04-16
EP0643378B1 (fr) 1997-12-17
FI114509B (fi) 2004-10-29
NO943381D0 (no) 1994-09-12
FI944198A0 (fi) 1994-09-12
DE69407370T2 (de) 1998-07-09
DE69407370D1 (de) 1998-01-29
JP3485206B2 (ja) 2004-01-13
US5579149A (en) 1996-11-26
FI944198A (fi) 1995-03-14
EP0643378A1 (fr) 1995-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO309215B1 (no) Miniatyrnettverk av lyssperreanordninger
US7116463B2 (en) High angular deflection micro-mirror system
US4698602A (en) Micromirror spatial light modulator
US6661561B2 (en) High frequency deformable mirror device
US6411425B1 (en) Electromechanical grating display system with spatially separated light beams
Hornbeck et al. Bistable deformable mirror device
US5835256A (en) Reflective spatial light modulator with encapsulated micro-mechanical elements
US6859580B2 (en) Systems and methods for overcoming stiction using a lever
US5739941A (en) Non-linear hinge for micro-mechanical device
US4728185A (en) Imaging system
US6476848B2 (en) Electromechanical grating display system with segmented waveplate
US6147790A (en) Spring-ring micromechanical device
US5768007A (en) Phase matched reset for digital micro-mirror device
US6278812B1 (en) Protection schemes for mirror-failure in free-space micromachined optical switches
US20020149834A1 (en) Light modulation device and system
US6977777B1 (en) Active optical zoom system
US20120236216A1 (en) Wavelength Selective Switch
JP4406549B2 (ja) 光変調素子及び光変調アレイ素子並びにそれを用いた露光装置
JPH07507155A (ja) 空間光変調器システム
EP1444859B1 (en) Optical crossbar switch
US6570681B1 (en) System and method for dynamic optical switching using a diffractive optical element
US5959756A (en) Optical deflection switch
US7116380B2 (en) Video projector and optical light valve therefor
EP1099966A2 (en) Micromirror optical switch
WO2002042825A1 (en) Light modulation device and system

Legal Events

Date Code Title Description
MK1K Patent expired