NO20053164D0 - Innretning og fremgangsmate for a inspisere mikrostrukturer. - Google Patents

Innretning og fremgangsmate for a inspisere mikrostrukturer.

Info

Publication number
NO20053164D0
NO20053164D0 NO20053164A NO20053164A NO20053164D0 NO 20053164 D0 NO20053164 D0 NO 20053164D0 NO 20053164 A NO20053164 A NO 20053164A NO 20053164 A NO20053164 A NO 20053164A NO 20053164 D0 NO20053164 D0 NO 20053164D0
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
microstructures
inspecting
inspecting microstructures
Prior art date
Application number
NO20053164A
Other languages
English (en)
Other versions
NO20053164L (no
Inventor
Katsuya Okumura
Toshiyuki Matsumoto
Naoki Ikeuchi
Masami Yakabe
Original Assignee
Octec Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Publication of NO20053164L publication Critical patent/NO20053164L/no
Priority claimed from JP2005160701A external-priority patent/JP4387987B2/ja
Application filed by Octec Inc filed Critical Octec Inc
Publication of NO20053164D0 publication Critical patent/NO20053164D0/no

Links

NO20053164A 2005-03-09 2005-06-28 Innretning og fremgangsmate for a inspisere mikrostrukturer. NO20053164D0 (no)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005064876 2005-03-09
JP2005160701A JP4387987B2 (ja) 2004-06-11 2005-05-31 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法および微小構造体の検査プログラム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NO20053164L NO20053164L (no) 2003-12-01
NO20053164D0 true NO20053164D0 (no) 2005-06-28

Family

ID=35295306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO20053164A NO20053164D0 (no) 2005-03-09 2005-06-28 Innretning og fremgangsmate for a inspisere mikrostrukturer.

Country Status (1)

Country Link
NO (1) NO20053164D0 (no)

Also Published As

Publication number Publication date
NO20053164L (no) 2003-12-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK1966594T3 (da) Anordning og fremsgangsmåde til påvisning af mykotoxiner
DK1997291T3 (da) Metode og anordning til sikker godkendelse
NO20054451D0 (no) Fremgangsmate og innretning for friksjonssveising
DE602006020651D1 (de) Kalibrierverfahren und -vorrichtung
DK1964432T3 (da) Fremgangsmåde og apparat til at kommunikere transmissionsbacklog-information
DE602006007752D1 (de) Relais-Prüfvorrichtung und-verfahren
BRPI0615288A2 (pt) dispositivo e método de medida de distância
DK1855102T3 (da) Fluorescens påvisningsapparat og en fluorescens påvisningsmetode
NL1032239A1 (nl) Sequentieel veldweergave-inrichting en werkwijze daarvoor.
NL1031119A1 (nl) Blootstellingswerkwijze van een patroon en inrichting.
DE602006011600D1 (de) Audiocodierungseinrichtung und audiocodierungsverfahren
HK1122611A1 (en) Plane position detecting apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method
DE602006014957D1 (de) Audiocodierungseinrichtung und audiocodierungsverfahren
DK1789945T3 (da) A method for testing electronic devices
GB2445699B8 (en) Apparatus and method for finding a device
NO20051931D0 (no) Anordning og fremgangsmate for tilstandskontroll.
NO20053843D0 (no) Fremgangsmate og anordning for friksjonssveising.
NL1031824A1 (nl) Een nieuwe inrichting en werkwijze voor immersie lithografie.
DE602006020231D1 (de) Detektionsvorrichtung und -verfahren
NO20052109D0 (no) Fremgangsmate og anordning for stoydeteksjon.
NO20081343L (no) Biosensor-måleanordning, biosensor-målesystem og biosensor-målemetode
NL1036313A1 (nl) Device manufacturing method and lithographic apparatus.
DE602006007889D1 (de) Belichtungsverfahren und -vorrichtung
NO20050503D0 (no) Fremgangsmate og anordning
DK1872099T3 (da) Vejeapparat og -fremgangsmåde

Legal Events

Date Code Title Description
FC2A Withdrawal, rejection or dismissal of laid open patent application