NO169897B - Bestraalingssensitiv forbindelse og anvendelse i straalingsfoelsomme blandinger - Google Patents
Bestraalingssensitiv forbindelse og anvendelse i straalingsfoelsomme blandinger Download PDFInfo
- Publication number
- NO169897B NO169897B NO843221A NO843221A NO169897B NO 169897 B NO169897 B NO 169897B NO 843221 A NO843221 A NO 843221A NO 843221 A NO843221 A NO 843221A NO 169897 B NO169897 B NO 169897B
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- radiation
- compound
- sensitive
- trichloromethylbenzoylmethylene
- methyl
- Prior art date
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims abstract description 53
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HRJRAQWOPMQFNT-UHFFFAOYSA-N C1=CC2=CC=CC=C2N(C)C1=CC(=O)C1=CC=C(C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2N(C)C1=CC(=O)C1=CC=C(C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 HRJRAQWOPMQFNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000004183 alkoxy alkyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000001634 furandiyl group Chemical group O1C(=C(C=C1)*)* 0.000 claims description 2
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 claims description 2
- CBDKQYKMCICBOF-UHFFFAOYSA-N thiazoline Chemical compound C1CN=CS1 CBDKQYKMCICBOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- -1 B represents H Chemical group 0.000 abstract description 5
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 abstract description 2
- 125000002373 5 membered heterocyclic group Chemical group 0.000 abstract 1
- 125000004070 6 membered heterocyclic group Chemical group 0.000 abstract 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 abstract 1
- 125000003435 aroyl group Chemical group 0.000 abstract 1
- 125000006517 heterocyclyl carbonyl group Chemical group 0.000 abstract 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 abstract 1
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 abstract 1
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 10
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- LNIAVCRNJMPGGT-UHFFFAOYSA-N 4-(trichloromethyl)benzoyl chloride Chemical compound ClC(=O)C1=CC=C(C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 LNIAVCRNJMPGGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 3
- WOHLSTOWRAOMSG-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1,3-benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SCNC2=C1 WOHLSTOWRAOMSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GYHJFWZSCIYJKD-UHFFFAOYSA-M 2,3-dimethyl-1,3-benzothiazol-3-ium;4-methylbenzenesulfonate Chemical compound C1=CC=C2[N+](C)=C(C)SC2=C1.CC1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1 GYHJFWZSCIYJKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- JPIWSSCOPNJOMU-UHFFFAOYSA-N 2-(3-methyl-1,3-benzothiazol-2-ylidene)-1-[4-(trichloromethyl)phenyl]ethanone Chemical compound S1C2=CC=CC=C2N(C)C1=CC(=O)C1=CC=C(C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 JPIWSSCOPNJOMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C=C HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JNRLEMMIVRBKJE-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Methylenebis(N,N-dimethylaniline) Chemical class C1=CC(N(C)C)=CC=C1CC1=CC=C(N(C)C)C=C1 JNRLEMMIVRBKJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JCYPECIVGRXBMO-UHFFFAOYSA-N 4-(dimethylamino)azobenzene Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 JCYPECIVGRXBMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WZKXBGJNNCGHIC-UHFFFAOYSA-N Leucomalachite green Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=CC=C1 WZKXBGJNNCGHIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 2
- 238000006303 photolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 230000015843 photosynthesis, light reaction Effects 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 2
- LIZLYZVAYZQVPG-UHFFFAOYSA-N (3-bromo-2-fluorophenyl)methanol Chemical compound OCC1=CC=CC(Br)=C1F LIZLYZVAYZQVPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDQNWDNMNKSMHI-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-prop-2-enoyloxypropoxy)propoxy]propan-2-yl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)COC(C)COCC(C)OC(=O)C=C ZDQNWDNMNKSMHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HUHXLHLWASNVDB-UHFFFAOYSA-N 2-(oxan-2-yloxy)oxane Chemical compound O1CCCCC1OC1OCCCC1 HUHXLHLWASNVDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 1
- LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N Bisphenol A diglycidyl ether Chemical compound C=1C=C(OCC2OC2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAHJEBDVNOMGFL-UHFFFAOYSA-O CC[S+]1C(C=CC2=CC=CC=C22)=C2NC1=CC(C1=CC=C(C(Cl)(Cl)Cl)C=C1)=O Chemical compound CC[S+]1C(C=CC2=CC=CC=C22)=C2NC1=CC(C1=CC=C(C(Cl)(Cl)Cl)C=C1)=O PAHJEBDVNOMGFL-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001744 Polyaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVLWAIIIVWVCFZ-UHFFFAOYSA-N [4-(trichloromethyl)phenyl]-(1,3,3-trimethyl-4-methylidene-2,3a-dihydroindol-2-yl)methanone Chemical compound CC1(C)C(C(C=CC=2)=C)C=2N(C)C1C(=O)C1=CC=C(C(Cl)(Cl)Cl)C=C1 WVLWAIIIVWVCFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 150000008360 acrylonitriles Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- KXNQKOAQSGJCQU-UHFFFAOYSA-N benzo[e][1,3]benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2C(N=CS3)=C3C=CC2=C1 KXNQKOAQSGJCQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WMUIZUWOEIQJEH-UHFFFAOYSA-N benzo[e][1,3]benzoxazole Chemical group C1=CC=C2C(N=CO3)=C3C=CC2=C1 WMUIZUWOEIQJEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 1
- UDSAIICHUKSCKT-UHFFFAOYSA-N bromophenol blue Chemical compound C1=C(Br)C(O)=C(Br)C=C1C1(C=2C=C(Br)C(O)=C(Br)C=2)C2=CC=CC=C2S(=O)(=O)O1 UDSAIICHUKSCKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- IVJISJACKSSFGE-UHFFFAOYSA-N formaldehyde;1,3,5-triazine-2,4,6-triamine Chemical compound O=C.NC1=NC(N)=NC(N)=N1 IVJISJACKSSFGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 239000000852 hydrogen donor Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N n-vinylcarbazole Chemical compound C1=CC=C2N(C=C)C3=CC=CC=C3C2=C1 KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000005740 oxycarbonyl group Chemical group [*:1]OC([*:2])=O 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 1
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M sodium benzoate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000010234 sodium benzoate Nutrition 0.000 description 1
- 239000004299 sodium benzoate Substances 0.000 description 1
- JXKPEJDQGNYQSM-UHFFFAOYSA-M sodium propionate Chemical compound [Na+].CCC([O-])=O JXKPEJDQGNYQSM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 235000010334 sodium propionate Nutrition 0.000 description 1
- JMHCCAYJTTWMCX-QWPJCUCISA-M sodium;(2s)-2-amino-3-[4-(4-hydroxy-3,5-diiodophenoxy)-3,5-diiodophenyl]propanoate;pentahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.[Na+].IC1=CC(C[C@H](N)C([O-])=O)=CC(I)=C1OC1=CC(I)=C(O)C(I)=C1 JMHCCAYJTTWMCX-QWPJCUCISA-M 0.000 description 1
- 239000012265 solid product Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 150000003440 styrenes Chemical class 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D409/00—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
- C07D409/02—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms containing two hetero rings
- C07D409/06—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms containing two hetero rings linked by a carbon chain containing only aliphatic carbon atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D209/00—Heterocyclic compounds containing five-membered rings, condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom
- C07D209/02—Heterocyclic compounds containing five-membered rings, condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom condensed with one carbocyclic ring
- C07D209/04—Indoles; Hydrogenated indoles
- C07D209/10—Indoles; Hydrogenated indoles with substituted hydrocarbon radicals attached to carbon atoms of the hetero ring
- C07D209/12—Radicals substituted by oxygen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D215/00—Heterocyclic compounds containing quinoline or hydrogenated quinoline ring systems
- C07D215/02—Heterocyclic compounds containing quinoline or hydrogenated quinoline ring systems having no bond between the ring nitrogen atom and a non-ring member or having only hydrogen atoms or carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom
- C07D215/12—Heterocyclic compounds containing quinoline or hydrogenated quinoline ring systems having no bond between the ring nitrogen atom and a non-ring member or having only hydrogen atoms or carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom with substituted hydrocarbon radicals attached to ring carbon atoms
- C07D215/14—Radicals substituted by oxygen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D277/00—Heterocyclic compounds containing 1,3-thiazole or hydrogenated 1,3-thiazole rings
- C07D277/60—Heterocyclic compounds containing 1,3-thiazole or hydrogenated 1,3-thiazole rings condensed with carbocyclic rings or ring systems
- C07D277/62—Benzothiazoles
- C07D277/64—Benzothiazoles with only hydrocarbon or substituted hydrocarbon radicals attached in position 2
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D277/00—Heterocyclic compounds containing 1,3-thiazole or hydrogenated 1,3-thiazole rings
- C07D277/60—Heterocyclic compounds containing 1,3-thiazole or hydrogenated 1,3-thiazole rings condensed with carbocyclic rings or ring systems
- C07D277/84—Naphthothiazoles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D293/00—Heterocyclic compounds containing rings having nitrogen and selenium or nitrogen and tellurium, with or without oxygen or sulfur atoms, as the ring hetero atoms
- C07D293/10—Heterocyclic compounds containing rings having nitrogen and selenium or nitrogen and tellurium, with or without oxygen or sulfur atoms, as the ring hetero atoms condensed with carbocyclic rings or ring systems
- C07D293/12—Selenazoles; Hydrogenated selenazoles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07D—HETEROCYCLIC COMPOUNDS
- C07D417/00—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having nitrogen and sulfur atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by group C07D415/00
- C07D417/02—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having nitrogen and sulfur atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by group C07D415/00 containing two hetero rings
- C07D417/06—Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having nitrogen and sulfur atoms as the only ring hetero atoms, not provided for by group C07D415/00 containing two hetero rings linked by a carbon chain containing only aliphatic carbon atoms
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/675—Compositions containing polyhalogenated compounds as photosensitive substances
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/028—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
- G03F7/029—Inorganic compounds; Onium compounds; Organic compounds having hetero atoms other than oxygen, nitrogen or sulfur
- G03F7/0295—Photolytic halogen compounds
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/114—Initiator containing
- Y10S430/117—Free radical
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/114—Initiator containing
- Y10S430/12—Nitrogen compound containing
- Y10S430/121—Nitrogen in heterocyclic ring
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/114—Initiator containing
- Y10S430/124—Carbonyl compound containing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/114—Initiator containing
- Y10S430/124—Carbonyl compound containing
- Y10S430/125—Carbonyl in heterocyclic compound
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/114—Initiator containing
- Y10S430/126—Halogen compound containing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/127—Spectral sensitizer containing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plural Heterocyclic Compounds (AREA)
- Nitrogen Condensed Heterocyclic Rings (AREA)
- Pyridine Compounds (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
- Indole Compounds (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Nitrogen And Oxygen As The Only Ring Hetero Atoms (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
Bestrålingssensitiv forbindelse med den generelle formel. hvor A betyr de nødvendige ringelementer til å full-stendiggjøre en 5- eller 6-leddet heterocyklisk ring som eventuelt kan være kondensert med en eventuelt substituert aromatisk kjerne, B betyr H, acyl, aroyl, heterocyklylkarbonyl eller. R betyr en eventuelt substituert alkylgruppe,. E og G, som kan vare like eller forskjellige, betyr hver H eller CH X,. P 3-p'. J og K, som kan være like eller forskjellige, betyr hver en aryl eller heterocyklisk gruppe, som eventuelt kan inneholde en substituent i tillegg til E eller G,. X betyr Cl eller Br, og. m, n og p, som kan være like eller forskjellige, betyr hver et heltall 0, 1 eller 2.Forbindelsen kan brukes til å danne bestrålingssensitive blandinger for fremstilling av bestrålingssensitive plater i litografisk trykkplatefabrikasjon.
Description
Foreliggende oppfinnelse vedrører bestrålingssensitive forbindelser som kan anvendes på bestrålingssensitive plater for litografisk trykkplateproduksjon, fotoresister og fotobildesystemer, som inneholder slike bestrålingssensitive blandinger.
Ifølge oppfinnelsen har den bestrålingssensitive forbindelse den generelle formel
hvor A betyr de nødvendige ringelementer til å fullstendig-gjøre en 5- eller 6-leddet nitrogeninneholdende ring som kan være kondensert med en aromatisk kjerne,
B betyr H eller
R betyr en alkyl- eller alkoksyalkylgruppe,
E og G, som kan være like eller forskjellige, betyr hver H eller CHp<X>3_pi
J og K, som kan være like eller forskjellige, betyr hver en fenylen-, tiendinyl- eller furandiylgruppe,
X betyr Cl eller Br, og
m, n og p, som kan være like eller forskjellige, betyr hver et heltall lik 0, 1 eller 2.
Eksempler på grupper av den type hvor den nitrogeninneholdende ring er kondensert med en aromatisk kjerne er benzotiazolin-, benzoselenazolin-, benzoksazolin-, naf-totiazolin-, naftoselenazolin- og naftoksazolingrupper. Spesifikke eksempler på forbindelser ifølge foreliggende oppfinnelse er vist i formlene I-XXII. Spesielt foretrukne forbindelser er 3-metyl-2-(4'-triklormetylbenzoylmetylen)-benzotiazolin (formel I); 3-metyl-2-(4'-triklormetylbenzo-ylmetylen) -benzoselenazolin (formel IV); 3-etyl-2-(4'-tri-klormetylbenzoylmetylen) naf to (1 , 2-d) tiazolin (formel V); 3-metyl-2,2-bis-(4'-triklormetylbenzoylmetylen)-benzotiazol in (formel III); 1,3,3-trimetyl-2-(4'-triklormetylbenzoyl)-metylenindolin (formel VIII); 1,3,3-trimetyl-2-(4<1->triklor-metylbenzoyl) me tylen- 5 -klorindolin (formel IX); og 1-metyl-2-(4'-triklormetylbenzoylmetylen)-kinolin (formel XV).
Forbindelsene ifølge oppfinnelsen er sensitive overfor bestråling med en bølgelengde i området fra 300 til 550 nm. Koherent bestråling fra en laser i samme område kan også brukes, i likhet med en elektronstråle.
Forbindelsene ifølge foreliggende oppfinnelse kan fremstilles ved å omsette et metylenbasederivat av en heterocyklisk forbindelse med formelen
med et syrehalogenid med formelen
hvor Z er halogen og A, B, R, E, J, X og m har de oven-nevnte betydninger ved fremgangsmåter i likhet med slike som er beskrevet i britisk patent nr. 498012.
Hvis metylenbasen ikke er lett tilgjengelig kan forbind-eisene alternativt fremstilles ved å omsette et kvarternært heterocyklisk salt med formel
med syrehalogenidet i nærvær av syrebindende middel (f.eks. et amin, fortrinnsvis trietylamin eller pyridin) ved lignende fremgangsmåter som slike beskrevet i US patentene nr. 2.112.139 og 4.119.466.
De falaende s<y>nteser er typiske
Fremstilling av 3- metyl- 2-( 4'- triklormetylbenzoylmetylen)-benzotiazolin ( Formel 1)
2,3-dimetylbenzotiazolinium-p-toluensulfonat (10 g) ble oppslemmet i tørr toluen (50 ml) og avkjølt til 5°C. En opp-løsning av 4-triklormetylbenzoylklorid (8,9 g) i tørr toluen (10 ml) ble dråpevis satt til den omrørte oppslemming over et tidsrom på 30 minutter, mens temperaturen ble holdt på 10-15°C. En løsning av trietylamin (7 ml) i tørr toluen (10 ml) ble så tilsatt dråpevis over et tidsrom på 30 minutter, og temperaturen ble igjen holdt på 10-15°C. Reaksjonsblandingen ble rørt 2 timer ved romtemperatur. Det faste produkt ble filtrert fra, oppslemmet på nytt i metanol og omkrystallisert fra 3/1 kloroform/metanolløsning.
Sluttutbyttet var 3,1 g av et produkt med et smeltepunkt på 170-171°C og et maks på 394 nm. Elementæranalysetallene var:
Teoretisk: C 53,06; H 3,12; N 3,64 %
Funnet: C 53,21; H 3,32; N 3,79 %.
Fremstillin<g> av 3- metvl- 2, 2- bis-( 4'- triklormetylbenzoyl-metylen) benzotiazolin ( Formel III)
2,3-dimetylbenzotiazolium-p-toluensulfonat (6,7 g) og 4-triklormetylbenzoylklorid (11,9 g) ble oppløst i tørr pyri-
din (40 ml) under røring. Løsningen ble oppvarmet til 70-
80°C og holdt i dette temperaturområdet i 2 timer før den fikk avkjøles til romtemperatur natten over. Metanol (200
ml) ble satt til reaksjonsblandingen, etterfulgt av til-strekkelig vann til å utfelle produktet. Råproduktet ble filtrert fra og vasket med varm metanol, hvilket ga 2,5 g av et produkt med et smeltepunkt på 148-149°C og et maks på 375 nm. Elementæranalysetallene var:
Teoretisk: C 49,50; H 2,47; N 2,31 %
Funnet: C 50,36; H 2,65; N 2,55 %.
Fremstilling av 1. 3. 3- trimetvl- 2-( 4'- triklormetylbenzovl)-metvlen- 5- klorindolin ( Formel IX)
Til en omrørt løsning av 5-klor-l,3,3-trimetylenindolin
(9,35 g) i tørr toluen (40 ml) satte man dråpevis en løs-
ning av 4-triklormetylbenzoylklorid (11,61 g) i tørr toluen
(30 ml). Når tilsettingen var fullstendig, ble blandingen oppvarmet til 60°C og holdt på denne temperatur i 1,5 time før filtrering (varm). Et rødt faststoff erholdtes fra toluenfiltratene etter at løsningsmiddelet var fjernet på
en rotasjonsfordamper. Råproduktet ble oppslemmet i etylen-alkohol, filtrert og vasket med etylalkohol, hvilket ga 7,3
g av et lysegult krystallinsk faststoff med et smeltepunkt på 152-153°C og et maks (MeOH) på 392 nm. Elementæranalysetallene var:
Teoretisk: C 55,94; H 3,96; N 3,26 %
Funnet: C 55,96; H 4,16; N 3,29 %.
Forbindelsene ifølge oppfinnelsen virker som fri radikal-dannere og som syrefrigjøringsmidler. Det antas at ved utsettelse for aktinisk bestråling, dissosierer forbindelsene under dannelse av en fri radikal og et halogenatom som gir syre når hydrogendonatorer er tilstede. Virkningsgraden av en bestemt forbindelse som initsiator kan brukes som et mål på dens virkningsgrad i mekanismer som avhenger av nærvær av syre.
Forbindelsene har et bredt anvendelsesområde.
Forbindelsene kan brukes til å fremstille bestrålingssensitive blandinger. Generelt er en mengde av forbindelsen så lavt som 0,4 vekt-% av faststoffinnholdet av blandingen (fortrinnsvis fra 0,5 til 7 %), effektiv.
I en anvendelsesform kan den bestrålingssømfindtlige blanding omfatte en forbindelse ifølge foreliggende oppfinnelse og et materiale som angitt i krav 3. Når blandingen inneholder fotopolymeriserbart materiale, virker forbindelsen ifølge foreliggende oppfinnelse som en fotoinitsiator for materialet med utsettelse for bestråling. Spesielt egnede materialer for fremstilling av slike bestrålingsøm-findtlige blandinger er addisjonspolymeriserbare forbindelser som inneholder etylenisk umetning. Foretrukket er enkle forbindelser, eller monomere som de noen ganger benevnes, inneholdende etylenisk umetning, samt polymere inneholdende endegrupper eller sidegrupper som slutter med etylenisk umetning. F.eks. er uttrykket "addisjonspolymeriserbar forbindelse" ment å innbefatte polymere med gjentatte enheter med strukturen
hvor T er enhver gruppe som kan danne grunnkjeden i en polymer og R er hydrogen eller metyl.
Andre eksempler på anvendelige addisjonspolymeriserbare forbindelser inneholdende etylenisk umetning er monomere (met)akrylater, (met)akrylamider, allylforbindelser, vinyletere, vinylestere, N-vinylforbindelser, styrener, akrylo-nitriler og krotonater. Mange eksempler på hver av disse klasser er velkjente, såsom de som f.eks. er oppført i britisk patent nr. 1534137.
En meget foretrukket klasse addisjonspolymeriserbare forbindelser som inneholder etylenisk umetning omfatter (met)-akrylatforbindelsene. Spesielt anvendelige eksempler er alkyl(met)acylater inneholdende fra 1 til 30 og helst 1 til 5 karbonatomer i alkyldelen, såsom metyl- og etyl(met)akry-lat; pentaerytritol tri- og tetra(met)akrylater; estere av polyoler innbefattet glykoldi(met)akrylater, såsom tripro-pylenglykoldiakrylat, tetraétylenglykoldiakrylat og tri-etylenglykoldimetakrylat; alkandioldi(met)akrylater, såsom heksandioldi(met)akrylater; polyeterdi(met)akrylater; ure-tan(met)akrylater, såsom reaksjonsprodukter av hydroksyl-gruppeholdige (met)akrylater med di- eller polyisocyanater; epoksy (met) akrylater; og blandinger a.v de ovenfor nevnte.
Ifølge en annen anvendelsesform ifølge krav 3, omfatter den bestrålingssensitive blanding en forbindelse ifølge foreliggende oppfinnelse og et syreherdbart materiale. I dette tilfellet katalyserer syren, som frigjøres under fotolyse av forbindelsen ifølge foreliggende oppfinnelse, polymeriseringen av det syreherdbare materialet. Egnede syreherdbare materialer er f.eks. epoksyharpikser, fenol/- formaldehydharpikser, aminoplaster, såsom urea/formaldehyd-og melamin/formaldehydharpikser, vinyletere og N-vinylforbindelser. (I tilfellet de to siste materialer, er det mulig at radikalinitsierte reaksjoner kunne finne sted).
Ifølge en ytterligere anvendelsesform ifølge krav 3, omfatter den bestrålingssensitive blanding en forbindelse ifølge foreliggende oppfinnelse og en syrenedbrytbar forbindelse. En slik bestrålingssensitiv blanding er positivt arbeidende, ettersom den ved eksponering får de bestrålingstrufne områder solubilisert i forhold til de ikke-bestrålingstrufne områder. Eksempler på egnede syrenedbrytbare forbindelser er acetaler, som beskrevet i britisk patent nr. 15487 57 og US patent nr. 3.782.939, oksykarbonylestere av fenoler som beskrevet i europeisk patent nr. 102450, og polyaldehyder som beskrevet i US patent nr. 3.984.253.
Ifølge en ytterligere anvendelsesform ifølge krav 3, omfatter den bestråingssensitive blanding en forbindelse ifølge foreliggende oppfinnelse og en bestrålingsfølsom fargeindikator som viser en fargeforandring når forbindelsen utsettes for bestråling. Således kan substansen være et fargestoff, fargestofforstadium eller indikator som blekes eller på annen måte forandrer farger i nærvær av syrefotoly-seproduktene av forbindelsen ifølge foreliggende oppfinnelse, eller som et leukofargestoff som blir farget ved oksydasjon som en følge av at forbindelsen utsettes for bestråling.
Slike fargeforandringer er spesielt viktige ved fremstilling av litografiske trykkplater fra bestrålingssensitive plater, da de gir en synlig forskjell mellom billed- og ikke-billedflåtene etter billedvis eksponering, som gjør det mulig å finne defekter før platen fremkalles.
En bestrålingssensitiv blanding omfattende en forbindelse ifølge oppfinnelsen kan anvendes på et substrat under dannelse av en bestrålingssensitiv plate. Slike plater kan brukes i litografisk trykkplateproduksjon. I dette tilfellet eksponeres blandingen billedvis med aktinisk bestråling, slik at deler av blandingen treffes av bestråling og andre deler ikke. Avhengig av de andre bestanddelenes natur i den bestrålingssensitive blanding, har slike deler som er bestrålingstrufne, øket eller redusert løselighet i fremkal-lingsvæsker sammenlignet med de ikke-bestrålingstrufne deler. Ved således å fremkalle den billedvis eksponerte blanding ved bruk av en slik væske, fjernes selektivt de mer løselige deler, og et bilde bestående av de mindre løselige deler blir tilbake på substratet. Bildet utgjør det vannawisende svertemottagelige trykkområdet av den litografiske trykkplate, og det vannmottagelige, sverteav-visende ikke-trykkområdet til den litografiske trykkplate utgjøres av overflaten til substratet som blir tilbake under fremkallingstrinnet.
På lignende måte kan en bestrålingssensitiv blanding legges på et substrat og eksponeres billedvis og fremkalles når det er ønsket å bruke blandingen som fotoresist.
Substratet som brukes forut, kan være hvilket som helst substrat som er vanlig brukt til fotoresister eller til fremstilling av litografiske trykkplater, og et substrat dannet av et kornet og anodisert aluminium foretrekkes spesielt.
Om ønsket kan polymert bindemiddel inngå i den bestrålingssensitive blanding for å styrke blandingen og forbedre festet av blandingen til substratet. Typiske bindere er akrylpolymere, vinylacetatpolymere og novolakharpikser. Mange eksempler på egnede polymere er angitt i patentlit-teraturen og det skal her f.eks. vises til US patentene nr. 3.652.275 og 4.268.667, og til britisk publisert patent-ansøkning nr. 2.006.775.
Polymerisasjonen av vinylgruppeholdige monomere inhiberes ved nærvær av oksygen. Det er derfor ønskelig å anbringe over beleggene av bestrålingssensitive blandinger som omfatter slike monomere, et barrieresjikt som er gjennom-trengelig for bestråling og også ugjennomtrengelig for oksygen. Et sjikt av polyvinylalkohol er spesielt egnet for dette formål.
De følgende eksempler illustrerer oppfinnelsen.
Eksempel 1
En elektrolyttisk kornet og anodiset aluminiumsfolie ble virvelbelagt med en løsning i etylmetylketon av en bestrålingssensitiv blanding omfattende: 3 vektdeler dimetakrylatester av glycidyleteren av bisfenol
A,
1 vektdel vinylacetat/krotonsyre kopolymer, og 0,15 vektdeler av forbindelsen med formel I.
Overtrekksvekten var 1 g/m<2>. Etter tørking ble et overtrekk av poly(vinylalkohol) påført for å forhindre oksygeninhibe-ring. Den resulterende bestrålingssensitive plate ble eksponert gjennom en kontinuerlig tone Stouffer trinnkile for ultrafiolett lys (0,5 enheter) fra en Berkey-Ascor "printing down" ramme, og fremkalt med en vandig løsning inneholdende natriumpropanoat, natriumbenzoat og et overflateaktivt middel. Det fremkalte bildet av den resulterende litografiske trykkplate hadde en trinnkile på fast 8, hale 13.
Eksempel 2
Eksempel 1 ble gjentatt ved å bruke forbindelsene med formel II-XXII. Eksempelet ble gjentatt to ganger mer ved i ett tilfelle å bruke en eksponering på 5 enheter uten overtrekk, og i det andre tilfellet å bruke en eksponering på 5 enheter i nærvær av overtrekket.
Den følgende tabell gir detaljer for smeltepunkt (om kjent) og ^maks for disse forbindelser og hasighetene for de bestrålingssensitive plater laget med dem. I tabellen betyr betegnelsen "o/c" at overtrekk ble brukt, og betegnelsen "ingen o/c" betyr at overtrekket ble utelatt.
Eksempel 3
Eksempel 1 ble gjentatt, bortsett fra at den bestrålingssensitive blanding også inneholdt 0,15 vektdeler leuko-malakittgrønt. Etter billedvis eksponering hadde den resulterende plate et sterkt grønt bilde på en gul bakgrunn.
Eksempel 4
Eksempel 3 ble gjentatt, bortsett fra at krystallfiolett lacton ble brukt i stedet for leuko-malakittgrønt. Etter billedvis eksponering hadde den resulterende plate et sterkt fiolett bilde på en gul bakgrunn.
Eksempel 5
Eksempel 2 (ved bruk av forbindelsen med formel V) ble gjentatt, bortsett fra at platen ble eksponert i 60 sekunder for lys fra en xenon-bue gjennom et Wratten 47B filter som slipper gjennom bestråling i området 380-490 nm. Det fremkalte bildet hadde en trinnkileavlesning på fast 6, hale 11.
Eksempel 6
En oppløsning i aceton av en bestrålingssensitiv blanding omfattende: 3 vektdeler DYNOMIN MM-80 (Dyno Industrier), en melamin/- formaldehydharpiks, og
0,15 vektdeler av forbindelsen med formel IV,
ble virvelovertrukket på en folie av elektrolyttisk kornet og anodisert aluminium og tørket. Overtrekksvekten var 1 g/m2.
Den resulterende bestrålingsømfindtlige plate ble eksponert gjennom en kontinuerlig tone Stouffer trinnkile for ultrafiolett lys (20 enheter) fra en Berkey-Ascor "printing down" ramme og oppvarmet 1 minutt ved 80°C før fremkalling som beskrevet i eksempel 1. Det resulterende bildet hadde en trinnkileavlesning på fast 4, hale 9.
Eksempel 7
Eksempel 6 ble gjentatt, bortsett fra at DYNOMIN MM-80 ble erstattet av ARALDITE Gy 250 (Ciba-Geigy), en bisfenol A epoksyharpiks, og forbindelsen med formel I ble brukt. Det resulterende bildet hadde en trinnkileavlesning på fast 3, hale 7.
Eksempel 8
En oppløsning i etylmetylketon av en bestrålingsømfindtlig blanding omfattende:
4,5 vektdeler novolakharpiks,
10,4 vektdeler N-vinylkarbazol,
0,36 vektdeler sudan-gul, og
0,15 vektdeler av forbindelsen med formel I
ble virvellagt på en folie av elektrolyttisk kornet og anodisert aluminium og tørket. Overtrekksvekten var lg/cm<2>.
Den resulterende bestrålingsømfindtlige plate ble eksponert gjennom en trinnkile på en Berkey-Ascor ramme (20 enheter)
som gir et rødt bilde mot en gul bakgrunn. Platen ble fremkalt ved bruk av vandig alkalisk fremkaller og ga en trinnkileavlesning på fast 3, hale 8.
Eksempel 9
En positivt arbeidende bestrålingssensitiv blanding omfattende :
6 g naftokinondiazidsulfonsyreester,
27 g novolakharpiks,
0,48 g av forbindelsen med formel I, og
0,36 sudangul
fylt opp til 400 ml med 95/5 aceton/metyloksitol ble virvelbelagt på et elektrolyttisk kornet, svovelsyreanodisert, aluminiumsubstrat og ga et overtrekk med vekt 2,5 g/m<2>. Den resulterende bestrålingssensitive plate ble så tørket ved 100°C i 5 minutter.
Platen ble eksponert gjennom en Stouffer trinnkile på en Berkey-Ascor ramme for 18 enheter (ca. 36 sekunder), hvilket gir et gult bilde mot en rød bakgrunn. Platen ble skål-fremkalt i vandig alkalisk fremkaller i 45 sekunder. Etter sverting ga bildet en trinnkileavlesning på klar 2, fast 7.
Eksempel 10
Eksempel 9 ble gjentatt ved å bruke forbindelsene med formel VII og VI. Hver plate ga en trinnkileavlesning på klar 2, fast 7 etter 18 enheters eksponering på Berkey-Ascor rammen. Kontrasten før fremkalling av det gule bildet på den røde bakgrunn var den samme som for forbindelse VIII som for forbindelse I, mens kontrasten for forbindelse VI var ikke så god.
Eksempel 11
En positivt arbeidende bestrålingssensitiv blanding ble fremstilt fra:
6 g naftokinondiazidsulfonsyreester,
24 g novolakharpiks,
0,38 g av forbindelsen med formel VIII,
0,38 g bromfenolblått, og
0,19 g trietylamin
og fylt opp til 400 ml med 95/5 aceton/metyloksitol. Platen ble preparert og fremkalt som i eksempel 9. En eksponering på 10 enheter på Berkey-Ascor rammen ga en plate med et blekgrått bilde mot en grønn bakgrunn. Etter fremkalling og sverting ga bildet en trinnkileavlesning på klar 2, fast 6.
Eksempel 12
En positivt arbeidende blanding ble fremstilt fra:
25,5 g novolakharpiks,
4,26 g bis(2-tetrahydropyranyl)eter av bisfenol A, og
0,43 g av forbindelsen med formel IX
og fylt opp til 350 ml med etyImetylketon.
Løsningen ble virvellagt som i eksempel 9 og tørket ved 65°C i 10 minutter. Den resulterende bestrålingssensitive plate ble eksponert for 25 enheter i en Berkey-Ascor ramme og fremkalt i vandig alkalisk fremkaller i 75 sekunder. Etter sverting ga bildet en trinnkileavlesning på klar 2, fast 9.
Claims (3)
1. Bestrålingssensitiv forbindelse, karakterisert ved den generelle formel
A representerer de nødvendige ringelementer for å full-stendiggjøre en 5- eller 6-leddet nitrogeninneholdende ring som kan være kondensert med en aromatisk kjerne,
B representerer H, eller
R representerer en alkyl- eller alkoksyalkylgruppe,
E og G, som kan være like eller forskjellige, representerer hver H eller CHpX3_p,
J og K, som kan være like eller forskjellige, representerer hver en fenylen-, tiendinyl- eller furandiylgruppe,
X representerer Cl eller Br,
m, n og p, som kan være like eller forskjellige, er hver et heltall lik 0, 1 eller 2,
2. Bestrålingssensitiv forbindelse ifølge krav 1, karakterisert ved at den er 3-metyl-2-(4<1->triklormetylbenzoylmetylen)-benzotiazolin; 3-metyl-2-(4<1->triklormetylbenzoylmetylen)-benzoselenazolin; 3-etyl-2-(4<1->triklormetylbenzoylmetylen)-nafto(1,2-d)tiazolin; 3-metyl-2,2-bis-(4<1->triklormetylbenzoylmetylen)-benzotiazolin • 1,3,3-trimetyl-2-(4<1->triklormetyibenzoyl)metylen-indolin ; 1,3,3-trimetyl-2-(4<1->triklormetyibenzoyl)metylen-5-klorindolin; eller l-metyl-2-(4'-triklormetylbenzoylmet-ylen ) -kinolin.
3. Anvendelse av forbindelse ifølge krav 1 i strålings-følsomme blandinger inneholdende et fotopolymeriserbart materiale aktivert av frie radikaler, såsom en addisjonspolymeriserbar forbindelse inneholdende etylenisk umetning, eller et syreherdbart materiale, eller en bestrålingsfølsom fargeindikator eller en syrenedbrytbar forbindelse.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB838321813A GB8321813D0 (en) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | Radiation sensitive compounds |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NO843221L NO843221L (no) | 1985-02-13 |
NO169897B true NO169897B (no) | 1992-05-11 |
NO169897C NO169897C (no) | 1992-08-19 |
Family
ID=10547248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NO843221A NO169897C (no) | 1983-08-12 | 1984-08-10 | Bestraalingssensitiv forbindelse og anvendelse i straalingsfoelsomme blandinger |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5141841A (no) |
EP (1) | EP0135348B1 (no) |
AT (1) | ATE40848T1 (no) |
AU (1) | AU584308B2 (no) |
CA (1) | CA1335595C (no) |
DE (1) | DE3476780D1 (no) |
DK (1) | DK386484A (no) |
ES (1) | ES8607834A1 (no) |
FI (1) | FI72823C (no) |
GB (1) | GB8321813D0 (no) |
IE (1) | IE57703B1 (no) |
NO (1) | NO169897C (no) |
NZ (1) | NZ209183A (no) |
ZA (1) | ZA846152B (no) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8321813D0 (en) * | 1983-08-12 | 1983-09-14 | Vickers Plc | Radiation sensitive compounds |
DE3333450A1 (de) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Trihalogenmethylgruppen enthaltende carbonylmethylenheterocyclen, verfahren zu ihrer herstellung und lichtempfindliches gemisch, das diese verbindungen enthaelt |
DE3613632A1 (de) * | 1986-04-23 | 1987-10-29 | Hoechst Ag | Photopolymerisierbares gemisch und dieses enthaltendes photopolymerisierbares aufzeichnungsmaterial |
US5216158A (en) * | 1988-03-07 | 1993-06-01 | Hoechst Aktiengesellschaft | Oxadiazole compounds containing 4,6-bis-trichloromethyl-S-triazin-2-yl groups, process for their preparation |
DE3807381A1 (de) * | 1988-03-07 | 1989-09-21 | Hoechst Ag | 4,6-bis-trichlormethyl-s-triazin-2-ylgruppen enthaltende heterocyclische verbindungen, verfahren zu ihrer herstellung und lichtempfindliches gemisch, das diese verbindung enthaelt |
DE3912652A1 (de) * | 1989-04-18 | 1990-10-25 | Hoechst Ag | Lichtempfindliche bis-trichlormethyl-s-triazine, verfahren zu ihrer herstellung und diese verbindungen enthaltendes lichtempfindliches gemisch |
DE3930087A1 (de) * | 1989-09-09 | 1991-03-14 | Hoechst Ag | Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und daraus hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial |
DE3930086A1 (de) * | 1989-09-09 | 1991-03-21 | Hoechst Ag | Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und daraus hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial |
AU646871B2 (en) * | 1990-06-07 | 1994-03-10 | Astrazeneca Uk Limited | Therapeutic heterocyclic compounds |
US5552256A (en) * | 1994-09-29 | 1996-09-03 | International Business Machines Corporation | Positive resist composition containing naphthoquinonediazide compound having non-metallic atom directly bonded to the naphthalene ring |
US6542907B1 (en) | 2000-03-31 | 2003-04-01 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for decentralized, invertible generation of bounded-length globally unique replica identifiers |
WO2002002533A1 (fr) | 2000-07-05 | 2002-01-10 | Yamanouchi Pharmaceutical Co., Ltd. | Derives de propane-1,3-dione |
CN1964950A (zh) | 2004-06-04 | 2007-05-16 | 安斯泰来制药有限公司 | 丙烷-1,3-二酮衍生物或其盐 |
SI1864976T1 (sl) * | 2005-03-31 | 2012-12-31 | Astellas Pharma Inc. | Propan-1,3-dionski derivat ali njegova sol |
EP1910897A4 (en) * | 2005-07-29 | 2010-12-22 | Anocoil Corp | PRINTING PLATE THAT CAN BE IMAGED FOR PRESS DEVELOPMENT |
US8137897B2 (en) * | 2005-07-29 | 2012-03-20 | Anocoil Corporation | Processless development of printing plate |
US8343707B2 (en) | 2005-07-29 | 2013-01-01 | Anocoil Corporation | Lithographic printing plate for in-solidus development on press |
US8377630B2 (en) * | 2005-07-29 | 2013-02-19 | Anocoil Corporation | On-press plate development without contamination of fountain fluid |
US8133658B2 (en) * | 2005-07-29 | 2012-03-13 | Anocoil Corporation | Non-chemical development of printing plates |
US8277920B2 (en) | 2006-04-28 | 2012-10-02 | Adeka Corporation | Optical recording material, chalcone type compounds and metal complexes |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB466269A (en) * | 1935-08-15 | 1937-05-18 | Eastman Kodak Co | Improvements in the manufacture of intermediates for dyes |
GB498012A (en) * | 1937-06-30 | 1938-12-30 | Ig Farbenindustrie Ag | Process for the manufacture of polymethine dyestuffs |
DE1298414B (de) * | 1967-11-09 | 1969-06-26 | Kalle Ag | Lichtempfindliches Gemisch |
JPS5011286B1 (no) * | 1971-07-15 | 1975-04-30 | ||
US3987037A (en) * | 1971-09-03 | 1976-10-19 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Chromophore-substituted vinyl-halomethyl-s-triazines |
JPS5148516B2 (no) * | 1973-02-07 | 1976-12-21 | ||
US4053316A (en) * | 1973-03-16 | 1977-10-11 | Ici United States Inc. | Photopolymerization of ethylenically-unsaturated organic compounds |
JPS5319205B2 (no) * | 1973-03-27 | 1978-06-20 | ||
JPS5139025A (no) * | 1974-09-27 | 1976-04-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | |
US4113592A (en) * | 1975-04-14 | 1978-09-12 | Celanese Corporation | Trihalogenated hydrocarbons as co-photoinitiators |
US4040922A (en) * | 1975-10-06 | 1977-08-09 | Eastman Kodak Company | Photopolymerizable polymeric compositions containing halogen containing heterocyclic compound |
US4062686A (en) * | 1976-04-21 | 1977-12-13 | Eastman Kodak Company | Sensitizers for photocrosslinkable polymers |
JPS5928323B2 (ja) * | 1976-08-12 | 1984-07-12 | 富士写真フイルム株式会社 | 光重合性組成物 |
US4043887A (en) * | 1977-01-17 | 1977-08-23 | Eastman Kodak Company | Benzophenone initiators for the photopolymerization of unsaturated compounds |
US4189323A (en) * | 1977-04-25 | 1980-02-19 | Hoechst Aktiengesellschaft | Radiation-sensitive copying composition |
JPS5928328B2 (ja) * | 1977-11-29 | 1984-07-12 | 富士写真フイルム株式会社 | 光重合性組成物 |
JPS6053300B2 (ja) * | 1978-08-29 | 1985-11-25 | 富士写真フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
CA1153369A (en) * | 1979-12-28 | 1983-09-06 | Mobil Oil Corporation | Halo-alkyl substituted halogenated polynuclear ketone photoinitiators |
JPS5815503A (ja) * | 1981-07-20 | 1983-01-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光重合性組成物 |
US4454218A (en) * | 1982-09-13 | 1984-06-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | N-Alkylindolylidene and N-alkylbenzo-thiazolylidene alkanones as sensitizers for photopolymer compositions |
GB8312721D0 (en) * | 1983-05-09 | 1983-06-15 | Vickers Plc | Photoinitiators |
GB8321813D0 (en) * | 1983-08-12 | 1983-09-14 | Vickers Plc | Radiation sensitive compounds |
DE3333450A1 (de) * | 1983-09-16 | 1985-04-11 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Trihalogenmethylgruppen enthaltende carbonylmethylenheterocyclen, verfahren zu ihrer herstellung und lichtempfindliches gemisch, das diese verbindungen enthaelt |
DE3337024A1 (de) * | 1983-10-12 | 1985-04-25 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Lichtempfindliche, trichlormethylgruppen aufweisende verbindungen, verfahren zu ihrer herstellung und diese verbindungen enthaltendes lichtempfindliches gemisch |
GB8528545D0 (en) * | 1985-11-20 | 1985-12-24 | Minnesota Mining & Mfg | Photothermographic materials |
-
1983
- 1983-08-12 GB GB838321813A patent/GB8321813D0/en active Pending
-
1984
- 1984-08-07 FI FI843106A patent/FI72823C/fi not_active IP Right Cessation
- 1984-08-08 AU AU31706/84A patent/AU584308B2/en not_active Ceased
- 1984-08-08 ZA ZA846152A patent/ZA846152B/xx unknown
- 1984-08-09 AT AT84305425T patent/ATE40848T1/de not_active IP Right Cessation
- 1984-08-09 DE DE8484305425T patent/DE3476780D1/de not_active Expired
- 1984-08-09 EP EP84305425A patent/EP0135348B1/en not_active Expired
- 1984-08-10 ES ES535053A patent/ES8607834A1/es not_active Expired
- 1984-08-10 CA CA000460817A patent/CA1335595C/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-08-10 NZ NZ209183A patent/NZ209183A/xx unknown
- 1984-08-10 IE IE2070/84A patent/IE57703B1/en not_active IP Right Cessation
- 1984-08-10 DK DK386484A patent/DK386484A/da not_active Application Discontinuation
- 1984-08-10 NO NO843221A patent/NO169897C/no unknown
-
1989
- 1989-08-17 US US07/395,218 patent/US5141841A/en not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-05-22 US US07/886,858 patent/US5519136A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ZA846152B (en) | 1985-03-27 |
ES8607834A1 (es) | 1986-06-01 |
EP0135348A3 (en) | 1986-06-11 |
DE3476780D1 (en) | 1989-03-23 |
US5141841A (en) | 1992-08-25 |
NO169897C (no) | 1992-08-19 |
IE57703B1 (en) | 1993-03-10 |
IE842070L (en) | 1985-02-12 |
DK386484A (da) | 1985-02-13 |
NO843221L (no) | 1985-02-13 |
FI72823B (fi) | 1987-03-31 |
GB8321813D0 (en) | 1983-09-14 |
EP0135348B1 (en) | 1989-02-15 |
AU3170684A (en) | 1985-02-14 |
FI72823C (fi) | 1987-07-10 |
FI843106A (fi) | 1985-02-13 |
EP0135348A2 (en) | 1985-03-27 |
NZ209183A (en) | 1989-07-27 |
DK386484D0 (da) | 1984-08-10 |
ATE40848T1 (de) | 1989-03-15 |
US5519136A (en) | 1996-05-21 |
ES535053A0 (es) | 1986-06-01 |
AU584308B2 (en) | 1989-05-25 |
FI843106A0 (fi) | 1984-08-07 |
CA1335595C (en) | 1995-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NO169897B (no) | Bestraalingssensitiv forbindelse og anvendelse i straalingsfoelsomme blandinger | |
FI81786C (fi) | Trihalogenmetylgrupper innehaollande karbonylmetylenheterocykler, foerfarande foer deras framstaellning och ljuskaenslig blandning vilken innehaoller dessa foereningar. | |
US4371605A (en) | Photopolymerizable compositions containing N-hydroxyamide and N-hydroxyimide sulfonates | |
US5055579A (en) | Heterocyclic compounds containing 4,6-bis-trichloromethyl-s-triazin-2-ly groups | |
CA2681201C (en) | Photoactivable nitrogen bases | |
NO169313B (no) | Bestraalingssensitiv plate | |
EP0659781A2 (de) | Maleinimidcopolymere, insbesonder für Photoresists | |
US5403697A (en) | Positive radiation-sensitive mixture and recording material produced therefrom | |
EP0300410B1 (en) | Photopolymerizable composition | |
US4933452A (en) | Radiation sensitive isocyanurate compounds | |
JPH0728247A (ja) | 感放射線性混合物およびそれを用いるレリーフ構造体の製造方法 | |
US4758497A (en) | Photosensitive naphthoquinone diazide sulfonyl ester compounds for the fabrication of lithographic plates and photosensitive sheet construction with the compounds | |
JPS6310811B2 (no) | ||
EP0118766B1 (en) | Light-sensitive composition | |
EP0419095A2 (en) | Radiation sensitive compositions | |
US5298364A (en) | Radiation-sensitive sulfonic acid esters and their use | |
US5212307A (en) | Light-sensitive bis-trichloromethyl-s-triazines, and process for their preparation | |
US6248893B1 (en) | Non-heterocyclic oxonol infrared radiation sensitive compounds | |
US5851728A (en) | Three-component chemical amplified photoresist composition | |
EP0985165A1 (en) | Ionic halomethyl-1,3,5-triazine photoinitiators | |
US6248886B1 (en) | Heterocyclic oxonol infrared rediation sensitive compounds | |
GB1603909A (en) | Radiationsensitve polymers and the preparation thereof | |
JPS58190947A (ja) | 輻射線感応性画像形成組成物 |