NO127715B

NO127715B -

Info

Publication number: NO127715B
Application number: NO02940/71*[A
Authority: NO
Inventors: R Dohse; C Edeling; J Eisenmann
Original assignee: Elektro Thermit Gmbh
Priority date: 1970-08-26
Filing date: 1971-08-05
Publication date: 1973-08-06
Also published as: CH533204A; BE771813A; JPS5512481B1; SE375818B; FR2105997A5; US3737658A; GB1329048A; NL159449B; AT310218B; DE2042233C2; NL7111491A; YU34441B; YU206571A; DE2042233B2; DE2042233A1

Description

Halvlederanordning med en vakuumtett metallbeholder. Semiconductor device with a vacuum-tight metal container.

Oppfinnelsen angår en halvlederanordning f. eks. en transistor eller en krystalldiode med en vakuumtett, hovedsakelig av metall bestående beholder som består av minst to deler, hvor mot hverandre The invention relates to a semiconductor device, e.g. a transistor or a crystal diode with a vacuum-tight, mainly metal container consisting of at least two parts, where against each other

vendende flater av disse deler forenes med facing surfaces of these parts are united with

hverandre ved sammenpressing, og hvor i each other by compression, and where i

det minste den ene pressflate består av the smallest one pressure surface consists of

kopper eller aluminium, idet der i hver av copper or aluminium, as there in each of

de nevnte flater er anordnet minst ett the mentioned surfaces are arranged at least once

spor hvis sidevegger er tilnærmet vinkelrette på flaten, og hvor der mellom flatene er anbrakt et sjikt av et meget bløtt tracks whose side walls are approximately perpendicular to the surface, and where between the surfaces a layer of a very soft

metall som fyller ut sporene. metal that fills in the grooves.

Hensikten med oppfinnelsen er blant The purpose of the invention is among

annet å tilveiebringe en halvlederanordning hvor hårdheten av beholderens me-talldeler er mindre kritisk, og hvor de me-talldeler som skal forbindes kan bestå av another to provide a semiconductor device where the hardness of the container's metal parts is less critical, and where the metal parts to be connected can consist of

forholdsvis bløtt metall, slik som f. eks. relatively soft metal, such as e.g.

kopper eller aluminium og som ikke kan copper or aluminum and which cannot

utsettes for svært stor påkjenning under subjected to very high stress during

sammenføyningen. Hvis nødvendig av fast-hetshensyn kan bare de flater som skal the joining. If necessary for reasons of firmness, only the surfaces that should

sammenføyes eller bare en av disse flater be joined or only one of these surfaces

bestå av bløtt metall. consist of soft metal.

En vakuumtett sammenføyning av A vacuum-tight joining of

slike beholderdeler av metall oppnåes med such container parts made of metal are obtained with

sikkerhet ifølge oppfinnelsen ved at pressflaten på den ene del ligger i en fordypning i den annen del, og at kanten av denne fordypning er utformet som falsekant. safety according to the invention in that the pressing surface on one part lies in a recess in the other part, and that the edge of this recess is designed as a folding edge.

Et utførelseseksempel på oppfinnelsen An embodiment of the invention

skal forklares nærmere under henvisning shall be explained in more detail under reference

til tegningen som viser et tverrsnitt gjen-nom en beholder ifølge oppfinnelsen for en to the drawing showing a cross-section through a container according to the invention for a

transistor eller en krystalldiode. transistor or a crystal diode.

På figuren består beholderen av en In the figure, the container consists of a

bunndel 1 og et deksel 2. Bunndelen 1 er forsynt med en pressflate som ligger i en fordypning 3, i hvilken der er anordnet et spor 4, som har vegger som er tilnærmet vinkelrette på pressflaten. Dekslet 2 har en flens 5, hvis underside danner en pressflate, og i hvilken der er anordnet et spor 6. Mellom de to pressflater er der i fordypningen 3 anordnet et sjikt av svært bløtt metall, f. eks. bly, tinn eller indium, f. eks. i form av en ring. Sjiktet kan også dannes ved at et slikt bløtt metall smeltes ned i fordypningen. Bunnen 1 legges så på et bord, og på dekslets flens 5 anordnes et stempel ved hjelp av hvilket pressf låtene trykkes så kraftig mot hverandre at sporene 4 og 6 fullstendig fylles med det bløte metall. Under utøvning av dette trykk dannes fortrinnsvis en falsekant 8 på kanten av fordypningen 3 over flensen 5, slik at delene 1 og 2 festes hermetisk til hverandre. bottom part 1 and a cover 2. The bottom part 1 is provided with a pressing surface which lies in a recess 3, in which there is arranged a groove 4, which has walls which are approximately perpendicular to the pressing surface. The cover 2 has a flange 5, the underside of which forms a pressing surface, and in which a groove 6 is arranged. Between the two pressing surfaces, a layer of very soft metal is arranged in the recess 3, e.g. lead, tin or indium, e.g. in the form of a ring. The layer can also be formed by melting such a soft metal into the recess. The base 1 is then placed on a table, and a piston is arranged on the flange 5 of the cover, by means of which the pressure sheets are pressed so strongly against each other that the grooves 4 and 6 are completely filled with the soft metal. During the application of this pressure, a folded edge 8 is preferably formed on the edge of the recess 3 above the flange 5, so that the parts 1 and 2 are hermetically attached to each other.

En fordel ved denne konstruksjon er at for det bløte metallsjikt 7 kan velges et metall som bare har liten fasthet. Dette sjikt sørger for vakuumtett lukning, mens falsekanten 8 sikrer den mekaniske for-bindelse mellom beholderdelene. An advantage of this construction is that for the soft metal layer 7 a metal can be selected which has only a small strength. This layer ensures a vacuum-tight closure, while the folded edge 8 ensures the mechanical connection between the container parts.

En ytterligere fordel består i at for bunnen 1 og dekslet 2 kan der velges prak-tisk talt et hvilket som helst metall som fyller kravene til en slik beholder. Såvel jern som kopper eller messing har vist seg godt egnet. A further advantage consists in the fact that practically any metal can be chosen for the base 1 and the cover 2 which fulfills the requirements for such a container. Iron as well as copper or brass have proven to be well suited.

Det har vist seg at tilstedeværelsen av sporene 4, 6, er nødvendige for vakuumtett lukning. It has been shown that the presence of the grooves 4, 6 are necessary for vacuum-tight closure.

Claims

Semiconductor device, e.g. a transistor or a crystal diode with a vacuum-tight, mainly metal container consisting of at least two parts, where facing surfaces of these parts are joined to each other by compression, and where at least one pressing surface consists of copper or aluminium, where at least one track (4 or 6) is arranged in each of the mentioned surfaces if

side walls are approximately perpendicular to the surface, and where between the surfaces a layer (7) of a very soft metal is placed which fills the grooves, characterized by the pressing surface on one part being in a recess (3) in the other part, and that the edge of this recess is designed as a folding edge (8).