NL9500225A

NL9500225A - Method for regenerating cryocondensation pump panels in a vacuum chamber, vacuum chamber suitable for carrying out the method and an apparatus for coating products provided with such a vacuum chamber.

Info

Publication number: NL9500225A
Application number: NL9500225A
Authority: NL
Inventors: Jan Visser; Klaus-Georg Engel
Original assignee: Hauzer Techno Coating Europ B
Priority date: 1995-02-07
Filing date: 1995-02-07
Publication date: 1996-09-02
Also published as: EP0726395A1

Description

Titel: Werkwijze voor het regenereren van cryocondensatie- pomppanelen in een vacuümkamer, vacuümkamer geschikt voor het uitvoeren van de werkwijze en een inrichting voor het coaten van produkten voorzien van een dergelijke vacuümkamer.Title: Method for regenerating cryocondensation pump panels in a vacuum chamber, vacuum chamber suitable for carrying out the method and an apparatus for coating products provided with such a vacuum chamber.

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze volgens de aanhef van conclusie 1.The invention relates to a method according to the preamble of claim 1.

De cryopomptechniek is een in de vacuümtechniek op ruime schaal toegepaste pomptechniek. Een gedetailleerde beschrijving van deze pomptechniek vindt men in diverse handboeken zoals "KRYO-VAKUUMTECHNIK" geschreven door R.A. Haefer en uitgegeven door Springer-Verlag Berlijn. De cryopomptechniek is een schone pomptechniek, d.w.z. de pomp draagt in tegenstelling tot veel andere pomptechnieken niet bij tot het verontreinigingsniveau van het vacuüm. Een ander voordeel van de cryopomptechniek is dat met zeer hoge pompsnelheden kan worden gewerkt mits voldoende grote panelen in het vacuüm kunnen worden geplaatst.The cryopump technique is a pump technique widely used in vacuum technology. A detailed description of this pumping technique can be found in various manuals such as "KRYO-VAKUUMTECHNIK" written by R.A. Haefer and published by Springer-Verlag Berlin. The cryopump technique is a clean pumping technique, i.e. the pump, unlike many other pumping techniques, does not contribute to the contamination level of the vacuum. Another advantage of the cryopump technique is that it is possible to work with very high pumping speeds, provided that sufficiently large panels can be placed in the vacuum.

Een nadeel van een cryopomp is dat de pompwerking eindig is. Immers het gas dat uit een vacuümkamer wordt verwijderd condenseert op een cryocondensatiepomppaneel waardoor een temperatuurgradiënt ontstaat over de laag die aangroeit op het cryocondensatiepomppaneel. Na verloop van tijd wordt de temperatuurgradiënt zo hoog dat de pompwerking afneemt en uiteindelijk ophoudt te bestaan. Om deze reden moet men van tijd tot tijd de cryocondensatiepomppanelen regenereren.A drawback of a cryopump is that the pumping action is finite. After all, the gas removed from a vacuum chamber condenses on a cryocondensation pump panel, creating a temperature gradient across the layer that grows on the cryocondensation pump panel. Over time, the temperature gradient becomes so high that the pumping action decreases and eventually ceases to exist. For this reason, cryocondensation pump panels must be regenerated from time to time.

Bij een bekend regeneratieproces worden de cryocondensat iepomppanelen opgewarmd waardoor het gepompte gas vrijkomt. Het vrijgekomen gas wordt vervolgens uit het vacuümsysteem verwijderd. Blijft de druk lager dan de atmosferische druk dan zal de hoeveelheid gas afgevoerd moeten worden met een hulppomp of pompgroep die het gas naar atmosferische druk kan transporteren. Soms wordt bij het regenereren de druk hoger dan de atmosferische druk zodat men het overgrote deel van het gas afkomstig van de regeneratie in de buitenlucht kan laten uitstromen.In a known regeneration process, the cryocondensation pump panels are heated to release the pumped gas. The released gas is then removed from the vacuum system. If the pressure remains lower than atmospheric pressure, the amount of gas will have to be discharged with an auxiliary pump or pump group that can transport the gas to atmospheric pressure. Sometimes during regeneration the pressure becomes higher than atmospheric pressure so that the majority of the gas from the regeneration can be released into the open air.

De relatief hoge druk van condenseerbare gassen tijdens het regeneratieproces werkt adsorptie van condenseerbare gassen op wanden die geen deel uitmaken van de cryo-condensatiepomppanelen en die niet op voldoende hoge temperatuur zijn gebracht in de hand. De wanden van een vacuümkamer die bijvoorbeeld op kamertemperatuur zijn, zullen, wanneer ze worden blootgesteld aan een hoge waterdampdruk sterk worden verontreinigd met water waardoor het pompproces in een later stadium moeizaam zal verlopen.The relatively high pressure of condensable gases during the regeneration process promotes adsorption of condensable gases to walls that are not part of the cryo-condensation pump panels and that are not heated to a sufficiently high temperature. For example, the walls of a vacuum chamber, which are at room temperature, will be heavily contaminated with water when exposed to high water vapor pressure, making the pumping process difficult at a later stage.

Een uit de praktijk bekende oplossing voor dit probleem is het aanbrengen van een vacuümafsluiter tussen vacuümkamer en cryopomp die in afgesloten toestand verhindert dat tijdens het opwarmen van de cryopanelen verontreiniging van de vacuümkamer optreedt. Omdat bij deze oplossing de cryopanelen zich buiten de vacuümkamer bevinden kan de pompsnelheid niet groter zijn dan de door de kinetische gastheorie vastgelegde maximale volumetrische gasstroom die de pompopening kan passeren. In de praktijk heeft een dergelijke externe, d.w.z. aan de vacuümkamer gemonteerde cryopomp nauwelijks een hogere pompsnelheid dan een ander pomptype met dezelfde pompopening.A solution known from practice is to provide a vacuum valve between the vacuum chamber and the cryopump which, when closed, prevents contamination of the vacuum chamber during heating of the cryopanels. Because in this solution the cryopanels are outside the vacuum chamber, the pumping speed cannot exceed the maximum volumetric gas flow established by the kinetic gas theory that can pass the pump port. In practice, such an external, i.e. vacuum chamber mounted, cryopump hardly has a higher pumping speed than another pump type with the same pump opening.

Extreem hoge pompsnelheden kunnen pas worden bereikt als cryopanelen met een oppervlak dat in zijn totaliteit veel groter is dan de pompopening van een externe pomp in de vacuümkamer worden aangebracht. Echter het gewenste effect dat met de hogere pompsnelheid voor condenseerbare gassen van deze interne pomp wordt beoogd, namelijk een verbetering van de vacuümcondities, wordt dikwijls, vooral als de vacuümkamer niet verwarmd kan worden, niet of slechts ten dele bereikt omdat de desorptie van de vacuümkamer door de regeneratie-procedure op een hoger niveau wordt gebracht. Het verwarmen van de vacuümkamer tot een temperatuur waarbij de adsorptie van gas, dat vrijkomt bij het regeneratieproces, op de vacuüm-kamerwanden verwaarloosbaar is, is in de praktijk dikwijls niet mogelijk of niet gewenst. De redenen hiervoor zijn bijvoorbeeld dat door een snelle opeenvolging van pomp- processen van atmosferische druk naar lage druk de regeneratiefijd te kort is om de vacuümkamer en zijn componenten voldoende op te warmen of dat de opwarming een te hoge temperatuurbelasting van de afdichtmaterialen van de vacuümkamer veroorzaakt of een te grote consumptie van energie.Extremely high pumping speeds can only be achieved if cryopanels with a surface area that is in general much larger than the pump opening of an external pump are installed in the vacuum chamber. However, the desired effect desired with the higher condensing gas pumping rate of this internal pump, namely an improvement of the vacuum conditions, is often not achieved, or only partly, because the vacuum chamber is desorbed is brought to a higher level by the regeneration procedure. Heating the vacuum chamber to a temperature at which the adsorption of gas released during the regeneration process on the vacuum chamber walls is negligible is often not possible or undesirable in practice. The reasons for this are, for example, that due to a rapid sequence of pumping processes from atmospheric pressure to low pressure, the regeneration time is too short to heat up the vacuum chamber and its components sufficiently or that the heating causes an excessive temperature load on the sealing materials of the vacuum chamber. or excessive consumption of energy.

De uitvinding beoogt een werkwijze voor het regenereren van cryocondensatiepomppanelen waarbij de gassen die tijdens het opwarmen van een cryocondensatiepomppaneel vrijkomen niet het desorptieniveau van de vacuümkamerwanden verhogen, d.w.z. niet neerslaan op de vacuümkamerwanden of -componenten. De werkwijze wordt hiertoe gekenmerkt door de maatregelen volgens conclusie 1.The invention contemplates a method for regenerating cryocondensation pump panels in which the gases released during heating of a cryocondensation pump panel do not increase the desorption level of the vacuum chamber walls, i.e. do not deposit on the vacuum chamber walls or components. To this end, the method is characterized by the measures according to claim 1.

De voorgestelde werkwijze berust op het gebruik van een laminaire gasstroom die een stromingsweerstand vormt voor gas dat zich in een richting tegenovergesteld aan de richting van de laminaire gasstroom verplaatst. Een barrière tegen het transport van het, van een cryocondensatiepomppaneel vrijkomende gas naar de vacuümkamerwanden wordt gecreëerd door een laminaire gasstroom komend vanuit de vacuümkamer in de richting van het cryocondensatiepomppaneel te dirigeren en daar ter plaatse af te pompen of, indien de druk in de afgeschermde ruimte hoger is dan de atmosferische druk, weg te laten stromen in de atmosfeer.The proposed method relies on the use of a laminar gas flow which forms a flow resistance for gas moving in a direction opposite to the direction of the laminar gas flow. A barrier to the transport of the gas released from a cryocondensation pump panel to the vacuum chamber walls is created by directing a laminar gas flow from the vacuum chamber towards the cryocondensation pump panel and pumping it on site or, if the pressure in the shielded space higher than atmospheric pressure, to be released into the atmosphere.

De mate van afscheiding die met behulp van een laminaire gasstroom kan worden gerealiseerd hangt af van de gasstroom, de druk en de afmetingen van het stromingskanaal. De druk-verhouding van het gas dat tegen de laminaire gasstroom in diffundeert volgt uit:The degree of separation that can be achieved with the help of a laminar gas flow depends on the gas flow, the pressure and the dimensions of the flow channel. The pressure ratio of the gas diffusing against the laminar gas flow follows from:

waarin Q het druk.volume debiet van de laminaire gasstroom 1 de lengte van het stromingskanaal = spleetbreedte A de doorstroomopening van het stromingskanaal = spleethoogte x spleetlengtewhere Q is the pressure volume flow rate of the laminar gas flow 1 the length of the flow channel = gap width A the flow opening of the flow channel = gap height x gap length

Di de diffusiecoëfficiënt.Di the diffusion coefficient.

Aan het creëren van een grote drukverhouding middels een groot druk.volume debiet kleven een aantal bezwaren. Doordat de laminaire gasstroom schoon moet zijn wordt het werken met een hoge gasstroom kostbaar. Daarboven komen de kosten van een pomp met een grote pompsnelheid, nodig om de laminaire gasstroom af te voeren. Een hoge stroomsnelheid in een vacuümkamer heeft als bijkomstig effect dat het in de vacuümkamer aanwezige stof zich kan verplaatsen. Vooral voor vacuüm-processen die worden gebruikt bij de halfgeleiderfabricage en de fabricage van optische en slijtvaste lagen is verplaatsing van stof naar het in het vacuüm te bewerken substraat ongewenst.There are a number of drawbacks to creating a large pressure ratio by means of a large pressure volume flow rate. Because the laminar gas flow must be clean, working with a high gas flow becomes expensive. In addition, the cost of a high-speed pump required to discharge the laminar gas flow. A high flow rate in a vacuum chamber has the additional effect that the dust present in the vacuum chamber can move. Particularly for vacuum processes used in semiconductor fabrication and optical and abrasion resistant fabrication, displacement of dust to the substrate to be vacuum processed is undesirable.

De afscheiding dient dus bij voorkeur gerealiseerd te worden middels de afmetingen van het stromingskanaal, d.w.z. door een nauw dan wel een breed stromingskanaal te kiezen.The separation should therefore preferably be realized by means of the dimensions of the flow channel, i.e. by choosing a narrow or a wide flow channel.

De werkwijze volgens de uitvinding is bijzonder gunstig doordat geen vacuümdichte afsluiting tussen vacuümkamer en cryopaneel nodig is. Derhalve kan het afschermpaneel dat de nauwe spleet vormt eenvoudig van constructie zijn en kan met een lage stroomsnelheid in de vacuümkamer verontreiniging van de vacuümkamer met gas dat vrijkomt van de cryopanelen worden voorkomen.The method according to the invention is particularly favorable in that no vacuum-tight sealing between vacuum chamber and cryopanel is required. Therefore, the narrow slit shield panel can be of simple construction and contamination of the vacuum chamber with gas released from the cryopanels at a low flow rate in the vacuum chamber can be prevented.

In nadere uitwerking van de uitvinding wordt de werkwijze gekenmerkt door de maatregelen van conclusie 2. Hierdoor wordt verhinderd dat de cryocondensatiepomppanelen niet nog verder vervuilen door tijdens de opheffing van het vacuüm in de vacuümkamer stromende atmosferische lucht.In further elaboration of the invention, the method is characterized by the features of claim 2. This prevents the cryocondensation pump panels from being contaminated even further by atmospheric air flowing during the release of the vacuum in the vacuum chamber.

Teneinde te verhinderen dat de tijd die benodigd is voor het regenereren van de cryocondensatiepomppanelen ten koste gaat van de produktietijd van de vacuümkamer wordt de werkwijze bij voorkeur gekenmerkt door de maatregelen van conclusie 3.In order to prevent the time required for regenerating the cryocondensation pump panels from being detrimental to the production time of the vacuum chamber, the method is preferably characterized by the features of claim 3.

Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding wordt de werkwijze gekenmerkt door de maatregelen van conclusie 4. Deze maatregelen verhinderen dat bij het initiële vormen van het vacuüm na het koelen van de cryocondensatiepomppanelen deze panelen direkt worden vervuild door een overmatige aangroei van condenseerbare gassen die zich nog in de vacuümkamer bevinden.According to a further elaboration of the invention, the method is characterized by the features of claim 4. These features prevent that in the initial formation of the vacuum after cooling of the cryocondensation pump panels, these panels are directly contaminated by an excessive build-up of condensable gases that still form in the vacuum chamber.

Teneinde te bewerkstelligen dat het regeneratieproces zeer snel verloopt en teneinde bovendien te bewerkstelligen dat de afschermpanelen tijdens de regeneratie niet zelf worden bedekt met het condensaat van condenseerbare gassen is het volgens een nadere uitwerking van de uitvinding bijzonder gunstig wanneer de vacuümkamer wordt gekenmerkt door de maatregelen van conclusie 5.In order to ensure that the regeneration process proceeds very quickly and, moreover, in order to ensure that the shield panels are not themselves covered during the regeneration with the condensate of condensable gases, according to a further elaboration of the invention it is particularly advantageous if the vacuum chamber is characterized by the measures of claim 5.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting welke wordt gekenmerkt door de maatregelen van conclusie 6.The invention also relates to a device which is characterized by the features of claim 6.

Met een aldus uitgevoerde vacuümkamer kan de werkwijze volgens de uitvinding op bijzonder gunstige en economische wijze worden uitgevoerd. De afschermpanelen kunnen betrekkelijk eenvoudig en daardoor weinig kostbaar worden uitgevoerd aangezien hiermee niet een volledige afsluiting van de afgeschermde ruimte ten opzichte van de vacuümkamer behoeft te worden bewerkstelligd. Doordat volgens de werkwijze niet-condenserend gas in de vacuümkamer wordt gebracht onstaat in de nauwe spleten tussen de afschermpanelen en de vacuümkamer en/of de afschermpanelen onderling een laminaire stroom van het niet-condenseerbare gas in de richting van de afgeschermde ruimte. Hierdoor kan het condenseerbare gas dat tijdens het regeneratieproces vrijkomt slechts in zeer kleine hoeveelheden vanuit de afgeschermde ruimte, tegen de laminaire niet-condenserende gasstroom in, naar de vacuümkamer diffunderen.With a vacuum chamber thus designed, the method according to the invention can be carried out in a particularly favorable and economical manner. The shielding panels can be of relatively simple and therefore inexpensive construction, since this does not require a complete closure of the shielded space with respect to the vacuum chamber. Since non-condensing gas is introduced into the vacuum chamber according to the method, a laminar flow of the non-condensable gas in the direction of the shielded space is created in the narrow gaps between the shielding panels and the vacuum chamber and / or the shielding panels. This allows the condensable gas released during the regeneration process to diffuse into the vacuum chamber only in very small amounts from the shielded space against the laminar non-condensing gas flow.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het coaten van produkten voorzien van een vacuümkamer volgens de uitvinding. Met een aldus uitgevoerde inrichting gaat een minimum aan produktietijd verloren doordat het regeneratieproces van de cryocondensatiepomppanelen kan plaatsvinden terwijl de behandelde produkten worden vervangen door nog niet behandelde produkten. Bovendien vindt de regeneratie op kwalitatief zeer hoogwaardige en afdoende wijze plaats.The invention also relates to a device for coating products provided with a vacuum chamber according to the invention. With a device thus designed, a minimum of production time is lost because the regeneration process of the cryocondensation pump panels can take place while the treated products are replaced by untreated products. In addition, the regeneration takes place in a very high-quality and adequate manner.

Een aantal praktische uitvoeringsvormen van de vacuümkamer volgens de uitvinding is beschreven in de volgconclusies en zal, onder verwijzing naar de tekening, nader worden verduidelijkt.A number of practical embodiments of the vacuum chamber according to the invention are described in the subclaims and will be further elucidated with reference to the drawing.

Figuren 1A-8A tonen alle een vacuümkamer voorzien van cryocondensatiepomppanelen die worden geregenereerd; figuren 1B-8B tonen de in de overeenkomstige figuren 1A-8A weergegeven vacuümkamers waarbij de vacuümkamers zich in de pomp- of produktiesituatie bevinden.Figures 1A-8A all show a vacuum chamber equipped with cryocondensation pump panels that are regenerated; Figures 1B-8B show the vacuum chambers shown in the corresponding Figures 1A-8A, the vacuum chambers being in the pumping or production situation.

De tekeningen zijn alle van zeer schematische aard en tonen schematisch een vacuümkamer 1 die wordt begrensd door wanden 2 waarvan er ten minste één kan worden geopend doordat deze is uitgevoerd als een deur of als luik. Bovendien is de vacuümkamer voorzien van ten minste één aansluiting 3 voor een hoogvacuümpomp 4. Daarbij bevat de vacuümkamer cryocondensatiepomppanelen 5 die in de weergegeven uitvoerings-voorbeelden buisvormig zijn uitgevoerd zodat daar doorheen vloeistof of gas kan worden geleid ter regeling van de temperatuur van de cryocondensatiepomppanelen 5. Alle weergegeven uitvoeringsvormen zijn bovendien voorzien van afschermpanelen 6 die in een eerste stand de cryocondensatiepomppanelen 5 in vrije verbinding stellen met de vacuümkamer en in een tweede stand de cryocondensatiepomppanelen 5 onderbrengen in een ten opzichte van de vacuümkamer afgeschermde ruimte 7. De B-figuren tonen de afschermpanelen 6 telkens in de eerste stand, dat wil zeggen de stand waarin de cryocondensatiepomppanelen 5 als pomp werkzaam kunnen zijn en derhalve in vrije verbinding staan met de vacuümkamer 1, terwijl de A-figuren de afschermpanelen 6 telkens in de tweede stand tonen, dat wil zeggen in een stand waarin de cryocondensatiepomppanelen 5 worden geregenereerd. Op de afgeschermde ruimte 7 is een leiding 8 aangesloten waarin zich een vacuümpomp 9 bevindt die is ingericht voor het creëren van een onderdruk in de afgeschermde ruimte 7 ten opzichte van de vacuümkamer 1. Bovendien bevindt zich in de leiding 8 een klep 10 die is geopend tijdens het regereneren van de cryocondensatiepomppanelen 5 en is gesloten wanneer de vacuüm kamer 1 in bedrijf is. Bovendien is de vacuümkamer 1 telkens voorzien van middelen 11, 12, 13 voor het brengen van een niet-condenserend gas in de vacuümkamer 1 wanneer de cryo-condensatiepomppanelen 5 worden geregenereerd. Deze middelen 11, 12, 13 kunnen bijvoorbeeld zijn uitgevoerd als een leiding 12 die is voorzien van een klep 13, welke leiding 12 enerzijds is aangesloten op de vacuümkamer 1 en anderzijds op een bron 11 van een niet-condenserend gas, bijvoorbeeld stikstof. Zodra het regeneratieproces start wordt de klep 13 geopend zodat de vacuümkamer 1 zich vult met stikstof, welke stikstof, als gevolg van de onderdruk die in de afgeschermde ruimte 7 heerst, via de spleten 14 tussen de vacuümkamerwanden 2 en de afschermpanelen 6 en/of de afscherm-panelen 6 onderling naar de afgeschermde ruimte 7 stroomt.The drawings are all of a very schematic nature and schematically show a vacuum chamber 1 bounded by walls 2, at least one of which can be opened by being constructed as a door or hatch. In addition, the vacuum chamber is provided with at least one connection 3 for a high vacuum pump 4. The vacuum chamber herein contains cryocondensation pump panels 5 which, in the exemplary embodiments shown, are tubular, so that liquid or gas can be passed through them to control the temperature of the cryocondensation pump panels 5. All the embodiments shown additionally comprise shielding panels 6 which, in a first position, make the cryocondensation pump panels 5 in free connection with the vacuum chamber and, in a second position, place the cryocondensation pump panels 5 in a space 7 shielded from the vacuum chamber. The B-figures show the shielding panels 6 each in the first position, i.e. the position in which the cryocondensation pump panels 5 can act as a pump and are therefore in free communication with the vacuum chamber 1, while the A-figures show the shielding panels 6 in each case in the second position, that ie in a stand w The cryocondensation pump panels 5 are regenerated. Connected to the shielded space 7 is a conduit 8 in which there is a vacuum pump 9 adapted to create an underpressure in the shielded space 7 relative to the vacuum chamber 1. In addition, in the conduit 8 a valve 10 is opened during the reign of the cryocondensation pump panels 5 and is closed when the vacuum chamber 1 is in operation. In addition, the vacuum chamber 1 is each provided with means 11, 12, 13 for introducing a non-condensing gas into the vacuum chamber 1 when the cryo-condensation pump panels 5 are regenerated. These means 11, 12, 13 can for instance be designed as a pipe 12 which is provided with a valve 13, which pipe 12 is connected on the one hand to the vacuum chamber 1 and on the other hand to a source 11 of a non-condensing gas, for example nitrogen. As soon as the regeneration process starts, the valve 13 is opened so that the vacuum chamber 1 fills with nitrogen, which nitrogen, as a result of the underpressure prevailing in the shielded space 7, via the gaps 14 between the vacuum chamber walls 2 and the shielding panels 6 and / or the shielding panels 6 flow mutually to the shielded space 7.

Door de stroming van het niet-condenserende gas naar de afgeschermde ruimte 7 wordt stroming van condenseerbare gassen, die vrijkomen van de cryocondensatiepomppanelen 5 als gevolg van het regeneratieproces, naar de vacuümkamer 1 verhinderd.The flow of the non-condensing gas to the shielded space 7 prevents flow of condensable gases released from the cryocondensation pump panels 5 due to the regeneration process to the vacuum chamber 1.

De in de figuren 1-8 weergegeven uitvoeringsvoorbeelden onderscheiden zich slechts door de uitvoering van de afscherm-panelen 6 en de daarmee samenhangende plaatsing van de cryo-condensatiepomppanelen 5.The exemplary embodiments shown in Figures 1-8 are distinguished only by the design of the shielding panels 6 and the associated placement of the cryo-condensation pump panels 5.

Figuren IA en 1B tonen een uitvoeringsvorm waarbij het afschermpaneel 6 is uitgevoerd als een verschuifbaar opgestelde hoekvormige plaat 6. De plaat is bij de randen die moeten aansluiten op de vacuümkamerwanden 2 voorzien van een randverbreding 6B waardoor de breedte van de spleet 14 waarlangs het niet-condenseerbare gas G moet passeren wordt vergroot, hetgeen een gunstige invloed heeft op de afscherming van de in de afgeschermde ruimte 7 vrijkomende condenseerbare gassen C.Figures 1A and 1B show an embodiment in which the shielding panel 6 is designed as a slidably arranged angular plate 6. The plate is provided with an edge widening 6B at the edges which must adjoin the vacuum chamber walls 2, so that the width of the gap 14 along which the condensable gas G must pass is increased, which has a favorable effect on the shielding of the condensable gases C released in the shielded space 7.

Figuren 2A en 2B tonen een afschermpaneel 6 dat voor de cryocondensatiepomppanelen 5 is opgesteld en dat aan de uiteinden scharnierbaar is verbonden met twee afsluitstukken 6A die in een eerste in figuur 2B weergegeven stand de cryocondensat iepomppanelen 5 in vrije verbinding stellen met de vacuümkamer 1 en in een tweede, in figuur 2A weergegeven stand de cryocondensatiepomppanelen 5 onderbrengen in een afgeschermde ruimte 7. Figuren 3A, 3B; 4A, 4B; 5A, 5B tonen constructieve variaties op de in de figuren IA, 1B; 2A, 2B weergegeven uitvoeringsvarianten en behoeven geen verdere toelichting.Figures 2A and 2B show a shielding panel 6 which is arranged in front of the cryocondensation pump panels 5 and which is hingedly connected at the ends to two closing pieces 6A which in a first position shown in figure 2B expose the cryocondensation pump panels 5 to the vacuum chamber 1 and a second position, shown in figure 2A, housing the cryocondensation pump panels 5 in a shielded space 7. Figures 3A, 3B; 4A, 4B; 5A, 5B show constructional variations on the ones shown in Figures 1A, 1B; 2A, 2B show embodiment variants and need no further explanation.

Figuren 6A en 6B tonen een uitvoering waarbij de cryocondensat iepomppanelen 5 buisvormig zijn uitgevoerd en zich bij voorkeur in een hoek van de vacuümkamer 1 bevinden. De afschermpanelen 6 hebben een cirkelsegmentvormige doorsnede binnen het concave deel waarvan de buisvormige cryocondensat iepomppanelen 5 zich bevinden. In de eerste stand die is weergegeven in figuur 6B zijn de cirkelsegmentvormige afschermpanelen 6 met het concave deel naar de vacuümkamer 1 gericht, terwijl in de tweede stand, die is weergegeven in figuur 6A, het convexe deel van de afschermpanelen 6 naar de vacuümkamer 1 is gericht. Aldus wordt bewerkstelligd dat tijdens het normale productieproces in de vacuümkamer 1 de toegang vanuit de vacuümkamer 1 naar het cryocondensatiepomp-paneel 5 volledig vrij is. Het spreekt voor zich dat de vorm van het afschermpaneel 6 en de manier waarop het afscherm-paneel 6 wordt verplaatst van geval tot geval kan variëren. Zo kan de verplaatsing van de cirkelsegmentvormige afscherm-panelen 6 bijvoorbeeld door rotatie of door translatie plaatsvinden .Figures 6A and 6B show an embodiment in which the cryocondensation pump panels 5 are of tubular design and are preferably located in a corner of the vacuum chamber 1. The shielding panels 6 have a circular segmental section within the concave part of which the tubular cryocondensation pump panels 5 are located. In the first position shown in Figure 6B, the circular segmental shielding panels 6 with the concave part are directed towards the vacuum chamber 1, while in the second position, shown in Figure 6A, the convex part of the shielding panels 6 is towards the vacuum chamber 1 focused. It is thus achieved that during the normal production process in the vacuum chamber 1, the access from the vacuum chamber 1 to the cryocondensation pump panel 5 is completely free. It goes without saying that the shape of the shielding panel 6 and the way in which the shielding panel 6 is moved may vary from case to case. The displacement of the circular segment-shaped shielding panels 6 can for instance take place by rotation or by translation.

In figuren 7A, 7B is in de af te schermen ruimte tevens voorzien in stationaire panelen 15 die zich bevinden tussen de vacuümkamerwanden 2 en de cryocondensatiepomppanelen 5. De stationaire panelen 15 kunnen zijn voorzien van verwarmingselementen, die zijn ingericht voor het tijdens het regeneratieproces verhitten van de stationaire panelen 15. Bij voorkeur is het afschermpaneel 6 bij de in de figuren 7A en 7B weergegeven uitvoeringsvormen eveneens voorzien van verwarmingselementen, die zijn ingericht voor het tijdens het regeneratieproces verhitten van de afschermpanelen 6. Aldus wordt bewerkstelligd dat alle wanden 6, 15 van de afgeschermde ruimte 7 tijdens het regenereren op eenvoudige wijze kunnen worden verwarmd. Dit heeft het voordeel dat de condenseerbare gassen die vrijkomen tijdens het regeneratieproces niet op deze wanden 6, 15 zullen neerslaan, zodat nadat het regeneratieproces is afgerond en de wanden 6, 15 weer in vrije verbinding worden gesteld met de overige delen van de vacuümkamer 1, geen daarop gecondenseerde gassen in de vacuümkamer 1 kunnen belanden.In Figures 7A, 7B, the space to be shielded also provides stationary panels 15 located between the vacuum chamber walls 2 and the cryocondensation pump panels 5. The stationary panels 15 may be provided with heating elements, which are designed for heating during the regeneration process. the stationary panels 15. Preferably, in the embodiments shown in Figs. 7A and 7B, the shielding panel 6 is also provided with heating elements, which are designed for heating the shielding panels 6 during the regeneration process, thus ensuring that all walls 6, 15 of the shielded space 7 can be heated in a simple manner during regeneration. This has the advantage that the condensable gases released during the regeneration process will not deposit on these walls 6, 15, so that after the regeneration process has been completed and the walls 6, 15 are reconnected to the other parts of the vacuum chamber 1, no gases condensed thereon can end up in the vacuum chamber 1.

Figuren 8A en 8B tonen nog een uitvoeringsvorm waarbij de afschermpanelen 6 zijn uitgevoerd in de vorm van jalouzieën.Figures 8A and 8B show another embodiment in which the shielding panels 6 are in the form of blinds.

Het is duidelijk dat de uitvinding niet is beperkt tot de weergegeven uitvoeringsvoorbeelden maar dat diverse wijzigingen binnen het raam van de uitvinding mogelijk zijn.It is clear that the invention is not limited to the exemplary embodiments shown, but that various modifications are possible within the scope of the invention.

Zo kunnen bijvoorbeeld de stationaire panelen 15 die zijn voorzien van verwarmingselementen zoals weergegeven in de figuren 7A, 7B tevens worden toegepast bij de overige uitvoeringsvoorbeelden. Ook de afschermpanelen 6 voorzien van verwarmingselementen die zijn beschreven onder verwijzing naar figuren 7A en 7B kunnen bij de overige uitvoeringsvoorbeelden worden toegepast.For example, the stationary panels 15 provided with heating elements as shown in Figures 7A, 7B can also be used in the other exemplary embodiments. The shielding panels 6 provided with heating elements which have been described with reference to Figures 7A and 7B can also be used in the other exemplary embodiments.

Claims

Method for regenerating cryocondensation pump panels (5) which are arranged in a vacuum chamber (1), wherein the cryocondensation pump panels (5) are heated for regeneration, characterized in that the cryocondensation pump panels (5), before these are heated, shielded from the vacuum chamber (1) by shielding panels (6), in the shielded space (7) in which the cryo-condensation pump panels (5) are located, an underpressure is created with respect to the vacuum chamber (1), and wherein a non-condensing gas (G) is introduced into the vacuum chamber (1), so that non-condensing gas (G) from the vacuum chamber (1) is formed through narrow gaps (14) formed between the shielding panels (6) and the vacuum chamber walls (2) and / or the shielding panels (6) flow into the shielded space (7).

Method according to claim 1, characterized in that the shielded space (7) is formed before non-condensing gas (G) is introduced into the vacuum chamber (1) and the vacuum in the vacuum chamber (1) is released.

Method according to claim 1 or 2, characterized in that the regeneration of the cryocondensation pump panels (5) takes place while the vacuum chamber (1) is open for performing operations therein, such as, for example, exchanging, in the vacuum chamber (1) treated products with products to be treated in the vacuum chamber (1).

Method according to any one of the preceding claims, characterized in that the cryocondensation pump panels (5) are only placed in an undisturbed free connection with the vacuum chamber (1) again after it has been closed again and has been pumped substantially vacuum.

Method according to any one of the preceding claims, characterized in that the shielding panels (6) are heated during the regeneration process.

Vacuum chamber provided with at least one connection (3) for a high vacuum pump (4) and cryocondensation pump panels (5) arranged in the vacuum chamber (1), characterized by shield panels (6) which in a first position hold the cryo condensation pump panels ( 5) make free communication with the vacuum chamber (1) and in a second position place the cryocondensation panels (5) in a space (7) shielded from the vacuum chamber (1), with pump means (9) provided for creating an underpressure with respect to the vacuum chamber (1) in the shielded space (7), and wherein means (11, 12, 13) are provided for introducing a non-condensing gas into the vacuum chamber (1).

Vacuum chamber according to claim 6, characterized in that the shielding panels (6) on the edges (6B) which shield the shielded space (7) in the second position are designed such that between the shielding panels (6) and the vacuum chamber walls (2 ) and / or narrow gaps (14) formed between the shielding panels (6) have a small gap height and a wide gap width, so that little or no gas (C) released by the regeneration of the cryocondensation pump panels (5) from the shielded space (7) can diffuse through the slit (14) against the flow direction of non-condensable gas (G) flowing through the slit (14) into the vacuum chamber (1).

Vacuum chamber according to claim 6 or 7, characterized in that the cryocondensation panels (5) are tubular, through which pipes a cooling medium can flow, the shield panels (6) having a circular segment-shaped cross section, within the concave part of which the tubular cryocondensation panels (5) with the circular segment-shaped shielding panels (6) facing in the first position thereof with the concave part towards the vacuum chamber (1) and in the second position with the convex part facing the vacuum chamber (1).

Vacuum chamber according to claim 6 or 7, characterized in that the shielding panels (6) are hinged or slidably arranged angular plates.

Vacuum chamber according to claim 6 or 7, characterized in that the shielding panels (6) are formed in a louvre shape.

Vacuum chamber according to any one of claims 6-10, characterized in that the shielding panels (6) are provided with heating elements, which are designed for heating the shielding panels (6) during the regeneration process.

Vacuum chamber according to any one of claims 6-11, characterized in that stationary panels (15) are also arranged between the vacuum chamber walls (2) and the cryocondensation pump panels (5), which stationary panels (15) are provided with heating elements which are adapted to heat the stationary panels (15) during the regeneration process.

Device for coating products provided with a vacuum chamber according to any one of claims 6-12.