KR101899791B1 - Apparatus for controlling discharge gas of low vacuum pump - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a discharge gas control apparatus of a low vacuum pump system. According to the present invention, the discharge gas control apparatus comprises: a dry pump pressure sensing unit for sensing the pressure of a dry pump; a gas discharge unit installed in a discharge pipe for forming a flow path of gas discharged from the dry pump and forcibly discharging the gas discharged from the dry pump in accordance with the pressure of the dry pump sensed by the dry pump pressure sensing unit; and a discharged gas control unit for controlling the gas discharge unit in accordance with the pressure of the dry pump sensed by the dry pump pressure sensing unit and controlling discharge pressure of the dry pump.

Description

저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치{APPARATUS FOR CONTROLLING DISCHARGE GAS OF LOW VACUUM PUMP}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a discharge gas control apparatus for a vacuum pump system,

본 발명은 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 저진공 펌프 시스템의 드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 압력을 조절하는 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge gas control apparatus for a low vacuum pump system, and more particularly, to a discharge gas control apparatus for a low vacuum pump system for controlling a pressure of gas discharged from a dry pump of a low vacuum pump system.

진공 펌프는 전자 부품 생산 공정을 비롯한 다양한 생산 과정에서 사용되고 있다. 진공 펌프는 내부에 설치된 로터를 회전시켜 기체를 배출하는 방식으로 진공을 형성한다. Vacuum pumps are used in various production processes including electronic parts production processes. The vacuum pump forms a vacuum by rotating the rotor installed therein and discharging the gas.

저진공 펌프 시스템을 포함한 드라이 펌프는 공정 챔버에서 펌핑되는 가스, 드라이 펌프의 로터부로 공급되는 밸러스트 가스, 드라이 펌프 모터 샤프트로 공급되는 기밀용 가스 등이 토출부로 배기된다. The dry pump including the low vacuum pump system exhausts the gas pumped from the process chamber, the ballast gas supplied to the rotor portion of the dry pump, and the airtight gas supplied to the dry pump motor shaft to the discharge portion.

그 중에서 공정 챔버에서 흡입되는 가스는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 발생하는 유해 물질을 포함하고 있어 드라이 펌프의 토출 배관에 유해 물질을 제거하는 필터나 스크라바가 설치된다. Among them, the gas sucked in the process chamber includes harmful substances generated in the semiconductor and display manufacturing process, and a filter or scraper for removing harmful substances is installed in the discharge pipe of the dry pump.

이러한 필터 및 스크라바는 드라이 펌프의 배기압을 상승시키는데, 배기압 상승은 드라이 펌프의 압축비 증가로 이어져 소비 전력 및 밸러스트 가스의 사용량이 증가하게 되는 문제점이 있었다. These filters and scrubbers raise the exhaust pressure of the dry pump. The increase in the exhaust pressure leads to an increase in the compression ratio of the dry pump, which increases the consumption of power and the use of the ballast gas.

본 발명의 배경기술은 대한민국 등록특허공보 10-1465637호(2014.11.20)의 '전력 효율 개선 및 진공 형성 효율 개선을 위한 드라이 진공 펌프 장치'에 개시되어 있다.The background art of the present invention is disclosed in Korean Patent Registration No. 10-1465637 (Apr. 20, 2014) entitled " Dry Vacuum Pump for Improving Power Efficiency and Vacuum Forming Efficiency. &Quot;

본 발명은 전술한 문제점을 개선하기 위해 창안된 것으로서, 본 발명의 일 측면에 따른 목적은 저진공 펌프 시스템의 드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 압력을 조절하는 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치를 제공하는 것이다. An object of the present invention is to provide a discharge gas control apparatus for a low vacuum pump system for controlling a pressure of a gas discharged from a dry pump of a low vacuum pump system .

본 발명의 일 측면에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치는 드라이 펌프의 압력을 감지하는 드라이 펌프 압력 감지부; 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 유로를 형성하는 토출관에 설치되어 상기 드라이 펌프 압력 감지부에 의해 감지된 상기 드라이 펌프의 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 강제로 토출시키는 가스 토출부; 및 상기 드라이 펌프 압력 감지부에 의해 감지된 상기 드라이 펌프의 압력에 따라 상기 가스 토출부를 제어하여 상기 드라이 펌프의 토출 압력을 제어하는 토출 가스 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an apparatus for controlling an exhaust gas in a low vacuum pump system, the apparatus comprising: a dry pump pressure sensing unit for sensing a pressure of a dry pump; A gas discharge unit installed in a discharge pipe forming a flow path of gas discharged from the dry pump, for forcibly discharging gas discharged from the dry pump in accordance with the pressure of the dry pump sensed by the dry pump pressure sensing unit; And a discharge gas control unit for controlling the gas discharge unit according to the pressure of the dry pump sensed by the dry pump pressure sensing unit to control the discharge pressure of the dry pump.

본 발명의 상기 가스 토출부는 상기 토출관에 설치되어 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 펌핑하는 토출 가스 펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.The gas discharging portion of the present invention is characterized by including a discharge gas pump installed in the discharge tube for pumping gas discharged from the dry pump.

본 발명의 상기 토출 가스 제어부는 상기 드라이 펌프의 압력이 기 설정된 설정 펌프압력 미만이면 상기 토출 가스 펌프를 운전시키고, 상기 드라이 펌프의 압력이 상기 설정 펌프압력 이상이면 상기 토출 가스 펌프의 운전을 정지시키는 것을 특징으로 한다.The discharge gas control unit of the present invention operates the discharge gas pump when the pressure of the dry pump is less than a predetermined set pump pressure and stops the operation of the discharge gas pump when the pressure of the dry pump is equal to or higher than the set pump pressure .

본 발명은 상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 상기 가스 토출부를 경유하지 않도록 바이패스시키는 바이패스부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized by further comprising a bypass unit for bypassing the gas discharged from the dry pump in accordance with the gas pressure inside the discharge pipe without passing through the gas discharge unit.

본 발명의 상기 바이패스부는 상기 토출관 내부의 가스 압력이 기 설정된 설정 바이패스 압력 이상이면 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 바이패스시키는 것을 특징으로 한다.The bypass unit according to the present invention is characterized in that the gas discharged from the dry pump is bypassed when the gas pressure inside the discharge pipe is equal to or higher than a predetermined set bypass pressure.

본 발명의 상기 바이패스부는 상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 자동으로 개폐되어 상기 토출관을 통해 가스를 선택적으로 바이패스시키는 바이패스 밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다. The bypass unit includes a bypass valve that is automatically opened or closed according to a gas pressure in the discharge pipe and selectively bypasses gas through the discharge pipe.

본 발명의 다른 측면에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치는 드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 유로를 형성하는 토출관의 압력을 감지하는 토출관 압력 감지부; 상기 토출관에 설치되어 상기 토출관 압력 감지부에 의해 감지된 토출관의 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 강제로 토출시키는 가스 토출부; 및 상기 토출관 압력 감지부에 의해 감지된 상기 토출관의 압력에 따라 상기 가스 토출부를 제어하여 상기 드라이 펌프의 토출 압력을 제어하는 토출 가스 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided an apparatus for controlling an exhaust gas in a low vacuum pump system, including: a discharge tube pressure sensing unit for sensing a pressure of a discharge tube forming a flow path of a gas discharged from a dry pump; A gas discharge unit installed in the discharge tube for forcibly discharging the gas discharged from the dry pump in accordance with the pressure of the discharge tube sensed by the discharge tube pressure sensing unit; And a discharge gas control unit for controlling the gas discharge unit according to the pressure of the discharge pipe sensed by the discharge pipe pressure sensing unit to control the discharge pressure of the dry pump.

본 발명의 상기 가스 토출부는 상기 토출관에 설치되어 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 펌핑하는 토출 가스 펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다.The gas discharging portion of the present invention is characterized by including a discharge gas pump installed in the discharge tube for pumping gas discharged from the dry pump.

본 발명의 상기 토출 가스 제어부는 상기 토출관의 압력이 기 설정된 설정 토출관압력 미만이면 상기 토출 가스 펌프를 운전시키고, 상기 토출관의 압력이 상기 설정 토출관압력 이상이면 상기 토출 가스 펌프의 운전을 정지시키는 것을 특징으로 한다.The discharge gas control unit of the present invention operates the discharge gas pump when the pressure of the discharge pipe is less than a predetermined discharge pipe pressure and controls the operation of the discharge gas pump when the pressure of the discharge pipe is equal to or higher than the set discharge pipe pressure Thereby stopping the operation.

본 발명은 상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 상기 가스 토출부를 경유하지 않도록 바이패스시키는 바이패스부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized by further comprising a bypass unit for bypassing the gas discharged from the dry pump in accordance with the gas pressure inside the discharge pipe without passing through the gas discharge unit.

본 발명의 상기 바이패스부는 상기 토출관 내부의 가스 압력이 기 설정된 설정 바이패스 압력 이상이면 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 바이패스시키는 것을 특징으로 한다.The bypass unit according to the present invention is characterized in that the gas discharged from the dry pump is bypassed when the gas pressure inside the discharge pipe is equal to or higher than a predetermined set bypass pressure.

본 발명의 상기 바이패스부는 상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 자동으로 개폐되어 상기 토출관을 통해 가스를 선택적으로 바이패스시키는 바이패스 밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다. The bypass unit includes a bypass valve that is automatically opened or closed according to a gas pressure in the discharge pipe and selectively bypasses gas through the discharge pipe.

본 발명의 일 측면에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치는 저진공 펌프 시스템의 드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 압력을 제어하여 저진공 펌프 시스템의 소비 전력을 감소시키고 드라이 펌프에 공급되는 밸러스트 가스의 소비량을 절감시킨다. The apparatus for controlling discharge gas of a low vacuum pump system according to an aspect of the present invention controls the pressure of a gas discharged from a dry pump of a low vacuum pump system to reduce power consumption of the low vacuum pump system, Thereby reducing the consumption of the fuel.

도 1 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치의 블럭 구성도이다.
도 2 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 토출용 부스터 펌프를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이다.
도 3 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 바이패스 밸브를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이다.
도 4 는 본 발명의 제1 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출압력 제어 방법의 순서도이다.
도 5 는 본 발명의 제2 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치의 블럭 구성도이다.
도 6 은 본 발명의 제2 실시예에 따른 토출용 부스터 펌프를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이다.
도 7 은 본 발명의 제2 실시예에 따른 바이패스 밸브를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이다.
도 8 은 본 발명의 제2 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출압력 제어 방법의 순서도이다. 1 is a block diagram of an apparatus for controlling a discharge gas in a low vacuum pump system according to a first embodiment of the present invention.
2 is a view showing a discharge gas flow through the discharge booster pump according to the first embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating a discharge gas flow through the bypass valve according to the first embodiment of the present invention.
4 is a flowchart of a discharge pressure control method of the low vacuum pump system according to the first embodiment of the present invention.
5 is a block diagram of a discharge gas control apparatus for a low vacuum pump system according to a second embodiment of the present invention.
6 is a view showing a discharge gas flow through the discharge booster pump according to the second embodiment of the present invention.
7 is a view showing a discharge gas flow through a bypass valve according to a second embodiment of the present invention.
8 is a flowchart of a discharge pressure control method of a low vacuum pump system according to a second embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 이러한 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 이용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. Hereinafter, a discharge gas control apparatus for a low vacuum pump system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. Further, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the user, the intention or custom of the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

도 1 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치의 블럭 구성도이고, 도 2 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 토출용 부스터 펌프를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이며, 도 3 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 바이패스 밸브를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이며, 도 4 는 본 발명의 제1 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출압력 제어 방법의 순서도이다. FIG. 1 is a block diagram of an apparatus for controlling a discharge gas of a low vacuum pump system according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a discharge gas flow through a discharge booster pump according to a first embodiment of the present invention FIG. 3 is a view showing a discharge gas flow through a bypass valve according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view illustrating a discharge pressure control method of a low vacuum pump system according to a first embodiment of the present invention. It is a flowchart.

도 1 을 참조하면, 저진공 펌프 시스템(10)은 체적이 상이한 복수 개의 압축부를 갖는 로터를 구비한 드라이 펌프(12), 가스의 배기 속도를 향상시키고 보다 높은 진공을 확보하는 부스터 펌프(11), 및 드라이 펌프(12)와 부스터 펌프(11)의 동작을 제어하는 펌프 제어부(13)를 구비한다. 1, the low vacuum pump system 10 includes a dry pump 12 having a rotor having a plurality of compressions with different volumes, a booster pump 11 for improving the exhaust velocity of the gas and ensuring a higher vacuum, And a pump control section 13 for controlling the operation of the dry pump 12 and the booster pump 11.

드라이 펌프(12)의 토출관(15)은 가스에 포함된 오염물질을 제거하기 위하여 필터나 스크라바와 연결되는데, 드라이 펌프(12)의 토출 압력은 필터 및 스크라바의 집진부의 유로 저항에 의하여 대기압 이상으로 형성된다. The discharge pipe 15 of the dry pump 12 is connected to a filter or a scraper to remove contaminants contained in the gas. The discharge pressure of the dry pump 12 is controlled by the flow path resistance of the filter and the dust collecting portion of the scrubber. It is formed above atmospheric pressure.

이러한 유로 저항에 따른 토출 압력의 상승은 드라이 펌프(11) 내 압축부의 압축비를 증가시키게 되고, 압축비의 증가는 드라이 펌프(12)의 소비 전력 증가로 이어진다. 또한 압축비 상승은 진공 챔버 내에서 기화된 수증기가 드라이 펌프 로터에서 압축되는 과정 중에 수분으로 응축되는 현상을 가속화시키고, 이때 발생된 수분은 드라이 펌프(12)의 내부를 부식시키거나 오일을 오염시킨다.This increase in the discharge pressure due to the passage resistance increases the compression ratio of the compression section in the dry pump 11, and the increase in the compression ratio leads to an increase in the power consumption of the dry pump 12. [ In addition, the compression ratio increase accelerates the condensation of water vapor vaporized in the vacuum chamber into moisture during the compression in the dry pump rotor, and the moisture generated at this time corrodes the interior of the dry pump 12 or contaminates the oil.

이에 따라 드라이 펌프(12)는 질소 퍼지 라인(18)으로부터 분기된 밸로스터 질소 가스 라인(181) 및 샤프트 기밀용 질소 가스 라인(182) 각각으로부터 밸로스터 질소 및 샤프트 기밀용 질소를 공급받는다. The dry pump 12 is supplied with nitrogen for the ballast nitrogen and air for shaft sealing from each of the ballast nitrogen gas line 181 branched from the nitrogen purge line 18 and the nitrogen gas line 182 for shaft airtightness.

밸러스트용 질소 가스는 밸로스터 질소 가스 라인(181)을 통해 드라이 펌프(12)의 로터부로 공급되며, 진공 챔버로부터 펌핑되는 가스와 가스의 압축에 의하여 수분이 응축되는 현상을 방지한다.Nitrogen gas for ballast is supplied to the rotor portion of the dry pump 12 through the ballast nitrogen gas line 181 and prevents the condensation of water by the compression of gas and gas pumped from the vacuum chamber.

샤프트 실링용 질소는 로터 샤프트 부분의 실링을 위해 사프트 기밀용 질소 가스 라인(182)으로부터 드라이 펌프(12)의 로터 샤프트 부분에 공급된다. Nitrogen for shaft sealing is supplied to the rotor shaft portion of the dry pump 12 from the nitrogen gas line 182 for the air tightness for sealing the rotor shaft portion.

이러한 밸러스트용 질소 가스 및 샤프트 실링용 질소 가스는 드라이 펌프(12)의 토출관(15)을 통해 배출되는데, 이때 드라이 펌프(12)의 토출관(15) 후단에 설치된 필터나 스크라바의 집진기의 유로 저항에 의하여 대기압 이상의 압력이 형성된다. The nitrogen gas for ballast and the nitrogen gas for sealing the shaft are discharged through the discharge pipe 15 of the dry pump 12. The filter and the dust collector of the scraper installed at the rear end of the discharge pipe 15 of the dry pump 12 A pressure higher than the atmospheric pressure is formed by the flow path resistance.

이에 따라, 본 발명의 제1 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치는 반도체 또는 디스플레이 장비의 공정을 위해 저전공을 실현하는 저진공 펌프 시스템(10)으로부터 토출되는 가스를 제어하며, 드라이 펌프 압력 감지부(20), 가스 토출부(30), 토출 가스 제어부(40) 및 바이패스부(50)를 포함한다. Accordingly, the discharge gas control apparatus of the low vacuum pump system according to the first embodiment of the present invention controls the gas discharged from the low vacuum pump system 10, which realizes a low level for the processing of semiconductor or display equipment, A dry pump pressure sensing unit 20, a gas discharge unit 30, a discharge gas control unit 40, and a bypass unit 50.

한편, 저진공 펌프 시스템(10)의 펌프 제어부(13)는 드라이 펌프(12) 및 부스터 펌프(11)의 운전을 제어한다. 특히, 펌프 제어부(13)는 드라이 펌프(12)의 운전 상태, 예를 들어 드라이 펌프(12)의 압력, 드라이 펌프(12) 내 압축부의 압력을 감지하여 후술한 토출 가스 제어부(40)에 전달할 수 있다. 이에 대해서는 후술한다. On the other hand, the pump control section 13 of the low vacuum pump system 10 controls the operation of the dry pump 12 and the booster pump 11. Particularly, the pump control unit 13 senses the operating state of the dry pump 12, for example, the pressure of the dry pump 12 and the pressure of the compression unit in the dry pump 12, and transmits the detected pressure to the discharge gas control unit 40 . This will be described later.

드라이 펌프 압력 감지부(20)는 드라이 펌프(12)의 압력, 즉 드라이 펌프(12)의 압축부의 압력을 감지한다. The dry pump pressure sensing unit 20 senses the pressure of the dry pump 12, that is, the pressure of the compressed portion of the dry pump 12.

가스 토출부(30)는 드라이 펌프(12)로부터 토출되는 가스의 유로를 형성하는 토출관(15)에 설치되어 드라이 펌프 압력 감지부(20)에 의해 감지된 드라이 펌프(12)의 압력에 따라 드라이 펌프(12)로부터 토출되는 가스를 강제로 토출시킨다. The gas discharge portion 30 is provided in the discharge pipe 15 that forms the flow path of the gas discharged from the dry pump 12 and is driven by the pressure of the dry pump 12 sensed by the dry pump pressure sensing portion 20 The gas discharged from the dry pump 12 is forcibly discharged.

이러한 가스 토출부(30)는 흡입관(32), 배출관(33) 및 토출 가스 펌프(31)를 포함한다. The gas discharge portion 30 includes a suction pipe 32, a discharge pipe 33, and a discharge gas pump 31.

흡입관(32)은 일측이 토출관(15)에 연결되고 타측이 토출 가스 펌프(31)에 연결되어 토출관(15)을 통해 전달되는 가스를 토출 가스 펌프(31)에 공급한다.One end of the suction pipe 32 is connected to the discharge pipe 15 and the other end thereof is connected to the discharge gas pump 31 to supply the gas delivered through the discharge pipe 15 to the discharge gas pump 31.

배출관(33)은 일측이 토출 가스 펌프(31)에 연결되고 타측이 토출관(15)에 연결되어 토출 가스 펌프(31)를 통해 배출된 공기를 토출관(15)에 전달한다. One end of the discharge pipe 33 is connected to the discharge gas pump 31 and the other end is connected to the discharge pipe 15 to transfer the air discharged through the discharge gas pump 31 to the discharge pipe 15.

토출 가스 펌프(31)는 토출관(15)으로부터 흡입관(32)을 통해 전달된 가스를 펌핑시켜 배출관(33)을 통해 토출관(15)으로 전달함으로써, 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 강제로 토출될 수 있도록 한다. 이를 통해 드라이 펌프(12)의 토출 압력이 감소하게 되고 압축비가 제어될 수 있다. The discharge gas pump 31 pumps the gas delivered from the discharge pipe 15 through the suction pipe 32 and transfers the gas to the discharge pipe 15 through the discharge pipe 33 so that the gas discharged from the dry pump 12 So that it can be forcibly discharged. The discharge pressure of the dry pump 12 is reduced and the compression ratio can be controlled.

여기서, 흡입관(32)과 배출관(33)이 연결된 부분 사이에 바이패스부(50)가 설치됨으로써, 토출관(15)에 토출 가스 펌프(31)와 바이패스부(50)가 병렬로 연결되게 된다. 그 결과, 토출관(15)을 통해 토출되는 가스가 바이패스부(50)에 의해 바이패스될 수 있다. Here, the bypass unit 50 is provided between the suction pipe 32 and the discharge pipe 33 so that the discharge gas pump 31 and the bypass unit 50 are connected in parallel to the discharge pipe 15 do. As a result, the gas discharged through the discharge pipe (15) can be bypassed by the bypass section (50).

바이패스부(50)는 토출관(15)에 설치되어 토출관 내부의 가스 압력에 따라 드라이 펌프(12)로부터 토출되는 가스를 바이패스시킨다. 이러한 바이패스부(50)로는 토출관(15)의 압력에 따라 자동으로 개폐되는 바이패스 밸브가 채용될 수 있다. The bypass unit 50 is provided in the discharge pipe 15 and bypasses the gas discharged from the dry pump 12 in accordance with the gas pressure inside the discharge pipe. As the bypass portion 50, a bypass valve that is automatically opened or closed according to the pressure of the discharge pipe 15 may be employed.

바이패스부(50)는 토출관 내부의 가스 압력이 기 설정된 설정 바이패스 압력 이상인지 여부에 따라 자동으로 개폐됨으로써, 드라이 펌프(12)로부터 토출되는 가스를 가스 토출부(30)를 경유하지 않도록 바이패스시킨다. The bypass unit 50 is automatically opened or closed depending on whether the gas pressure inside the discharge pipe is equal to or higher than a preset set bypass pressure so that the gas discharged from the dry pump 12 is not passed through the gas discharge unit 30 Bypass.

예를 들어, 바이패스부(50)는 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 미만이면 자동으로 클로즈되어 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 가스 토출부(30)로 전달되도록 한다. For example, the bypass unit 50 is automatically closed when the gas pressure inside the discharge pipe is less than the set bypass pressure, so that the gas discharged from the dry pump 12 is transferred to the gas discharge unit 30.

바이패스부(50)는 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 이상이면 자동으로 오픈되어 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 바이패스부(50)를 통해 바이패스되도록 한다. The bypass unit 50 is automatically opened when the gas pressure inside the discharge pipe is equal to or higher than the set bypass pressure so that the gas discharged from the dry pump 12 is bypassed through the bypass unit 50.

여기서, 설정 바이패스 압력은 대기압일 수 있다. 그러나, 설정 바이패스 압력이 반드시 대기압에 한정되는 것은 아니다. 이와 같이 설정 바이패스 압력이 대기압으로 설정되는 것은 토출관(15) 내부의 압력을 대기압 이하로 유지하기 위함이다. Here, the setting bypass pressure may be atmospheric pressure. However, the setting bypass pressure is not necessarily limited to the atmospheric pressure. The setting bypass pressure is set to the atmospheric pressure in order to keep the pressure inside the discharge pipe 15 at atmospheric pressure or less.

토출 가스 제어부(40)는 드라이 펌프 압력 감지부(20)에 의해 감지된 드라이 펌프(12)의 압력에 따라 가스 토출부(30)를 제어하여 드라이 펌프(12)의 압축비를 제어한다. The discharge gas control unit 40 controls the gas discharge unit 30 to control the compression ratio of the dry pump 12 in accordance with the pressure of the dry pump 12 sensed by the dry pump pressure sensing unit 20.

토출 가스 제어부(40)는 드라이 펌프 압력 감지부(20)로부터 드라이 펌프(12)의 압력을 직접 전달받거나, 펌프 제어부(13)와 유무선으로 연결되어 펌프 제어부(13)로부터 드라이 펌프(12)의 압력을 전달받을 수 있다. The discharge gas control unit 40 receives the pressure of the dry pump 12 directly from the dry pump pressure sensing unit 20 or receives the pressure of the dry pump 12 from the pump control unit 13, Pressure can be delivered.

토출 가스 제어부(40)는 드라이 펌프 압력 감지부(20)에 의해 감지된 드라이 펌프(12)의 압력을 기 설정된 설정 펌프압력과 비교하여 비교 결과에 따라 토출 가스 펌프(31)를 제어한다. The discharge gas control unit 40 compares the pressure of the dry pump 12 sensed by the dry pump pressure sensing unit 20 with a predetermined set pump pressure and controls the discharge gas pump 31 according to the comparison result.

여기서, 설정 펌프압력은 드라이 펌프(12)의 소비 전력이 증가하게 되거나, 진공 챔버내에서 수증기가 응축될 수 있을 정도의 압축비를 형성하는 드라이 펌프(12)의 압력이다. Here, the set pump pressure is the pressure of the dry pump 12 which increases the power consumption of the dry pump 12 or forms a compression ratio such that steam can be condensed in the vacuum chamber.

이 경우, 토출 가스 제어부(40)는 드라이 펌프(12)의 압력이 설정 펌프압력 미만이면 토출 가스 펌프(31)를 운전시킨다.In this case, the discharge gas control unit 40 drives the discharge gas pump 31 when the pressure of the dry pump 12 is lower than the set pump pressure.

이에 따라, 도 2 에 도시된 바와 같이 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 토출 가스 펌프(31)에 의해 토출되게 된다. As a result, the gas discharged from the dry pump 12 is discharged by the discharge gas pump 31 as shown in Fig.

반면에, 토출 가스 제어부(40)는 드라이 펌프(12)의 압력이 설정 펌프압력 이상이면 토출 가스 펌프(31)를 정지시킴으로써 토출 가스 펌프(31)의 과부하를 방지한다. 토출 가스 펌프(31)가 정지됨에 따라 토출관 내부의 가스 압력이 증가하게 되고 이때 토출관 내부의 가스 압력이 기 설정된 바이패스 압력, 예를 들어 대기압 이상이 되면, 바이패스 밸브가 자동으로 오픈된다. 이에 따라 도 3 에 도시된 바와 같이 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 바이패스 밸브에 의해 바이패스되어 토출되게 된다. On the other hand, if the pressure of the dry pump 12 is equal to or higher than the set pump pressure, the discharge gas control unit 40 stops the discharge gas pump 31 to prevent the discharge gas pump 31 from being overloaded. As the discharge gas pump 31 is stopped, the gas pressure inside the discharge pipe increases. At this time, when the gas pressure inside the discharge pipe becomes equal to or higher than a preset bypass pressure, for example, atmospheric pressure, the bypass valve is automatically opened . Accordingly, as shown in FIG. 3, the gas discharged from the dry pump 12 is bypassed and discharged by the bypass valve.

여기서, 드라이 펌프(12)의 압력이 설정 펌프압력 미만이어서 토출 가스 펌프(31)가 운전 중인 경우에는, 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 미만이므로, 바이패스부(50)는 클로즈 상태가 된다. Here, when the discharge pump 31 is in operation because the pressure of the dry pump 12 is lower than the set pump pressure, the gas pressure inside the discharge pipe is less than the set bypass pressure, .

이하 본 발명의 제1 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템(10)의 토출압력 제어 방법을 도 4 를 참조하여 설명한다.Hereinafter, a method of controlling the discharge pressure of the low vacuum pump system 10 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 4 를 참조하면, 먼저 드라이 펌프 압력 감지부(20)가 드라이 펌프(12)의 압력을 감지하고(S110), 감지된 드라이 펌프(12)의 압력을 펌프 제어부(13)에 전달하거나 또는 토출 가스 제어부(40)에 전달한다. 4, first, the dry pump pressure sensing unit 20 senses the pressure of the dry pump 12 (S110) and transmits the sensed pressure of the dry pump 12 to the pump control unit 13, To the gas control unit (40).

여기서, 드라이 펌프 압력 감지부(20)가 드라이 펌프(12)의 압력을 펌프 제어부(13)에 전달할 경우, 펌프 제어부(13)가 해당 드라이 펌프(12)의 압력을 토출 가스 제어부(40)에 전달한다.When the dry pump pressure sensing unit 20 transmits the pressure of the dry pump 12 to the pump control unit 13, the pump control unit 13 controls the pressure of the dry pump 12 to the discharge gas control unit 40 .

토출 가스 제어부(40)는 드라이 펌프(12)의 압력을 전달받으면, 이 드라이 펌프(12)의 압력을 기 설정된 설정 펌프압력과 비교하여 드라이 펌프(12)의 압력이 설정 펌프압력 미만인지를 판단한다(S120). When the pressure of the dry pump 12 is received, the discharge gas control unit 40 compares the pressure of the dry pump 12 with a predetermined set pump pressure to determine whether the pressure of the dry pump 12 is lower than the set pump pressure (S120).

단계(S120)에서의 판단 결과 드라이 펌프(12)의 압력이 설정 펌프압력 미만이면, 토출 가스 제어부(40)는 토출 가스 펌프(31)를 운전(S130)시킴으로써, 드라이 펌프(12)로부터 토출되는 가스가 토출 가스 펌프(31)를 통해 토출될 수 있도록 한다. 이 경우에는 토출 가스 펌프(31)에 의해 가스가 토출되므로, 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 미만이 된다. 따라서, 토출 가스 펌프(31)가 운전 중인 상태에서는 바이패스부(50)는 자동으로 클로즈된다. When the pressure of the dry pump 12 is less than the set pump pressure as a result of the determination in step S120, the discharge gas control unit 40 operates the discharge gas pump 31 (S130) So that the gas can be discharged through the discharge gas pump 31. In this case, since the gas is discharged by the discharge gas pump 31, the gas pressure inside the discharge pipe becomes less than the set bypass pressure. Therefore, the bypass section 50 is automatically closed when the discharge gas pump 31 is in operation.

반면에, 단계(S120)에서의 판단 결과 드라이 펌프(12)의 압력이 설정 펌프압력 이상이면 토출 가스 펌프(31)의 운전을 정지시킨다(S140). On the other hand, if it is determined in step S120 that the pressure of the dry pump 12 is equal to or higher than the set pump pressure, the operation of the discharge gas pump 31 is stopped (S140).

토출 가스 펌프(31)가 정지됨에 따라 토출관 내부의 가스 압력이 증가하게 되고 이때 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 이상이 되면, 바이패스 밸브가 자동으로 오픈된다(S150). 이에 따라 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 바이패스부(50)에 의해 바이패스되어 토출되게 된다. As the discharge gas pump 31 is stopped, the gas pressure inside the discharge pipe increases. At this time, when the gas pressure inside the discharge pipe becomes equal to or higher than the set bypass pressure, the bypass valve is automatically opened (S150). As a result, the gas discharged from the dry pump 12 is bypassed and discharged by the bypass unit 50.

한편, 상기한 제1 실시예에서는 드라이 펌프 압력 감지부(20)에 의해 감지된 드라이 펌프(12)의 압력, 즉 드라이 펌프(12)의 압축부의 압력을 이용하여 드라이 펌프(12)의 토출 가스를 제어하는 것을 예시로 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시예는 이에 한정되는 것은 아니며, 드라이 펌프(12)에서 실제 토출되는 토출관(15)의 압력을 이용하여 드라이 펌프(12)의 토출 가스를 제어하는 것도 포함한다. 이를 도 5 내지 도 8 을 참조하여 설명한다. In the first embodiment, the pressure of the dry pump 12 detected by the dry pump pressure sensing unit 20, that is, the pressure of the compressed portion of the dry pump 12, As shown in Fig. However, the embodiment of the present invention is not limited to this, and it also includes controlling the discharge gas of the dry pump 12 by using the pressure of the discharge pipe 15 actually discharged from the dry pump 12. [ This will be described with reference to FIGS. 5 to 8. FIG.

참고로, 본 발명에 따른 제2 실시예에서는 제1 실시예와 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하여 그 상세한 설명은 생략한다. In the second embodiment according to the present invention, the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

도 5 는 본 발명의 제2 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치의 블럭 구성도이고, 도 6 은 본 발명의 제2 실시예에 따른 토출용 부스터 펌프를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이며, 도 7 은 본 발명의 제2 실시예에 따른 바이패스 밸브를 통한 토출 가스 흐름을 나타낸 도면이며, 도 8 은 본 발명의 제2 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출압력 제어 방법의 순서도이다. FIG. 5 is a block diagram of an apparatus for controlling a discharge gas in a low vacuum pump system according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view showing a discharge gas flow through a discharge booster pump according to a second embodiment of the present invention FIG. 7 is a view showing a discharge gas flow through a bypass valve according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a view illustrating a discharge pressure control method of a low vacuum pump system according to a second embodiment of the present invention. It is a flowchart.

도 5 를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치는 드라이 펌프(12)에서 실제 토출되는 토출관(15)의 압력을 이용하여 드라이 펌프(12)의 압축비를 제어하는 것으로써, 토출관 압력 감지부(160), 가스 토출부(30), 토출 가스 제어부(140) 및 바이패스부(50)를 포함한다.5, the apparatus for controlling the discharge gas of the low vacuum pump system according to the second embodiment of the present invention uses the pressure of the discharge pipe 15 actually discharged from the dry pump 12, The gas discharge unit 30, the discharge gas control unit 140, and the bypass unit 50 by controlling the compression ratio.

여기서, 가스 토출부(30) 및 바이패스부(50)는 상기한 제1 실시예와 동일하므로 그 상세한 설명은 생략한다.Here, since the gas discharging unit 30 and the bypass unit 50 are the same as those of the first embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

토출관 압력 감지부(160)는 토출관(15)에 연결된 흡입관(32)에 설치되어 드라이 펌프(12)로부터 토출되는 가스의 유로를 형성하는 토출관(15)의 압력을 감지한다. The discharge pipe pressure sensing part 160 is installed in the suction pipe 32 connected to the discharge pipe 15 and senses the pressure of the discharge pipe 15 forming the flow path of the gas discharged from the dry pump 12.

토출관 압력 감지부(160)의 설치 위치는 토출 가스 펌프(31)의 전단이라면 특별히 한정되는 것은 아니다. The installation position of the discharge pipe pressure sensing part 160 is not particularly limited as far as it is the front end of the discharge gas pump 31.

토출 가스 제어부(140)는 토출관 압력 감지부(160)에 의해 감지된 토출관(15)의 압력에 따라 가스 토출부(30)를 제어하여 드라이 펌프(12)의 압축비를 제어한다. The discharge gas control unit 140 controls the gas discharge unit 30 to control the compression ratio of the dry pump 12 according to the pressure of the discharge pipe 15 sensed by the discharge pipe pressure sensing unit 160.

즉, 토출 가스 제어부(140)는 토출관(15)의 압력이 기 설정된 설정 토출관 압력 미만이면 토출 가스 펌프(31)를 운전시키고, 토출관(15)의 압력이 설정 토출관 압력 이상이면 토출 가스 펌프(31)의 운전을 정지시킨다. That is, the discharge gas control unit 140 operates the discharge gas pump 31 when the pressure of the discharge pipe 15 is less than the predetermined discharge pipe pressure, and when the pressure of the discharge pipe 15 is the set discharge pipe pressure or more, The operation of the gas pump 31 is stopped.

여기서, 설정 토출관 압력은 드라이 펌프(12)의 소비 전력이 증가하게 되거나, 진공 챔버내에서 수증기가 응축될 수 있을 정도의 압축비를 형성하는 토출관(15)의 압력이다. Here, the set discharge pipe pressure is the pressure of the discharge pipe 15 which increases the power consumption of the dry pump 12 or forms a compression ratio enough to condense the water vapor in the vacuum chamber.

이 경우, 토출 가스 제어부(140)는 토출관(15)의 압력이 설정 토출관 압력 미만이면 토출 가스 펌프(31)를 운전시킨다. 이에 따라, 도 6 에 도시된 바와 같이 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 토출 가스 펌프(31)에 의해 토출되게 된다. In this case, the discharge gas control unit 140 operates the discharge gas pump 31 when the pressure of the discharge pipe 15 is lower than the set discharge pipe pressure. As a result, the gas discharged from the dry pump 12 is discharged by the discharge gas pump 31 as shown in Fig.

반면에, 토출 가스 제어부(140)는 토출관(15)의 압력이 설정 토출관 압력 이상이면 토출 가스 펌프(31)를 정지시킨다. 토출 가스 펌프(31)가 정지됨에 따라 토출관 내부의 가스 압력이 증가하게 되고 이때 토출관 내부의 가스 압력이 기 설정된 바이패스 압력, 예를 들어 대기압 이상이 되면, 바이패스부(50)가 자동으로 오픈된다. 이에 따라 도 7 에 도시된 바와 같이 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 바이패스부(50)에 의해 바이패스되어 토출되게 된다. 여기서, 토출관(15)의 압력이 설정 토출관 압력 미만으로써 토출 가스 펌프(31)를 운전 중인 경우에는, 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 미만이므로, 바이패스부(50)는 클로즈 상태가 된다. On the other hand, the discharge gas control unit 140 stops the discharge gas pump 31 when the pressure of the discharge pipe 15 is equal to or higher than the set discharge pipe pressure. When the discharge gas pump 31 is stopped, the gas pressure inside the discharge tube increases. At this time, when the gas pressure inside the discharge tube becomes equal to or higher than a predetermined bypass pressure, for example, atmospheric pressure, . Accordingly, as shown in FIG. 7, the gas discharged from the dry pump 12 is bypassed and discharged by the bypass unit 50. Here, when the discharge gas pipe 31 is operating with the discharge pipe 15 pressure less than the set discharge pipe pressure, the gas pressure inside the discharge pipe is less than the set bypass pressure, State.

이하 본 발명의 제2 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 방법을 도 8 을 참조하여 설명한다. Hereinafter, a discharge gas control method of the low vacuum pump system according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 8 을 참조하면, 먼저 토출관 압력 감지부(160)가 토출관(15)의 압력을 감지한다(S210). Referring to FIG. 8, the discharge tube pressure sensing unit 160 senses the pressure of the discharge tube 15 (S210).

이어, 토출 가스 제어부(140)는 토출관(15)의 압력을 전달받으면, 이 토출관(15)의 압력을 기 설정된 설정 토출관 압력과 비교하여 토출관(15)의 압력이 설정 토출관 압력 미만인지를 판단한다(S220). When the pressure of the discharge pipe (15) is received, the discharge gas control unit (140) compares the pressure of the discharge pipe (15) with a preset discharge pipe pressure, (S220).

단계(S220)에서의 판단 결과 토출관(15)의 압력이 설정 토출관 압력 미만이면, 토출 가스 제어부(140)는 토출 가스 펌프(31)를 운전(S230)시킴으로써, 드라이 펌프(12)로부터 토출되는 가스가 토출 가스 펌프(31)를 통해 토출될 수 있도록 한다. 이 경우에는 토출 가스 펌프(31)에 의해 가스가 토출되므로, 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 미만이 된다. 따라서, 토출 가스 펌프(31)가 운전 중인 상태에서는 바이패스 밸브는 자동으로 클로즈된다. If the pressure of the discharge pipe 15 is less than the set discharge pipe pressure as a result of the determination in step S220, the discharge gas control unit 140 controls the discharge gas pump 31 to operate (S230) So that the gas can be discharged through the discharge gas pump 31. In this case, since the gas is discharged by the discharge gas pump 31, the gas pressure inside the discharge pipe becomes less than the set bypass pressure. Therefore, the bypass valve is automatically closed when the discharge gas pump 31 is in operation.

반면에, 단계(S220)에서의 판단 결과 토출관(15)의 압력이 설정 토출관 압력 이상이면 토출 가스 운전을 정지시킨다(S240). On the other hand, if it is determined in step S220 that the pressure of the discharge pipe 15 is equal to or higher than the set discharge pipe pressure, the discharge gas operation is stopped (S240).

토출 가스 펌프(31)가 정지됨에 따라 토출관 내부의 가스 압력이 증가하게 되고 이때 토출관 내부의 가스 압력이 설정 바이패스 압력 이상이 되면, 바이패스 밸브가 자동으로 오픈된다(S250). 이에 따라 드라이 펌프(12)로부터 토출된 가스가 바이패스부(50)에 의해 바이패스되어 토출되게 된다. As the discharge gas pump 31 is stopped, the gas pressure inside the discharge pipe increases. At this time, when the gas pressure inside the discharge pipe becomes equal to or higher than the set bypass pressure, the bypass valve is automatically opened (S250). As a result, the gas discharged from the dry pump 12 is bypassed and discharged by the bypass unit 50.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치는 저진공 펌프 시스템의 드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 압력을 제어하여 저진공 펌프 시스템의 소비 전력을 감소시키고 드라이 펌프에 공급되는 밸러스트 가스의 소비량을 절감시킨다.As described above, the discharge gas control apparatus of the low vacuum pump system according to the embodiment of the present invention controls the pressure of the gas discharged from the dry pump of the low vacuum pump system to reduce the power consumption of the low vacuum pump system, Thereby reducing the consumption of the supplied ballast gas.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 기술이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be taken by way of limitation, I will understand. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

10: 저진공 펌프 시스템 11: 부스터 펌프
12: 드라이 펌프 13: 펌프 제어부
15: 토출관 20: 드라이 펌프 압력 감지부
30: 가스 토출부 31: 토출 가스 펌프
32: 흡입관 33: 배출관
40, 140: 토출 가스 제어부 50: 바이패스부
160: 토출관 압력 감지부 10: Low vacuum pump system 11: Booster pump
12: Dry pump 13: Pump control unit
15: discharge pipe 20: dry pump pressure sensing part
30: gas discharge part 31: discharge gas pump
32: suction pipe 33: discharge pipe
40, 140: discharge gas control unit 50: bypass unit
160: Discharge tube pressure sensing unit

Claims (12)

드라이 펌프의 압력을 감지하는 드라이 펌프 압력 감지부;
상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 유로를 형성하는 토출관에 설치되어 상기 드라이 펌프 압력 감지부에 의해 감지된 상기 드라이 펌프의 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 강제로 토출시키는 가스 토출부; 및
상기 드라이 펌프 압력 감지부에 의해 감지된 상기 드라이 펌프의 압력에 따라 상기 가스 토출부를 제어하여 상기 드라이 펌프의 토출 압력을 제어하는 토출 가스 제어부를 포함하고,
상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 상기 가스 토출부를 경유하지 않도록 바이패스시키는 바이패스부를 더 포함하고,
상기 가스 토출부는 상기 토출관으로부터 전달된 가스를 펌핑시켜 강제로 토출시키는 토출 가스 펌프; 일측이 상기 토출관에 연결되고 타측이 상기 토출 가스 펌프에 연결되는 흡입관; 및 일측이 상기 토출 가스 펌프에 연결되고 타측이 상기 토출관에 연결되는 배출관을 포함하고,
상기 바이패스부는 상기 흡입관이 상기 토출관에 연결된 부분과 상기 배출관이 상기 토출관에 연결된 부분 사이에 연결되며,
상기 토출 가스 제어부는 상기 드라이 펌프 압력 감지부에 의해 감지된 상기 드라이 펌프의 압력이 기 설정된 설정 펌프압력 미만이면 상기 토출 가스 펌프를 운전시키고 상기 드라이 펌프의 압력이 상기 설정 펌프압력 이상이면 상기 토출 가스 펌프의 운전을 정지시키며,
상기 토출 가스 제어부에 의해 상기 토출 가스 펌프의 운전을 정지시킨 후 상기 토출관 내부의 가스 압력이 기 설정된 설정 바이패스 압력 이상이면, 상기 바이패스부는 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 바이패스시키는 것을 특징으로 하는 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치.
A dry pump pressure sensing unit for sensing the pressure of the dry pump;
A gas discharge unit installed in a discharge pipe forming a flow path of gas discharged from the dry pump, for forcibly discharging gas discharged from the dry pump in accordance with the pressure of the dry pump sensed by the dry pump pressure sensing unit; And
And a discharge gas control unit controlling the gas discharge unit according to the pressure of the dry pump sensed by the dry pump pressure sensing unit to control the discharge pressure of the dry pump,
Further comprising a bypass section for bypassing the gas discharged from the dry pump in accordance with the gas pressure inside the discharge tube so as not to pass through the gas discharge section,
Wherein the gas discharge unit comprises: a discharge gas pump for pumping gas delivered from the discharge pipe to forcibly discharge the gas; A suction pipe having one side connected to the discharge pipe and the other side connected to the discharge gas pump; And a discharge pipe having one side connected to the discharge gas pump and the other side connected to the discharge pipe,
Wherein the bypass portion is connected between a portion of the suction pipe connected to the discharge pipe and a portion of the discharge pipe connected to the discharge pipe,
Wherein the discharge gas control unit operates the discharge gas pump when the pressure of the dry pump sensed by the dry pump pressure sensing unit is less than a predetermined set pump pressure and when the pressure of the dry pump is equal to or higher than the set pump pressure, Stop the operation of the pump,
When the gas pressure inside the discharge pipe after the operation of the discharge gas pump is stopped by the discharge gas control unit is equal to or larger than a predetermined set bypass pressure, the bypass unit bypasses the gas discharged from the dry pump Wherein the vacuum pump system is a vacuum pump system.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 바이패스부는
상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 자동으로 개폐되어 상기 토출관을 통해 가스를 선택적으로 바이패스시키는 바이패스 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치.
The apparatus of claim 1, wherein the bypass unit
And a bypass valve that is opened and closed automatically according to the gas pressure inside the discharge pipe to selectively bypass the gas through the discharge pipe.
드라이 펌프로부터 토출되는 가스의 유로를 형성하는 토출관의 압력을 감지하는 토출관 압력 감지부;
상기 토출관에 설치되어 상기 토출관 압력 감지부에 의해 감지된 토출관의 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 강제로 토출시키는 가스 토출부; 및
상기 토출관 압력 감지부에 의해 감지된 상기 토출관의 압력에 따라 상기 가스 토출부를 제어하여 상기 드라이 펌프의 토출 압력을 제어하는 토출 가스 제어부를 포함하며,
상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 상기 가스 토출부를 경유하지 않도록 바이패스시키는 바이패스부를 더 포함하고,
상기 가스 토출부는 상기 토출관으로부터 전달된 가스를 펌핑시켜 강제로 토출시키는 토출 가스 펌프; 일측이 상기 토출관에 연결되고 타측이 상기 토출 가스 펌프에 연결되는 흡입관; 및 일측이 상기 토출 가스 펌프에 연결되고 타측이 상기 토출관에 연결되는 배출관을 포함하고,
상기 바이패스부는 상기 흡입관이 상기 토출관에 연결된 부분과 상기 배출관이 상기 토출관에 연결된 부분 사이에 연결되며,
상기 토출 가스 제어부는 상기 토출관 압력 감지부에 의해 감지된 상기 토출관의 압력이 기 설정된 설정 토출관압력 미만이면 상기 토출 가스 펌프를 운전시키고 상기 토출관의 압력이 상기 설정 토출관압력 이상이면 상기 토출 가스 펌프의 운전을 정지시키며,
상기 토출 가스 제어부에 의해 상기 토출 가스 펌프의 운전을 정지시킨 후 상기 토출관 내부의 가스 압력이 기 설정된 설정 바이패스 압력 이상이면, 상기 바이패스부는 상기 드라이 펌프로부터 토출되는 가스를 바이패스시키는 것을 특징으로 하는 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치.
A discharge pipe pressure sensing unit for sensing a pressure of a discharge pipe forming a flow path of gas discharged from the dry pump;
A gas discharge unit installed in the discharge tube for forcibly discharging the gas discharged from the dry pump in accordance with the pressure of the discharge tube sensed by the discharge tube pressure sensing unit; And
And a discharge gas control unit for controlling the gas discharge unit according to the pressure of the discharge pipe sensed by the discharge pipe pressure sensing unit to control the discharge pressure of the dry pump,
Further comprising a bypass section for bypassing the gas discharged from the dry pump in accordance with the gas pressure inside the discharge tube so as not to pass through the gas discharge section,
Wherein the gas discharge unit comprises: a discharge gas pump for pumping gas delivered from the discharge pipe to forcibly discharge the gas; A suction pipe having one side connected to the discharge pipe and the other side connected to the discharge gas pump; And a discharge pipe having one side connected to the discharge gas pump and the other side connected to the discharge pipe,
Wherein the bypass portion is connected between a portion of the suction pipe connected to the discharge pipe and a portion of the discharge pipe connected to the discharge pipe,
Wherein the discharge gas control unit operates the discharge gas pump when the pressure of the discharge pipe sensed by the discharge pipe pressure sensing unit is less than a predetermined set discharge pipe pressure and when the pressure of the discharge pipe is equal to or higher than the set discharge pipe pressure, The operation of the discharge gas pump is stopped,
When the gas pressure inside the discharge pipe after the operation of the discharge gas pump is stopped by the discharge gas control unit is equal to or larger than a predetermined set bypass pressure, the bypass unit bypasses the gas discharged from the dry pump Wherein the vacuum pump system is a vacuum pump system.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 7 항에 있어서, 상기 바이패스부는
상기 토출관 내부의 가스 압력에 따라 자동으로 개폐되어 상기 토출관을 통해 가스를 선택적으로 바이패스시키는 바이패스 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 저진공 펌프 시스템의 토출 가스 제어 장치. 8. The apparatus of claim 7, wherein the bypass unit
And a bypass valve that is opened and closed automatically according to the gas pressure inside the discharge pipe to selectively bypass the gas through the discharge pipe.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003139054A (en) * 2001-10-31 2003-05-14 Ulvac Japan Ltd Evacuation device
JP2003286944A (en) * 2002-03-28 2003-10-10 Sanyo Electric Co Ltd High pressure gas generating device

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