JP2599353Y2 - Exhaust device - Google Patents
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- JP2599353Y2 JP2599353Y2 JP1992084116U JP8411692U JP2599353Y2 JP 2599353 Y2 JP2599353 Y2 JP 2599353Y2 JP 1992084116 U JP1992084116 U JP 1992084116U JP 8411692 U JP8411692 U JP 8411692U JP 2599353 Y2 JP2599353 Y2 JP 2599353Y2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この考案は、半導体製造装置に有
するエッチング用チャンバ等、即ち反応性ガスを含むチ
ャンバ内に真空状態を形成する排気装置に関し、特に、
そのチャンバ内の真空度を常に一定の状態に保つことが
できるようにしたものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exhaust system for forming a vacuum in an etching chamber or the like of a semiconductor manufacturing apparatus, that is, a chamber containing a reactive gas.
The degree of vacuum in the chamber can always be kept constant.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、この種の反応性ガスを含むチ
ャンバ内に真空状態を形成する排気装置としては、その
チャンバに一台のターボ分子ポンプを装着し、このター
ボ分子ポンプの運転によりチャンバ内のガスを外部に排
気するように構成したものが知られている。2. Description of the Related Art Heretofore, as an exhaust device for forming a vacuum state in a chamber containing a reactive gas of this kind, a single turbo molecular pump is mounted in the chamber, and the chamber is operated by operating the turbo molecular pump. There is known a device configured to exhaust gas inside to the outside.
【０００３】しかし、上記のようなターボ分子ポンプの
運転による排気時においては、チャンバ内の反応性ガス
がターボ分子ポンプの内部で凝固しかつ生成物としてタ
ーボ分子ポンプの排気口等に堆積することは避けられ
ず、特に、そのような堆積物がターボ分子ポンプの内部
に有するロータの軸受部分等に詰った場合には、ロータ
の回転障害を招き、ターボ分子ポンプの継続運転が不可
能となる等の不具合が生じる。However, during the evacuation by the operation of the turbo molecular pump as described above, the reactive gas in the chamber solidifies inside the turbo molecular pump and accumulates as a product at the exhaust port of the turbo molecular pump. In particular, if such deposits clog the bearings of the rotor inside the turbo-molecular pump, the rotation of the rotor is hindered, and the turbo-molecular pump cannot be continuously operated. And the like.
【０００４】このため、堆積物によりターボ分子ポンプ
の継続運転が不可能となり、そのターボ分子ポンプの運
転が停止したときは、その停止の度に、ターボ分子ポン
プをチャンバから取り外し、その後、取り外されたター
ボ分子ポンプの再生を行うと共に、再生後のターボ分子
ポンプをチャンバに装着した後、そのターボ分子ポンプ
の運転を再開している。For this reason, the turbo molecular pump cannot be continuously operated due to the sediment. When the operation of the turbo molecular pump is stopped, the turbo molecular pump is removed from the chamber each time the turbo molecular pump is stopped. The turbo molecular pump is regenerated, and after the regenerated turbo molecular pump is mounted in the chamber, the operation of the turbo molecular pump is restarted.
【０００５】[0005]
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の排気装置にあっては、上記の如くターボ分子
ポンプを一台しか備えてないため、そのターボ分子ポン
プの内部に有するロータの軸受部分等に堆積物が詰り、
その結果、ターボ分子ポンプの運転が停止したときは、
チャンバ内の真空度を常に一定の状態に保つことができ
ず、チャンバ内の真空度が低下するので、この排気装置
を例えば半導体製造装置に有するエッチング用チャンバ
等に適用した場合には、真空度の低下によるウェハの不
良が生じることは避けられず、半導体の製品歩留まりが
悪くなる。However, since such a conventional exhaust system has only one turbo-molecular pump as described above, a bearing portion of a rotor provided inside the turbo-molecular pump is used. Etc. are clogged with sediment,
As a result, when the operation of the turbo molecular pump is stopped,
Since the degree of vacuum in the chamber cannot always be kept constant and the degree of vacuum in the chamber decreases, when this exhaust device is applied to, for example, an etching chamber of a semiconductor manufacturing apparatus, the degree of vacuum is low. It is inevitable that a wafer defect occurs due to a decrease in the product, and the product yield of semiconductors is deteriorated.
【０００６】しかも、従来は、上記の如く停止したター
ボ分子ポンプの再生を行う際、その一台しかないターボ
分子ポンプをチャンバから取り外すため、このように取
り外した状態においてはチャンバ内での作業に好適な一
定の真空度を得ることは極めて困難であり、その結果、
チャンバ内における作業の中止が強いられるので、半導
体製造装置の作業工程全体を停止させる必要があり、半
導体の製造効率が悪化する等の問題点がある。In addition, conventionally, when the turbo-molecular pump stopped as described above is regenerated, only one turbo-molecular pump is removed from the chamber. It is extremely difficult to obtain a suitable constant vacuum, so that
Since the operation in the chamber is forced to be stopped, it is necessary to stop the entire operation process of the semiconductor manufacturing apparatus, and there is a problem that semiconductor manufacturing efficiency is deteriorated.
【０００７】この考案は上述の事情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、特に反応性ガスを含む
チャンバ内の真空度を常に一定の状態に保つことができ
る排気装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide an exhaust device capable of always maintaining a constant degree of vacuum in a chamber containing a reactive gas. It is in.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案は、吸気口及び排気口を備えかつその吸気
口から吸入したガスを排気口に排気する主及び予備ター
ボ分子ポンプ本体と、上記主ターボ分子ポンプ本体の吸
気口に一端が接続されかつ他端がチャンバ内に連通する
排気管と、上記排気管の途中に一端が連通しかつ他端が
上記予備ターボ分子ポンプ本体の吸気口に接続された分
岐管と、上記排気管の下流側に位置しかつその排気管を
遮断又は開放する排気管バルブと、上記分岐管に位置し
かつその分岐管を遮断又は開放する分岐管バルブと、上
記主及び予備ターボ分子ポンプ本体にそれぞれ設けら
れ、投光素子からの光を受光する受光素子の受光量の減
少により、その主及び予備ターボ分子ポンプ本体の内部
に堆積する堆積物の量を光学的に検知する堆積物検知セ
ンサ部と、上記堆積物検知センサ部での検知結果に基き
主ターボ分子ポンプの運転を停止させるほど堆積物が堆
積していると判断したとき、上記主ターボ分子ポンプ本
体の運転停止及び上記予備ターボ分子ポンプ本体の運転
開始を指示すると共に、上記排気管バルブを閉状態に設
定し、上記分岐管バルブを開状態に設定する切換コント
ローラとを備えることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a main and auxiliary turbo molecular pump main body having an inlet and an outlet and exhausting gas sucked from the inlet to an outlet. intake and an exhaust pipe in which the main turbo molecular pump end connected and the other end to the inlet of the body communicates with the chamber, one end in the middle of the exhaust pipe is communicating and the other end of the preliminary turbo molecular pump main body A branch pipe connected to the mouth, and the exhaust pipe located downstream of the exhaust pipe and
Exhaust pipe valve to shut off or open and located in the above branch pipe
And a branch pipe valve for shutting off or opening the branch pipe, and a reduction in the amount of light received by a light receiving element that is provided in each of the main and spare turbo-molecular pump bodies and receives light from the light emitting element.
At least, a deposit detection sensor section for optically detecting the amount of deposits deposited inside the main and backup turbo molecular pump bodies, and a main turbo molecular pump based on the detection result of the deposit detection sensor section. When it is determined that the deposits are accumulated so as to stop the operation, the operation of the main turbo molecular pump main body and the start of the operation of the spare turbo molecular pump main body are instructed, and the exhaust pipe valve is set to the closed state. And a switching controller for setting the branch pipe valve to an open state.
【０００９】[0009]
【作用】この考案によれば、切換コントローラが堆積物
検知センサ部での検知結果に基き主ターボ分子ポンプの
運転を停止させるほど堆積物が堆積していると判断した
ときは、主ターボ分子ポンプ本体の運転停止及び予備タ
ーボ分子ポンプ本体の運転開始が指示されると共に、排
気管バルブが閉状態に、また分岐管バルブが開状態に設
定される、即ち、チャンバ内のガスは分岐管及び予備タ
ーボ分子ポンプ本体を介して排気される。According to this invention, when the switching controller determines that the deposits are accumulated enough to stop the operation of the main turbo molecular pump based on the detection result of the deposit detection sensor, the main turbo molecular pump Shutdown of the main body and start of operation of the spare turbo-molecular pump main body are instructed, and the exhaust pipe valve is set to the closed state and the branch pipe valve is set to the open state. The gas is exhausted through the turbo molecular pump body.
【００１０】[0010]
【実施例】以下、この考案に係る排気装置の一実施例に
ついて図１及び図２に基いて詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the exhaust device according to the present invention will be described below in detail with reference to FIGS.
【００１１】この排気装置は図１に示す如く主ターボ分
子ポンプ本体１及び予備ターボ分子ポンプ本体２を有
し、その主及び予備ターボ分子ポンプ本体１，２にはケ
ーシング３に吸気口４及び排気口５が設けられている。As shown in FIG. 1, this exhaust device has a main turbo molecular pump main body 1 and a spare turbo molecular pump main body 2. A mouth 5 is provided.
【００１２】なお、上記主及び予備ターボ分子ポンプ本
体１，２の基本的な構造、即ち図２に示す如くケーシン
グ３内にステータコラム６を有し、このステータコラム
６とケーシング３との間には筒状のロータ７が回転可能
に配設されていること、そのロータ７とケーシング３と
の間にはロータ翼８とステータ翼９が交互に配設されて
おり、かつロータ翼８はロータ７の外周面に、またステ
ータ翼９はスペーサを介してケーシング３の内壁面に取
り付けられていること、並びに、ロータ７の回転により
ロータ翼８とステータ翼９との間に分子流を誘発させ、
吸気口４から吸入したガスを排気口５に排気するように
構成されていること等は周知なため、その詳細説明は省
略する。The main structure of the main and auxiliary turbo-molecular pump main bodies 1 and 2 has a stator column 6 in a casing 3 as shown in FIG. Is that a cylindrical rotor 7 is rotatably disposed, rotor blades 8 and stator blades 9 are alternately disposed between the rotor 7 and the casing 3, and the rotor blades 8 7 and the stator blades 9 are attached to the inner wall surface of the casing 3 via spacers, and the rotation of the rotor 7 induces a molecular flow between the rotor blades 8 and the stator blades 9. ,
It is well known that the gas sucked from the intake port 4 is exhausted to the exhaust port 5 and the like, and the detailed description thereof is omitted.
【００１３】ところで、上記主ターボ分子ポンプ本体１
の吸気口４には排気管１０の一端１０ａが接続されてお
り、この排気管１０の他端１０ｂは図示しない半導体製
造装置に組み込まれたエッチング用のチャンバ１１内に
連通するように設けられている。つまり、チャンバ１１
内は反応性ガスを使用して半導体のエッチングが行われ
る。By the way, the main turbo molecular pump main body 1
One end 10a of an exhaust pipe 10 is connected to the suction port 4 of the first embodiment, and the other end 10b of the exhaust pipe 10 is provided so as to communicate with an etching chamber 11 incorporated in a semiconductor manufacturing apparatus (not shown). I have. That is, the chamber 11
Inside, a semiconductor is etched using a reactive gas.
【００１４】また、上記排気管１０の途中には分岐管１
２の一端１２ａが連通するように設けられていると共
に、その分岐管１２の他端１２ｂは上記予備ターボ分子
ポンプ２の吸気口４に接続されている。In the middle of the exhaust pipe 10, a branch pipe 1 is provided.
The other end 12 a of the branch pipe 12 is connected to the intake port 4 of the spare turbo molecular pump 2.
【００１５】さらに、上記排気管１０及び分岐管１２に
は排気管バルブ１３及び分岐管バルブ１４がそれぞれ設
けられており、排気管バルブ１３は排気管１０の下流
側、即ち、分岐管１２と連通する箇所よりも主ターボ分
子ポンプ本体１の吸気口４寄りに位置しかつその排気管
１０を遮断又は開放するように構成され、分岐管バルブ
１４は分岐管１２の、この実施の形態では、下流側に位
置しかつその分岐管１２を遮断又は開放するように構成
されている。Further, the exhaust pipe 10 and the branch pipe 12 are provided with an exhaust pipe valve 13 and a branch pipe valve 14 , respectively. The exhaust pipe valve 13 communicates with the downstream side of the exhaust pipe 10 , that is, with the branch pipe 12. The main turbo portion than the place where
The branch pipe valve 14 is located near the intake port 4 of the slave pump body 1 and shuts off or opens the exhaust pipe 10 thereof, and the branch pipe valve 14 is located on the downstream side of the branch pipe 12 in this embodiment, and The branch pipe 12 is configured to be shut off or open.
【００１６】また、上記主及び予備ターボ分子ポンプ本
体１，２には図２に示す如くステータコラム６の下部側
に凹溝１５が設けられており、この凹溝１５内には堆積
物検知センサ部１６が配設されていると共に、その堆積
物検知センサ部１６は投光素子１６ａとこの投光素子１
６ａからの光を直接受光する受光素子１６ｂとを具備す
る、いわゆる対向式光学センサにより構成されるもの
で、投光素子１６ａと受光素子１６ｂとはロータ７の軸
線方向に沿って互いに向かい合うように設置されてい
る。As shown in FIG. 2, the main and auxiliary turbo-molecular pump main bodies 1 and 2 are provided with a concave groove 15 at the lower side of the stator column 6, and a sediment detecting sensor is provided in the concave groove 15. The deposit detection sensor 16 includes a light emitting element 16a and the light emitting element 1.
And a light receiving element 16b for directly receiving the light from the light receiving element 6a. The light emitting element 16a and the light receiving element 16b face each other along the axial direction of the rotor 7. is set up.
【００１７】即ち、上記堆積物検知センサ部１６は、主
又は予備ターボ分子ポンプ本体１，２の内部に堆積する
堆積物が投光素子１６ａ又は受光素子１６ｂを覆う量に
応じて、受光素子１６ｂで感知する投光素子１６ａから
の光が減少するのを利用することにより、主又は予備タ
ーボ分子ポンプ本体１，２の内部に堆積する堆積物の量
を検知すると共に、その検知結果を切換コントローラ１
７に出力するように構成されている。That is, the deposit detection sensor section 16 detects the light-receiving element 16b in accordance with the amount of the deposit deposited inside the main or standby turbo-molecular pump main bodies 1, 2 covering the light-emitting element 16a or the light-receiving element 16b. By using the decrease in light from the light projecting element 16a sensed by the controller, the amount of deposits deposited inside the main or auxiliary turbo-molecular pump main bodies 1, 2 is detected, and the detection result is switched by the switching controller. 1
7.
【００１８】また、上記切換コントローラ１７は、堆積
物検知センサ部１６での検知結果に基き、主又は予備タ
ーボ分子ポンプ１，２の運転を停止させるほど堆積物が
堆積しているか否かを判断するように構成されている。The switching controller 17 determines, based on the detection result of the deposit detection sensor section 16, whether or not the deposit is accumulated enough to stop the operation of the main or standby turbo molecular pumps 1, 2. It is configured to be.
【００１９】さらに、上記切換コントローラ１７は、主
ターボ分子ポンプ１の運転を停止させるほど堆積物が堆
積していると判断した場合には、閉信号ＳCLOSE を排気
管バルブ１３に出力してその排気管バルブ１３を閉状態
に設定し、かつ主ターボ分子ポンプ本体１用のコントロ
ーラ１８に運転停止信号ＳSTOPを出力して主ターボ分子
ポンプ本体１の運転停止を指示すると共に、開信号Ｓ
OPENを分岐管バルブ１４に出力してその分岐管バルブ１
４を開状態に設定し、かつ予備ターボ分子ポンプ本体２
用のコントローラ１９に運転開始信号ＳSTART を出力し
て予備ターボ分子ポンプ本体２の運転開始を指示するよ
うに構成されている。Further, when the switching controller 17 determines that the deposits are accumulated enough to stop the operation of the main turbo-molecular pump 1, the switching controller 17 outputs a close signal S CLOSE to the exhaust pipe valve 13 and outputs the signal to the exhaust pipe valve 13. The exhaust pipe valve 13 is set to the closed state, and the operation stop signal S STOP is output to the controller 18 for the main turbo molecular pump main body 1 to instruct the main turbo molecular pump main body 1 to stop operating and the open signal S
OPEN is output to the branch pipe valve 14 and the branch pipe valve 1 is output.
4 is set to the open state, and the spare turbo-molecular pump body 2
To output an operation start signal S START to the controller 19 for use in operation of the spare turbo-molecular pump main body 2.
【００２０】なお、切換コントローラ１７は、予備ター
ボ分子ポンプ２の運転を停止させるほど堆積物が堆積し
ていると判断した場合には、閉信号ＳCLOSE を分岐管バ
ルブ１４に出力してその分岐管バルブ１４を閉状態に設
定し、かつ予備ターボ分子ポンプ本体２用のコントロー
ラ１９に運転停止信号ＳSTOPを出力して予備ターボ分子
ポンプ本体２の運転停止を指示すると共に、開信号Ｓ
OPENを排気管バルブ１３に出力してその排気管バルブ１
３を開状態に設定し、かつ主ターボ分子ポンプ本体１用
のコントローラ１８に運転開始信号ＳSTART を出力して
主ターボ分子ポンプ本体１の運転開始を指示するように
も構成されている。If the switching controller 17 determines that the deposits are accumulated enough to stop the operation of the spare turbo-molecular pump 2, the switching controller 17 outputs a close signal S CLOSE to the branch pipe valve 14 and branches the same. The pipe valve 14 is set to the closed state, and the operation stop signal S STOP is output to the controller 19 for the spare turbo-molecular pump main body 2 to instruct the stop of the spare turbo-molecular pump main body 2 and the open signal S
OPEN is output to the exhaust pipe valve 13 and the exhaust pipe valve 1 is output.
3 is set to the open state, and an operation start signal S START is output to the controller 18 for the main turbo molecular pump main body 1 to instruct the main turbo molecular pump main body 1 to start operation.
【００２１】次に、上記の如く構成された排気装置の動
作について図１及び図２を基に説明する。なお、現時点
では、主ターボ分子ポンプ本体１が使用されている、即
ち排気管バルブ１３が開かれ、分岐管バルブ１４が閉じ
られており、かつ主ターボ分子ポンプ本体１が運転状態
にあり、予備ターボ分子ポンプ本体２が運転停止状態に
あるものとする。Next, the operation of the exhaust system configured as described above will be described with reference to FIGS. At this time, the main turbo-molecular pump main body 1 is used, that is, the exhaust pipe valve 13 is opened, the branch pipe valve 14 is closed, and the main turbo-molecular pump main body 1 is in the operating state, It is assumed that the turbo molecular pump main body 2 is in an operation stop state.
【００２２】この排気装置によれば、主ターボ分子ポン
プ本体１の使用時は、切換コントローラ１７が、主ター
ボ分子ポンプ本体１側の堆積物検知センサ部１６におけ
る検知結果に基き、主ターボ分子ポンプ本体１の運転を
停止させるほど堆積物が堆積しているか否かを判断す
る。According to this exhaust device, when the main turbo molecular pump main body 1 is used, the switching controller 17 uses the main turbo molecular pump main body 1 based on the detection result of the deposit detection sensor section 16 to detect the main turbo molecular pump main body. It is determined whether or not the deposit is accumulated so that the operation of the main body 1 is stopped.
【００２３】ここで、主ターボ分子ポンプ１の運転を停
止させるほど堆積物が堆積していると判断したときは、
切換コントローラ１７が、閉信号ＳCLOSE を排気管バル
ブ１３に出力し、かつ運転停止信号ＳSTOPを主ターボ分
子ポンプ本体１用のコントローラ１８に出力する。その
結果、排気管バルブ１３は閉じられ、主ターボ分子ポン
プ本体１は運転停止状態となる。Here, when it is determined that the deposits have accumulated so much that the operation of the main turbo molecular pump 1 is stopped,
The switching controller 17 outputs a close signal S CLOSE to the exhaust pipe valve 13 and outputs an operation stop signal S STOP to the controller 18 for the main turbo molecular pump main body 1. As a result, the exhaust pipe valve 13 is closed, and the main turbo-molecular pump main body 1 is in an operation stop state.
【００２４】また、上記切換コントローラ１７は、主タ
ーボ分子ポンプ本体１の運転停止と共に、開信号ＳOPEN
を分岐管バルブ１４に出力し、かつ運転開始信号Ｓ
START を予備ターボ分子ポンプ本体２用のコントローラ
１９に出力する。その結果、分岐管バルブ１４は開か
れ、予備ターボ分子ポンプ本体２は運転状態となり、こ
の時点から主ターボ分子ポンプ本体１に代えて予備ター
ボ分子ポンプ本体２が使用される。即ち、チャンバ１１
内のガスは分岐管１２及び予備ターボ分子ポンプ本体２
を介して排気される。Further, the switching controller 17 controls the opening signal S OPEN together with the stop of the operation of the main turbo molecular pump main body 1.
Is output to the branch pipe valve 14 and the operation start signal S
START is output to the controller 19 for the spare turbo molecular pump main body 2. As a result, the branch pipe valve 14 is opened, the spare turbo-molecular pump main body 2 is in an operating state, and the spare turbo-molecular pump main body 2 is used instead of the main turbo-molecular pump main body 1 from this point. That is, the chamber 11
The gas inside is the branch pipe 12 and the spare turbo molecular pump body 2
Exhausted through.
【００２５】さらに、上記主ターボ分子ポンプ１につい
ては、排気管１０から取り外し、その再生を行ってか
ら、元の位置に取り付けて待機させる。Further, the main turbo-molecular pump 1 is detached from the exhaust pipe 10, regenerated, and then attached to its original position to be on standby.
【００２６】ところで、上記の如く予備ターボ分子ポン
プ本体２の使用時は、切換コントローラ１７が、予備タ
ーボ分子ポンプ本体２側の堆積物検知センサ部１６にお
ける検知結果に基き、予備ターボ分子ポンプ本体２の運
転を停止させるほど堆積物が堆積しているか否かを判断
する。By the way, when the spare turbo-molecular pump main body 2 is used as described above, the switching controller 17 controls the spare turbo-molecular pump main body 2 based on the detection result of the deposit detection sensor section 16 on the spare turbo-molecular pump main body 2 side. It is determined whether or not the deposits are accumulated so that the operation of is stopped.
【００２７】ここで、予備ターボ分子ポンプ２の運転を
停止させるほど堆積物が堆積していると判断したとき
は、切換コントローラ１７が、閉信号ＳCLOSE を分岐管
バルブ１４に出力し、かつ運転停止信号ＳSTOPを予備タ
ーボ分子ポンプ本体２用のコントローラ１９に出力す
る。その結果、分岐管バルブ１４は閉じられ、予備ター
ボ分子ポンプ本体２は運転停止状態となる。Here, when it is determined that the deposits have accumulated enough to stop the operation of the spare turbo-molecular pump 2, the switching controller 17 outputs a close signal S CLOSE to the branch pipe valve 14 and operates the switch. The stop signal S STOP is output to the controller 19 for the spare turbo molecular pump main body 2. As a result, the branch pipe valve 14 is closed, and the spare turbo-molecular pump main body 2 is in an operation stop state.
【００２８】また、上記切換コントローラ１７は、予備
ターボ分子ポンプ本体２の運転停止と共に、開信号Ｓ
OPENを排気管バルブ１３に出力し、かつ運転開始信号Ｓ
STARTを主ターボ分子ポンプ本体１用のコントローラ１
８に出力する。その結果、排気管バルブ１３は開かれ、
主ターボ分子ポンプ本体１は運転状態となり、この時点
から予備ターボ分子ポンプ本体２に代えて主ターボ分子
ポンプ本体１が使用される。即ち、チャンバ１１内のガ
スは排気管１０及び主ターボ分子ポンプ本体１を介して
排気される。In addition, the switching controller 17 outputs an open signal S when the operation of the spare turbo-molecular pump main body 2 is stopped.
OPEN is output to the exhaust pipe valve 13 and the operation start signal S
START is the controller 1 for the main turbo molecular pump body 1
8 is output. As a result, the exhaust pipe valve 13 is opened,
The main turbo-molecular pump main body 1 enters the operating state, and from this point on, the main turbo-molecular pump main body 1 is used instead of the spare turbo-molecular pump main body 2. That is, the gas in the chamber 11 is exhausted through the exhaust pipe 10 and the main turbo molecular pump main body 1.
【００２９】したがって、上記実施例の排気装置によれ
ば、堆積物により主ターボ分子ポンプの運転が強制的に
停止させられる前、つまりその運転の停止によりチャン
バ内の真空度が低下する前に、事前に予備ターボ分子ポ
ンプ本体がチャンバ内のガスを排気するので、チャンバ
内の真空度が低下することはなく、チャンバ内の真空度
を常に一定の状態に保つことができ、その結果、真空度
の低下によるウェハの不良を防止でき、半導体の製品歩
留まりが向上する。Therefore, according to the exhaust system of the above embodiment, before the operation of the main turbo-molecular pump is forcibly stopped by the deposit, that is, before the degree of vacuum in the chamber is reduced by the stop of the operation, Since the spare turbo-molecular pump body exhausts the gas in the chamber in advance, the degree of vacuum in the chamber does not decrease, and the degree of vacuum in the chamber can always be kept constant. Wafer defects due to the reduction of the wafer quality can be prevented, and the semiconductor product yield is improved.
【００３０】しかも、この実施例の排気装置によると、
チャンバ内の真空度は予備ターボ分子ポンプの運転でも
得られるため、主ターボ分子ポンプを取り外してその再
生を行う場合においても、チャンバ内での作業に好適な
一定の真空度が維持できるので、チャンバ内の作業を中
止することなく連続的に行うことができ、これにより、
半導体製造装置の作業工程全体を停止させなくて済み、
半導体を効率良く製造することができる。Further, according to the exhaust device of this embodiment,
Since the degree of vacuum in the chamber can also be obtained by operating the preliminary turbo molecular pump, even when the main turbo molecular pump is detached and regenerated, a constant degree of vacuum suitable for work in the chamber can be maintained. Can be performed continuously without interrupting the work inside,
There is no need to stop the entire work process of semiconductor manufacturing equipment,
Semiconductors can be manufactured efficiently.
【００３１】なお、この考案に係る排気装置は、上記実
施例で説明したエッチング用チャンバだけに限定して適
用されるものでなく、反応性ガスを含むチャンバに適用
することができることは勿論である。The exhaust device according to the present invention is not limited to the etching chamber described in the above embodiment, but can be applied to a chamber containing a reactive gas. .
【００３２】[0032]
【考案の効果】この考案に係る排気装置にあっては、上
記の如く２台のターボ分子ポンプ、即ち主ターボ分子ポ
ンプ本体と予備ターボ分子ポンプ本体とを備え、しか
も、切換コントローラが、投光素子からの光を受光する
受光素子の受光量の減少により堆積物の量を光学的に検
知する堆積物検知センサ部での検知結果に基き、主ター
ボ分子ポンプの運転を停止させるほど堆積物が堆積して
いると判断したときは、主ターボ分子ポンプ本体の運転
停止及び予備ターボ分子ポンプ本体の運転開始が指示さ
れると共に、排気管バルブが閉状態に設定され、分岐管
バルブが開状態に設定される、即ち、チャンバ内のガス
は分岐管及び予備ターボ分子ポンプ本体を介して排気さ
れるように構成したため、堆積物により主ターボ分子ポ
ンプの運転が強制的に停止させられる前、つまりその運
転の停止によりチャンバ内の真空度が低下する前に、事
前に予備ターボ分子ポンプ本体がチャンバ内のガスを排
気するので、チャンバ内の真空度が低下することはな
く、チャンバ内の真空度を常に一定の状態に保つことが
できる。The exhaust device according to the present invention has two turbo molecular pumps as described above, that is, a main turbo molecular pump main body and a spare turbo molecular pump main body, and the switching controller is a light emitting device. Receives light from the element
Based on the detection result of the deposit sensor unit for detecting the amount of deposits by a reduction in amount of light received by the light receiving element optically, it is determined that the higher the sediment to stop the operation of the main turbo molecular pump is deposited When the operation of the main turbo molecular pump main body is stopped and the operation of the spare turbo molecular pump main body is started, the exhaust pipe valve is set to the closed state, and the branch pipe valve is set to the open state, that is, the chamber is Since the gas inside is exhausted through the branch pipe and the spare turbo-molecular pump main body, before the operation of the main turbo-molecular pump is forcibly stopped by the sediment, that is, the operation in the chamber is stopped by stopping the operation. Before the degree of vacuum decreases, the spare turbo-molecular pump body exhausts the gas in the chamber in advance, so that the degree of vacuum in the chamber does not decrease, and the trueness of the chamber remains unchanged. Degree can be kept always in a constant state.
【００３３】特に、この排気装置を例えば半導体製造装
置に有するエッチング用チャンバ等に適用した場合に
は、真空度の低下によるウェハの不良を防止でき、半導
体の製品歩留まりが向上するのみならず、チャンバ内の
真空度は予備ターボ分子ポンプの運転でも得られるた
め、主ターボ分子ポンプを取り外してその再生を行う場
合においても、チャンバ内での作業に好適な一定の真空
度が維持できるので、チャンバ内の作業を中止すること
なく連続的に行うことができ、これにより、半導体製造
装置の作業工程全体を停止させなくて済み、半導体を効
率良く製造することができる。In particular, when this exhaust device is applied to, for example, an etching chamber or the like provided in a semiconductor manufacturing apparatus, it is possible to prevent a wafer defect due to a reduced degree of vacuum, not only to improve the semiconductor product yield, but also to improve the semiconductor product yield. Since the degree of vacuum in the chamber can also be obtained by the operation of the spare turbo molecular pump, even when the main turbo molecular pump is detached and regenerated, a constant vacuum suitable for work in the chamber can be maintained. Can be performed continuously without stopping the operation, thereby eliminating the need to stop the entire operation process of the semiconductor manufacturing apparatus, and efficiently manufacturing a semiconductor.
【図１】この考案に係る排気装置の説明図。FIG. 1 is an explanatory view of an exhaust device according to the present invention.
【図２】図１に示すターボ分子ポンプ本体の要部断面
図。FIG. 2 is a sectional view of a main part of the turbo molecular pump main body shown in FIG.
１ 主ターボ分子ポンプ本体 ２ 予備ターボ分子ポンプ本体 １０ 排気管 １２ 分岐管 １３ 排気管バルブ １４ 分岐管バルブ １６ 堆積物検知センサ部 １７ 切換コントローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main turbo-molecular pump main body 2 Spare turbo-molecular pump main body 10 Exhaust pipe 12 Branch pipe 13 Exhaust pipe valve 14 Branch pipe valve 16 Deposit detection sensor part 17 Switching controller
Claims (1)
から吸入したガスを排気口に排気する主及び予備ターボ
分子ポンプ本体と、 上記主ターボ分子ポンプ本体の吸気口に一端が接続され
かつ他端がチャンバ内に連通する排気管と、 上記排気管の途中に一端が連通しかつ他端が上記予備タ
ーボ分子ポンプ本体の吸気口に接続された分岐管と、 上記排気管の下流側に位置しかつその排気管を遮断又は
開放する排気管バルブと、 上記分岐管に位置しかつその分岐管を遮断又は開放する
分岐管バルブと、 上記主及び予備ターボ分子ポンプ本体にそれぞれ設けら
れ、投光素子からの光を受光する受光素子の受光量の減
少により、その主及び予備ターボ分子ポンプ本体の内部
に堆積する堆積物の量を光学的に検知する堆積物検知セ
ンサ部と、 上記堆積物検知センサ部での検知結果に基き主ターボ分
子ポンプの運転を停止させるほど堆積物が堆積している
と判断したとき、上記主ターボ分子ポンプ本体の運転停
止及び上記予備ターボ分子ポンプ本体の運転開始を指示
すると共に、上記排気管バルブを閉状態に設定し、上記
分岐管バルブを開状態に設定する切換コントローラとを
備えることを特徴とする排気装置。1. A main and auxiliary turbo-molecular pump main body having an intake port and an exhaust port and exhausting gas sucked from the intake port to an exhaust port, one end of which is connected to an intake port of the main turbo-molecular pump main body; An exhaust pipe having the other end communicating with the inside of the chamber; a branch pipe having one end communicating with the exhaust pipe in the middle and having the other end connected to an intake port of the spare turbo-molecular pump body ; and a downstream side of the exhaust pipe. An exhaust pipe valve which is located and shuts off or opens the exhaust pipe thereof; a branch pipe valve which is located at the branch pipe and shuts off or opens the branch pipe ; Decrease the amount of light received by the light receiving element that receives light from the optical element
The small, a deposit sensor unit for detecting the amount of sediment deposited on the inside of the main and spare turbo molecular pump main body optically, at the deposit sensor unit detection result based main turbomolecular pump When it is determined that the deposits are accumulated so as to stop the operation, the operation of the main turbo molecular pump main body and the start of the operation of the spare turbo molecular pump main body are instructed, and the exhaust pipe valve is set to the closed state. And a switching controller for setting the branch pipe valve to an open state.
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|---|---|---|---|
| JP1992084116U JP2599353Y2 (en) | 1992-12-07 | 1992-12-07 | Exhaust device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP1992084116U JP2599353Y2 (en) | 1992-12-07 | 1992-12-07 | Exhaust device |
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- 1992-12-07 JP JP1992084116U patent/JP2599353Y2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH0647694U (en) | 1994-06-28 |
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