JP2772699B2 - Vacuum heat treatment equipment - Google Patents
Vacuum heat treatment equipmentInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空熱処理装置、特にインライン型装置に組
込んで真空脱脂に用いるのに適する装置に関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a vacuum heat treatment apparatus, particularly to an apparatus suitable for being incorporated in an in-line type apparatus and used for vacuum degreasing.
従来から、真空ろう付を行うのに先立ってそのろう付
性を改善するために溶剤を用いて被処理物の脱脂洗浄が
行われてきたが、公害規制や、コストの面から近年真空
脱脂が多く利用されるようになってきた。しかし、従来
の真空脱脂技術には以下のような欠点があった。In the past, prior to vacuum brazing, the solvent was degreased and cleaned using a solvent to improve its brazing properties.However, in recent years, vacuum degreasing has become increasingly difficult due to pollution regulations and costs. It has been increasingly used. However, the conventional vacuum degreasing technology has the following disadvantages.
すなわち、被処理物であるワークから機械加工の過程
で付着した油脂類を分離、除去することは真空中で加熱
することによって達成できるが、ワークから蒸発して出
てきた油の蒸気は低温の周囲壁面に付着して凝結し、そ
れが滴下して再びワークを汚すことになる。このため、
従来は脱脂室の内面を積極的に加熱して油の付着を防止
したり、排気系の途中に油トラップを設けて油を除去す
る手段がとられてきた。In other words, the separation and removal of oils and fats adhering in the process of machining from the workpiece to be processed can be achieved by heating in a vacuum, but the oil vapor evaporating from the workpiece has a low temperature. It adheres to the surrounding wall surface and condenses, which drops and contaminates the work again. For this reason,
Conventionally, means for actively heating the inner surface of the degreasing chamber to prevent the adhesion of oil or removing oil by providing an oil trap in the middle of the exhaust system have been taken.
しかし、これだけでは十分でなく、油蒸気が脱脂室か
ら次工程のろう付室に拡散してしまうので、これを防止
するために脱脂室を複数設けなければならない。油蒸気
拡散の防止を確実なものとするためには必然的に脱脂室
の室数を増やさなくてはならず、装置のイニシアルコス
トが高くなる要因となっていた。However, this is not enough, and the oil vapor diffuses from the degreasing chamber to the brazing chamber in the next step. Therefore, a plurality of degreasing chambers must be provided to prevent this. In order to ensure the prevention of oil vapor diffusion, the number of degreasing chambers must be increased inevitably, leading to an increase in the initial cost of the apparatus.
又、一つの脱脂室だけで室空脱脂を実施しようとする
と、脱脂のためにはワークをある程度の温度まで加熱し
なければならないので、その温度に達するまでの時間が
必要となる。そのため、インライン型装置、すなわち前
後に前工程室及び次工程室を設けて、内部の圧力を変動
させずに半連続的に処理できるようにした装置において
は、脱脂室で要する時間が全体のサイクルタイムを律速
することになり、生産性が悪くなるという欠点があっ
た。In addition, if an attempt is made to perform empty room degreasing in only one degreasing chamber, the work must be heated to a certain temperature for degreasing, so that it takes time to reach that temperature. Therefore, in an in-line type apparatus, that is, an apparatus in which a pre-process chamber and a next process chamber are provided before and after so that the process can be performed semi-continuously without changing the internal pressure, the time required for the degreasing chamber is the entire cycle. There was a drawback that the time was limited and productivity was reduced.
本発明は以上のような問題に鑑みてなされ、一室だけ
で十分に油蒸気などが次工程室へ拡散していくのを防止
でき、サイクルタイムも短い、真空脱脂などに適する真
空熱処理装置を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above problems, and a vacuum heat treatment apparatus suitable for vacuum degreasing, etc., which can sufficiently prevent oil vapor and the like from being diffused to the next process chamber only in one chamber, has a short cycle time, and the like. It is intended to provide.
上記目的は、一端に気密な搬入扉、他端に気密な搬出
扉を設け、複数の被処理物を加熱するための加熱手段を
内部に設け、該内部に設けられた移送手段で前記被処理
物を前記搬入扉側から前記搬出扉側へ移送するようにし
た真空熱処理装置において、前記被処理物の上方の壁部
の前記搬出扉近傍に少なくとも１つのガス導入口を設
け、下方の壁部の前記搬入扉近傍にガス排出口を設ける
ことによって、ガスを前記被処理物の上方から下方へ、
かつ前記搬出扉側から前記排入扉側へと流すようにした
ことを特徴とする真空熱処理装置、によって達成され
る。The object is to provide an air-tight carry-in door at one end and an air-tight carry-out door at the other end, provide a heating means for heating a plurality of objects to be processed therein, and use a transfer means provided therein to transfer the object to be processed. In a vacuum heat treatment apparatus configured to transfer an object from the loading door side to the unloading door side, at least one gas inlet is provided in the vicinity of the unloading door on an upper wall portion of the workpiece, and a lower wall portion is provided. By providing a gas outlet in the vicinity of the carry-in door, gas can be transferred from above the workpiece to below.
In addition, the present invention is achieved by a vacuum heat treatment apparatus characterized in that the gas flows from the discharge door side to the discharge door side.
以上のように構成される真空熱処理装置においては、
ガスが上から下へ流れると同時に被処理物の移送方向と
対向して流れるので、一室だけで十分に油蒸気などが次
工程室へ拡散していくのを防止することができ、装置の
イニシアルコストを低くすることができる。In the vacuum heat treatment apparatus configured as described above,
Since the gas flows from the top to the bottom at the same time as the gas flows in the direction opposite to the transfer direction of the workpiece, it is possible to sufficiently prevent oil vapor and the like from diffusing into the next process chamber by using only one chamber. Initial costs can be reduced.
以下、本発明の真空熱処理装置を真空脱脂に用いた実
施例について図面を参照して説明する。Hereinafter, an embodiment in which the vacuum heat treatment apparatus of the present invention is used for vacuum degreasing will be described with reference to the drawings.
第１図は実施例の装置を概略的に示す側断面図であ
る。FIG. 1 is a side sectional view schematically showing the apparatus of the embodiment.
真空脱脂装置は全体として（１）で、脱脂室は（10）
で示されるが、周囲は断熱性の壁（２）で筒状に構成さ
れ、一端は開閉自在な気密な搬入扉（３）を介して準備
室（５）に接続し、他端は気密な搬出扉（４）を介して
次工程のろう付室（６）に接続している。脱脂室（10）
内の上方にレール（７）が設けられ、その上を移動する
台車（８）によってワーク（16）を載せたキャリアフレ
ーム（９）を第１図において矢印Ａで示すように左から
右の方向へと搬送する。脱脂室（10）の上方の壁（2a）
に複数のキャリアガスの導入口（11a）〜（11e）を設け
るが、少なくともそのうちの１つ（11a）は搬出扉側の
ワーク（16a）と搬出扉（４）との間の上方に位置する
ようにする。その他の導入口（11b）〜（11e）はそれぞ
れ台車（8a）〜（8d）の上方に位置するようにする。
又、下方の壁（2b）の、搬入扉側のワーク（16h）と搬
入扉（３）との間に位置する場所にキャリアガスの排出
口（12）を設け、バルブ（13）を介して図示しない真空
ポンプによって排気する。The vacuum degreasing equipment is (1) as a whole, and the degreasing chamber is ( 10 )
The periphery is formed in a tubular shape with a heat insulating wall (2), one end is connected to a preparation room (5) through an airtight loading door (3) that can be opened and closed, and the other end is airtight. It is connected to the brazing chamber (6) of the next process through the unloading door (4). Degreasing room ( 10 )
A rail (7) is provided at the upper part of the inside, and a carrier frame (9) on which a work (16) is placed by a carriage (8) moving on the rail is moved from left to right as shown by an arrow A in FIG. Conveyed to. Upper wall (2a) of degreasing room ( 10 )
Are provided with a plurality of carrier gas inlets (11a) to (11e), at least one of which (11a) is located above the work (16a) on the discharge door side and the discharge door (4). To do. The other inlets (11b) to (11e) are located above the carts (8a) to (8d), respectively.
In addition, a carrier gas outlet (12) is provided in the lower wall (2b) at a location between the work (16h) on the loading door side and the loading door (3), and a valve (13) is provided through the valve (13). The gas is exhausted by a vacuum pump (not shown).
ワーク（16a）〜（16h）を加熱するためのヒータ（1
4）が内壁に設けられているが、ワーク（16a）〜（16
h）の移送方向に沿って２つのヒータ（14a）（14b）に
分割されており、それぞれが独立して温度制御できるよ
うになっている。又、これらとは別に台車（8a）〜（8
d）を加熱するためのヒータ（15）が上方の側壁に設け
られる。Heater (1) for heating workpieces (16a) to (16h)
4) is provided on the inner wall, and works (16a) to (16a)
It is divided into two heaters (14a) and (14b) along the transfer direction of h), and each can be independently temperature-controlled. Also, separate from these trucks (8a) to (8
A heater (15) for heating d) is provided on the upper side wall.
第１図のＩ−Ｉ線に沿って脱脂室（10）の概略縦断面
を示す図を第３図に示す。FIG. 3 is a diagram showing a schematic vertical cross section of the degreasing chamber ( 10 ) along the line II in FIG.
内壁面（2c）が形成する空間は概略上に凸のような形
であり、レール（７）、台車（8a）〜（8d）及びヒータ
（15）を収納する比較的狭い搬送室（10a）と、これに
続いて下方へ斜めに広がる加熱室（10b）とから成る。The space formed by the inner wall surface (2c) has a generally upwardly convex shape, and is a relatively narrow transfer chamber (10a) for accommodating the rail (7), the carts (8a) to (8d), and the heater (15). And a heating chamber (10b) extending obliquely downward.
以上のような構造の真空脱脂装置（１）においてワー
ク（16a）〜（16h）を処理するのであるが、ワークは例
えば板状の熱交換器で、第４図に模式的に示すように配
管Ｐと配管Ｐとの間をガスが通過するような構造であ
る。このワーク（16）をキャリアフレーム（９）に積載
し、このキャリアフレーム（９）を１台ずつ順に搬入扉
（３）から搬入、台車（8a）〜（8d）で搬送して、フレ
ーム（16）の板状の面が搬入扉（３）あるいは搬出扉
（４）に平行になるように設置した。The works (16a) to (16h) are processed in the vacuum degreasing apparatus (1) having the above-mentioned structure. The work is, for example, a plate-like heat exchanger and a pipe as schematically shown in FIG. The structure is such that gas passes between P and the pipe P. The work (16) is loaded on a carrier frame (9), and the carrier frames (9) are sequentially loaded one by one from the loading door (3) and transported by the carts (8a) to (8d). ) Was set so that the plate-like surface was parallel to the carry-in door (3) or the carry-out door (4).
搬入扉（３）を閉じ、排出口（12）から図示しない真
空ポンプによって排気を続けながら、導入口（11a）〜
（11e）からキャリアガスを導入した。キャリアガスの
流れを模式的に第２図に示すが、ガスは上方の導入口
（11a）〜（11e）から下方へ、かつ、搬出扉（４）の側
から搬入扉（３）の近くの排出口（12）へと向かって流
れる。第３図の縦断面図で見ると、台車（8d）の上方の
導入口（11e）から導入されたキャリアガスは内壁面（2
c）に沿って台車（8d）やレール（７）の周囲を包むよ
うに流れて下方の加熱室（10b）へ入り、排出口（12）
へと向かう。The entrance door (3) is closed, and the exhaust port (12) is evacuated by a vacuum pump (not shown) while the exhaust port (11a) to
Carrier gas was introduced from (11e). FIG. 2 schematically shows the flow of the carrier gas. The gas flows downward from the upper inlets (11a) to (11e) and near the carry-in door (3) from the carry-out door (4). It flows towards the outlet (12). In the longitudinal sectional view of FIG. 3, the carrier gas introduced from the inlet (11e) above the trolley (8d) has the inner wall surface (2
It flows along the crawler (8d) and the rail (7) along c) to enter the lower heating chamber (10b), and the outlet (12)
Head to.
次いでヒータ（14a）（14b）（15）に通電してワーク
（16a）〜（16h）を加熱するとワーク（16a）〜（16h）
に付着している油脂等が蒸発してくるが、キャリアガス
は上述したように上から下へ流れるので、油蒸気は上方
の搬送室（10a）の方へ流れることはない。又、第5A図
に簡単な模式図として示したように、ワーク（16）は扉
（３）（４）に平行、すなわち搬出扉（４）の側から搬
入扉（３）の側へ流れるキャリアガスの流れに対して垂
直の方向に配置されているので、キャリアガスはワーク
（16）の中を通過していき、ワーク（16）から出る油蒸
気を効率良く除去する。第5B図は比較のための従来のワ
ーク（16′）の配置例であるが、この場合、ワーク（1
6′）は搬出扉（４）の側から搬入扉（３）の側へ流れ
るガスの流れに平行に配置されているので、ガスはワー
ク（16′）の表面だけを流れて、中をあまり通過しない
ので、油蒸気除去の効果が良くなかったものである。Next, when the heaters (14a), (14b) and (15) are energized to heat the works (16a) to (16h), the works (16a) to (16h) are heated.
Oil and the like adhering to the evaporator evaporate, but since the carrier gas flows from above to below as described above, the oil vapor does not flow toward the upper transfer chamber (10a). As shown in FIG. 5A as a simple schematic diagram, the work (16) is parallel to the doors (3) and (4), that is, the carrier flowing from the unloading door (4) to the loading door (3). Since the carrier gas is arranged in a direction perpendicular to the flow of the gas, the carrier gas passes through the work (16) and efficiently removes oil vapor from the work (16). FIG. 5B shows an example of arrangement of a conventional work (16 ') for comparison.
6 ') is arranged in parallel with the flow of gas flowing from the side of the carry-out door (4) to the side of the carry-in door (3), so that the gas flows only on the surface of the work (16'), and Since it does not pass, the effect of removing oil vapor was not good.
ヒータ（14a）（14b）はそれぞれ別個に温度制御でき
るので、１段目のヒータ（14b）をワーク（16a）〜（16
h）の脱脂温度よりも高い温度T1に設定し、２段目のヒ
ータ（14a）は所望の最適脱脂温度T2に設定した。この
ように１段目の温度を高くすることによって、ワーク
（16e）〜（16h）を急速に加熱して所望の温度T2に短時
間で至らせることができた。第６図に模式的に示すよう
に、ヒータ（14a）と（14b）との間にリフレクター（1
7）を設けても良く、これによってそれぞれの温度設定
を容易に行うことができる。Since the temperature of the heaters (14a) and (14b) can be controlled separately, the first-stage heater (14b) is connected to the workpieces (16a) to (16a).
set to a higher temperature T 1 of than degreasing temperature of h), 2-stage heater (14a) was set to the desired optimum degreasing temperature T 2. By thus increasing the temperature of the first stage, it was possible to work (16e) ~ (16h) rapidly heated to a lead in a short time to the desired temperature T 2. As shown schematically in FIG. 6, a reflector (1) is provided between the heaters (14a) and (14b).
7) may be provided, whereby each temperature can be easily set.
第7A図にリフレクター（17）を設けた場合の脱脂室内
の設定温度と、ワーク（16）が移動していくにつれて上
昇する温度との関係を示す。ワーク（16）は第１図の
（16g）（16h）の位置（サイクルタイムＡの初め）から
順に搬出扉（４）へ向かって搬送されていき、最後に
（16a）（16b）の位置（サイクルタイムＣ）に至るが、
その間、高い温度T1に設定されたヒータ（14b）によっ
て急速に加熱され、所望温度T2に設定されたヒータ（14
a）によって最適な温度T2まで加熱される。処理の終わ
ったワーク（16a）（16b）が搬出扉（４）から搬出され
ると同時に新しいワークが搬入扉（３）から搬入され
る。このようにワーク（16）を積載した複数のキャリア
フレーム（９）を順次脱脂室（10）に搬入して効率良く
処理することができる。FIG. 7A shows the relationship between the set temperature in the degreasing chamber when the reflector (17) is provided and the temperature that rises as the work (16) moves. The work (16) is conveyed sequentially from the positions (16g) and (16h) in FIG. 1 (at the beginning of the cycle time A) to the discharge door (4), and finally to the positions (16a) and (16b) ( Cycle time C)
Meanwhile, it is rapidly heated by a heater which is set to a higher temperature T 1 (14b), a heater which is set to a desired temperature T 2 (14
a) by being heated to an optimum temperature T 2. The finished work (16a) (16b) is carried out from the carry-out door (4), and at the same time a new work is carried in from the carry-in door (3). In this way, the plurality of carrier frames (9) on which the works (16) are loaded can be sequentially carried into the degreasing chamber ( 10 ) and processed efficiently.
第６図に示されるようなリフレクター（17）がヒータ
（14a）と（14b）との間に設けられていると、高い温度
T1に設定されたヒータ（14b）の熱がリフレクター（1
7）で反射されて、低い温度T2に設定されたヒータ（14
a）の方に影響を与えず、上記のようにワークの温度を
スムーズに上昇させることができる。リフレクター（1
7）が設けられていない場合には第7B図に示すように、
ワーク（16）は低い温度領域（T2）に移動した後も度い
温度領域（T1）からの輻射熱の影響を受けて、昇温カー
ブに（ａ）で示すようにワークの温度が所定温度より上
がり過ぎてしまう。このような場合にはT1とT2との温度
差を小さくしたり、加熱部の数を多くしたりしなければ
ならないが、本発明のワークを急速に加熱するという効
果が小さくなってしまう。If a reflector (17) as shown in FIG. 6 is provided between the heaters (14a) and (14b), high temperature
Heat reflector of the heater (14b) which is set to T 1 (1
Is reflected by 7), the heater which is set to a lower temperature T 2 (14
The temperature of the work can be smoothly increased as described above without affecting the method a). Reflector (1
If 7) is not provided, as shown in FIG. 7B,
After moving to the low temperature region (T 2 ), the work (16) is affected by the radiant heat from the high temperature region (T 1 ). The temperature is too high. Or to reduce the temperature difference between T 1 and T 2 in such a case, it is necessary to or increasing the number of the heating section, the effect of rapidly heating the workpiece of the present invention is reduced .
この加熱過程において、昇温途中のＡの範囲で多くの
油がワーク（16e）〜（16h）から蒸発、離脱し、脱脂室
（10）内へ出てきた。Ｃにあるワーク（16a）（16b）は
脱脂室（10）から出て行く直前のもので脱脂が完了して
いるので、油で再汚染されるのを防止しなければならな
い。キャリアガスは搬出扉（４）のすぐ近くの導入口
（11a）からも導入されて、搬入扉（３）近傍の下方の
排出口（12）から排気されるのに吸い込まれる形で、ワ
ーク（16a）〜（16h）の移送方向に対向して油蒸気を押
し流して行くので、ワーク（16a）（16b）は再汚染され
ることがなかった。又、搬出扉（４）を開けてキャリア
フレーム（９）を次工程のろう付室（６）へ搬出する際
に油蒸気がろう付室（６）へ拡散して行くこともなかっ
た。従って、脱脂室は従来のように複数室設ける必要は
なく、一室だけで十分に脱脂済みワークの再汚染防止、
油蒸気の次工程室への拡散防止を達成することができ
た。In this heating process, a large amount of oil evaporates and separates from the works (16e) to (16h) in the range A during the temperature rise, and comes out into the degreasing chamber ( 10 ). Since the workpieces (16a) and (16b) in C are just before leaving the degreasing chamber ( 10 ) and have been completely degreased, they must be prevented from being recontaminated with oil. The carrier gas is also introduced from the inlet (11a) near the carry-out door (4), and is sucked while being exhausted from the lower outlet (12) near the carry-in door (3). The work (16a) (16b) was not re-contaminated since the oil vapor was flushed away in the transfer direction of 16a) to (16h). Also, when the carry-out door (4) was opened and the carrier frame (9) was carried out to the brazing chamber (6) in the next step, the oil vapor did not diffuse into the brazing chamber (6). Therefore, it is not necessary to provide a plurality of degreasing chambers as in the conventional case, and only one chamber can sufficiently prevent re-contamination of the degreased work,
The prevention of diffusion of oil vapor to the next process chamber was achieved.
キャリアガスは排出口（12）から排気されるので、脱
脂室（10）内の圧力分布はＡ＜Ｂ＜Ｃとなっている。Since the carrier gas is exhausted from the outlet (12), the pressure distribution in the degreasing chamber ( 10 ) is A <B <C.
キャリアガスの流量は搬出扉（４）側へ拡散してくる
油蒸気を押し流すのに必要な量であればよいが、多過ぎ
ると、ランニングコストが高くなるので、脱脂室（10）
内の圧力が0.1〜10Torrの範囲になるように流量を設定
した。The flow rate of the carrier gas may be an amount necessary for flushing the oil vapor diffused to the carry-out door (4) side. However, if the flow rate is too large, the running cost becomes high, so the degreasing chamber ( 10 )
The flow rate was set so that the internal pressure was in the range of 0.1 to 10 Torr.
ワーク（16）を加熱するためのヒータ（14a）（14b）
とは別個にヒータ（15）が搬送室（10a）に設けられて
おり、レール（７）及び台車（8a）〜（8d）が加熱され
ている。従ってキャリアガスが上方の導入口（11a）〜
（11e）から内壁面（2c）に沿って下方へと流れるのと
相俟って、ワーク（16）から出る油蒸気がレール（７）
や台車（８）に付着するのを確実に防止できた。ヒータ
（15）の加熱温度は、油が台車（8a）〜（8d）等に付着
して凝結するのを防ぐのに十分であればよく、ヒータ
（14a）の温度T2より低い。Heaters (14a) (14b) for heating the work (16)
A heater (15) is provided separately from the transfer chamber (10a) to heat the rail (7) and the carts (8a) to (8d). Therefore, the carrier gas flows from the upper inlet (11a) to
Oil vapor coming out of the work (16) is coupled with the downward flow along the inner wall surface (2c) from (11e), and the rail (7)
And the trolley (8) were securely prevented from adhering. The heating temperature of the heater (15), the oil may be a sufficient to prevent the condensation adheres to the carriage (8a) ~ (8d) and the like, lower than the temperature T 2 of the heater (14a).
脱脂室（10）は第３図に実線で示すように搬送室（10
a）と加熱室（10b）とに分けられ、キャリアガスが内壁
面（2c）に沿ってスムーズに下方へ流れるようになった
ので、油蒸気がどこにも付着しなくなった。従来は第３
図で点線で示すように、断面形状において脱脂室が長方
形の一室だけだったので、点線の斜線で示す部分のデッ
ドスペースで油蒸気が逆流してそこに付着していたので
あるが、本発明においてはそれがなくなった。As shown by the solid line in FIG. 3, the degreasing chamber ( 10 )
a) and the heating chamber (10b), and the carrier gas flowed smoothly downward along the inner wall surface (2c), so that the oil vapor did not adhere anywhere. Conventionally, the third
As shown by the dotted line in the figure, since the cross-sectional shape was only one rectangular degreasing chamber, oil vapor flowed back in the dead space indicated by the hatched dotted line and adhered there. In the invention it disappeared.
以上、本発明の実施例について説明したが、勿論本発
明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に
基づき、種々の変形が可能である。Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.
例えば実施例ではキャリアガスの導入口（11b）〜（1
1e）はキャリアフレーム（９）を停止した時にそれぞれ
が台車（8a）〜（8d）の上方に位置するように設けた
が、代りに導入管をレール（７）に沿ってその上方に設
け、導入管に多数あけた孔からレール（７）及び台車
（8a）〜（8d）に向けてキャリアガスを導入しても良
い。For example, in the embodiment, the carrier gas inlets (11b) to (1
1e) is provided so that each is positioned above the carts (8a) to (8d) when the carrier frame (9) is stopped. Instead, an inlet pipe is provided along the rail (7) above the rail, and Carrier gas may be introduced into the rail (7) and the trolleys (8a) to (8d) through holes formed in the introduction pipe.
又、実施例ではヒータ（14）を二段階に分けただけで
あるが、脱脂室（10）の大きさとキャリアフレーム
（９）の数によって、より多数に分けても良い。In the embodiment, the heater (14) is only divided into two stages. However, the heater (14) may be divided into a larger number depending on the size of the degreasing chamber ( 10 ) and the number of the carrier frames (9).
又、本発明の真空熱処理装置は実施例では脱脂装置と
して用いたが、加熱及び不純ガス等の除去を目的とする
ものであれば他の一般炉にも使用でき、例えばろう付装
置にも適するものである。Further, the vacuum heat treatment apparatus of the present invention is used as a degreasing apparatus in the embodiment, but can be used in other general furnaces as long as it is intended for heating and removing impurity gases, and is also suitable for, for example, a brazing apparatus. Things.
本発明は以上のような構成であるので、以下のような
効果を有する。Since the present invention has the above configuration, it has the following effects.
キャリアガスが上から下へ流れると同時に被処理物の
移送方向と対向して流れ、又、その移送方向と対向する
流れが中を通過するように被処理物が配置されるので、
被処理物から発生する油蒸気等が効率良く除去される。
又、処理室は一室だけで十分に油蒸気等が次工程室へ拡
散していくのを防止することができ、又、処理された被
処理物が再汚染されるのを防止することができる。At the same time as the carrier gas flows from the top to the bottom, it flows in the direction opposite to the transfer direction of the object to be processed, and the object to be processed is arranged so that the flow opposed to the transfer direction passes through the inside.
Oil vapor and the like generated from the object to be processed are efficiently removed.
In addition, only one processing chamber can sufficiently prevent oil vapor and the like from diffusing into the next process chamber, and prevent the processed workpiece from being re-contaminated. it can.
処理室は一室だけで済むので、装置のイニシアルコス
トを低くすることができる。Since only one processing chamber is required, the initial cost of the apparatus can be reduced.
又、多分割された加熱器によって、被処理物は処理室
内を移動する間に入口付近では高温で加熱され、最終的
に最適処理温度で加熱されるので、被処理物の温度は急
速に上昇して、早く処理温度に達する。従ってそれぞれ
の被処理物については処理温度にある時間を十分にとる
ことができ、多数の被処理物を次々に処理できるので、
生産コストを低くすることができる。しかもサイクルタ
イムは短かくできる。In addition, the workpiece is heated at a high temperature near the entrance while moving through the processing chamber by the multi-divided heater, and finally heated at the optimal processing temperature, so the temperature of the workpiece increases rapidly. And quickly reach the processing temperature. Therefore, for each object to be processed, a certain time at the processing temperature can be sufficiently taken, and a large number of objects can be processed one after another.
Production costs can be reduced. Moreover, the cycle time can be shortened.
処理室内壁面の形状に沿ってキャリアガスが上から下
へ搬送機を包むようにスムーズに流れ、しかも搬送機が
加熱されるので、処理室で被処理物から発生する油蒸気
等の不純ガスが搬送機に付着するのを防止することがで
きる。Carrier gas flows smoothly from top to bottom along the shape of the processing chamber wall and wraps the transporter, and the transporter is heated, so that impure gas such as oil vapor generated from the workpiece is transported in the processing chamber. It can be prevented from sticking to the machine.
第１図は本実施例の装置を概略的に示す側断面図、第２
図は実施例におけるキャリアガスの流れを模式的に示す
図、第３図は第１図のＩ−Ｉ線における縦断面図、第４
図は実施例のワークをキャリアガスが通過する様子を示
す図、第5A図は本実施例のワークの配置、第5B図は従来
のワークの配置を模式的に示す図、第６図は実施例のヒ
ータ、ワーク、リフレクターの配置を模式的に示す図、
第7A図はリフレクターを設けた場合の処理室内における
ヒータの設定温度と、ワークの温度上昇との関係を示す
グラフ、第7B図はリフレクターを設けない場合のグラフ
である。 なお、図において、 （１）……真空脱脂装置 （３）……搬入扉 （４）……搬出扉 （8a）〜（8d）……台車 （10）……脱脂室 （11a）〜（11e）……導入口 （12）……排出口 （14a）（14b）（15）……ヒータ （16a）〜（16h）……ワークFIG. 1 is a side sectional view schematically showing the apparatus of this embodiment, and FIG.
FIG. 3 is a diagram schematically showing the flow of the carrier gas in the embodiment, FIG. 3 is a longitudinal sectional view taken along line II of FIG.
FIG. 5A is a view showing a state in which the carrier gas passes through the work of the embodiment, FIG. 5A is a view schematically showing the work arrangement of the present embodiment, FIG. 5B is a view schematically showing the conventional work arrangement, and FIG. Diagram schematically showing the arrangement of the example heater, work, and reflector,
FIG. 7A is a graph showing a relationship between a set temperature of a heater in a processing chamber when a reflector is provided and a temperature rise of a workpiece, and FIG. 7B is a graph when a reflector is not provided. In the figures, (1) ... vacuum degreasing equipment (3) ... carry-in door (4) ... carry-out door (8a)-(8d) ... cart ( 10 ) ... degreasing chamber (11a)-(11e) ) Inlet (12) Outlet (14a) (14b) (15) Heater (16a) to (16h) Work
フロントページの続き (72)発明者 野中 優 東京都渋谷区桜丘町31番２号 東洋ラジ エーター株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−155562（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−52764（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−139170（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−62817（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−199071（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B23K 1/008 F27B 9/00 - 9/12Continuation of front page (72) Inventor Yu Nonaka 31-2 Sakuragaoka-cho, Shibuya-ku, Tokyo Inside Toyo Radiator Co., Ltd. (56) References JP-A-2-155562 (JP, A) JP-A-63-52764 ( JP, A) JP-A-55-139170 (JP, A) JP-A-63-62817 (JP, A) JP-A-63-199071 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , (DB name) B23K 1/008 F27B 9/00-9/12
Claims (7)
を設け、複数の被処理物を加熱するための加熱手段を内
部に設け、該内部に設けられた移送手段で前記被処理物
を前記搬入扉側から前記搬出扉側へ移送するようにした
真空熱処理装置において、前記被処理物の上方の壁部の
前記搬出扉近傍に少なくとも１つのガス導入口を設け、
下方の壁部の前記搬入扉近傍にガス排出口を設けること
によって、ガスを前記被処理物の上方から下方へ、かつ
前記搬出扉側から前記搬入扉側へと流すようにしたこと
を特徴とする真空熱処理装置。An airtight carry-in door is provided at one end, and an airtight carry-out door is provided at the other end, heating means for heating a plurality of objects to be processed is provided therein, and the transfer means provided therein has a transfer means provided therein. In a vacuum heat treatment apparatus configured to transfer the processing object from the loading door side to the unloading door side, at least one gas inlet is provided near the unloading door on a wall portion above the workpiece,
By providing a gas outlet in the lower wall portion near the carry-in door, gas is allowed to flow from above the object to be processed downward, and from the carry-out door side to the carry-in door side. Vacuum heat treatment equipment.
される複数の加熱部から成り、該加熱部の加熱温度は前
記搬入扉側では前記被処理物の処理温度よりも高く、前
記移送の方向に沿って次第に低下させ、前記搬出扉の側
では前記処理温度になるようにした請求項（１）に記載
の真空熱処理装置。2. The heating means comprises a plurality of heating units, each of which is independently temperature-controlled, wherein the heating temperature of the heating unit is higher than the processing temperature of the object to be processed on the side of the carry-in door. The vacuum heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the temperature is gradually lowered along the direction, and the processing temperature is set at the side of the discharge door.
高い温度に設定された加熱部の熱が低い温度に設定され
た他の加熱部に輻射されないようにした請求項（２）に
記載の真空熱処理装置。3. A reflector is provided at a boundary between the plurality of heating units,
The vacuum heat treatment apparatus according to claim 2, wherein heat of the heating unit set at a high temperature is not radiated to another heating unit set at a low temperature.
る構造であり、これを前記搬出扉側から前記搬入扉側へ
と流れる前記ガス流の方向に垂直に配置して、前記ガス
流が前記被処理物の中を通過するようにした請求項
（１）（２）及び（３）のいずれかに記載の真空熱処理
装置。4. A structure in which the object to be processed allows the gas flow to pass therethrough, and is arranged perpendicularly to a direction of the gas flow flowing from the discharge door side to the import door side. The vacuum heat treatment apparatus according to any one of claims (1), (2), and (3), wherein the gas passes through the object.
た搬送機であり、該搬送機の上方に前記ガス導入口を設
けた請求項（１）（２）（３）及び（４）のいずれかに
記載の真空熱処理装置。5. A transfer device according to claim 1, wherein said transfer means is a transfer device mounted on said upper wall portion, and said gas inlet is provided above said transfer device. The vacuum heat treatment apparatus according to any one of the above.
狭い搬送室と、これに接続して下方へ次第に広がる前記
被処理物を加熱するための加熱室とを構成し、前記ガス
導入口から導入されたガスが前記内部壁面に沿って前記
ガス排出口へ流れるようにした請求項（５）に記載の真
空熱処理装置。6. A gas inlet for receiving the gas, wherein the inner wall forms a relatively narrow transfer chamber for accommodating the transfer device, and a heating chamber connected to the transfer chamber for heating the workpiece gradually expanding downward. The vacuum heat treatment apparatus according to claim 5, wherein the gas introduced from the mouth flows to the gas outlet along the inner wall surface.
めの加熱手段を別に設けた請求項（５）又は（６）に記
載の真空熱処理装置。7. The vacuum heat treatment apparatus according to claim 5, wherein a heating means for heating the transporter is separately provided in the vicinity of the transporter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5579890A JP2772699B2 (en) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | Vacuum heat treatment equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5579890A JP2772699B2 (en) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | Vacuum heat treatment equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03258458A JPH03258458A (en) | 1991-11-18 |
| JP2772699B2 true JP2772699B2 (en) | 1998-07-02 |
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ID=13008934
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP5579890A Expired - Lifetime JP2772699B2 (en) | 1990-03-07 | 1990-03-07 | Vacuum heat treatment equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2772699B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1990
- 1990-03-07 JP JP5579890A patent/JP2772699B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03258458A (en) | 1991-11-18 |
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