JP3853487B2

JP3853487B2 - Continuous heat treatment furnace

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Publication number: JP3853487B2
Application number: JP30663097A
Authority: JP
Inventors: 丈夫加藤
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1997-10-21
Filing date: 1997-10-21
Publication date: 2006-12-06
Anticipated expiration: 2017-10-21
Also published as: JPH11125491A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は金属やセラミックスの微粒子を燒結するための連続式熱処理炉に関するものであり、更に詳しくは、脱ワックス室を１室として製造コストを低減させた連続式熱処理炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えばタンタル電解コンデンサやアルニコ磁石などの焼結製品は原料微粉末をワックス（バインダとも称する）と共に所定の形状に加圧成形し、得られる成形体を真空下に加熱して脱ワックスした後に、原料微粒子を焼結する工程を経て製造される。当初は脱ワックスと燒結とを同一の真空炉内で行なうバッチ式真空熱処理炉が実用され、現在でも小規模にはバッチ式真空熱処理炉が使用されているが、ワックス蒸気が真空熱処理炉内に付着して残り、これが燒結中に気化して焼結品の品質を低下させるという欠点を有している。
【０００３】
勿論、上記の欠点を改善することは行なわれており、例えば特開昭６１−２９５３０３号公報には、被処理物を収容してワックス除去するためのタイトボックスを炉内に設けたバッチ式真空熱処理炉が開示され、特開昭６２−２３３６７９公報には、専用の排気系を備え被処理物を密閉する脱脂用のインナーケースを設けたバッチ式真空熱処理炉が開示されている。これらは何れも脱ワックス時におけるワックス蒸気がバッチ式真空熱処理炉内に充満することによる炉内の汚染を防いだものであるが、性能的に限界がありバッチ式真空熱処理炉であるために処理能力も小さい。
【０００４】
（従来例１）
バッチ式真空熱処理炉の欠点を克服するものとして連続式真空熱処理炉が開発されたが、ワックスの影響をなくするために複数の脱ワックス室を設けたものが多い。例えば図７は特公平２−３３７６２号公報に係る「燒結装置」に開示されている燒結装置２１０の平面図であり、第１脱ワックス室２１１₁ 、第２脱ワックス室２１１₂ 、第１焼結室２１２₁ 、第２焼結室２１２₂ 、第１冷却室２１３₁ 、第２冷却室２１３₂ 、後室２１４の７室から構成され、各室は開閉自在な仕切弁で隔離されている。そして、第１脱ワックス室２１１１は温度５００〜６００℃、真空度１〜１０^-3Ｔｏｒｒ程度の雰囲気下に成形体からワックスの除去が行われ、第２脱ワックス室２１１₂は、脱ワックスを更に進めるべく第１脱ワックス室２１１１よりも高温度、高真空度の雰囲気として脱ワックスする。第１焼結室２１２１は温度１２００〜１６００℃、真空度１０^-5Ｔｏｒｒ程度の雰囲気に保持されて脱ワックス後の成形体を燒結し、第２焼結室２１２₂ は第１焼結室２１２₁よりも高温、低圧に保持される。なお、図７において、符号２２１〜２２４は拡散ポンプ、符号２３１〜２３７はルーツブロアポンプ、符号２４１〜２４７は油回転ポンプである。この焼結装置２１０は脱ワックス室を２室設けた例であるが、脱ワックス室を３室設ける場合もある。
【０００５】
このように複数の脱ワックス室を設ける第１義的な意味は脱ワックスを完全に行なうことにあるが、第２義的には第１焼結室が汚染を受けない期間を可及的に長引かせるという意味合いもある。ともあれ、このように複数の脱ワックス室を設けることは、炉材に高価な耐熱性金属を多用するので、装置コストを増大させる。
【０００６】
（従来例２）
一方、局部加熱室を設けた連続式熱処理炉が特公平５−１７４７２号、特公平６−３３９４０号の各公報に開示されている。例えば、特公平６−３３９４０号公報に係る「局部加熱室を有する真空炉」に開示されている実施例の連続式真空炉３１０は、図８の縦断面図に示すような脱ワックス室３０４を備えており、図示していないが、接続されている燒結室も同様に構成されている。真空容器３０２内に画成されている脱ワックス室３０４には、局部加熱室３３０がフェルト状の黒鉛等の断熱材料３５５で通気可能に形成されており、下面は開放され、内部には電熱線３３２が取り付けられている。更に、局部加熱室３３０の内部には、ガスの流通を実質上阻止する材料、例えば金属材料製の区画容器３３３が設けられている。そして、区画容器３３３は局部加熱室３３０の下方へ延出されて下面は開放されており、取付片３３４で真空容器３０２の受片３３５に固定されている。
【０００７】
局部加熱室３３０の下方には上昇手段が設けられており、そのピストンロッド３３８の先端に受座３４１が固定されている。ピストンロッド３３８は搬送ローラ３２０上を搬送されてきた台３５０を被処理物３５６と共に上昇させ下降させる。台３５０にはガスの流通を実質上阻止する材料で形成された区画蓋３５１が取り付けられており、その面積は区画容器３３３の下面の開放部を塞ぐに充分な大きさである。
【０００８】
台３５０と共に昇降される区画蓋３５１の上面には耐熱材料製の支柱３５２が立設されており、上端には被処理物３５６を支えるための受桟３５３が備わっている。支柱３５２の中間部には通気性のある耐熱材料製の閉塞板３５４が取り付けられており、その上面には局部加熱室３３０と同様の断熱材３５５が備えられている。上記の断熱材３５５付き閉塞板３５４は局部加熱室３３０を熱的に密閉できるように、閉塞板３５４の周縁上面が区画容器３３３内の受部材３３６の下面に当接できるようになっている。
【０００９】
この従来例２の脱ワックス室３０４の区画容器３３３内に挿入される被処理物３５６は温度６００℃程度まで加熱されて、ワックス蒸気を発生するが、区画容器３３３に取り付けられた図８では示されていない真空排気用のダクトを経て排出され途中のトラップで除去される。すなわち、ワックスガスが区画容器３３３から漏れ出ることはないので、局部加熱室３３０の断熱材３５５や真空容器３０２はワックス蒸気で汚染されず、また逆に、局部加熱室３３０の断熱材３５５や真空容器３０２から水分などのガスが発生しても区画容器３３３内の被処理物３５６に接触することはないとされているが、なお、ワックスによる汚染と熱処理に障害となる水分等の発生に問題を残している。
【００１０】
すなわち、脱ワックス室３０４、その下方の搬送路は特に真空排気されていないので、区画容器３３３が開放された時などにおいて漏出するワックス蒸気はそのまま脱ワックス室３０４、搬送路を汚染する。また、被処理物３５６のキャリヤを構成する台３５０、支柱３５２、受桟３５３、閉塞板３５４は耐熱材料としてカーボン系材料で形成されることが多い。また、断熱材料３５５は局部加熱室３３０と同じ黒鉛のフェルト状物が使用されている。これらキャリヤは連続式真空炉３１０での燒結が完了すると大気中へ搬出されるがその時に大量の水分を吸着し、再度の使用時に脱ワックス室３０４、燒結室で大量のガスを放出するので、大容量の真空排気系を必要とする。特に、区画容器３３３内へ挿入される断熱材料３５５、受桟３５３、および支柱３５２は真空下に加熱されるので、ガスを容易に放出し被処理物３５６の品質を低下させる。
【００１１】
（従来例３）
これに対してガス放出量を可及的に抑えて脱ワックス室を１室とした連続式熱処理炉が本願出願人の出願による特開平９−１２６６５９号、特開平９−１２６６６０号の各公報に開示されている。図４は上記の各公報の技術的思想に基づいて作製された連続式熱処理炉を構成する脱ワックス部１０１についての被処理物Ｆの搬送方向に平行な縦断面図であり、図５は搬送方向に直角な縦断面図、図６は図４における［６］−［６］線方向の矢視図である。なお、断面の向きによって、図４には図５に示す排気ライン１１０、窒素ガス配管１７３、１７７や電極１２７は示されていない。また、図５においてはチェインベルト１９２等の搬送手段は簡略化して示している。図４、図５、図６を参照して、脱ワックス部１０１は脱ワックス室１１１と搬送室１６１とからなるが、脱ワックス時には脱ワックス室１１１を閉空間として排気すると共に搬送室１６１も排気するようにしてワックスによる汚染が防がれている。また、一連の脱ワックス、燒結、冷却の操作の後に連続式熱処理炉から大気中へ取り出されることにより水分等を吸着し、再び脱ワックス室１１１内へ挿入されて真空下に加熱される部品は被処理物Ｆを載置するトレイ１４４のみとし、脱ワックス時における水分の放出を極小化させている。
【００１２】
すなわち、脱ワックス室１１１は搬送室１６１の天井板の開口の周囲に固定された底板１１４と側壁１１３、天井鏡板１１２とに囲われて形成されており、底板１１４に設けられた挿入用開口１１５を介して搬送室１６１と連通している。天井鏡板１１２と側壁１１３とは断熱材１１６で覆われており、側壁１１３の温度を測定するための温度測定端子１１３ｔが埋め込まれている。また、側壁１１３には排気管１１７が設けられており、排気管１１７にはバルブ１１０Ｖ、ワックス補集用トラップ１１８、およびメカニカルブースタポンプ１１９、油回転ポンプ１２０を備えた排気ライン１１０が接続されている。
【００１３】
脱ワックス室１１１の内部には、複数枚の熱線反射板から形成されているレフレクタ１２３によって加熱区画１２１が通気可能に画成されており、図示せずとも側壁１１３の内面に固定されている。そして加熱区画１２１の底面部には開口１２５が形成されている。レフレクタ１２３の内周側には電熱ヒータ１２６が設置されており（図４では左右に示されているが、実際には全内周面に設けられている）、脱ワックス室１１１の側壁１１３に設けられた電極１２７に接続されている。また、途中に流量計１７１と可変流量バルブ１７２を備えた窒素ガス配管１７３が、脱ワックス室１１１の外部から断熱材１１６と側壁１１３とを貫通して、加熱区画１２１の天井面のレフレクタ１２３の下側に導入されており、その先端部には吹出しノズル１７４が取り付けられている。
【００１４】
搬送室１６１は、図４を参照して、左端に搬入扉１０６、右端に焼結部との仕切扉１０７がそれぞれ開閉可能に取り付けられ、密閉可能とされている。搬送室１６１内には、図６も参照して、２本のチェインベルト１９２が駆動スプロケット１９３と従動スプロケット１９４に巻装して設置されており、電動機１９５で駆動されて、搬送台１４２上の被処理物Ｆを矢印の方向へ搬送する。すなわち、チェインベルト１９２に係合される搬送台１４２の中央部に設けた円形開口の外周部の座ぐりに炭素系材料のトレイ受け用断熱板１４３が置かれ、トレイ受け用断熱板１４３の中央部に設けた円形開口の外周部の座ぐりにトレイ１４４が重ねて置かれ、更に被処理物Ｆはトレイ１４４上に載置されて搬送される。また搬送台１４２は脱ワックス室１１１の直下に停止されるが、その停止位置を固定させるためのストッパ１９７ａ、１９７ｂが停止された搬送台１４２の前後となる位置に設けられており、それぞれの駆動源１９８ａ、１９８ｂによって回動されて作動する。また搬入扉１０６、仕切扉１０７の内側には、搬送台１４２の搬入と搬出を介助するロール１９６ａ、１９６ｂが設けられており、それぞれ駆動スプロケット１９３の軸、従動スプロケット１９４の軸によってチェインで駆動される。更にはチェインベルト１９２の両側にはガイド板１９９が取り付けられている。
【００１５】
そして図５を参照し、搬送室１６１には流量計１７５と流量可変バルブ１７６を備えた窒素ガス配管１７７が設けられており、窒素ガスが流量調整されて先端部１７８から搬送室１６１内へ導入されるようになっている。また、搬送室１６１を排気するための排気管１６７には排気ライン１６０が設けられ、バルブ１６０Ｖを介して、脱ワックス室１１１の排気ライン１１０に接続されている。更に、搬送室１６１の下方の外部に設置されているエヤシリンダ１５９のロッド１５８が搬送室１６１内へ挿通されており、チェインベルト１９２で搬送されてくる搬送台１４２上の被処理物Ｆを脱ワックス室１１１内へ挿入するようになっている。すなわち、ロッド１５８の先端部には４本の支持柱１５２を立設した昇降蓋１５１が固定されており、支持柱１５２の中程には、加熱区画１２１を画成しているレフレクタ１２３と同様なレフレクタ１５３が取り付けられている。
【００１６】
そして、ロッド１５８が昇降蓋１５１と共に一点鎖線で示す位置から上昇されて４本の支持柱１５２の先端がトレイ１４４の下面を支持して持ち上げ、続いて昇降蓋１５１がトレイ受け用断熱板１４３を持ち上げる。ロッド１５８が更に上昇されて被処理物Ｆを脱ワックス室１１１の加熱区画１２１内へ挿入し、トレイ受け用断熱板１４３が脱ワックス室１１１の底板１１４に当接して昇降蓋１５１と共に脱ワックス室１１１を閉じて密閉空間を形成すると同時に、レフレクタ１５３が加熱区画１２１のレフレクタ１２３と一体となって被処理物Ｆの周囲を取り囲むようになっている。
【００１７】
被処理物Ｆの脱ワックスに際しては、被処理物Ｆは搬送台１４２上のトレイ受け用断熱板１４３に重ねたトレイ１４４に載置されて搬入扉１０６から搬送室１６１内へ搬入され、搬送台１４２はチェインベルト１９２によって搬送される。そして、搬入扉１０６が閉じられると同時に、油回転ポンプ１２０、メカニカルブースターポンプ１１９が起動され排気が開始される。搬送台１４２は図示しない機構によって被処理物Ｆを脱ワックス室１１１の直下まで搬送して停止され、ストッパ１９７ａ、１９７ｂによってその位置に固定される。次いで、エヤシリンダ１５９のロッド１５８と共に昇降蓋１５１が一点鎖線で示す位置から上昇され、昇降蓋１５１の支持柱１５２の先端がトレイ１４４の下面を支持して持ち上げ、続いて昇降蓋１５１がトレイ受け用断熱板１４３を持ち上げる。そして、更にロッド１５８が上昇されて被処理物Ｆが脱ワックス室１１１の加熱区画１２１内へ挿入される。
【００１８】
すなわち、被処理物Ｆが脱ワックス室１１１の底板１１４の挿入用開口１１５を経て実線で示すように脱ワックス室１１１の加熱区画１２１内へ挿入され、昇降蓋１５１がトレイ受け用断熱板１４３を脱ワックス室１１１の底板１１４の下面に当接させてロッド１５８の上昇が停止され、被処理物Ｆは脱ワックス室１１１内に収容されると共に、支持柱１５２に取り付けられているレフレクタ１５３がレフレクタ１２３と一体的に被処理物Ｆを取り囲む。また、窒素ガス配管１７３からの窒素ガスが吹出しノズル１７４から加熱区画１２１内の天井部分へ流入され、窒素ガス配管１７７からの窒素ガスが吹出しノズル１７８から搬送室１６１内へ流入される。そして脱ワックス室１１１の圧力Ｐ₂ が搬送室１６１内の圧力Ｐ₃ よりも低くなるように維持される。被処理物Ｆが減圧下に加熱区画１２１内の電熱ヒータ１２６の輻射熱によって加熱されることにより、被処理物Ｆに含まれているワックスは気化しワックス蒸気となってメカニカルブースタポンプ１１９および油回転ポンプ１２０で排気ライン１１０中を排気され、途中に設けられたワックス捕集用トラップ１１８に捕集される。また、脱ワックス室１１１とその排気管１１７は断熱材１１６によって温度１２０℃程度に保温されるので、ワックス蒸気の凝着が防がれる。
【００１９】
このような操作によって、ワックス蒸気が搬送室１６１内へ流れ込むことが防がれ、搬送室１６１の汚染が防がれる。また、一連の脱ワックス、燒結、冷却の操作の後、再び脱ワックス室１１１内へ挿入されて真空下に加熱される部品はトレイ１４４のみとしているので、脱ワックス室１１１内でのガス（特に水分）の発生量は極めて少なくなっており、被処理物Ｆの焼結品の品質低下が防がれている。なお、所定の脱ワックス操作が完了すると、ロッド１５８が下降され、トレイ１４４とその上の被処理物Ｆは搬送室１６１内の搬送台１４２上にトレイ受け用断熱板１４３と共に戻されて、チェインベルト１９２により続く燒結部へ送り込まれる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来例３の連続式熱処理炉においては、脱ワックス時に、脱ワックス室１１１の底板１１４の挿入用開口１１５を昇降蓋１５１とトレイ受け用断熱板１４３とで塞いで脱ワックス室１１１内を密閉空間とし、かつ脱ワックス室１１１の圧力Ｐ₂ を搬送室１６１の圧力Ｐ₃よりも低くしているので、ワックス蒸気が搬送室１６１内へ流れ込むことはないが、脱ワックス室１１１内において、電熱ヒータ１２６に直面しない構成部品や内壁のコーナー部の表面にワックス蒸気が接触し液化して付着することによって、脱ワックス室１１１が汚染され、昇降蓋１５１が下降されて脱ワックス室１１１と搬送室１６１とが連通された時に、付着ワックスが何らかの原因によって流下したり、気化されて流れ込み搬送室１６１を汚染する場合がある。
【００２１】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、脱ワックス室、搬送室がワックスによって汚染されることなく、被処理物の脱ワックスを効果的に施すことができ、脱ワックス室を１室とした低装置コストの連続式熱処理炉を提供することを目的とする。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
上記の課題は請求項１の構成によって解決されるが、その解決手段を実施の形態によって例示すれば、図２、図３は連続式熱処理炉１００の脱ワックス部１の縦断面図であり、図２は脱ワックス前の状態、図３は脱ワックス中の状態を示し、従来例３の図５に対応する図である。脱ワックス部１は脱ワックス室１１と搬送室６１とからなり、脱ワックス室１１の底板１４の挿入用開口１５を介して搬送室６１と連通している。
【００２３】
脱ワックス室１１の内部にはレフレクタ２３で囲われて加熱区画２１が通気可能に画成されており、その内周側には電熱ヒータ２６が設置されている。また、加熱区画２１の内部には、ワックス蒸気を透過させない材料、例えば耐熱性の金属板３３によって上端面を有する筒状に形成され下方を開放されたマッフル３１が設けられている。マッフル３１の下端部は加熱区画２１の底面部の開口に挿入されて下方へ延在し、その下端は底板１４の挿入用開口１５の周縁部に固定されている。そして、マッフル３１はその枝管３６を介して脱ワックス室１１の側壁１３の排気管３７に連結され、排気管３７にはバルブ３０Ｖ、ワックス捕集用トラップ３８、およびメカニカルブースタポンプ３９、油回転ポンプ４０を備えた排気ライン３０が接続されている。また、脱ワックス室１１を排気するための側壁１３に設けられた排気管１７には脱ワックス室１１の排気ライン１０が設けられ、バルブ１０Ｖを介してマッフル３１の排気ライン３０に接続されている。
【００２４】
図２を参照して、搬送室６１には炭素系材料からなるトレイ受け用断熱板４３、耐熱金属製のトレイ４４、および被処理物Ｆを重ねて載置したステンレス鋼製の搬送台４２が簡略化して示したチェインベルト９２によって搬送されてくる。また搬送室６１には下方の外部に設置されているエヤシリンダ５９のロッド５８が挿通されており、ロッド５８の先端部には挿入用開口１５を開閉する昇降蓋１５が固定されている。昇降蓋５１の中央部にはトレイ４４を支持して持ち上げる支持柱５２が立設され、支持柱５２の中程には、底面レフレクタ５３が取り付けられている。そして、ロッド５８が昇降蓋５１と共に上昇されると、支持柱５２の先端がトレイ４４の下面を支持して持ち上げ、続いて昇降蓋５１がトレイ受け用断熱板４３を持ち上げる。ロッド５８が更に上昇されて被処理物Ｆを脱ワックス室１１の加熱区画２１内に設けたマッフル３１内へ挿入し、トレイ受け用断熱板４３が脱ワックス室１１の底板１４に当接して昇降蓋５１と共に脱ワックス室１１の挿入用開口１５を閉じて密閉空間が形成される。この時、トレイ受け用断熱板４３は断熱部材として、かつパッキン部材として作用する。
【００２５】
更には、マッフル３１内へは流量計８１、流量可変バルブ８２を備えた窒素ガス配管８３によって、加熱区画２１内へは流量計７１、流量可変バルブ７２を備えた窒素配管７３によって、搬送室６１内へは流量計７５、流量可変バルブ７６を備えた窒素ガス配管７７によって、不活性ガスとしての窒素ガスがそれぞれ流量調整されて導入されるようになっている。
【００２６】
脱ワックス時においては、図１、図２を参照し、被処理物Ｆを搬入する搬送台４２が搬送室６１内へ搬入され、搬入扉６が閉じられると、油回転ポンプ４０、メカニカルブースタポンプ３９が駆動されて、マッフル３１内、脱ワックス室１１内、搬送室６１内が排気され、図３に示すように、昇降蓋５１、支持柱５２、底面レフレクタ５３を備えたロッド５８が上昇されて被処理物Ｆがトレイ４４と共にマッフル３１内へ挿入される。この時、昇降蓋５１に伴われて上昇するトレイ受け用断熱板４３が脱ワックス室１１の底板１４に当接して、昇降蓋５１と共に脱ワックス室１１の底板１４の挿入用開口１５を密閉し、被処理物Ｆは、レフレクタ２３からなる加熱区画２１のマッフル３１内において、レフレクタ２３、２３’と底面レフレクタ５３とに囲まれた状態となる。そして、窒素ガス配管８３、７３、７７からマッフル３１内、脱ワックス室１１内、搬送室６１内へそれぞれ流量調整されて窒素ガスが流入され、マッフル３１内の圧力Ｐ₁ 、脱ワックス室１１内の圧力Ｐ₂ 、搬送室６１内の圧力Ｐ₃が次式
Ｐ₂ ＞Ｐ₁ ＜Ｐ₃
で示される関係に維持され、マッフル３１内の被処理物Ｆは電熱ヒータ２６からの幅射熱によって加熱されて脱ワックスされる。この時、脱ワックス室１１の外壁とワックス蒸気の排気ライン１０、３０は断熱材で覆われており、ワックス蒸気の液化が防がれる。
【００２７】
このような脱ワックス処理が行われることにより、被処理物Ｆから発生するワックス蒸気はマッフル３１から外部へ漏出することなくメカニカルブースタポンプ３９、油回転ポンプ４０によって排気ライン３０中を排気され、途中に設けられたワックス捕集用トラップ３８において捕集される。従って、脱ワックス室１１内および搬送室６１内がワックス蒸気によって汚染されることはない。
【００２８】
更には、使用されている部品のうち連続式熱処理炉１００から大気中へ取り出されて水分等を吸着した後、繰り返してマッフル３１内で真空下に加熱される部品は被処理物Ｆを載置する金属製のトレイ４４のみであり、脱ワックス時に発生する水分等のガスは極度に抑制される。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による連続式熱処理炉について、図面を参照して具体的に説明する。
【００３０】
図１は実施の形態による連続式熱処理炉１００の全体を示す概略断面図である。上流側から順に脱ワックス部１、焼結部２、冷却部３が連結されており、左端に搬入扉６、右端に搬出扉９が設けられ、脱ワックス部１と焼結部２とは仕切扉７によって、焼結部２と冷却部３とは仕切扉８によって仕切られている。
【００３１】
図２に示すように、脱ワックス部１は上部の脱ワックス室１１と下部の搬送室６１とからなり、脱ワックス室１１内には複数枚の熱線反射板からなるレフレクタ２３によって加熱区画２１が通気可能に画成されており、加熱区画２１の内壁側に電熱ヒータ２６が設けられている。また加熱区画２１の内部にはマッフル３１が設けられており、マッフル３１には排気用のメカニカルブースタポンプ３９、油回転ポンプ４０が接続されており、挿入される被処理物Ｆを真空下に加熱して真空排気するようになっている。
【００３２】
搬送室６１内には搬送手段としてのチェインベルト９２が設けられており、被処理物Ｆは、これを載置するトレイ４４と共に脱ワックス室１１の直下で停止される。搬送室６１の下方の外部には昇降手段としてのエヤシリンダ５９が設置されており、そのロッド５８が搬送室６１内へ挿通されている。そして、ロッド５８の先端部には脱ワックス室１１を開閉する昇降蓋５１が固定されており、その表面に立設された支持柱５２でトレイ４４を持ち上げるようになっている。
【００３３】
焼結部２は脱ワックス操作の完了した被処理物Ｆを脱ワックス部１よりも高真空度で高温度に加熱して焼結させる箇所であり、細部は異なるものの脱ワックス部１と同様な構造を有している。また、冷却部３では内部の加圧ガスが電動機３で駆動されるファン４によって循環され、熱交換器５によって冷却されて、焼結操作の完了した高温度の被処理物Ｆに吹き付けられ、これを冷却するようになっている。
【００３４】
上記の連続式処理炉１００において、ワックス蒸気による汚染を可及的に防ぐように構成されており、本発明の要部を占める脱ワックス部１について以下に説明する。
【００３５】
図２は図１における［２］−［２］線方向の断面図であり、被処理物Ｆが搬入された状態、すなわち、脱ワックス前の状態を示す。なお、図２と従来例３の図５とは同様な破断方向の断面図である。また図３は図２に続く断面図であり、被処理物Ｆがマッフル３１内に挿入された脱ワックス時の状態を示す。従来例３の図５と比較して明らかなように、本実施の形態による連続式熱処理炉１００の脱ワックス部１は従来例３の脱ワックス部１０１と全体的には同様に構成されているが、大きく異なっているところは、脱ワックス室１１の加熱区画２１内にワックス蒸気を透過させないマッフル３１が設けられていることにある。従って、従来例３の脱ワックス室１１１に対して、実施の形態の連続式熱処理炉１００においては脱ワックス室１１とした如く、実施の形態における各要素の符号には対応する従来例３の要素の符号から１００を減じた数字を付して、両者に共通する要素についての説明は省略し、以降においては、異なる要素についてのみ説明する。
【００３６】
上述したように、脱ワックス室１１内の加熱区画２１内には、ワックス蒸気を透過させない金属板３３で作製され上端面を有する筒状のマッフル３１が設けられており、マッフル３１の下端は開放されている。その下端は加熱区画２１の底面部の開口挿入されて下方へ延在しており、その下端は脱ワックス室１１の底板１４の挿入用開口１５の周縁部上に固定されている。そしてマッフル３１の内周面の下端部には加熱区画２１のレフレクタ２３のレベルに整合させてレフレクタ２３'が環状に取り付けられている。
【００３７】
マッフル３１の側壁には枝管３６が取り付けられ、脱ワックス室１１の側壁１３に設けられた排気管３７と連結されている。排気管３７にはバルブ３０Ｖ、ワックス捕集用トラップ３８、およびメカニカルブースタポンプ３９、油回転ポンプ４０を備えた排気ライン３０が接続されている。また脱ワックス室１１の排気管１７には脱ワックス室１１の排気ライン１０が設けられ、バルブ１０Ｖを介してマッフル３１の排気ライン３０に接続されており、搬送室６１の排気管６７には搬送室６１の排気ライン６０が設けられ、バルブ６０Ｖを介して脱ワックス室１１の排気ライン１０に接続されている。更には、途中に流量計８１と制御バルブ８２を備えた窒素ガス配管８３が脱ワックス室１１の外部から、断熱材１６、レフレクタ２３、金属板３３を貫通してマッフル３１内へ導入されている。そのほか、窒素ガス配管７３によって脱ワックス室１１内へ窒素ガスが流入され、窒素ガス配管７７によって搬送室６１内へ窒素ガスが流入されていることは従来例３の場合と同様である。
【００３８】
更には、図３に示すように、必要に応じてエヤシリンダ５９のロッド５８の軸心部および昇降蓋５１の中心部に貫通孔５７が穿設される。そのような場合の一例は使用されているワックスの種類によってはワックスが完全に気化せずに液状化する場合であり、貫通孔５７の下端側に、バルブ５５を介してワックス回収槽５６が連結されて、そのようなワックスの排除や、メンテナンス時のクリーニングに使用される。上述したように、マッフル３１に関連するもの以外の構成要素は従来例３の脱ワックス部１０１と全く同様に構成されている。
【００３９】
次に、脱ワックス部１の作用を説明する。図１、図２を参照して、被処理物Ｆ、トレイ４４、トレイ受け用断熱板４３を重ねて載置した搬送台４２がチェインベルト９２によって搬送室６１内に搬入され搬送室６１の搬入扉６が閉じられると油回転ポンプ４０、メカニカルブースタポンプ３９が起動されて、マッフル３１内、脱ワックス室１１内、搬送室６１内の排気が開始される。搬送台４２は被処理物Ｆを載置したまま脱ワックス室１１の直下まで搬送され、停止、固定される。続いて搬送台４２の下方からエヤシリンダ５９のロッド５８が昇降蓋５１と共に上昇されて、昇降蓋５１に立設されている支持柱５２の先端がトレイ４４の下面を支持して持ち上げ、更に昇降蓋５１がトレイ受け用断熱板４３を持ち上げる。そして、更にロッド５８が上昇されて被処理物Ｆがトレイ４４と共に脱ワックス室１１の加熱区画２１内に設けられているマッフル３１内へ挿入される。
【００４０】
図３を参照して、被処理物Ｆがマッフル３１内へ挿入されると同時に、昇降蓋５１に伴われたトレイ受け用断熱板４３が脱ワックス室１１の底板１４に当接してロッド５８の上昇が停止され、マッフル３１は脱ワックス室１１と共に密閉される。すなわち、トレイ受け用断熱板４３が断熱部材として、かつパッキン部材として働いて昇降蓋５１と共に脱ワックス室１１を密閉する。同時に窒素ガスが窒素ガス配管８３からマッフル３１内へ、窒素ガス配管７３から脱ワックス室１１の加熱区画２１内へ、窒素ガス配管７７から搬送室６１内へそれぞれ流量制御されて流入され、マッフル３１内の圧力Ｐ₁ 、脱ワックス室１１内の圧力Ｐ₂ 、搬送室６１内の圧力Ｐ₃ が次式
Ｐ₂ ＞Ｐ₁ ＜Ｐ₃
で示される関係に維持される。
【００４１】
そして電熱ヒータ２６に通電され輻射熱によってマッフル３１の金属板３３が加熱され、マッフル３１内の被処理物Ｆが真空下に加熱されることにより、被処理物Ｆに含まれているワックスは気化されワックス蒸気となるが、メカニカルブースタポンプ３９、油回転ポンプ４０によって排気ライン３０で排気され、途中に設けられたワックス捕集用トラップ３８において捕集される。
【００４２】
この時、マッフル３１内へ流入されている窒素ガスは被処理物Ｆの脱ワックスが気化されることを介助し、更には排気ライン３０への強制的な流れを作るのでワックス蒸気がマッフル３１の内壁に付着せず脱ワックス効率が向上する。また上述したように、マッフル３１内の圧力Ｐ₁ を脱ワックス室１１内の圧力Ｐ₂ 、搬送室内への圧力Ｐ₃よりも低くしているので、脱ワックス室１１、搬送室６１からマッフル３１内へ気体が流入することはあっても、ワックス蒸気がマッフル３１から外へは漏出せず、従って、従来例３で見られたような脱ワックス室１１、搬送室６１のワックスによる汚染は生じない。
【００４３】
また、脱ワックス操作が完了し、ロッド５８と共に昇降蓋５１の下降が開始されてマッフル３１が搬送室６１と連通される時、搬送室６１内の圧力Ｐ₃ はマッフル３１内の圧力Ｐ₁よりも高いので、窒素ガスは搬送室６１からマッフル３１内への流れを生じマッフル３１の排気ライン３０で排気される。
【００４４】
更には、一連の脱ワックス、焼結、冷却の操作の操作の後に、連続式処理炉１００から大気中へ取り出されて水分等を吸着した後、マッフル３１内で繰り返して真空下に加熱される部品は金属製のトレイ４４のみとして吸着する水分等の抑制が図られているので、脱ワックス時における水分等のガスの発生が極度に抑えられ焼結品の品質の低下が防がれている。
【００４５】
本発明の実施の形態による連続式熱処理炉１００、特にその脱ワックス部１は以上の様に構成され作用するが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００４６】
例えば本実施の形態においては、マッフル３１内への窒素ガスの吹出しノズル８４を天井面に設け、マッフル３１内の排気用の枝管３６を側面に取り付けたが、窒素ガス配管８３をマッフル３１の下端部内へ導入し、排気用の枝管３６をマッフル３１の天井面に取り付けて、窒素ガスを下方から上方へ流すようにして、温度の高いワックス蒸気の排気の効率を高めるようにしてもよい。
【００４７】
また本実施の形態においては、マッフル３１を耐熱性の金属板で形成したが、ワックス蒸気が透過しない耐熱材料であればよく金属に限られない。例えば、カーボンやセラミックスによってマッフル３１を作製してもよい。
【００４８】
また本実施の形態においては、マッフル３１、脱ワックス室１１、搬送室６１の排気を一系列のメカニカルブースタポンプ３９、油回転ポンプ４０で行うようにしたが、２系列以上使用してもよい。
【００４９】
また本実施の形態においては、不活性ガスとして窒素ガスを採用したが、これをアルゴンガス等の希ガスとしてもよく、また脱ワックス、焼結の操作に悪影響を及ぼさないガスである限りにおいてガスの種類は問わない。
【００５０】
また本実施の形態においては、昇降蓋５１と脱ワックス室１１の底板１４とのシールに炭素系材料からなるトレイ受け用断熱板４３を採用したが金属エッヂによるメタルコンタクトとしてもよい。
【００５１】
また本実施の形態においては必要あれば穿設するとしたエヤシリンダ５９のロッド５８の軸心部および昇降蓋５１の中心部の貫通孔５７をマッフル３１からの排気ラインとすることもできる。
【００５２】
また本実施の形態においては、被処理物Ｆを載置するトレイ４４を耐熱金属製としたが、トレイ４４の連続式熱処理炉１０から取り出し後に水分等を吸着させないような管理が可能であれば、これを炭素系材料で作製してもよい。
【００５３】
【発明の効果】
本発明は以上に説明したような形態で実施され、次ぎに記載するような効果を奏する。
【００５４】
本発明の連続式熱処理炉は、脱ワックス室内に設けた通気性の加熱区画内にワックス蒸気を透過させない材料によるマッフルを設け、被処理物の脱ワックスに際しては、マッフル内、加熱区画を含む脱ワックス室内、搬送室内を真空排気し、被処理物をマッフル内へ挿入し密閉してマッフル内に不活性ガスを流入させ、マッフル内の真空度を最も高くして加熱し脱ワックスするようにしたので、脱ワックス室における被処理物の脱ワックスを効果的に施すと共に、その下の搬送室のワックス蒸気による汚染を効果的に防ぐことができ、連続式熱処理炉のメンテナンスの間隔を延長させ、稼動率を向上させることができる。
【００５５】
また、脱ワックス室、搬送室を含む脱ワックス部の汚染が効果的に防がれて、続く焼結部の汚染も防がれることから、脱ワックス室を１室のみとしても十分な脱ワックスが可能であり、結果的に連続式熱処理炉の製造コストを低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態の連続式熱処理炉の全体を示す概略縦断面図である。
【図２】図１における［２］−［２］線方向の断面図であり、脱ワックス前の状態を示す。
【図３】図２に続く縦断面図であり、被処理物の脱ワックス時の状態を示す。
【図４】従来例３の連続式熱処理炉の脱ワックス部の搬送方向に平行な縦断面図である。
【図５】従来例３の連続式熱処理炉の脱ワックス部の搬送方向に直角な縦断面図である。
【図６】図４における［６］−［６］線方向の矢視図である。
【図７】従来例１の燒結装置の平面図である。
【図８】従来例２の連続式真空炉の脱ワックス室の縦断面図である。
【符号の説明】
１０連続式熱処理炉
１１脱ワックス室
２１加熱区画
２６電熱ヒータ
３１マッフル
３８トラップ
３９メカニカルブ−スタポンプ
４３トレイ受け用断熱板
４４トレイ
５１昇降蓋
５８ロッド
５９エヤシリンダ
７３窒素ガス配管
７７窒素ガス配管
８３窒素ガス配管
Ｆ被処理物[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to a continuous heat treatment furnace for sintering fine particles of metal and ceramics, and more particularly to a continuous heat treatment furnace in which a dewaxing chamber is used as one chamber and manufacturing cost is reduced.
[0002]
[Prior art]
  For example, for sintered products such as tantalum electrolytic capacitors and alnico magnets, raw material powder is pressure-molded into a predetermined shape together with wax (also called a binder), and the resulting molded body is heated under vacuum to remove wax. Manufactured through a process of sintering fine particles. Initially, a batch-type vacuum heat treatment furnace in which dewaxing and sintering are performed in the same vacuum furnace was put into practical use, and even today, a batch-type vacuum heat treatment furnace is used on a small scale, but wax vapor is contained in the vacuum heat-treatment furnace. It has the disadvantage that it remains attached and this vaporizes during sintering and degrades the quality of the sintered product.
[0003]
  Of course, the above-mentioned drawbacks have been improved. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-295303 discloses a batch-type vacuum in which a tight box for containing a workpiece and removing wax is provided in a furnace. A heat treatment furnace is disclosed, and Japanese Patent Laid-Open No. 62-233679 discloses a batch type vacuum heat treatment furnace provided with a dedicated exhaust system and provided with a degreasing inner case for sealing an object to be treated. All of these prevent contamination of the furnace due to the wax vapor filling the batch vacuum heat treatment furnace during dewaxing, but there is a limit in performance and it is treated as a batch type vacuum heat treatment furnace. Small ability.
[0004]
  (Conventional example 1)
  Continuous vacuum heat treatment furnaces have been developed to overcome the shortcomings of batch type vacuum heat treatment furnaces, but in many cases, a plurality of dewaxing chambers are provided in order to eliminate the influence of wax. For example, FIG. 7 is a plan view of a sintering apparatus 210 disclosed in “Sintering apparatus” according to Japanese Examined Patent Publication No. 2-33372 and shows a first dewaxing chamber 211.₁ , Second dewaxing chamber 211₂ , First sintering chamber 212₁ , Second sintering chamber 212₂ , First cooling chamber 213₁ , Second cooling chamber 213₂ The rear chamber 214 is composed of seven chambers, and each chamber is isolated by a gate valve that can be freely opened and closed. The first dewaxing chamber 2111 has a temperature of 500 to 600 ° C. and a degree of vacuum of 1 to 10.^-3Wax is removed from the molded body in an atmosphere of about Torr, and the second dewaxing chamber 211 is removed.₂Is dewaxed as an atmosphere at a higher temperature and higher vacuum than the first dewaxing chamber 2111 in order to further proceed with dewaxing. The first sintering chamber 2121 has a temperature of 1200 to 1600 ° C. and a degree of vacuum of 10^-FiveThe molded body after dewaxing is held in an atmosphere of about Torr, and the second sintered chamber 212 is sintered.₂ Is the first sintering chamber 212₁It is kept at a higher temperature and lower pressure. Figure7, 221 to 224 are diffusion pumps, 231 to 237 are roots blower pumps, and 241 to 247 are oil rotary pumps. This sintering apparatus 210 is an example in which two dewaxing chambers are provided, but there may be three dewaxing chambers.
[0005]
  The primary meaning of providing a plurality of dewaxing chambers as described above is to perform dewaxing completely. Secondly, the period during which the first sintering chamber is not contaminated is made as much as possible. There is also the implication of prolonging. Anyway, providing a plurality of dewaxing chambers in this way increases the cost of the apparatus because expensive heat-resistant metals are frequently used for the furnace material.
[0006]
  (Conventional example 2)
  On the other hand, continuous heat treatment furnaces provided with local heating chambers are disclosed in Japanese Patent Publication Nos. 5-17472 and 6-33940. For example, a continuous vacuum furnace 310 of an embodiment disclosed in “a vacuum furnace having a local heating chamber” according to Japanese Patent Publication No. 6-33940 has a dewaxing chamber 304 as shown in a longitudinal sectional view of FIG. Although not shown, the connected sintering chambers are configured in the same manner. In the dewaxing chamber 304 defined in the vacuum vessel 302, a local heating chamber 330 is formed so as to be ventilated by a heat insulating material 355 such as felt-like graphite, the lower surface is opened, and a heating wire is provided inside. 332 is attached. Furthermore, a partition container 333 made of a material that substantially prevents the flow of gas, for example, a metal material, is provided inside the local heating chamber 330. The partition container 333 extends downward from the local heating chamber 330 and has a lower surface open, and is fixed to the receiving piece 335 of the vacuum container 302 by an attachment piece 334.
[0007]
  A raising means is provided below the local heating chamber 330, and a receiving seat 341 is fixed to the tip of the piston rod 338. The piston rod 338 raises and lowers the table 350 that has been conveyed on the conveying roller 320 together with the workpiece 356. A partition lid 351 made of a material that substantially prevents the flow of gas is attached to the table 350, and the area thereof is large enough to close the open portion of the lower surface of the partition container 333.
[0008]
  A support 352 made of a heat-resistant material is erected on the upper surface of the partition lid 351 that is moved up and down together with the table 350, and a receiving bar 353 for supporting the workpiece 356 is provided at the upper end. A blocking plate 354 made of a heat-resistant material having air permeability is attached to an intermediate portion of the support column 352, and a heat insulating material 355 similar to the local heating chamber 330 is provided on the upper surface thereof. The closing plate 354 with the heat insulating material 355 is configured such that the upper peripheral surface of the closing plate 354 can come into contact with the lower surface of the receiving member 336 in the partition container 333 so that the local heating chamber 330 can be thermally sealed.
[0009]
  The workpiece 356 inserted into the compartment container 333 of the conventional dewaxing chamber 304 is heated to a temperature of about 600 ° C. to generate wax vapor. FIG. 8 attached to the compartment container 333 is shown in FIG. It is discharged through a vacuum exhaust duct that has not been removed and removed by a trap in the middle. That is, since the wax gas does not leak from the compartment container 333, the heat insulating material for the local heating chamber 330 is used.355The vacuum vessel 302 is not contaminated with wax vapor, and conversely, the heat insulating material for the local heating chamber 330355It is said that even if gas such as moisture is generated from the vacuum vessel 302, it does not come into contact with the object 356 in the compartment 333, but generation of moisture and the like that hinders contamination by wax and heat treatment. Is leaving a problem.
[0010]
  That is, since the dewaxing chamber 304 and the conveyance path below the evacuation chamber 304 are not particularly evacuated, the wax vapor that leaks when the partition container 333 is opened or the like contaminates the dewaxing chamber 304 and the conveyance path. Further, the base 350, the support column 352, the receiving bar 353, and the closing plate 354 constituting the carrier of the object to be processed 356 are often formed of a carbon-based material as a heat resistant material. The heat insulating material 355 is made of the same graphite felt as the local heating chamber 330. These carriers are carried out to the atmosphere when the sintering in the continuous vacuum furnace 310 is completed. At that time, a large amount of moisture is adsorbed, and a large amount of gas is released in the dewaxing chamber 304 and the sintering chamber when used again. A large capacity vacuum exhaust system is required. In particular, since the heat insulating material 355, the receiving bar 353, and the support column 352 inserted into the partition container 333 are heated under vacuum, the gas is easily released and the quality of the workpiece 356 is lowered.
[0011]
  (Conventional example 3)
  On the other hand, continuous heat treatment furnaces having a dewaxing chamber as one chamber while suppressing the amount of released gas as much as possible are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 9-126659 and 9-126660 filed by the present applicant. It is disclosed. FIG. 4 is a longitudinal sectional view parallel to the conveyance direction of the workpiece F for the dewaxing section 101 constituting the continuous heat treatment furnace manufactured based on the technical idea of each of the above publications, and FIG. FIG. 6 is a vertical cross-sectional view perpendicular to the direction, and FIG. 6 is an arrow view taken along line [6]-[6] in FIG. Depending on the direction of the cross section, FIG. 4 does not show the exhaust line 110, the nitrogen gas pipes 173 and 177, and the electrode 127 shown in FIG. Further, in FIG. 5, the conveying means such as the chain belt 192 is shown in a simplified manner. 4, 5, and 6, the dewaxing unit 101 includes a dewaxing chamber 111 and a transfer chamber 161. During dewaxing, the dewaxing chamber 111 is exhausted as a closed space and the transfer chamber 161 is also exhausted. In this way, contamination by wax is prevented. In addition, after a series of dewaxing, sintering, and cooling operations, a component that adsorbs moisture and the like by being taken out into the atmosphere from a continuous heat treatment furnace and is inserted into the dewaxing chamber 111 again and heated under vacuum. Only the tray 144 on which the workpiece F is placed is used to minimize the release of moisture during dewaxing.
[0012]
  That is, the dewaxing chamber 111 is formed by being surrounded by the bottom plate 114 fixed to the periphery of the opening of the ceiling plate of the transfer chamber 161, the side wall 113, and the ceiling end plate 112, and the insertion opening 115 provided in the bottom plate 114. It communicates with the transfer chamber 161 via The ceiling end panel 112 and the side wall 113 are covered with a heat insulating material 116, and a temperature measurement terminal 113t for measuring the temperature of the side wall 113 is embedded. Further, an exhaust pipe 117 is provided on the side wall 113, and an exhaust line 110 including a valve 110V, a wax collecting trap 118, a mechanical booster pump 119, and an oil rotary pump 120 is connected to the exhaust pipe 117. Yes.
[0013]
  Inside the dewaxing chamber 111, a plurality of heat ray reflecting plates are formed.LesThe heating section 121 is defined so as to be ventilated by the reflector 123, and the side wall is not shown.113It is fixed to the inner surface. An opening 125 is formed in the bottom surface of the heating section 121.LesAn electric heater 126 is installed on the inner peripheral side of the reflector 123 (shown on the left and right in FIG. 4 but actually provided on the entire inner peripheral surface), on the side wall 113 of the dewaxing chamber 111. It is connected to the provided electrode 127. Further, a nitrogen gas pipe 173 provided with a flow meter 171 and a variable flow valve 172 passes through the heat insulating material 116 and the side wall 113 from the outside of the dewaxing chamber 111 and passes through the reflector 123 on the ceiling surface of the heating section 121. The blower nozzle 174 is attached to the front end portion.
[0014]
  Referring to FIG. 4, the transfer chamber 161 is provided with a carry-in door 106 at the left end and a partition door 107 with a sintered portion at the right end so as to be openable and closable. In the transfer chamber 161, referring also to FIG. 6, two chain belts 192 are installed around the drive sprocket 193 and the driven sprocket 194, and are driven by the electric motor 195 to be mounted on the transfer table 142. The workpiece F is conveyed in the direction of the arrow. That is, the tray receiving heat insulating plate 143 made of a carbon-based material is placed on the outer periphery of the circular opening provided in the central portion of the transport table 142 engaged with the chain belt 192, and the center of the tray receiving heat insulating plate 143 is placed. The tray 144 is placed on the counterbore of the outer periphery of the circular opening provided in the section, and the workpiece F is placed on the tray 144 and conveyed. The transport table 142 is stopped just below the dewaxing chamber 111, but stoppers 197a and 197b for fixing the stop position are provided at positions before and after the transport table 142 where the stop is stopped. It is rotated and actuated by sources 198a, 198b. Inside the carry-in door 106 and the partition door 107, rolls 196a and 196b for assisting the carry-in and carry-out of the carriage 142 are provided, which are driven in a chain by the shaft of the drive sprocket 193 and the shaft of the driven sprocket 194, respectively. The Further, guide plates 199 are attached to both sides of the chain belt 192.
[0015]
  Referring to FIG. 5, the transfer chamber 161 is provided with a nitrogen gas pipe 177 having a flow meter 175 and a variable flow rate valve 176, and the flow rate of the nitrogen gas is adjusted and introduced into the transfer chamber 161 from the front end 178. Has come to be.In addition, an exhaust line 160 is provided in an exhaust pipe 167 for exhausting the transfer chamber 161 and is connected to the exhaust line 110 of the dewaxing chamber 111 through a valve 160V..MoreA rod 158 of an air cylinder 159 installed outside the transfer chamber 161 is inserted into the transfer chamber 161, and the object F on the transfer table 142 transferred by the chain belt 192 is removed from the dewaxing chamber. 111 to be inserted. That is, a lifting lid 151 having four support columns 152 is fixed to the tip of the rod 158, and a heating section 121 is defined in the middle of the support column 152.LesSimilar to the reflector 123LesA reflector 153 is attached.
[0016]
  Then, the rod 158 is lifted from the position indicated by the alternate long and short dash line together with the lifting lid 151 and the tips of the four support pillars 152 support and lift the lower surface of the tray 144, and then the lifting lid 151 lifts the tray receiving heat insulating plate 143. lift. The rod 158 is further lifted to insert the workpiece F into the heating section 121 of the dewaxing chamber 111, and the tray receiving heat insulating plate 143 comes into contact with the bottom plate 114 of the dewaxing chamber 111 and moves together with the elevating lid 151. Close 111DenseWhile forming a closed space,LesThe reflector 153LesIntegrated with the reflector 123 is to surround the workpiece F.
[0017]
  At the time of dewaxing the workpiece F, the workpiece F is placed on the tray 144 superimposed on the tray receiving heat insulating plate 143 on the carrier table 142 and is carried into the conveyance chamber 161 from the carry-in door 106. 142 is conveyed by a chain belt 192. Then, at the same time as the carry-in door 106 is closed, the oil rotary pump 120 and the mechanical booster pump 119 are activated and exhaust is started. The transport table 142 is transported to a position immediately below the dewaxing chamber 111 by a mechanism (not shown) and stopped, and is fixed at that position by stoppers 197a and 197b. Next, the lifting lid 151 is lifted together with the rod 158 of the air cylinder 159 from the position indicated by the one-dot chain line, the tip of the support column 152 of the lifting lid 151 supports and lifts the lower surface of the tray 144, and then the lifting lid 151 receives the tray. The heat insulating plate 143 is lifted. Then, the rod 158 is further raised and the workpiece F is inserted into the heating section 121 of the dewaxing chamber 111.
[0018]
  That is, the workpiece F is inserted into the heating section 121 of the dewaxing chamber 111 through the insertion opening 115 of the bottom plate 114 of the dewaxing chamber 111 as indicated by a solid line, and the elevating lid 151 is attached to the tray receiving heat insulating plate 143. The ascent of the rod 158 is stopped by contacting the lower surface of the bottom plate 114 of the dewaxing chamber 111, and the workpiece F is accommodated in the dewaxing chamber 111 and attached to the support column 152.LesThe reflector 153LesThe workpiece F is surrounded integrally with the reflector 123. Further, nitrogen gas from the nitrogen gas pipe 173 flows into the ceiling portion in the heating section 121 from the blowing nozzle 174, and nitrogen gas from the nitrogen gas pipe 177 flows into the transfer chamber 161 from the blowing nozzle 178. And the pressure P of the dewaxing chamber 111₂ Pressure P in the transfer chamber 161_Three It is maintained so that it becomes lower than. When the workpiece F is heated by the radiant heat of the electric heater 126 in the heating section 121 under reduced pressure, the wax contained in the workpiece F is vaporized into wax vapor, and the mechanical booster pump 119 and the oil rotation are rotated. The exhaust line 110 is exhausted by the pump 120 and collected in a wax collecting trap 118 provided in the middle. Further, since the dewaxing chamber 111 and the exhaust pipe 117 thereof are kept at a temperature of about 120 ° C. by the heat insulating material 116, the adhesion of wax vapor is prevented.
[0019]
  By such an operation, wax vapor is prevented from flowing into the transfer chamber 161, and contamination of the transfer chamber 161 is prevented. In addition, after a series of dewaxing, sintering, and cooling operations, the tray 144 is the only component that is reinserted into the dewaxing chamber 111 and heated under vacuum, so the gas in the dewaxing chamber 111 (particularly The amount of water generated is extremely small, and the quality of the sintered product F to be processed is prevented from being deteriorated. When the predetermined dewaxing operation is completed, the rod 158 is lowered, and the tray 144 and the object F to be processed thereon are returned together with the tray receiving heat insulating plate 143 onto the transfer table 142 in the transfer chamber 161, so that the chain The belt 192 is fed into the subsequent sinter.
[0020]
[Problems to be solved by the invention]
  In the continuous heat treatment furnace of Conventional Example 3 described above, during the dewaxing, the insertion opening 115 of the bottom plate 114 of the dewaxing chamber 111 is closed with the elevating lid 151 and the tray receiving heat insulating plate 143 so that the inside of the dewaxing chamber 111 is closed.DensePressure P of the dewaxing chamber 111 as a closed space₂ The pressure P of the transfer chamber 161_ThreeTherefore, the wax vapor does not flow into the transfer chamber 161. However, in the dewaxing chamber 111, the wax vapor is in contact with the components that do not face the electric heater 126 and the surface of the corner of the inner wall. By liquefying and adhering, the dewaxing chamber 111 is contaminated, and when the elevating lid 151 is lowered and the dewaxing chamber 111 and the transfer chamber 161 communicate with each other, the adhering wax flows down or is vaporized for some reason. In some cases, the flow-in transfer chamber 161 may be contaminated.
[0021]
  The present invention has been made in view of the above-described problems, and the dewaxing chamber and the transfer chamber can be effectively dewaxed without being contaminated with wax, and the dewaxing chamber is a single chamber. An object is to provide a continuous heat treatment furnace at an apparatus cost.
[0022]
[Means for Solving the Problems]
  The above problem is solved by the configuration of claim 1, and if the solution is exemplified by the embodiment,FIG.3 is a longitudinal sectional view of the dewaxing portion 1 of the continuous heat treatment furnace 100,Figure 2 shows the state before dewaxing,Figure 3 shows the state during dewaxingFIG. 6 is a diagram corresponding to FIG. 5 of Conventional Example 3. The dewaxing unit 1 includes a dewaxing chamber 11 and a transfer chamber 61, and communicates with the transfer chamber 61 through the insertion opening 15 of the bottom plate 14 of the dewaxing chamber 11.
[0023]
  Inside the dewaxing chamber 11, a heating section 21 is defined so as to be ventilated by being surrounded by a reflector 23, and an electric heater 26 is installed on the inner peripheral side thereof. In addition, a muffle 31 that is formed in a cylindrical shape having an upper end surface by a material that does not allow wax vapor to permeate, for example, a heat-resistant metal plate 33 and that opens downward is provided inside the heating section 21. The lower end portion of the muffle 31 is inserted into the opening of the bottom surface portion of the heating section 21 and extends downward, and the lower end thereof is fixed to the peripheral edge portion of the insertion opening 15 of the bottom plate 14. The muffle 31 is connected to an exhaust pipe 37 on the side wall 13 of the dewaxing chamber 11 via the branch pipe 36. The exhaust pipe 37 includes a valve 30V, a wax collecting trap 38, a mechanical booster pump 39, and an oil rotation. An exhaust line 30 including a pump 40 is connected. An exhaust pipe 17 provided on the side wall 13 for exhausting the dewaxing chamber 11 is provided with an exhaust line 10 of the dewaxing chamber 11 and connected to the exhaust line 30 of the muffle 31 through a valve 10V. .
[0024]
  With reference to FIG.A tray receiving heat insulating plate 43 made of a carbon-based material, a heat resistant metal tray 44, and a stainless steel carrier 42 on which the workpiece F is placed and stacked are conveyed by a simplified chain belt 92. come. A rod 58 of an air cylinder 59 installed on the lower outside is inserted into the transfer chamber 61, and a lifting lid 15 that opens and closes the insertion opening 15 is fixed to the tip of the rod 58. A support column 52 that supports and lifts the tray 44 is erected at the center of the lift lid 51, and in the middle of the support column 52,BottomA reflector 53 is attached. When the rod 58 is lifted together with the lifting lid 51, the tip of the support column 52 supports and lifts the lower surface of the tray 44, and then the lifting lid 51 lifts the tray receiving heat insulating plate 43. The rod 58 is further raised to insert the workpiece F into the muffle 31 provided in the heating section 21 of the dewaxing chamber 11, and the tray receiving heat insulating plate 43 comes into contact with the bottom plate 14 of the dewaxing chamber 11 and moves up and down. Dewaxing chamber 11 together with lid 51Insertion opening 15CloseDenseA closed space is formed. At this time, the tray receiving heat insulating plate 43 functions as a heat insulating member and a packing member.
[0025]
  Furthermore, inside the muffle 31Flow meter 81The nitrogen gas pipe 83 provided with the flow rate variable valve 82 is used to enter the heating section 21.Flow meter 71The nitrogen pipe 73 having the flow rate variable valve 72 is used to enter the transfer chamber 61.Flow meter 75By the nitrogen gas pipe 77 provided with the flow rate variable valve 76,As inert gasNitrogen gasRespectivelyThe flow rate is adjusted and introduced.
[0026]
  At the time of dewaxing,Refer to FIG. 1 and FIG.The transfer table 42 for loading the workpiece F is loaded into the transfer chamber 61, and the loading door6Is closed, the oil rotary pump 40 and the mechanical booster pump 39 are driven, and the inside of the muffle 31, the dewaxing chamber 11, and the transfer chamber 61 are exhausted,As shown in FIG. 3, an elevating lid 51, a support column 52, and a bottom reflector 53 are provided.The rod 58 is raised and the workpiece F is inserted into the muffle 31 together with the tray 44. At this time,Ascend with the lid 51The tray receiving heat insulating plate 43 abuts against the bottom plate 14 of the dewaxing chamber 11, and together with the elevating lid 51, the dewaxing chamber 11.Opening 15 for the bottom plate 14In the muffle 31 of the heating section 21 composed of the reflector 23, the workpiece F is reflected in the reflector 23,23'WhenBottomIt is in a state surrounded by the reflector 53. Then, the nitrogen gas is flowed into the muffle 31, the dewaxing chamber 11, and the transfer chamber 61 from the nitrogen gas pipes 83, 73, 77, respectively, and the pressure P in the muffle 31 is introduced.₁ The pressure P in the dewaxing chamber 11₂ , Pressure P in the transfer chamber 61_ThreeIs
                      P₂  > P₁ <P_Three
The workpiece F in the muffle 31 is heated by width radiation from the electric heater 26 and dewaxed.At this timeThe outer wall of the dewaxing chamber 11 and wax vaporofThe exhaust lines 10 and 30 are covered with a heat insulating material to prevent liquefaction of wax vapor.
[0027]
  Such dewaxingprocessingAs a result, the wax vapor generated from the workpiece F is exhausted from the exhaust line 30 by the mechanical booster pump 39 and the oil rotary pump 40 without leaking from the muffle 31 to the outside, and the wax trap provided in the middle is exhausted. Collection trap38Collected in Therefore, the inside of the dewaxing chamber 11 and the transfer chamber 61 are not contaminated by the wax vapor.
[0028]
  Further, among the components used, components to be processed F placed on the muffle 31 after being taken out from the continuous heat treatment furnace 100 to the atmosphere and adsorbing moisture and the like are repeatedly placed under vacuum. This is only the metal tray 44, and gas such as moisture generated at the time of dewaxing is extremely suppressed.
[0029]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, a continuous heat treatment furnace according to an embodiment of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.
[0030]
  FIG. 1 is a schematic sectional view showing an entire continuous heat treatment furnace 100 according to an embodiment. The dewaxing part 1, the sintering part 2, and the cooling part 3 are connected in order from the upstream side, and a carry-in door 6 is provided at the left end and a carry-out door 9 is provided at the right end. The dewaxing part 1 and the sintered part 2 are separated from each other. By the door 7, the sintered part 2 and the cooling part 3 are separated by the partition door 8.PartitionedYes.
[0031]
  As shown in FIG.The dewaxing part 1 is abovePartDewaxing chamber 11 and belowPartAnd a dewaxing chamber 11 in the dewaxing chamber 11.By a reflector 23 comprising a plurality of heat ray reflectorsHeating compartment 21It is defined so as to allow ventilation, and an electric heater 26 is provided on the inner wall side of the heating section 21..The heating section 21There is a muffle 31 inside.The muffle 31 is for exhaustMechanical booster pump 39 and oil rotary pump 40 are connected,InsertedHeat processing object F under vacuumThen evacuateIt is supposed to be.
[0032]
  A chain belt 92 is provided in the transfer chamber 61 as transfer means, and the object to be processed F is stopped just below the dewaxing chamber 11 together with the tray 44 on which it is placed. An air cylinder 59 as an elevating means is installed outside the transfer chamber 61, and the rod 58 is inserted into the transfer chamber 61. An elevating lid 51 for opening and closing the dewaxing chamber 11 is fixed to the tip of the rod 58, and the tray 44 is lifted by a support column 52 standing on the surface thereof.
[0033]
  The sintering part 2 is a part where the workpiece F after the dewaxing operation is completed is heated and sintered at a higher temperature and higher vacuum than the dewaxing part 1, and the details are different but the same as the dewaxing part 1. It has a structure. In the cooling unit 3, the pressurized gas inside is an electric motor.3It is circulated by the fan 4 driven by the above, cooled by the heat exchanger 5, and sprayed onto the high-temperature workpiece F that has been subjected to the sintering operation to cool it.
[0034]
  The above-described continuous processing furnace 100 is configured so as to prevent contamination by wax vapor as much as possible, and the dewaxing section 1 occupying the main part of the present invention will be described below.
[0035]
  2 is a cross-sectional view taken along line [2]-[2] in FIG.Is loaded, that is, before dewaxingIndicates. 2 and FIG. 5 of the prior art 3 are similar cross-sectional views in the breaking direction. FIG. 3 is a cross-sectional view following FIG. 2, in which the workpiece F is inserted into the muffle 31 at the time of dewaxing.StateIndicates. As is clear from comparison with FIG. 5 of the conventional example 3, the dewaxing section 1 of the continuous heat treatment furnace 100 according to the present embodiment is generally configured in the same manner as the dewaxing section 101 of the conventional example 3. However, the main difference is that a muffle 31 that does not allow wax vapor to pass through is provided in the heating section 21 of the dewaxing chamber 11. Therefore, as compared with the dewaxing chamber 111 of the conventional example 3, the dewaxing chamber 11 is used in the continuous heat treatment furnace 100 of the embodiment, and the elements of the conventional example 3 corresponding to the reference numerals of the respective elements in the embodiment. A number obtained by subtracting 100 from the reference numeral is attached, and explanations of elements common to both are omitted.In the followingOnly the different elements will be described.
[0036]
  As described above, the heating section 21 in the dewaxing chamber 11 is provided with the cylindrical muffle 31 made of the metal plate 33 that does not transmit the wax vapor and having the upper end surface, and the lower end of the muffle 31 is open. Has been. The lower end of the bottom of the heating section 21 is inserted and extends downward, and the lower end is fixed on the peripheral edge of the insertion opening 15 of the bottom plate 14 of the dewaxing chamber 11. A reflector 23 ′ is annularly attached to the lower end portion of the inner peripheral surface of the muffle 31 so as to match the level of the reflector 23 of the heating section 21.
[0037]
  A branch pipe 36 is attached to the side wall of the muffle 31 and is connected to an exhaust pipe 37 provided on the side wall 13 of the dewaxing chamber 11. Connected to the exhaust pipe 37 is an exhaust line 30 including a valve 30V, a wax collecting trap 38, a mechanical booster pump 39, and an oil rotary pump 40. The exhaust pipe 17 of the dewaxing chamber 11 is provided with the exhaust line 10 of the dewaxing chamber 11 and is connected to the exhaust line 30 of the muffle 31 via a valve 10V. An exhaust line 60 for the chamber 61 is provided and connected to the exhaust line 10 of the dewaxing chamber 11 via a valve 60V. Further, a nitrogen gas pipe 83 provided with a flow meter 81 and a control valve 82 is introduced from the outside of the dewaxing chamber 11 into the muffle 31 through the heat insulating material 16, the reflector 23, and the metal plate 33. . In addition, the nitrogen gas is introduced into the dewaxing chamber 11 through the nitrogen gas pipe 73 and the nitrogen gas is introduced into the transfer chamber 61 through the nitrogen gas pipe 77 as in the case of the conventional example 3.
[0038]
  Furthermore,As shown in FIG.If necessary, a through hole 57 is formed in the axial center portion of the rod 58 of the air cylinder 59 and the central portion of the elevating lid 51. An example of such a case is when the wax is liquefied without being completely vaporized depending on the type of wax used, and a wax recovery tank 56 is connected to the lower end side of the through hole 57 via a valve 55. It is used for the elimination of such wax and for cleaning during maintenance. As described above, the constituent elements other than those related to the muffle 31 are configured in exactly the same way as the dewaxing portion 101 of the conventional example 3.
[0039]
  Next, the operation of the dewaxing unit 1 will be described. Referring to FIGS. 1 and 2, the transport table 42 on which the workpiece F, the tray 44, and the tray receiving heat insulating plate 43 are stacked is loaded into the transport chamber 61 by the chain belt 92 and is transported into the transport chamber 61. When the door 6 is closed, the oil rotary pump 40 and the mechanical booster pump 39 are activated, and exhaust in the muffle 31, the dewaxing chamber 11, and the transfer chamber 61 is started. The transport table 42 is transported to just below the dewaxing chamber 11 with the workpiece F placed thereon, and is stopped and fixed. Subsequently, the rod 58 of the air cylinder 59 is lifted together with the lifting / lowering lid 51 from the lower side of the conveying table 42, and the tip of the support column 52 standing on the lifting / lowering lid 51 supports and lifts the lower surface of the tray 44. 51 lifts the tray receiving heat insulating plate 43. Then, the rod 58 is further raised, and the workpiece F is inserted into the muffle 31 provided in the heating section 21 of the dewaxing chamber 11 together with the tray 44.
[0040]
  Referring to FIG. 3, at the same time as the workpiece F is inserted into the muffle 31, the tray receiving heat insulating plate 43 accompanied with the elevating lid 51 comes into contact with the bottom plate 14 of the dewaxing chamber 11 and the rod 58. The ascent is stopped and the muffle 31 is sealed together with the dewaxing chamber 11. That is, the tray receiving heat insulating plate 43 serves as a heat insulating member andTsuWorking as a kin memberAlong with the lifting lid 51The dewaxing chamber 11 is sealed. At the same time, the nitrogen gas is flowed into the muffle 31 from the nitrogen gas pipe 83, the nitrogen gas pipe 73 is flowed into the heating section 21 of the dewaxing chamber 11, and the nitrogen gas pipe 77 is flowed into the transfer chamber 61. Inside pressure P₁ The pressure P in the dewaxing chamber 11₂ , Pressure P in the transfer chamber 61_Three Is
                      P₂  > P₁ <P_Three
The relationship shown in is maintained.
[0041]
  The electric heater 26 is energized, the metal plate 33 of the muffle 31 is heated by radiant heat, and the workpiece F in the muffle 31 is heated under vacuum, whereby the wax contained in the workpiece F is vaporized. Although it becomes wax vapor, the exhaust line 30 is driven by the mechanical booster pump 39 and the oil rotary pump 40.soIt is exhausted and collected by a wax collecting trap 38 provided in the middle.
[0042]
  At this time, the nitrogen gas flowing into the muffle 31 helps the dewaxing of the workpiece F to be vaporized, and further creates a forced flow to the exhaust line 30, so that the wax vapor is generated in the muffle 31. Dewaxing efficiency is improved without adhering to the inner wall. As described above, the pressure P in the muffle 31₁ Pressure P in the dewaxing chamber 11₂ , Pressure P into the transfer chamber_ThreeTherefore, even if gas flows into the muffle 31 from the dewaxing chamber 11 and the transfer chamber 61, the wax vapor does not leak out from the muffle 31. Contamination by wax in the dewaxing chamber 11 and the transfer chamber 61 as seen is not caused.
[0043]
  In addition, when the dewaxing operation is completed and the descent of the elevating lid 51 together with the rod 58 is started and the muffle 31 is communicated with the transfer chamber 61, the pressure P in the transfer chamber 61 is increased._Three Is the pressure P in the muffle 31₁Therefore, nitrogen gas flows from the transfer chamber 61 into the muffle 31 and is exhausted through the exhaust line 30 of the muffle 31.
[0044]
  Further, after a series of dewaxing, sintering, and cooling operations, after being taken out from the continuous processing furnace 100 to the atmosphere and adsorbing moisture and the like, it is repeatedly heated in the muffle 31 under vacuum. Since the component is designed to suppress moisture adsorbed only by the metal tray 44, generation of gas such as moisture during dewaxing is extremely suppressed, and deterioration of the quality of the sintered product is prevented. .
[0045]
  The continuous heat treatment furnace 100 according to the embodiment of the present invention, particularly the dewaxing section 1 thereof, is configured and operates as described above. Of course, the present invention is not limited to this, and the technical idea of the present invention is not limited thereto. Various modifications are possible based on this.
[0046]
  For example, in the present embodiment, the nitrogen gas blowing nozzle 84 into the muffle 31 is provided on the ceiling surface, and the exhaust branch pipe 36 in the muffle 31 is attached to the side surface. It may be introduced into the lower end portion, and an exhaust branch pipe 36 may be attached to the ceiling surface of the muffle 31 so as to allow nitrogen gas to flow from below to above so as to increase the efficiency of exhausting hot wax vapor. .
[0047]
  Moreover, in this Embodiment, although the muffle 31 was formed with the heat resistant metal plate, it should just be a heat resistant material which a wax vapor | steam does not permeate | transmit, and it is not restricted to a metal. For example, the muffle 31 may be made of carbon or ceramics.
[0048]
  In the present embodiment, exhaust of the muffle 31, the dewaxing chamber 11, and the transfer chamber 61 is performed by the one series of mechanical booster pumps 39 and the oil rotary pump 40, but two or more series may be used.
[0049]
  In the present embodiment, nitrogen gas is used as the inert gas. However, it may be a rare gas such as argon gas, and as long as the gas does not adversely affect the dewaxing and sintering operations. The kind of is not ask | required.
[0050]
  In this embodiment, the elevating lid 51 and the dewaxing chamber 11 are also provided.ofAlthough the tray receiving heat insulating plate 43 made of a carbon-based material is employed for sealing with the bottom plate 14, a metal contact using a metal edge may be used.
[0051]
  In this embodiment, if necessary, the shaft 58 of the rod 58 of the air cylinder 59 and the through-hole 57 in the center of the elevating lid 51 can be used as an exhaust line from the muffle 31.
[0052]
  In the present embodiment, the tray 44 on which the workpiece F is placed is made of a heat-resistant metal. However, if the tray 44 is removed from the continuous heat treatment furnace 10 and can be managed not to adsorb moisture or the like. This may be made of a carbon-based material.
[0053]
【The invention's effect】
  The present invention is implemented in the form described above, and has the following effects.
[0054]
  The continuous heat treatment furnace of the present invention has a dewaxing chamber.Breathability provided insideMuffle made of material that does not allow wax vapor to permeate into the heating compartmentProvided,When dewaxing workpieces,The inside of the muffle, the dewaxing chamber including the heating section, and the transfer chamber are evacuated, and the object to be processed is inserted into the muffle and sealed to allow the inert gas to flow into the muffle.In the muffleHighest vacuumdo itHeatedSince we dewaxed, the dewaxing chamberEffective dewaxing of workpieces inOf the transfer chamber below itBy wax vaporContamination can be effectively prevented, the maintenance interval of the continuous heat treatment furnace is extended,Can improve the operating rate.
[0055]
  Further, since the contamination of the dewaxing section including the dewaxing chamber and the transfer chamber is effectively prevented and the subsequent sintering section is also prevented from being contaminated, sufficient dewaxing is possible even if only one dewaxing chamber is used. As a result, the manufacturing cost of the continuous heat treatment furnace can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view showing an entire continuous heat treatment furnace according to an embodiment.
2 is a cross-sectional view taken along line [2]-[2] in FIG.State before dewaxingIndicates.
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view subsequent to FIG. 2 and shows a state when a workpiece is dewaxed.
4 is a longitudinal sectional view parallel to the conveying direction of a dewaxing section of a continuous heat treatment furnace of Conventional Example 3. FIG.
5 is a longitudinal sectional view perpendicular to the conveying direction of a dewaxing section of a continuous heat treatment furnace of Conventional Example 3. FIG.
6 is an arrow view taken along line [6]-[6] in FIG. 4;
FIG. 7 is a plan view of a sintering apparatus of Conventional Example 1.
8 is a longitudinal sectional view of a dewaxing chamber of a continuous vacuum furnace of Conventional Example 2. FIG.
[Explanation of symbols]
  10 Continuous heat treatment furnace
  11 Dewaxing chamber
  21 Heating section
  26 Electric heater
  31 Muffle
  38 traps
  39 Mechanical booster pump
  43 Insulation plate for tray
  44 trays
  51 Lifting lid
  58 rod
  59 Air cylinder
  73 Nitrogen gas piping
  77 Nitrogen gas piping
  83 Nitrogen gas piping
  F Workpiece

Claims

In the continuous processing furnace provided with the dewaxing part of the workpiece, the sintering part, and the cooling part from the upstream side,
The dewaxing section includes a dewaxing chamber and a transfer chamber, and the dewaxing chamber communicates with the transfer chamber via an opening for insertion of a bottom plate,
Wherein the interior of the dewaxing chamber, is breathable so surrounded by Les Furekuta heating compartment having a heating means having an opening is provided in the bottom portion, a further upper surface of a material which does not transmit wax vapor therein muffle lower end is formed into a cylindrical shape is opened is provided with a lower end portion of the muffle extends downwardly inserted into the opening of the bottom part of the heating compartment, the lower end is the insertion opening is fixed to the peripheral portion on the inside muffle is connected to a first vacuum exhaust line, and a first inlet pipe of the inert gas is attached, the dewaxing chamber is connected to a second vacuum exhaust line ,
The transfer chamber is provided with a workpiece inlet at the upstream end and a carrier outlet at the downstream end, each of which is sealed by a partition door so that it can be opened and closed. Lifting and lowering means for lifting and lowering the object to be processed on the tray is disposed together with the tray, and the transfer chamber is connected to a third vacuum exhaust line,
The lifting means lifting the lid for opening and closing the insertion opening at the tip of the rod is fixed, in the middle of the erected support pillar in the center of該昇Fufuta attached bottom surface les Furekuta, the rod while inserting the object to be treated into the muffle inside but in favor of the tray the support post to be raised, closing the opening of the bottom portion of the bottom surface les Furekuta said heating compartment, and the lifting lid The lower end of the muffle and the insertion opening of the dewaxing chamber are sealed together with the member of the conveying means that is lifted when ascending ,
Wherein during dewaxing first vacuum exhaust line, said second vacuum exhaust line and the third vacuum exhaust line is driven, the inserted object to be processed is within the muffle with the tray into the muffle by the elevating means not active gas is flowing, the muffle inside is the highest degree of vacuum, said by Rukoto is heated by the heating means, the wax vapor generated from the object to be processed is the first evacuation without leaking from an inside of the muffle is discharged by the line, a continuous heat treatment furnace, characterized in that contamination is prevented by the de-waxing chamber and wax vapor of the transfer chamber.

In addition to the first introduction pipe of the muffle, said second introduction pipe of the inert gas into the dewaxing chamber is mounted, third and inlet tube is attached a similarly inert gas into the transfer chamber,
During dewaxing, in the muffle, the dewaxing chamber, and wherein is inert gas flow into the transfer chamber, the pressure P ₁ in said muffle, the pressure P ₂ of the dewaxing chamber, the pressure P ₃ of the transfer chamber Is
P ₂ > P ₁ <P ₃
By maintaining the relationship shown in
The continuous heat treatment furnace according to claim 1, wherein contamination by wax vapor in the dewaxing chamber and the transfer chamber is further prevented.

A transport base having a relatively large opening formed so that the transporting means can be inserted through the elevating lid, and is placed on the relatively large opening of the transport base so as to be able to insert the support column. A tray receiving heat insulating plate having a small opening, and a loading and conveying system including the tray placed over the relatively small opening of the tray receiving heat insulating plate, and transporting this from the carry-in port to the carry-out port Consisting of a drive train,
The lifting lid is raised and the support column inserts the tray together with the processing object into the muffle with respect to the above-described transporting system where the processing object is stopped at a position immediately below the dewaxing chamber. when, the lifting lid, together with the tray holder for insulation panels to lift during rising, continuous heat treatment furnace according to claim 2, sealing the insertion opening of the muffle bottom and the dewaxing chamber.

The outer periphery of the first vacuum exhaust line and the second vacuum exhaust line and the outer wall of the dewaxing chamber are covered with a heat insulating material to prevent liquefaction of wax vapor during dewaxing. The continuous heat treatment furnace according to claim 3.

A hole penetrating vertically through the central part of the rod and the central part of the lifting lid at the tip of the rod is drilled, and the lower end side of the rod of the hole is connected to a wax recovery tank through a valve. The continuous heat treatment furnace according to any one of claims 1 to 4, wherein the continuous heat treatment furnace is a discharge path for wax that liquefies during dewaxing .

A series of dewaxing, sintering, and cooling operations are completed together with the object to be processed, taken out from the continuous heat treatment furnace to the atmosphere, and then again loaded into the continuous heat treatment furnace with an untreated object. The tray is the only component that is inserted into the muffle of the dewaxing chamber and heated under vacuum so that the amount of gas released during dewaxing due to adsorbed moisture in the atmosphere is minimal. The continuous heat treatment furnace according to any one of claims 1 to 5, wherein: