NL8303677A - METHOD FOR MANUFACTURING A TRANSDUCENT HEAD EQUIPPED WITH A THIN FILM OF MAGNETIC MATERIAL, ALSO USING ANY TRANSDUCENT HEAD MANUFACTURED - Google Patents

METHOD FOR MANUFACTURING A TRANSDUCENT HEAD EQUIPPED WITH A THIN FILM OF MAGNETIC MATERIAL, ALSO USING ANY TRANSDUCENT HEAD MANUFACTURED Download PDF

Info

Publication number
NL8303677A
NL8303677A NL8303677A NL8303677A NL8303677A NL 8303677 A NL8303677 A NL 8303677A NL 8303677 A NL8303677 A NL 8303677A NL 8303677 A NL8303677 A NL 8303677A NL 8303677 A NL8303677 A NL 8303677A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
transducent
protective layer
transducer head
thin film
layer
Prior art date
Application number
NL8303677A
Other languages
Dutch (nl)
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Publication of NL8303677A publication Critical patent/NL8303677A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/33Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
    • G11B5/39Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
    • G11B5/3903Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
    • G11B5/3106Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Description

' i i C/Ca/ar/1589C / Ca / ar / 1589

Werkwijze voor het vervaardigen van een met een dunne film van magnetisch materiaal uitgeruste transducentkop, benevens onder toepassing van een dergelijke werkwijze vervaardigde transducentkop.A method of manufacturing a transducer head equipped with a thin film of magnetic material, as well as a transducer head manufactured using such a method.

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het vervaardigen van een met een dunne film van magnetisch materiaal uitgeruste transducentkop, en voorts op een onder toepassing van een dergelijke werkwijze ver-5 vaardigde transducentkop.The invention relates to a method for manufacturing a transducer head equipped with a thin film of magnetic material, and furthermore to a transducer head manufactured using such a method.

Bij een dergelijke transducentkop, waarvan de werking bijvoorbeeld op een magnetoresistief effect gebaseerd is, vindt toepassing plaats van een beschermingsplaat, welke onder tussenvoeging van een hechtlaag op het bovengedeelte, 10. respectievelijk een daar aanwezige beschermingslaag, van de transducentkop wordt gehecht. Daarbij kan zich het probleem voordoen, dat de genoemde beschermingslaag, welke zich onder de hechtlaag aan het bovengedeelte van.de transducentkop uit- • i strekt, als gevolg van daar onder aangebrachte elementen van 15 de transducentkop een plaatselijke verhoging vertoont, welke door de genoemde hechtlaag dient te worden opgenomen. Dit heeft tot gevolg, dat de genoemde hechtlaag een betrekkelijk grote dikte heeft, waaruit het gevaar resulteert, dat de hechtlaag in een later stadium los raakt? bovendien veroor-20 zaakt de toepassing van een betrekkelijk dikke hechtlaag een zogenaamd "afstandsverlies" bij de werking van de transducentkop. In dit verband wordt opgemerkt, dat een dergelijke transducentkop met magnetoresistief effect in vergelijking met een transducentkop met inductief effect het voordeel heeft, 25 dat de eerstgenoemde instaat, is tot uitlezing van een signaal uit een nauw registratiespoor, en zulks bij korte golflengte of bij uiterst geringe transportsnelheid van het registratiemedium. Daarbij kan de transducentkop van het op de achterzijde van een magneetband aangrijpende type zijn; daarbij ver-30 oorzaakt de genoemde, plaatselijke verhoging van de isolerende laag echter het zogenaamde afstandsverlies.In such a transducer head, the operation of which is based, for example, on a magnetoresistive effect, use is made of a protective plate, which is bonded to the top part, respectively a protective layer, of the transducer head, which is provided thereon, by means of an adhesive layer. In this case, the problem may arise that the said protective layer, which extends below the adhesive layer on the top part of the transducer head, as a result of the elements of the transducer head arranged below it, has a local elevation, which is mentioned by the said adhesive layer should be included. As a result, the said adhesive layer has a relatively great thickness, which results in the danger of the adhesive layer becoming detached at a later stage. in addition, the use of a relatively thick adhesive layer causes a so-called "spacing loss" in the operation of the transducer head. In this connection, it should be noted that such a magnetoresistive effect transducer head compared to an inductive effect transducer head has the advantage that the former is capable of reading a signal from a narrow recording track, and this at short wavelength or at extremely slow transport speed of the recording medium. The transducer head can be of the type engaging on the back of a magnetic tape; the local elevation of the insulating layer mentioned above, however, causes the so-called distance loss.

\De uitvinding beoogt in het voorgaande verbetering te brengen en stelt, uitgaande van een werkwijze 8303677 -2-The object of the invention is to improve the foregoing and, starting from a method 8303677 -2-

t It I

. » voor het vervaardigen van een met een dunne film van magnetisch materiaal uitgeruste transducentkop, waarbij een trans-ducentgedeelte met een in de vorm van een dunne film op een substraat aangebracht, magnetisch circuit wordt gevormd, 5 over dat transducentgedeelte een beschermingslaag wordt aangebracht en op de beschermingslaag een beschermingsplaat wordt gehecht, voor, dat de beschermingslaag voorafgaande aan het ophechten van de beschermingsplaat wordt gevlakt.. For the manufacture of a transducer head equipped with a thin film of magnetic material, wherein a transducer section with a magnetic circuit formed in the form of a thin film is formed on a substrate, a protective layer is applied over said transducer section and on the protective layer is adhered to a protective plate before the protective layer is flattened prior to attaching the protective plate.

De uitvinding zal worden verduidelijkt in de 10 nu volgende beschrijving aan de hand van de bijbehorende tekening van enige uitvoeringsvormen, waartoe de uitvinding zich echter niet beperkt. In de tekening tonen;The invention will be elucidated in the following description with reference to the accompanying drawing of some embodiments, to which, however, the invention is not limited. Show in the drawing;

Fig. 1,in perspectief, Fig. 2 in doorsnede, en Fig. 3 in bovenaanzicht van een transducentkop van bekend 15 type en Fig. 4,5 en 6 enige doorsneden ter verduidelijking van de vervaardigingswijze volgens de uitvinding.Fig. 1, in perspective, FIG. 2 in section, and FIG. 3 is a top plan view of a transducer head of known type, and FIG. 4,5 and 6 some cross-sections to clarify the manufacturing method according to the invention.

Fig. 1 toont schematisch een met magneto-resistief effect werkende transducentkop van het op de achterzijde van een magneetband aangrijpende type, welke is gevormd 20 op een substraat 1 van ferriet, zoals Ni-Zn-ferriet of dergelijke; op het substraat 1 zijn in volgorde gevormd: een instelspanningsgeleider 2, een filmlaag 3 met magnetoresis-tief effect en een magnetisch kernorgaan 4, zodanig, dat een transducentkopgedeelte met een als dunne film uitgevoerd 25 magnetisch circuit is verkregen. In Fig. 1 is een isolerende laag, waarop nog nader zal worden teruggekomen, niet getekend.Fig. 1 schematically shows a magneto-resistive effect transducer head of the back-engaging magnetic tape type formed on a ferrite substrate 1, such as Ni-Zn ferrite or the like; on the substrate 1 are formed in order: a bias voltage conductor 2, a film layer 3 having a magnetoresistive effect and a magnetic core member 4 such that a transducer head portion having a thin-circuit magnetic circuit is obtained. In FIG. 1 is an insulating layer, which will be discussed later, not shown.

Omtrent de film 3 met magnetoresistief effect wordt opgemerkt, dat deze kan zijn vervaardigd van een 30 legering van hoofdzakelijk Ni-Fe, een legering van hoofdzakelijk Ni-Co, of dergelijke. De film is aangebracht op een plaats, welke zich bij benadering 10micron achter het band-aanrakingsoppervlak 1a bevindt, en heeft een U-vorm met een breedte van bij benadering 5-10micron.As to the magnetoresistive effect film 3, it may be noted that it may be made of an alloy of predominantly Ni-Fe, an alloy of predominantly Ni-Co, or the like. The film is placed at a location approximately 10 microns behind the tape contact surface 1a and has a U-shape with a width of approximately 5-10 microns.

35 Het magnetische kernorgaan 4 bestaat uit een amorphe film of dergelijkevan permalloy, molybdeen-permalloy, 8303677 * » -3- sendust, Co-Zn, Fe-B of dergelijke en strekt zich vanaf de zijde van het bandaanrakingsoppervlak 1a naar de achterzijde uit, daarbij de film 3 met magnetoresistief effect overbruggend. Het magnetische kernorgaan 4 is daar waar het de 5 film 3 overbrugt weggesneden, zodat de magnetische flux door het uit het magnetische kernorgaan 4 en het substraat 1 van ferriet bestaande, magnetische circuit ook door de film 3 gaat. Aan de zijde van het bandaanrakingsoppervlak 1a strekt zich tussen het substraat 1 van ferriet en het magnetische 10 kernorgaan 4 een magneetspleet g uit. De mogelijkheid bestaat, dat geen afzonderlijke instelspanningsgeleider 2 wordt toegepast, doch met zelf-instelling wordt gewerkt.The magnetic core member 4 consists of an amorphous film or the like of permalloy, molybdenum-permalloy, 8303677 * sendust, Co-Zn, Fe-B or the like and extends from the side of the tape contact surface 1a towards the rear, thereby bridging the film 3 with magnetoresistive effect. The magnetic core member 4 is cut away where it bridges the film 3, so that the magnetic flux through the magnetic circuit consisting of the magnetic core member 4 and the ferrite substrate 1 also passes through the film 3. On the side of the tape contact surface 1a, a magnetic gap g extends between the ferrite substrate 1 and the magnetic core member 4. It is possible that no separate bias voltage conductor 2 is used, but that self-adjustment is used.

Bij de vervaardiging van een met magnetoresistief effect werkende transducentkop van het zojuist be-15 schreven, op de achterzijde van een magneetband aangrijpende type wordt gebruik gemaakt van de techniek van het vormen van dunne lagen. Zoals uit de Fig. 2 en 3 naar voren komt, wordt uitgegaan van een substraat 1 van ferriet, waarop vervolgens de instelspanningsgeleider.2 wordt gevormd. Wanneer 20 een substraat 1 van een ferriet met goede geleidbaarheid, zoals Mn-Zn ferriet of dergelijke, wordt toegepast, dient op het siibstraat eerst een isolerende laag te worden aangebracht. Voorts wordt over de reeds genoemde instelspanningsgeleider 2 een isolerende laag 5 aangebracht; op deze isolerende laag 25 5 wordt de film 3 met magnetoresistief effect gevormd. Over de film 3 wordt weer een isolerende laag 6 aangebracht. Ter vermindering van de magnetische weerstand van het magnetische circuit wordt in de isolerende laag 6, dat wil zeggen daar doorheen, een aanrakingsvenster 6a gevormd. Vervolgens wordt 30 het magnetische kernorgaan 4 op de isolerende laag 6 en in4 het venster 6a aangebracht, waarna over het magnetische kernorgaan 4 weer een als beschermingslaag dienende, isolerende laag wordt gevormd. Op deze isolerende beschermingslaag 7 wordt een beschermingsplaat van glas of keramisch materiaal 35 gehecht, waarbij als hechtmiddel een epoxyhars of glas dient, dat als hechtlaag 9 tussen de isolerende beschermingslaag 7 8303677 -4- en de beschermingsplaat 8 wordt gevoegd.In the manufacture of a magnetoresistive effect transducer head of the type just described engaging the back of a magnetic tape, use is made of the thin film forming technique. As shown in Figs. 2 and 3, a substrate 1 of ferrite is assumed, on which the bias voltage conductor 2 is subsequently formed. When a substrate 1 of a ferrite with good conductivity, such as Mn-Zn ferrite or the like, is used, an insulating layer must first be applied to the coating. Furthermore, an insulating layer 5 is applied over the aforementioned bias voltage conductor 2; the film 3 with magnetoresistive effect is formed on this insulating layer. An insulating layer 6 is again applied over the film 3. In order to reduce the magnetic resistance of the magnetic circuit, a touch window 6a is formed in the insulating layer 6, i.e. through it. The magnetic core member 4 is then applied to the insulating layer 6 and in the window 6a, after which an insulating layer serving as a protective layer is again formed over the magnetic core member 4. A protective plate of glass or ceramic material 35 is adhered to this insulating protective layer 7, an epoxy resin or glass serving as the adhesive, which is inserted as an adhesive layer 9 between the insulating protective layer 7 8303677-4- and the protective plate 8.

Bij een dergelijke uitvoering van het magnetische circuit treedt op het bovenoppervlak van de isolerende beschermingslaag 7 een plaatselijke verhoging in de orde 5 van enige micron op. Dit heeft tot gevolg, dat de hechtlaag 9 aan de randen van deze plaatselijke verhoging en met inbegrip van het bandaanrakingsoppervlak 1a een grotere dikte of diktetoename vertoont. Daaruit resulteert een "afstands-verlies" (spacing loss), waardoor de weergeefresolutie van 10 een dergelijketransducentkop wordt verminderd en eventueel een stabiel transport van het magnetische registratiemedium, c.g. een magneetband, nadelig wordt beïnvloed. Bovendien bestaat het gevaar, dat aan de randen van de plaatselijke verhoging van de isolerende beschermingslaag 7 gaten in de hecht-15 laag 9 worden gevormd, waardoor de hechtlaag 9 los raakt. Dit heeft tot gevolg, dat de transducentkop door een magneetband aan plaatselijke slijtage wordt onderworpen, hetgeen ten koste van de betrouwbaarheid van de transducentkop gaat. Wanneer voor de hechtlaag 9 een hechtmiddel van kunsthars wordt ge-20 bruikt, bestaat bovendien de mogelijkheid, dat de kunsthars wegvloeit, waardoor allerlei ongewenste verschijnselen kunnen worden veroorzaakt.In such an embodiment of the magnetic circuit, a local increase of the order of a few microns occurs on the top surface of the insulating protective layer 7. As a result, the adhesive layer 9 at the edges of this local elevation and including the tape contact surface 1a has a greater thickness or thickness increase. This results in a "spacing loss", whereby the display resolution of such a transducer head is reduced and, optionally, a stable transport of the magnetic recording medium, c. a magnetic tape is adversely affected. In addition, there is a risk that holes in the adhesive layer 9 are formed at the edges of the local elevation of the insulating protective layer 7, as a result of which the adhesive layer 9 becomes detached. This results in the transducer head being subjected to local wear by a magnetic tape, which is detrimental to the reliability of the transducer head. Moreover, when an adhesive of synthetic resin is used for the adhesive layer 9, there is the possibility that the synthetic resin flows away, whereby all kinds of undesirable phenomena can be caused.

De uitvinding stelt zich ten doel, een werkwijze voor het vervaardigen van een met een dunne film van 25 magnetisch materiaal uitgeruste transducentkop zodanig uit te voeren, dat geen gevaar voor het losraken van de hechtlaag bestaat, waaruit een toename van de betrouwbaarheid van een aldus vervaardigde transducentkop resulteert, en dat het genoemde afstandsverlies wordt verminderd, waaruit een betere 30 weergeefresolutie en een stabieler bandtransport resulteren.The object of the invention is to provide a method for manufacturing a transducer head equipped with a thin film of magnetic material in such a way that there is no danger of the adhesive layer coming loose, which increases the reliability of a thus manufactured transducer head results, and said distance loss is reduced, resulting in better display resolution and more stable tape transport.

Zoals reeds is opgemerkt en hierna aan de hand van de Fig. 4-6 zal worden verduidelijkt, stelt de uitvinding voor, dat de isolerende beschermingslaag vlak gemaakt wordt, respectievelijk de plaatselijke verhoging daarvan 35 wordt verwijderd, hetgeen het mogelijk maakt een dunne hechtlaag toe te passen, welke minder gemakkelijk los raakt; boven- 8303677 ’ ~ * -5- dien kan door een dergelijke maatregel het reeds genoemde "afstandsverlies" worden verminderd.As already noted and hereinafter with reference to Figs. 4-6, the invention proposes that the insulating protective layer be flattened or its local elevation removed, which makes it possible to apply a thin adhesive layer, which is less likely to come off; in addition, such a measure can reduce the aforementioned "distance loss".

In de Fig. 4-6 zijn de met die volgens de Fig. 1-3 overeenkomende componenten en lagen weer met res-5 pectievelijk dezelfde verwijzingscijfers aangeduid.In Figs. 4-6 are those with those of FIG. 1-3 corresponding components and layers are again denoted with the same reference numerals, respectively.

Zoals Fig. 4 laat zien, wordt weer uitgegaan van een substraat 1 van ferriet, waarop vervolgens achtereenvolgens de instelspanningsgeleider 2, de isolerende laag 5, de film 3 met magnetoresistief effect, de isolerende laag 10 6, het magnetische kernorgaan 4 en de isolerende laag 7 op soortgelijke wijze als bij de eerder beschreven uitvoeringsvorm van bekend type worden aangebracht, respectievelijk gevormd. Daaruit resulteert een met de Fig. 2 en 3 vergelijkbare situatie, zoals uit Fig. 4 naar voren komt.As Fig. 4, it is again assumed that a substrate 1 of ferrite is used, on which successively the biasing voltage conductor 2, the insulating layer 5, the film 3 having a magnetoresistive effect, the insulating layer 106, the magnetic core member 4 and the insulating layer 7 are similarly in the manner described in the previously described embodiment of known type. From this results one with Figs. 2 and 3 similar situation, as shown in fig. 4 comes forward.

15 Zoals de uitvinding nu voorstelt, wordt ver volgens de bovenste, isolerende beschermingslaag 7 vlak gemaakt, zoals in Fig. 4 met een gebroken lijn is aangeduid.As the invention now presents, far after the top insulating protective layer 7 is flattened, as in FIG. 4 is indicated by a broken line.

Dit vlakken van de isolerende laag 7 kan geschieden door etsen met een ionenbundel of door leppen. In het eerstgenoem-20 de geval wordt een zodanige maskering van de laag toegepast, dat de plaatselijke verhoging daarvan komt vrij te liggen, waarna met een ionenbundel wordt geëtst.This smoothing of the insulating layer 7 can be effected by etching with an ion beam or by lapping. In the former case, such a masking of the layer is applied that the local increase thereof is exposed, after which etching is carried out with an ion beam.

Wanneer de isolerende beschermingslaag door leppen wordt gevlakt, bestaat het gevaar, dat een eventueel 25 op het substraat aanwezig electrodegedeelte, zoals 10 in Fig. 5, wordt beschadigd of gebroken. In verband daarmede wordt voorafgaande aan het leppen eerst een beschermingslaag 11 over een dergelijk electrodegedeelte 10 aangebracht. Deze beschermingslaag 11 kan na het leppen op chemische wijze 30 worden verwijderd. Zo kan worden verhinderd, dat de isolerende beschermingslaag 7 en het electrodegedeelte 10 aan ongewenste beschadigingen worden blootgesteld.When the insulating protective layer is smoothed by lapping, there is a risk that any electrode portion present on the substrate, such as 10 in FIG. 5, will be damaged or broken. In connection therewith, prior to lapping, a protective layer 11 is first applied over such an electrode portion 10. This protective layer 11 can be removed chemically after lapping. In this way it can be prevented that the insulating protective layer 7 and the electrode part 10 are exposed to undesired damage.

Nadat de plaatselijke verhoging van de isolerende beschermingslaag 7 op de hiervoor bescherven wijze 35 is gevlakt, respectievelijk verwijderd, wordt op de laag 7 de beschermingsplaat 8 gehecht door middel van de hechtlaag 9; 8303677 -6- ♦ \After the local elevation of the insulating protective layer 7 has been smoothed or removed in the manner described above, the protective plate 8 is adhered to the layer 7 by means of the adhesive layer 9; 8303677 -6- ♦ \

Pig. 6 toont het resultaat. Als gevolg van het vlakken van het bovenoppervlak van de isolerende beschermingslaag 7 kan een hechtlaag 9 van zeer geringe dikte worden toegepast. Daardoor wordt het genoemde afstandsverlies (spacing loss) 5 verminderd, terwijl ook geen gevaar bestaat, dat de dunne hechtlaag 9 los raakt.Pig. 6 shows the result. Due to the flattening of the top surface of the insulating protective layer 7, an adhesive layer 9 of very small thickness can be used. The said spacing loss 5 is thereby reduced, while there is also no danger of the thin adhesive layer 9 becoming loose.

Opgemerkt wordt, dat bij de in het voorgaande beschreven uitvoeringsvormen sprake is van een transducent-kop, welke is uitgerust met een dunne film van magnetisch 10 materiaal met magnetoresistieve eigenschappen; de uitvinding kan echter eveneens worden toegepast bij de vervaardiging van een opneemtransducentkop, welke is uitgerust met een dunne film van ander magnetisch materiaal.It should be noted that the embodiments described above involve a transducer head which is equipped with a thin film of magnetic material with magnetoresistive properties; however, the invention may also be used in the manufacture of a recording transducer head equipped with a thin film of other magnetic material.

Samenvattend kan worden gesteld, dat de uit-15 vinding voorstelt, om voorafgaande aan de hechting van de beschermingsplaat aan het bovengedeelte van de transducent-kop, dat wil zeggen op de daar gevormde beschermingslaag, deze laatstgenoemde zodanig vlak te maken, dat de hechting kan worden uitgevoerd met behulp van een hechtlaag van zeer 20 geringe dikte, welke niet meer de tot nog toe gebruikelijke, plaatselijke verhoging van de genoemde beschermingslaag hoeft te accomoderen. Als gevolg van deze maatregel volgens de uitvinding wordt het genoemde afstandsverlies in aanzienlijke mate verminderd, een verbeterde weergeefresolutie verkregen 25 en een stabiel bandtransport. Daar geen gevaar bestaat, dat de hechtlaag bij een onder toepassing van de uitvinding vervaardigde transducentkop los raakt, bestaat weinig risico voor plaatselijke slijtage van de transducentkop, welke derhalve een meer betrouwbare werking krijgt. Bovendien kan nog worden 30 opgemerkt, dat zelfs indien een hechtlaag van kunststof wordt toegepast, geen gevaar bestaat dat de desbetreffende kunststof wegvloeit en ongewenste bijverschijnselen veroorzaakt.In summary, it can be stated that the invention proposes, prior to the bonding of the protective plate to the upper part of the transducer head, that is to say on the protective layer formed there, to make the latter flat so that the adhesion can are carried out by means of an adhesive layer of very small thickness, which no longer has to accommodate the hitherto usual local elevation of the said protective layer. As a result of this measure according to the invention, said distance loss is considerably reduced, an improved display resolution is obtained and a stable tape transport. Since there is no danger of the adhesive layer loosening in a transducer head manufactured in accordance with the invention, there is little risk of local wear of the transducer head, which therefore has a more reliable operation. Moreover, it should also be noted that even if an adhesive layer of plastic is used, there is no danger of the plastic in question flowing away and causing undesirable side effects.

mm 8 3 0 3 & 7 7mm 8 3 0 3 & 7 7

Claims (5)

1. Werkwij ze voor het vervaardigen van een met een dunne film van magnetisch materiaal uitgeruste transducentkop, waarbij een transducentgedeelte met een in de vorm van een dunne film op een substraat aangebracht, 5 magnetisch circuit wordt gevormd, over dat transducentgedeelte een beschermingslaag wordt aangebracht, en op de beschermingslaag een beschermingsplaat wordt gehecht, met het kenmerk, dat de beschermingslaag voorafgaande aan het ophechten van de beschermingsplaat wordt gevlakt.1. A method of manufacturing a transducer head equipped with a thin film of magnetic material, wherein a transducer portion having a magnetic circuit applied in the form of a thin film on a substrate is formed, a protective layer is applied over said transducer portion, and a protective plate is adhered to the protective layer, characterized in that the protective layer is flattened prior to the attachment of the protective plate. 2. Werkwijze volgens conclusie 1, m e t het kenmerk, dat de beschermingslaag door etsen met een ionenbundel wordt gevlakt.2. Method according to claim 1, characterized in that the protective layer is flattened by etching with an ion beam. 3. Werkwijze volgens conclusie 1, m e t het kenmerk,- dat de beschermingslaag door leppen 15 wordt gevlakt.3. Method according to claim 1, characterized in that - the protective layer is smoothed by lapping. 4. Werkwijze volgens één of meer der voorafgaande conclusies, met het kenmerk, dat het in de vorm van een dunne film aangebracht, magnetische circuit een element met magnetoresistief effect bevat.Method according to one or more of the preceding claims, characterized in that the magnetic circuit arranged in the form of a thin film contains an element with magnetoresistive effect. 5. Transducentkop, vervaardigd onder toe passing van een werkwijze volgens één of meer der voorafgaande conclusies. 8303677Transducer head, manufactured using a method according to one or more of the preceding claims. 8303677
NL8303677A 1982-10-25 1983-10-25 METHOD FOR MANUFACTURING A TRANSDUCENT HEAD EQUIPPED WITH A THIN FILM OF MAGNETIC MATERIAL, ALSO USING ANY TRANSDUCENT HEAD MANUFACTURED NL8303677A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18707482 1982-10-25
JP57187074A JPS5977617A (en) 1982-10-25 1982-10-25 Production of thin film magnetic head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8303677A true NL8303677A (en) 1984-05-16

Family

ID=16199676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8303677A NL8303677A (en) 1982-10-25 1983-10-25 METHOD FOR MANUFACTURING A TRANSDUCENT HEAD EQUIPPED WITH A THIN FILM OF MAGNETIC MATERIAL, ALSO USING ANY TRANSDUCENT HEAD MANUFACTURED

Country Status (7)

Country Link
JP (1) JPS5977617A (en)
KR (1) KR840006861A (en)
CA (1) CA1212469A (en)
DE (1) DE3338719A1 (en)
FR (1) FR2535098A1 (en)
GB (1) GB2129600A (en)
NL (1) NL8303677A (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0760490B2 (en) * 1983-08-29 1995-06-28 ソニー株式会社 Method for manufacturing multi-element thin film magnetic head
JPS61107520A (en) * 1984-10-31 1986-05-26 Sony Corp Multi-channel magnetoresistance effect type magnetic head

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2075466A5 (en) * 1970-01-29 1971-10-08 Ibm
FR2191186B1 (en) * 1972-07-03 1976-01-16 Inf Ci Interna Fr
DE2344561C3 (en) * 1973-09-04 1978-08-31 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Low-wear magnetic head
GB1518515A (en) * 1974-08-20 1978-07-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic heads
US4065797A (en) * 1974-12-20 1977-12-27 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Multi-element magnetic head
JPS54104812A (en) * 1978-02-03 1979-08-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thin film magnetic head and production of the same
JPS55135321A (en) * 1979-04-10 1980-10-22 Fujitsu Ltd Manufacture of thin-film magnetic head
NL7908611A (en) * 1979-11-28 1981-07-01 Philips Nv INTEGRATED MAGNETIC HEAD CONSTRUCTION.

Also Published As

Publication number Publication date
CA1212469A (en) 1986-10-07
JPS5977617A (en) 1984-05-04
FR2535098A1 (en) 1984-04-27
GB2129600A (en) 1984-05-16
DE3338719A1 (en) 1984-04-26
GB8328339D0 (en) 1983-11-23
KR840006861A (en) 1984-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5272582A (en) Magneto-resistance effect magnetic head with static electricity protection
US5097372A (en) Thin film magnetic head with wide recording area and narrow reproducing area
CA1182905A (en) Magnetic transducer head utilizing magnetoresistance effect
NL7908611A (en) INTEGRATED MAGNETIC HEAD CONSTRUCTION.
US5535079A (en) Integrated thin film magnetic head
NL9100155A (en) MAGNETIC HEAD AND METHOD FOR MANUFACTURING SUCH A MAGNETIC HEAD.
US5867350A (en) Magneto-resistance effect head with insulated bias conductor embedded in shield groove
NL8303677A (en) METHOD FOR MANUFACTURING A TRANSDUCENT HEAD EQUIPPED WITH A THIN FILM OF MAGNETIC MATERIAL, ALSO USING ANY TRANSDUCENT HEAD MANUFACTURED
US4405960A (en) Magnetographic recording heads
US4768121A (en) Magnetic head formed by composite main pole film and winding core for perpendicular magnetic recording
EP0139018A1 (en) Magnetic transducer head assembly having a single magnetic pole type for perpendicular mode recording
US5905610A (en) Combined read/write magnetic head having MRE positioned between broken flux guide and non-magnetic substrate
US6258515B1 (en) Pattern forming method
US5790351A (en) Magnetoresistive head with conductive underlayer
US6349021B1 (en) Thin film magnetic head
US5646804A (en) Thin film magnetic head having polymer on broken flux guide sections, method of producing and integrated structure incorporating same
US6233126B1 (en) Thin film magnetic head having low magnetic permeability layer, and method of manufacturing the magnetic head
JPS6032885B2 (en) thin film magnetic head
JPH0346884B2 (en)
JP2001110019A (en) Magnetoresistance effect type magnetic head and rotary magnetic head and its production method
US20040125512A1 (en) Thin-film magnetic head with electrostatic damage protection and magnetic recording and playback apparatus
KR0134458B1 (en) Manufacturing method of head assembly for rotary head
JP2000149222A (en) Thin film magnetic head and its production
JPH06139524A (en) Magneto-resistance effect type head and its production
JPS60247817A (en) Thin film magnetic head

Legal Events

Date Code Title Description
A85 Still pending on 85-01-01
BV The patent application has lapsed