NL7809490A - Werkwijze voor het vormen van een metaallaag op een substraat, in het bijzonder voor het vervaardigen van een hybrideketen op een siliciumhoudend substraat. - Google Patents

Werkwijze voor het vormen van een metaallaag op een substraat, in het bijzonder voor het vervaardigen van een hybrideketen op een siliciumhoudend substraat.

Info

Publication number
NL7809490A
NL7809490A NL7809490A NL7809490A NL7809490A NL 7809490 A NL7809490 A NL 7809490A NL 7809490 A NL7809490 A NL 7809490A NL 7809490 A NL7809490 A NL 7809490A NL 7809490 A NL7809490 A NL 7809490A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
substrate
silicon
manufacturing
forming
metal layer
Prior art date
Application number
NL7809490A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Tektronix Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tektronix Inc filed Critical Tektronix Inc
Publication of NL7809490A publication Critical patent/NL7809490A/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/388—Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by the use of a metallic or inorganic thin film adhesion layer
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
    • H01L23/15—Ceramic or glass substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/01—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate comprising only passive thin-film or thick-film elements formed on a common insulating substrate
    • H01L27/016—Thin-film circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H05K1/02—Details
    • H05K1/03—Use of materials for the substrate
    • H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12597—Noncrystalline silica or noncrystalline plural-oxide component [e.g., glass, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
    • Y10T428/12611—Oxide-containing component
    • Y10T428/12618—Plural oxides

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Insulated Metal Substrates For Printed Circuits (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
NL7809490A 1977-11-18 1978-09-18 Werkwijze voor het vormen van een metaallaag op een substraat, in het bijzonder voor het vervaardigen van een hybrideketen op een siliciumhoudend substraat. NL7809490A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/852,991 US4153518A (en) 1977-11-18 1977-11-18 Method of making a metalized substrate having a thin film barrier layer

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7809490A true NL7809490A (nl) 1979-05-22

Family

ID=25314735

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7809490A NL7809490A (nl) 1977-11-18 1978-09-18 Werkwijze voor het vormen van een metaallaag op een substraat, in het bijzonder voor het vervaardigen van een hybrideketen op een siliciumhoudend substraat.

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4153518A (nl)
JP (1) JPS5473275A (nl)
CA (1) CA1103811A (nl)
DE (1) DE2849971B2 (nl)
FR (1) FR2409603A1 (nl)
GB (1) GB2008155B (nl)
NL (1) NL7809490A (nl)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4226932A (en) * 1979-07-05 1980-10-07 Gte Automatic Electric Laboratories Incorporated Titanium nitride as one layer of a multi-layered coating intended to be etched
US4455181A (en) * 1980-09-22 1984-06-19 General Electric Company Method of transfer lamination of copper thin sheets and films
US4383003A (en) * 1980-09-22 1983-05-10 General Electric Company Transfer lamination of copper thin sheets and films, method and product
DE3039821A1 (de) * 1980-10-22 1982-06-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Mehrschichtsystem fuer waermeschutzanwendung
DE3136198A1 (de) * 1981-01-15 1982-08-05 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart "elektronische duennschichtschaltung"
US4628149A (en) * 1981-11-30 1986-12-09 Nippon Electric Co., Ltd. Substrate having a pattern of an alloy of gold and a noble and a base metal with the pattern isolated by oxides of the noble and the base metals
JPS6142192A (ja) * 1984-08-03 1986-02-28 オ−ケ−プリント配線株式会社 セラミツク基板の製造方法
US4629662A (en) * 1984-11-19 1986-12-16 International Business Machines Corporation Bonding metal to ceramic like materials
JPS6265991A (ja) * 1985-09-13 1987-03-25 株式会社東芝 高熱伝導性セラミツクス基板
US4721550A (en) * 1986-05-05 1988-01-26 New West Technology Corporation Process for producing printed circuit board having improved adhesion
US4710433A (en) * 1986-07-09 1987-12-01 Northrop Corporation Transparent conductive windows, coatings, and method of manufacture
US4751349A (en) * 1986-10-16 1988-06-14 International Business Machines Corporation Zirconium as an adhesion material in a multi-layer metallic structure
JPS6441194A (en) * 1987-08-07 1989-02-13 Komatsu Mfg Co Ltd Manufacture of thin film electroluminescent element
GB2213839B (en) * 1987-12-23 1992-06-17 Plessey Co Plc Semiconducting thin films
US4810852A (en) * 1988-04-01 1989-03-07 Dynamics Research Corporation High-resolution thermal printhead and method of fabrication
DE69016096T2 (de) * 1989-05-22 1995-06-14 Mitsubishi Materials Corp Substrat, verwendbar bei der Herstellung einer Dickschichtschaltung.
US5215597A (en) * 1989-08-08 1993-06-01 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Method for bonding thin film thermocouples to ceramics
US5137791A (en) * 1990-09-13 1992-08-11 Sheldahl Inc. Metal-film laminate resistant to delamination
US6060175A (en) * 1990-09-13 2000-05-09 Sheldahl, Inc. Metal-film laminate resistant to delamination
US5112462A (en) * 1990-09-13 1992-05-12 Sheldahl Inc. Method of making metal-film laminate resistant to delamination
CA2084247A1 (en) * 1992-03-18 1993-09-19 Francis Paul Fehlner Lcd panel production
US5446616A (en) * 1994-03-28 1995-08-29 Litton Systems, Inc. Electrode structure and method for anodically-bonded capacitive sensors
US6135586A (en) * 1995-10-31 2000-10-24 Hewlett-Packard Company Large area inkjet printhead
US6130161A (en) 1997-05-30 2000-10-10 International Business Machines Corporation Method of forming copper interconnections with enhanced electromigration resistance and reduced defect sensitivity
US6069068A (en) * 1997-05-30 2000-05-30 International Business Machines Corporation Sub-quarter-micron copper interconnections with improved electromigration resistance and reduced defect sensitivity
US6165309A (en) * 1998-02-04 2000-12-26 General Electric Co. Method for improving the adhesion of metal films to polyphenylene ether resins
US6309969B1 (en) * 1998-11-03 2001-10-30 The John Hopkins University Copper metallization structure and method of construction
US6212057B1 (en) * 1998-12-22 2001-04-03 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Flexible thin film capacitor having an adhesive film
US6964936B1 (en) 2003-03-06 2005-11-15 Sandia Corporation Method of making maximally dispersed heterogeneous catalysts
US9054530B2 (en) 2013-04-25 2015-06-09 General Atomics Pulsed interrupter and method of operation
JP6946864B2 (ja) * 2017-08-30 2021-10-13 大日本印刷株式会社 ガラス基材へのめっき方法、配線構造体及びガラスインターポーザ

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL268503A (nl) * 1960-12-09
DE1258943B (de) * 1961-03-09 1968-01-18 Western Electric Co Verfahren zur Herstellung gedruckter Schaltungen
DE1242282B (de) * 1961-11-30 1967-06-15 Ibm Deutschland Verfahren zur Herstellung eines aus Metall- und Isolierstoffschichten bestehenden Traegers fuer gedruckte Schaltungen
US3950586A (en) * 1967-11-17 1976-04-13 National Research Development Corporation Electrical insulator materials for use in micro-circuit construction
US3564353A (en) * 1969-04-16 1971-02-16 Westinghouse Electric Corp Bulk semiconductor switching device formed from amorphous glass type substance and having symmetrical switching characteristics
US3832230A (en) * 1970-07-24 1974-08-27 Motorola Inc Method for improving glass adherence to gold film
US3890177A (en) * 1971-08-27 1975-06-17 Bell Telephone Labor Inc Technique for the fabrication of air-isolated crossovers
US3798145A (en) * 1972-05-30 1974-03-19 Bell Telephone Labor Inc Technique for reducing interdiffusion rates and inhibiting metallic compound formation between titanium and platinum
US3808049A (en) * 1972-06-02 1974-04-30 Microsystems Int Ltd Multi-layer thin-film circuits
US3791952A (en) * 1972-07-24 1974-02-12 Bell Telephone Labor Inc Method for neutralizing charge in semiconductor bodies and dielectric coatings induced by cathodic etching
US3922387A (en) * 1973-08-28 1975-11-25 Du Pont Metallizations comprising nickel oxide
JPS5072167A (nl) * 1973-10-30 1975-06-14
US3982218A (en) * 1974-09-19 1976-09-21 Corning Glass Works Temperature sensing device and method
DE2554691C2 (de) * 1974-12-10 1982-11-18 Western Electric Co., Inc., 10038 New York, N.Y. Verfahren zum Herstellen elektrischer Leiter auf einem isolierenden Substrat und danach hergestellte Dünnschichtschaltung

Also Published As

Publication number Publication date
DE2849971B2 (de) 1981-11-26
DE2849971A1 (de) 1979-05-23
JPS5473275A (en) 1979-06-12
GB2008155B (en) 1982-04-15
CA1103811A (en) 1981-06-23
US4153518A (en) 1979-05-08
FR2409603B1 (nl) 1983-08-12
GB2008155A (en) 1979-05-31
FR2409603A1 (fr) 1979-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7809490A (nl) Werkwijze voor het vormen van een metaallaag op een substraat, in het bijzonder voor het vervaardigen van een hybrideketen op een siliciumhoudend substraat.
NL7703038A (nl) Werkwijze voor het afzetten van een metaal op een selectief oppervlak.
NL185690C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een vlakdrukvorm.
NL7702431A (nl) Werkwijze voor het afzetten van een metaal op een oppervlak.
NL185332B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bekleed voorwerp.
NL189633C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een monolithische, geintegreerde micro-elektronische halfgeleiderketen.
NL184136C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geleiderpatroon op een halfgeleiderlichaam.
NL177094C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een verpakking.
NL185043C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een voorwerp onder toepassing van een plasma-etsing.
NL7609815A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd met behulp van de werkwijze.
NL7707424A (nl) Geintegreerd ketenpakket en werkwijze voor het vervaardigen van zulk een pakket.
NL190645B (nl) Werkwijze voor het vormen van een beschermende diffussielaag.
NL172176C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een vilt.
NL7613487A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een buig- zame lamellaire tussenlaag.
NL178088B (nl) Werkwijze voor het vormen van een hoogglanzende bekleding op een substraat.
NL7810933A (nl) Werkwijze voor het op een oppervlak afzetten van een metaal.
NL180707C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een positieve fotoresistlaag.
NL167611C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een katalysatorconstructie.
NL7700641A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding voor halfgeleidersubstraten.
NL7704092A (nl) Werkwijze voor het afzetten van een metaal op een oppervlak.
NL7613644A (nl) Werkwijze voor het plakken van een vezelig substraat op polyvinylideenfluoride.
NL174452C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een vermiculietprodukt.
NL179301C (nl) Werkwijze voor het vormen van een aanhechtend metaaloppervlak op een substraat.
NL7710607A (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een laag met een structuur op een substraat.
NL186208C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een snelle halfgeleider-gelijkrichter.

Legal Events

Date Code Title Description
A1A A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
BI The patent application has been withdrawn