NL2010418C2

NL2010418C2 - Support module for lithography system.

Info

Publication number: NL2010418C2
Application number: NL2010418A
Authority: NL
Inventors: Alje Geert Dunning
Original assignee: Mapper Lithography Ip Bv
Priority date: 2013-03-11
Filing date: 2013-03-11
Publication date: 2014-09-15
Also published as: NL2012384C2; NL2012384A

Claims

1. Ondersteuningsmodule voor het ondersteunen van een last, waarbij de last bij voorkeur een doel omvat om van een patroon te worden voorzien in een lithografiesysteem, waarbij de module omvat een ondersteuning voor het ondersteunen van de last, drie ondersteuningsstructuren waarbij de ondersteuningsstructuren elk omvatten: - een frame, - een kracht-compensatie veersamenstel dat de ondersteuning verbindt met het frame voor ten minste het ten dele ondersteunen van de ondersteuning en/of de last; waarbij het kracht-compensatie veersamenstel omvat een eerste veer met een negatieve stijfheidkarakteristiek over een vooraf bepaald bewegingsbereik van de veer, en een tweede veer met een positieve stijfheid, met het kenmerk dat de frames van elk van de drie ondersteuningsstructuren in hoofdzaak stijf aan elkaar zijn bevestigd, en dat de ondersteuning is verbonden met de drie kracht-compensatie veersamenstellen om beweegbaar te zijn ten opzichte van de frames.

2. Ondersteuningsmodule volgens conclusie 1, waarbij de frames samen een driehoekig prismavormig volume definiëren, waarbij de kracht-compensatie veersamenstellen zijn gerangschikt bij in hoofdzaak verschillende buitenzijden van het driehoekige prismavormige volume en in hoofdzaak parallelle richtingen van compressie/uitrekking hebben in hoofdzaak langs middenlijnen van de zijden.

3. Ondersteuningsmodule volgens conclusie 1 of conclusie 2, waarbij elk frame van een ondersteuningsstructuur van de drie ondersteuningsstructuren een middensectie omvat en twee beensecties die aan weerszijden van de middensectie zijn gerangschikt en zich in hoofdzaak dwars op de middensectie uitstrekken, waarbij de eerste veer aan weerszijden is verbonden met een respectievelijke beensectie en op afstand is geplaatst van de middensectie, en waarbij de tweede veer met de middensectie is verbonden en op afstand is geplaatst van de beensecties, of vice versa.

4. Ondersteuningsmodule volgens een der voorgaande conclusies, verder omvattend een basis en een flexibele montering, waarbij de flexibele montering de basis verbindt met elk van de frames, en waarbij de flexibele montering is ingericht om beweging van het frame ten opzichte van de basis in een vlak parallel aan de basis toe te staan.

5. Ondersteuningsmodule volgens conclusie 4, waarbij de flexibele montering flexibele stijlen omvat die zich in hoofdzaak normaal aan de basis uitstrekken.

6. Ondersteuningsmodule volgens conclusie 5 wanneer afhankelijk van conclusie 3, waarbij de beensecties van de frames een opneemruimte omvatten voor het ten minste ten dele daarin opnemen van een stijl van de flexibele stijlen langs een substantieel gedeelte van de lengte van de beensecties, waarbij de stijl in hoofdzaak vrij is om in de opneemruimte te buigen.

7. Ondersteuningsmodule volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de eerste veer en de tweede veer van elke ondersteuningsstructuur zijn gerangschikt om in een gezamenlijk vlak te bewegen, bij voorkeur langs een in hoofdzaak rechte lijn.

8. Ondersteuningsmodule volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de eerste veren elk één of meer bi-stabiele knikbalken omvatten.

9. Ondersteuningsmodule volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de tweede veren elk één of meer bladveren omvatten.

10. Ondersteuningsmodule volgens conclusie 9, waarbij de bladveren van een tweede veer in een ruitconfiguratie zijn gerangschikt.

11. Ondersteuningsmodule volgens conclusie 10, waarbij de tweede veer vier hoeksecties omvat die de bladveren zodanig verbinden dat de bladveren in elk kwadrant van de ruitvorm zijn gerangschikt om in hoofdzaak parallel te bewegen.

12. Ondersteuningsmodule volgens een der voorgaande conclusies, waarbij in elke ondersteuningsstructuur de eerste veer en de tweede veer aan elkaar zijn bevestigd, bij voorkeur bij een middenpunt van de eerste veer.

13. Ondersteuningsmodule volgens een der voorgaande conclusies, verder omvattend een veelvoud aan motoren ingericht om de ondersteuning ten opzichte van het frame te positioneren, waarbij het veelvoud aan motoren bij voorkeur Lorentz motoren omvat.

14. Ondersteuningsmodule volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de ondersteuningsstructuren monolithische ondersteuningsstructuren zijn en/of waarbij de module als een monolithische structuur is gevormd.

15. Ondersteuningsstructuur omvattend een frame en een ondersteuning voor het ondersteunen van een last, waarbij de ondersteuning ten opzichte van het frame beweegbaar is, waarbij de ondersteuningsstructuur verder een kracht-compensatie veersamenstel omvat dat de ondersteuning verbindt met het frame om de ondersteuning en/of de last ten minste ten dele te ondersteunen, waarbij het kracht-compensatie veersamenstel omvat een eerste veer met een negatieve stijfheidkarakteristiek over een vooraf bepaald bewegingsbereik van de veer, en een tweede veer met een positieve stijfheid, waarbij de eerste veer één of meer bi-stabiele knikbalken omvat, met het kenmerk, dat de tweede veer één of meer bladveren omvat, waarbij de knikbalken en de bladveren zijn gerangschikt om te bewegen en/of te buigen in een in hoofdzaak gezamenlijk vlak.

16. Ondersteuningsstructuur volgens conclusie 15, waarbij de bladveren zijn gerangschikt in een eerste, tweede, derde en vierde verzameling van bladveren, waarbij de bladveren van de eerste verzameling bij een eerste eind zijn verbonden met een eerste hoeksectie en bij een tegenovergelegen tweede eind met een tweede hoeksectie, waarbij bladveren van de tweede verzameling bij een eerste eind zijn verbonden met de eerste hoeksectie en bij een tegenovergelegen tweede eind met een derde hoeksectie, waarbij bladveren van de derde verzameling bij een eerste eind zijn verbonden met een vierde hoeksectie en bij een tegenovergelegen tweede eind met de tweede hoeksectie, waarbij bladveren van de vierde verzameling bij een eerste eind zijn verbonden met de vierde hoeksectie en bij een tegenovergelegen tweede eind met de derde hoeksectie, waarbij de eerste, tweede en derde hoeksecties zijn ingericht om in parallelle richtingen ten opzichte van het frame te bewegen.

17. Ondersteuningsstructuur volgens conclusie 16, waarbij de vierde hoeksectie stijf is verbonden met het frame.

18. Ondersteuningsstructuur volgens conclusie 16 of conclusie 17, waarbij de eerste hoeksectie is verbonden met de eerste veer.

19. Ondersteuningsstructuur volgens een der conclusies 16-18, waarbij de bladveren alle een in hoofdzaak gelijke lengte hebben en/of in hoofdzaak gelijke veerkarakteristieken hebben.

20. Ondersteuningsstructuur volgens een der conclusies 16-19, waarbij elke verzameling van bladveren ten minste twee bladveren omvat, waarbij de bladveren binnen elke verzameling in hoofdzaak parallel aan elkaar zijn.

21. Ondersteuningsstructuur volgens een der conclusies 16-20, waarbij de bladveren genest zijn gerangschikt in in hoofdzaak ruitvormige configuraties.

22. Lithografiesysteem omvattend een ondersteuningsmodule volgens een der conclusies 1-14.

23. Lithografiesysteem volgens conclusie 22, verder omvattend een vacuümkamer, waarbij de ondersteuningsmodule binnen in de vacuümkamer is gerangschikt.

24. Lithografiesysteem volgens conclusie 22 of conclusie 23, verder omvattend een positioneringsysteem ingericht om de ondersteuningsmodule binnen in het lithografiesysteem te positioneren.

25. Lithografiesysteem volgens een der conclusies 22-24, verder omvattend een optische kolom ingericht voor het projecteren van één of meer stralen op een doel zoals een wafer, waarbij de ondersteuningsmodule is ingericht om het doel in hoofdzaak uitgelijnd met de optische kolom te ondersteunen.