NL2006627A - Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method. - Google Patents
Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method. Download PDFInfo
- Publication number
- NL2006627A NL2006627A NL2006627A NL2006627A NL2006627A NL 2006627 A NL2006627 A NL 2006627A NL 2006627 A NL2006627 A NL 2006627A NL 2006627 A NL2006627 A NL 2006627A NL 2006627 A NL2006627 A NL 2006627A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- radiation
- metal
- euv
- reflective
- layer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Claims (1)
1. Een lithografieinrichting omvattende: een belichtinginrichting ingericht voor het leveren van een stralingsbundel; een drager geconstrueerd voor het dragen van een patroneerinrichting, welke patroneerinrichting in staat is een patroon aan te brengen in een doorsnede van de stralingsbundel ter vorming van een gepatroneerde stralingsbundel; een substraattafel geconstrueerd om een substraat te dragen; en een projectieinrichting ingericht voor het projecteren van de gepatroneerde stralingsbundel op een doelgebied van het substraat, met het kenmerk, dat de substraattafel is ingericht voor het positioneren van het doelgebied van het substraat in een brandpuntsvlak van de projectieinrichting.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2006627A NL2006627A (en) | 2011-04-19 | 2011-04-19 | Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL2006627 | 2011-04-19 | ||
NL2006627A NL2006627A (en) | 2011-04-19 | 2011-04-19 | Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL2006627A true NL2006627A (en) | 2011-06-09 |
Family
ID=44484734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL2006627A NL2006627A (en) | 2011-04-19 | 2011-04-19 | Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
NL (1) | NL2006627A (nl) |
-
2011
- 2011-04-19 NL NL2006627A patent/NL2006627A/en unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6005069B2 (ja) | かすめ入射リフレクタ、リソグラフィ装置、かすめ入射リフレクタ製造方法、およびデバイス製造方法 | |
JP5732525B2 (ja) | コレクタミラーアセンブリおよび極端紫外線放射の生成方法 | |
US9472313B2 (en) | Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method | |
JP5732393B2 (ja) | リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 | |
WO2013152921A1 (en) | Pellicle, reticle assembly and lithographic apparatus | |
NL2002838A1 (nl) | Radiation system, radiation collector, radiation beam conditioning system, spectral purity filter for a radiation system and method of forming a spectral purity filter. | |
NL2008391A (en) | Radiation source-collector and lithographic apparatus. | |
JP5989677B2 (ja) | 基板サポートおよびリソグラフィ装置 | |
JP5717765B2 (ja) | スペクトル純度フィルタ | |
US20120006258A1 (en) | Hydrogen radical generator | |
JP2010045355A (ja) | 放射源、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 | |
CN114450636A (zh) | 检测辐射束的光刻设备和方法 | |
NL2006627A (en) | Reflective optical components for lithographic apparatus and device manufacturing method. | |
NL2006647A (en) | Grazing incidence reflectors, lithographic apparatus, methods for manufacturing a grazing incidence reflector and methods for manufacturing a device. | |
NL2010626A (en) | Radiation source-collector and method for refurbishment. | |
NL2005516A (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method. | |
NL2004984A (en) | Spectral purity filter. | |
NL2005763A (en) | Lithographic apparatus. | |
NL2004992A (en) | Spectral purity filter. | |
NL2006106A (en) | Lithographic apparatus. | |
NL2006551A (en) | Hydrogen radical generator. | |
NL2006602A (en) | Lithographic apparatus and device manufacturing method. | |
NL2010236A (en) | Lithographic apparatus and method. | |
NL2006563A (en) | Lithographic apparatus and method. |