NL155314B - Werkwijze voor het gelijktijdig bekleden van een aantal voorwerpen. - Google Patents
Werkwijze voor het gelijktijdig bekleden van een aantal voorwerpen.Info
- Publication number
- NL155314B NL155314B NL727211410A NL7211410A NL155314B NL 155314 B NL155314 B NL 155314B NL 727211410 A NL727211410 A NL 727211410A NL 7211410 A NL7211410 A NL 7211410A NL 155314 B NL155314 B NL 155314B
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- objects
- simultaneously covering
- covering
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US00175247A US3856654A (en) | 1971-08-26 | 1971-08-26 | Apparatus for feeding and coating masses of workpieces in a controlled atmosphere |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL7211410A NL7211410A (nl) | 1973-02-28 |
NL155314B true NL155314B (nl) | 1977-12-15 |
Family
ID=22639550
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL727211410A NL155314B (nl) | 1971-08-26 | 1972-08-21 | Werkwijze voor het gelijktijdig bekleden van een aantal voorwerpen. |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3856654A (nl) |
JP (1) | JPS527439B2 (nl) |
BE (1) | BE787884A (nl) |
CA (1) | CA992910A (nl) |
DE (1) | DE2241634B2 (nl) |
FR (1) | FR2165849B1 (nl) |
GB (1) | GB1406509A (nl) |
HK (1) | HK36276A (nl) |
IT (1) | IT962154B (nl) |
NL (1) | NL155314B (nl) |
SE (1) | SE391739B (nl) |
Families Citing this family (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH573985A5 (nl) * | 1973-11-22 | 1976-03-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | |
JPS5519289Y2 (nl) * | 1975-01-06 | 1980-05-08 | ||
US3981791A (en) * | 1975-03-10 | 1976-09-21 | Signetics Corporation | Vacuum sputtering apparatus |
US3976555A (en) * | 1975-03-20 | 1976-08-24 | Coulter Information Systems, Inc. | Method and apparatus for supplying background gas in a sputtering chamber |
JPS5218585A (en) * | 1975-08-05 | 1977-02-12 | Tadano Tekkosho:Kk | Double-acting hydraulic cylinder |
US4051010A (en) * | 1975-12-18 | 1977-09-27 | Western Electric Company, Inc. | Sputtering apparatus |
AU507748B2 (en) * | 1976-06-10 | 1980-02-28 | University Of Sydney, The | Reactive sputtering |
US4116806A (en) * | 1977-12-08 | 1978-09-26 | Battelle Development Corporation | Two-sided planar magnetron sputtering apparatus |
US4175030A (en) * | 1977-12-08 | 1979-11-20 | Battelle Development Corporation | Two-sided planar magnetron sputtering apparatus |
US4172021A (en) * | 1978-10-13 | 1979-10-23 | Western Electric Company, Inc. | Method and glow-suppression devices for transporting a gas across a voltage drop |
US4268374A (en) * | 1979-08-09 | 1981-05-19 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | High capacity sputter-etching apparatus |
US4311427A (en) * | 1979-12-21 | 1982-01-19 | Varian Associates, Inc. | Wafer transfer system |
US5024747A (en) * | 1979-12-21 | 1991-06-18 | Varian Associates, Inc. | Wafer coating system |
US4756815A (en) * | 1979-12-21 | 1988-07-12 | Varian Associates, Inc. | Wafer coating system |
US4647266A (en) * | 1979-12-21 | 1987-03-03 | Varian Associates, Inc. | Wafer coating system |
JPS5797903A (en) * | 1980-12-06 | 1982-06-17 | Yunitsuku:Kk | Double-acting cylinder |
JPS58197262A (ja) * | 1982-05-13 | 1983-11-16 | Canon Inc | 量産型真空成膜装置及び真空成膜法 |
JPS5970764A (ja) * | 1982-10-15 | 1984-04-21 | Ulvac Corp | プラズマcvd装置 |
DE3306870A1 (de) * | 1983-02-26 | 1984-08-30 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Vorrichtung zum herstellen von schichten mit rotationssymmetrischem dickenprofil durch katodenzerstaeubung |
US4500407A (en) * | 1983-07-19 | 1985-02-19 | Varian Associates, Inc. | Disk or wafer handling and coating system |
US4522697A (en) * | 1983-12-22 | 1985-06-11 | Sputtered Films, Inc. | Wafer processing machine |
US4523985A (en) * | 1983-12-22 | 1985-06-18 | Sputtered Films, Inc. | Wafer processing machine |
US4508612A (en) * | 1984-03-07 | 1985-04-02 | International Business Machines Corporation | Shield for improved magnetron sputter deposition into surface recesses |
US4491509A (en) * | 1984-03-09 | 1985-01-01 | At&T Technologies, Inc. | Methods of and apparatus for sputtering material onto a substrate |
US4534314A (en) * | 1984-05-10 | 1985-08-13 | Varian Associates, Inc. | Load lock pumping mechanism |
FR2594102B1 (fr) * | 1986-02-12 | 1991-04-19 | Stein Heurtey | Installation flexible automatisee de traitement thermochimique rapide |
US4812217A (en) * | 1987-04-27 | 1989-03-14 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Method and apparatus for feeding and coating articles in a controlled atmosphere |
US4952294A (en) * | 1988-03-15 | 1990-08-28 | Collins George J | Apparatus and method for in-situ generation of dangerous polyatomic gases, including polyatomic radicals |
US4911810A (en) * | 1988-06-21 | 1990-03-27 | Brown University | Modular sputtering apparatus |
US5059292A (en) * | 1989-02-28 | 1991-10-22 | Collins George J | Single-chamber apparatus for in-situ generation of dangerous polyatomic gases and radicals from a source material contained within a porous foamed structure |
EP0550003B1 (de) * | 1991-12-27 | 1996-01-17 | Balzers Aktiengesellschaft | Vakuumbehandlungsanlage und deren Verwendungen |
EP0572151A3 (en) * | 1992-05-28 | 1995-01-18 | Avx Corp | Varistors with cathodically vaporized connections and method for depositing cathodically vaporized connections on varistors. |
US5565838A (en) * | 1992-05-28 | 1996-10-15 | Avx Corporation | Varistors with sputtered terminations |
DE4235677C2 (de) * | 1992-10-22 | 1996-10-31 | Balzers Hochvakuum | Vakuumkammer, Vakuumbehandlungsanlage mit einer solchen Kammer sowie Transportverfahren |
DE4235676C2 (de) * | 1992-10-22 | 1997-08-28 | Balzers Hochvakuum | Vakuumkammer zum Transport scheibenförmiger Werkstücke in einer Vakuumanlage |
DE4235674C2 (de) * | 1992-10-22 | 2000-12-28 | Balzers Ag Liechtenstein | Kammer für den Transport von Werkstücken in Vakuumatmosphäre, Kammerkombination und Verfahren zum Transportieren eines Werkstückes |
US5421979A (en) * | 1993-08-03 | 1995-06-06 | Photran Corporation | Load-lock drum-type coating apparatus |
DE4341635C2 (de) * | 1993-12-07 | 2002-07-18 | Unaxis Deutschland Holding | Vakuumbeschichtungsanlage |
US5791895A (en) * | 1994-02-17 | 1998-08-11 | Novellus Systems, Inc. | Apparatus for thermal treatment of thin film wafer |
DE19537267C1 (de) * | 1994-10-19 | 1996-07-04 | Grc Glass Refining Center Ges | Verfahren zum Aufbringen von dünnen farbigen Schichten auf Substrate mit gekrümmten Oberflächen, insbesondere auf rotationssymmetrische Substrate, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
DE19624609B4 (de) * | 1996-06-20 | 2009-04-16 | Leybold Optics Gmbh | Vakuumbehandlungsanlage zum Aufbringen dünner Schichten auf Substrate, beispielsweise auf Scheinwerferreflektoren |
DE19626861B4 (de) * | 1996-07-04 | 2009-04-16 | Leybold Optics Gmbh | Vakuumbehandlungsanlage zum Aufbringen dünner Schichten auf Substrate, beispielsweise auf Scheinwerferreflektoren |
DE19642852A1 (de) | 1996-10-17 | 1998-04-23 | Leybold Systems Gmbh | Vakuumbehandlungsanlage zum Aufbringen dünner Schichten auf dreidimensionale, schalenförmige oder prismatische Substrate |
US6210540B1 (en) * | 2000-03-03 | 2001-04-03 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Method and apparatus for depositing thin films on vertical surfaces |
US20020110700A1 (en) * | 2001-02-12 | 2002-08-15 | Hein Gerald F. | Process for forming decorative films and resulting products |
US20100218721A1 (en) * | 2007-09-05 | 2010-09-02 | Atomic Energy Council - Institute Of Nuclear Energy Research | Hollow-cathode discharge apparatus for plasma-based processing |
KR101458909B1 (ko) * | 2008-04-03 | 2014-11-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 인 라인 설비 |
CN102080214B (zh) * | 2009-11-30 | 2013-06-05 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜装置 |
TW201122148A (en) * | 2009-12-24 | 2011-07-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Chemical vapor deposition device |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3340176A (en) * | 1965-07-28 | 1967-09-05 | Western Electric Co | Vacuum processing machine |
FR1502647A (nl) * | 1965-12-17 | 1968-02-07 | ||
US3451912A (en) * | 1966-07-15 | 1969-06-24 | Ibm | Schottky-barrier diode formed by sputter-deposition processes |
US3501393A (en) * | 1967-05-05 | 1970-03-17 | Litton Systems Inc | Apparatus for sputtering wherein the plasma is confined by the target structure |
US3528906A (en) * | 1967-06-05 | 1970-09-15 | Texas Instruments Inc | Rf sputtering method and system |
-
1971
- 1971-08-26 US US00175247A patent/US3856654A/en not_active Expired - Lifetime
-
1972
- 1972-03-27 CA CA138,188A patent/CA992910A/en not_active Expired
- 1972-08-17 SE SE7210698A patent/SE391739B/xx unknown
- 1972-08-18 IT IT5225172A patent/IT962154B/it active
- 1972-08-21 NL NL727211410A patent/NL155314B/nl not_active IP Right Cessation
- 1972-08-23 BE BE787884A patent/BE787884A/xx unknown
- 1972-08-24 DE DE2241634A patent/DE2241634B2/de active Pending
- 1972-08-24 GB GB3937972A patent/GB1406509A/en not_active Expired
- 1972-08-25 FR FR7230358A patent/FR2165849B1/fr not_active Expired
- 1972-08-26 JP JP47085020A patent/JPS527439B2/ja not_active Expired
-
1976
- 1976-06-10 HK HK362/76*UA patent/HK36276A/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE391739B (sv) | 1977-02-28 |
DE2241634A1 (de) | 1973-03-01 |
FR2165849A1 (nl) | 1973-08-10 |
BE787884A (fr) | 1972-12-18 |
CA992910A (en) | 1976-07-13 |
JPS4831185A (nl) | 1973-04-24 |
GB1406509A (en) | 1975-09-17 |
JPS527439B2 (nl) | 1977-03-02 |
DE2241634B2 (de) | 1974-11-21 |
US3856654A (en) | 1974-12-24 |
IT962154B (it) | 1973-12-20 |
NL7211410A (nl) | 1973-02-28 |
FR2165849B1 (nl) | 1975-03-07 |
HK36276A (en) | 1976-06-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL155314B (nl) | Werkwijze voor het gelijktijdig bekleden van een aantal voorwerpen. | |
NL172758C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een smeermiddel. | |
NL175491C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een op vlees gelijkend proteineprodukt. | |
NL174801C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een rookmateriaal. | |
BE790708A (fr) | Samenstel voor het afscheiden van een gedeelte van een ruimte | |
NL166972C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een bekledingsmengsel. | |
NL151506B (nl) | Werkwijze en inrichting voor het uitvoeren van een tweedimensionale immuunelektroforese. | |
NL165240C (nl) | Werkwijze voor het afdichten van een waterkerend opper- vlak. | |
NL159022B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een maskeringsmengsel. | |
NL164237C (nl) | Werkwijze voor het uitrusten van een machineruimte van een schip. | |
NL7414752A (nl) | Werkwijze voor het trekken van een strengvor- mig voorwerp. | |
NL173507C (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een verpakking. | |
NL159582B (nl) | Werkwijze voor het isoleren van een fibrine-stabiliserende factor. | |
NL142883B (nl) | Werkwijze voor het maken van een t-vormige sleuf. | |
NL176868C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een poedervormig reinigingsmiddel. | |
NL166414C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een hardbaar bekledingsmengsel. | |
NL168002C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een sinter. | |
NL158161B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een monohalogeenacylhalogenide. | |
NL176867C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een poedervormig reinigingsmiddel. | |
NL172735C (nl) | Verbetering van een werkwijze en inrichting voor het vormen van een laminaat. | |
NL180033C (nl) | Werkwijze voor het vormen van een dekvloer. | |
NL177685C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van azinen. | |
NL159608B (nl) | Werkwijze voor het vervaardigen van een vlakke foelie. | |
NL160798C (nl) | Werkwijze voor het bereiden van een octylfenol. | |
NL150873B (nl) | Werkwijze voor het construeren van een beschoeiing. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
V1 | Lapsed because of non-payment of the annual fee | ||
NL80 | Abbreviated name of patent owner mentioned of already nullified patent |
Owner name: WEST ELECTRIC |