NL1038551C2 - Deeltjesvervuilings meting voor schone ruimte producten. - Google Patents
Deeltjesvervuilings meting voor schone ruimte producten. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1038551C2 NL1038551C2 NL1038551A NL1038551A NL1038551C2 NL 1038551 C2 NL1038551 C2 NL 1038551C2 NL 1038551 A NL1038551 A NL 1038551A NL 1038551 A NL1038551 A NL 1038551A NL 1038551 C2 NL1038551 C2 NL 1038551C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- particles
- measurement
- takes place
- measuring method
- product
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims description 5
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/2226—Sampling from a closed space, e.g. food package, head space
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
-1 -
Deeltjesvervuilings meting voor schone ruimte producten.
De vinding heeft betrekking op een meetmethode voor kwalifikatie van schone ruimte producten.
5 De vinding heeft betrekking op het beoordelen van de kwaliteit van de reiniging van producten die toegepast worden in een omgeving waarin hoge eisen worden gesteld aan het afwezig zijn van verontreiniging door deeltjes.
Gebruikelijk is het om een verontreinigd product in 10 een geconditioneerde ruimte schoon te maken en het vervolgens in deze geconditioneerde ruimte in een verpakking, bestaande uit meerder afschermlagen, in te pakken.
Om de bijdrage van deze producten aan de vervuiling 15 van schone ruimten of samengestelde producten te beoordelen wordt meestal voor het verpakken bij de toeleverancier of na het uitpakken bij de klant op de oppervlakken van de producten met een meettechniek bepaald hoeveel vuildeeltjes er aanwezig zijn.
20 Met de vinding wordt beoogd een methode te ontwikkelen die beoordeelt wat de potentiële bijdrage is van een product aan de vervuiling van schone ruimten of samengestelde producten, terwijl het product verpakt is.
De vinding sluit beïnvloeding van de resultaten 25 tijdens de meting door neergeslagen of aangezogen vuildeeltjes vanuit de omgeving uit.
In een voorkeursuitvoering is dit gerealiseerd door gebruik te maken van een ruimte (2), (zie fig. 1), die is voorzien van twee afsluitbare doorvoeren (3).
30 Op één van de afsluitbare doorvoeren wordt een gasbron (1) aangesloten die zuiver is als het gaat om vuildeeltj es.
1038551 -2-
De gasstroming is zodanig geoptimaliseerd, dat in de gesloten ruimte losse deeltjes in de turbulentie (4) worden opgenomen en vervolgens in de vervuilde lucht worden afgevoerd.
5 Op de andere afsluitbare doorvoer wordt een deeltjesmeter (5) aangesloten die de vervuilde lucht meet op vuildeeltjes.
Het te meten product (6) wordt in de ruimte (2) geplaatst en de ruimte (2) wordt afgesloten.
10 De hoeveelheid deeltjes die de deeltjesmeter (5) meet vanaf het moment dat het product (6) in de ruimte (2) wordt geplaatst, tot het moment dat de concentratie aan deeltjes per tijdseenheid dat de deeltjesmeter (5) aangeeft beneden een drempelwaarde ligt, is een maat voor 15 de bijdrage die het product (6) levert aan de vervuiling van schone ruimten of samengestelde producten.
In een voorkeurssituatie wordt de verpakking van het product (6) gebruikt om de meting uit te voeren. In dit geval beschikt de verpakking (2)over een inlaat (3) en 20 een uitlaatventiel (3). De deeltjesmeter wordt op het uitgangsventiel (3) aangesloten. De gasstroming wordt op het inlaatventiel (3) aangesloten.
De hoeveelheid deeltjes die de deeltjesmeter (5) meet vanaf het moment dat de gasstroming wordt aangezet 25 tot het moment, dat de concentratie aan deeltjes per tijdseenheid dat de deeltjesmeter (5) aangeeft beneden de drempelwaarde ligt, is een maat voor de bijdrage die het product (6) levert aan de vervuiling van schone ruimten of samengestelde producten. In deze voorkeurssituatie kan 30 de verpakking (2) gebruikt worden om het product (6) schoon te spoelen voordat het produkt (6) wordt vrijgegeven. De deeltjesmeter (5) bepaalt dan wanneer de concentratie aan deeltjes per tijdseenheid beneden de -3- drempelwaarde ligt. Het product (6) is dan voldoende gespoeld.
Deze methode kan vervolgens gebruikt worden om bij een ingangscontrole te controleren of het product (6) 5 tijdens opslag en transport mogelijk is vervuild, zonder dat de verpakking (2) verwijderd hoeft te worden.
1038551
Claims (9)
1. Een meetmethode, met het kenmerk, dat het de 5 bijdrage meet die het product levert aan de vervuiling van schone ruimten of samengestelde producten.
2. Een meetmethode, met het kenmerk dat het meten van stofdeeltjes in een afgesloten ruimte plaats vindt.
3. Een meetmethode, met het kenmerk dat het meten van 10 het product in een gesloten verpakking plaats vindt.
4. Een meetmethode, volgens conclusie 1, en/of 2, met het kenmerk dat het meten geschiedt door het losbreken en meevoeren van vuildeeltjes door gaswervelingen door schoon gas dat de deeltjes meevoert 15 door een deeltjesmeter.
5. Een meetmethode, volgens conclusie 1, en/of 2, met het kenmerk dat het meten geschiedt door het losbreken en meevoeren van vuildeeltjes door verdringing door schoon gas dat de deeltjes meevoert door een 20 deelt j esmeter.
6. Een gecombineerde reiniging en verpakking en meetmethode, met het kenmerk dat het meten van stofdeeltjes in een afgesloten ruimte plaats vindt.
7. Een gecombineerde reiniging- en verpakking- en 25 meet-methode, met het kenmerk dat het meten van het product in een gesloten verpakking plaats vindt.
8. Een gecombineerde reiniging- en verpakking- en meet-methode, volgens conclusie 6, en/of 7, met het kenmerk dat het meten geschiedt door gaswervelingen door 30 schoon gas dat de deeltjes meevoert door een deeltj esmeter.
9. Een gecombineerde reiniging- en verpakking- en meet-methode, volgens conclusie 6, en/of 7, met het 1038551 -5 - kenmerk dat het meten geschiedt door het losbreken en meevoeren van vuildeeltjes door verdringing door schoon gas dat de deeltjes meevoert door een deeltjesmeter. 1038551
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1038551A NL1038551C2 (nl) | 2011-01-27 | 2011-01-27 | Deeltjesvervuilings meting voor schone ruimte producten. |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1038551A NL1038551C2 (nl) | 2011-01-27 | 2011-01-27 | Deeltjesvervuilings meting voor schone ruimte producten. |
| NL1038551 | 2011-01-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1038551C2 true NL1038551C2 (nl) | 2012-07-31 |
Family
ID=44453851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1038551A NL1038551C2 (nl) | 2011-01-27 | 2011-01-27 | Deeltjesvervuilings meting voor schone ruimte producten. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL1038551C2 (nl) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005214747A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Preceed Co Ltd | クリーンルーム、又はクリーンブース内で使用する装置の発塵量を測定する装置 |
| US20060076637A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-13 | Gally Brian J | Method and system for packaging a display |
| US20090250382A1 (en) * | 2007-10-08 | 2009-10-08 | Microstructure Technologies Inc. | Methods and apparatus for extraction of particles from surfaces |
| JP2010264341A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Fujitsu Ltd | 塵埃収集装置及び塵埃分析方法 |
-
2011
- 2011-01-27 NL NL1038551A patent/NL1038551C2/nl not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005214747A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Preceed Co Ltd | クリーンルーム、又はクリーンブース内で使用する装置の発塵量を測定する装置 |
| US20060076637A1 (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-13 | Gally Brian J | Method and system for packaging a display |
| US20090250382A1 (en) * | 2007-10-08 | 2009-10-08 | Microstructure Technologies Inc. | Methods and apparatus for extraction of particles from surfaces |
| JP2010264341A (ja) * | 2009-05-12 | 2010-11-25 | Fujitsu Ltd | 塵埃収集装置及び塵埃分析方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109690286B (zh) | 用于测试粉尘抑制系统的测试设备及方法 | |
| WO2013001482A9 (en) | Semiconductor stocker systems and methods. | |
| JP6364126B2 (ja) | ストリップの周囲からの排気を排出するための装置 | |
| US7998252B2 (en) | Method and apparatus for in-situ testing of filtration systems | |
| JP5559737B2 (ja) | アイソレータ | |
| CN113432935A (zh) | 用于从流体流采样生物颗粒的方法及制造冲击器的方法 | |
| EP1952229A4 (en) | METHOD AND SYSTEMS FOR THE ACTIVE NON-INSPECTION AND VERIFICATION OF FREIGHT AND GOODS | |
| TW201420272A (zh) | 除塵裝置 | |
| ATE536224T1 (de) | System, werkzeug und verfahren zum reinigen des innenraums eines frachtbehälters | |
| CN110065475B (zh) | 车辆洗消方法、车辆洗消装置及车辆洗消系统 | |
| BR112014014476A2 (pt) | equipamento para o descarregamento de uma unidade de transporte e processo para o descarregamento de uma unidade de transporte | |
| NL1038551C2 (nl) | Deeltjesvervuilings meting voor schone ruimte producten. | |
| JP6457150B2 (ja) | 物品搬入システム | |
| WO2012116270A3 (en) | Real time liquid particle counter (lpc) end point detection system | |
| TWI456648B (zh) | 基板處理裝置 | |
| WO2007094871A3 (en) | Automated non-contact cleaning | |
| US20160089463A1 (en) | Method and system for cleaning and sanitizing convey lines | |
| JP2014195713A (ja) | アイソレータ、アイソレータの制御方法 | |
| ATE432239T1 (de) | Vorrichtung und verfahren zum dosierten abgeben eines schütt- oder rieselfähigen gutes | |
| JP6052551B2 (ja) | 気中粒子状物質の重量濃度測定方法 | |
| WO2007003839A3 (fr) | Methode de controle non destructive d'un filtre a particules et dispositif de mise en œuvre associe | |
| JP6425132B2 (ja) | パージ機能を備えた装置前自動倉庫とパージ方法 | |
| ATE416066T1 (de) | Strahlgut-reinigungssystem für sandstrahlmaschinen | |
| JP6868967B2 (ja) | 凍結品搬入システム | |
| JP6616721B2 (ja) | 包装品搬入システム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Lapsed because of non-payment of the annual fee |
Effective date: 20180201 |