NL1015251C2

NL1015251C2 -

Info

Publication number: NL1015251C2
Application number: NL1015251A
Authority: NL
Inventors: Myung-Seung Son; Won-Soo Cho; Jin-Ho Jang
Original assignee: Hyundai Electronics Ind
Priority date: 1999-05-20
Filing date: 2000-05-19
Publication date: 2004-10-19
Also published as: TW482967B; KR100303322B1; GB0012374D0; GB2352058A; DE10024735A1; ITMI20001128A0; FR2793916B1; CN1213367C; NL1015251A1; KR20000074361A; FR2793916A1; IT1317658B1; JP2001035760A; GB2352058B; CN1278621A; ITMI20001128A1

Description

Korte aanduiding: Systeem en werkwijze voor het automatisch beheren van halfgeleidercompartimenten.Short indication: System and method for the automatic management of semiconductor compartments.

Gebied van de uitvindingFIELD OF THE INVENTION

De uitvinding heeft betrekking op een systeem en een werkwijze voor het automatisch beheren van halfgeleiderproductiecompartimenten en meer in het bijzonder op een systeem en een werkwijze, ingericht 5 voor het effectief beheren van met processen voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen verbonden gegevens.The invention relates to a system and a method for automatically managing semiconductor production compartments and more particularly to a system and a method adapted to effectively manage data associated with processes for manufacturing semiconductor devices.

Beschrijving van de stand van de techniekDescription of the prior art

Een automatiseringssysteem in een halfgeleiderfabriek gebruikt in het algemeen een aantal automatische halfgeleiderproductiecompar-10 timenten. In elk van de halfgeleiderproductiecompartimenten is een aantal specifieke procesinrichtingen voor het bewerken van halfgelei-derplakken, bijv. een etsinrichting, een fotolithografische inrichting en dergelijke, verschaft.An automation system in a semiconductor factory generally uses a number of automatic semiconductor production components. In each of the semiconductor production compartments, a number of specific process devices for processing semiconductor wafers, e.g., an etching device, a photolithographic device, and the like, are provided.

Verder wordt in hét automatische halfgeleiderproductiecomparti-15 ment ook een voorraadhouder gebruikt, waarbij de voorraadhouder tijdelijk aan het productiecompartiment te verschaffen en in het produc-tiecompartiment te verwerken cassettes opslaat. De cassettes zijn elk een houder, die is ingericht om een voorafbepaald aantal halfgelei-derplakken op te stapelen, waarbij het voorafbepaalde aantal halfge-20 leiderplakken als een partij wordt aangeduid.Furthermore, a storage container is also used in the automatic semiconductor production compartment, the storage container to be temporarily supplied to the production compartment and to store cassettes to be processed in the production compartment. The cassettes are each a holder adapted to stack a predetermined number of semiconductor wafers, the predetermined number of semiconductor wafers being referred to as a batch.

Om de met processen verbonden gegevens te beheren wordt in een gangbaar automatiseringssysteem in een halfgeleiderfabriek bovendien een netwerksysteem gebruikt.In addition, a network system is used to manage the data associated with processes in a conventional automation system in a semiconductor factory.

Het gangbare netwerksysteem omvat een hoofdcomputer, een aantal 25 eindstations en een met de hoofdcomputer verbonden gegevensbestand.The conventional network system comprises a main computer, a number of end stations and a data file connected to the main computer.

De hoofdcomputer verwerkt alle met de vervaardiging van de halfgelei-derplakken in het conventionele automatiseringssysteem in een halfgeleiderfabriek verbonden gegevens. Vervolgens bestuurt de hoofdcomputer de procesinrichtingen.The main computer processes all data associated with the manufacture of the semiconductor wafers in the conventional automation system in a semiconductor factory. The main computer then controls the process devices.

30 Door het netwerksysteem is het aantal bedieningspersonen voor het beheren van de processen verminderd en dientengevolge zijn de aan de plak gehechte verontreinigingen tot een minimum beperkt. Bovendien worden de met de vervaardiging van de halfgeleiderplakken verbonden gegevens snel verwerkt.The network system has reduced the number of operators for managing the processes and, consequently, the contaminants attached to the slab are kept to a minimum. Moreover, the data associated with the manufacture of the semiconductor wafers is processed quickly.

λ η λ c o c Λ - 2 -λ η λ c o c Λ - 2 -

Aangezien de gangbare verwerkingsinrichting geen geclassificeerde opslaginrichting en een totaal beheer voor de gegevens heeft, is het echter moeilijk om alle halfgeleiderproductiecompartimenten op effectieve wijze te beheren om het mogelijk te maken dat een aantal 5 bedieningspersonen in een in het halfgeleiderproductiecompartiment uitgevoerd proces in kunnen grijpen, waardoor de productiviteit van de halfgeleiderinrichtingen achteruitgaat.However, since the conventional processing device has no classified storage device and total data management, it is difficult to effectively manage all semiconductor production compartments to allow a number of operators to intervene in a process performed in the semiconductor production compartment, thereby the productivity of the semiconductor devices deteriorates.

Samenvatting van de uitvindingSummary of the invention

Het is derhalve een doel van de uitvinding om een systeem en 10 een werkwijze voor het automatisch beheren van halfgeleiderproductie-compartimenten te verschaffen, die in staat zijn de problemen van de stand van de techniek op een effectieve wijze op te lossen.It is therefore an object of the invention to provide a system and method for automatically managing semiconductor production compartments that are capable of effectively solving the problems of the prior art.

Volgens een aspect van de uitvinding is een systeem voor het automatisch beheren van halfgeleiderproductiecompartimenten ver-15 schaft, welk systeem omvat: een aantal procesinrichtingen, die elk zijn ingericht voor het bewerken van een partij, die een voorafbepaald aantal halfgeleiderplakken weergeeft, en voor het in reactie op partijgegevens opwekken van met een proces verbonden onvertraagde (real-time) procesgegevens; ten minste een productiebeheerinrichting 20 voor het opwekken van met het proces in de halfgeleiderproductiecom-partimenten verbonden stuurcommando's en het van elke procesinrichting ontvangen van de onvertraagde procesgegevens; een besturingsin-richting voor het in reactie op de stuurcommando's besturen van de procesinrichtingen en voor het overdragen van de onvertraagde proces-25 gegevens aan de productiebeheerinrichting; een gegevensopslaginrich-ting voor het in reactie op de door de productiebeheerinrichting afgegeven commando's opslaan van met het proces en de partij in de halfgeleiderproductiecompartimenten verbonden gegevens; en een histo-riebeheerinrichting voor het in reactie op de door de productiebe-30 heerinrichting afgegeven stuurcommando's beheren van de historie van elk van de procesinrichtingen en halfgeleiderplakken.According to an aspect of the invention, a system for automatically managing semiconductor production compartments is provided, which system comprises: a number of process devices, each of which is arranged for processing a batch, which displays a predetermined number of semiconductor wafers, and for response to batch data generating real-time process data associated with a process; at least one production management device 20 for generating control commands associated with the process in the semiconductor production compartments and receiving the real-time process data from each process device; a control device for controlling the process devices in response to the control commands and for transmitting the real-time process data to the production management device; a data storage device for storing data associated with the process and the batch in the semiconductor production compartments in response to commands issued by the production management device; and a history management device for managing the history of each of the process devices and semiconductor wafers in response to the control commands issued by the production management device.

Volgens een ander aspect van de uitvinding is een werkwijze voor het automatisch beheren van halfgeleiderproductiecompartimenten verschaft, welke werkwijze de stappen omvat van: het zenden van een 35 cassettetoevoercommando aan een aantal procesinrichtingen en een automatisch transportmiddel, na het opwekken van het cassettetoevoer-commando door gebruik te maken van een door een productiebesturings-middel verzonden eerste partijgegeven; het onder gebruikmaking van de procesinrichtingen bewerken van een in een cassette opgenomen partij; 40 het via een gegevensverzamelmiddel in een gegevensopslagmiddel op- - 3 - slaan van onvertraagde procesgegevens, die optreden in de in werking zijnde procesinrichtingen; het in voorraad opslaan van de cassette in een cassettevoorraadmiddel door gebruik te maken van het automatische transportmiddel; en het opslaan van de onvertraagde procesgegevens in 5 een historieopslagmiddel, waarbij de onvertraagde procesgegevens door een historiebeheermiddel worden gesorteerd.According to another aspect of the invention, a method for automatically managing semiconductor production compartments is provided, which method comprises the steps of: sending a cassette feed command to a plurality of process devices and an automatic transport means after generating the cassette feed command by use to make a first batch data sent by a production control means; processing a batch contained in a cassette using the process devices; Storing, via a data collection means, a data storage means in real-time process data occurring in the operating process devices; storing the cassette in a cassette supply means in stock by using the automatic transport means; and storing the real-time process data in a history storage means, the real-time process data being sorted by a history management means.

Volgens een ander aspect van de uitvinding is een computer-leesbaar medium, dat programmainstructies opslaat, verschaft, waarbij I de programmainstructies in een computer worden geplaatst om een werk- I 10 wijze voor het automatisch beheren van halfgeleiderproductiecomparti- I menten uit te voeren, welke werkwijze de stappen omvat van: a) het I zenden van een cassettetoevoercommando aan een aantal procesinrich- I tingen en een automatisch transportmiddel, na het opwekken van het cassettetoevoercommando door gebruik te maken van een door een pro- I 15 ductiebesturingsmiddél verzonden eerste partijgegeven; b) het onder I gebruikmaking van de procesinrichtingen bewerken van een in een cas- I sette opgenomen partij; c) het via een gegevensverzamelmiddel in een I gegevensopslagmiddel opslaan van onvertraagde procesgegevens, die op- I treden in de in werking zijnde procesinrichtingen; d) het in voorraad I 20 opslaan van de cassette in een cassettevoorraadmiddel door gebruik te I maken van het automatische transportmiddel; en e) het opslaan van de I onvertraagde procesgegevens in een historieopslagmiddel, waarbij de I onvertraagde procesgegevens door een historiebeheermiddel worden ge- I sorteerd.According to another aspect of the invention, a computer-readable medium storing program instructions is provided, wherein the program instructions are placed in a computer to perform a method for automatically managing semiconductor production components, which the method comprises the steps of: a) sending a cassette feed command to a plurality of process devices and an automatic transport means, after generating the cassette feed command by using a first batch data sent by a production control means; b) processing a batch included in a cassette under I using the process devices; c) storing in real time process data via a data collection means in an I data storage means that occur in the operating process devices; d) storing the cassette in a cassette supply means in stock by using the automatic transport means; and e) storing the I-real-time process data in a history storage means, the I-real-time process data being sorted by a history management means.

I 25 Korte beschrijving van de tekeningBrief description of the drawing

De bovenstaande en andere doelen en kenmerken van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de volgende beschrijving van de voor- keursuitvoeringsvormen, welke beschrijving is gegeven in samenhang H met de bijgevoegde tekening, waarin: I 30 fig. 1 een diagram van een automatiseringssysteem in een half- geleiderfabriek toont, welk systeem een systeem voor het automatisch beheren van een halfgeleiderproductiecompartiment volgens een voor- keursuitvoeringsvorm van de uitvinding toepast; I fig. 2 een opbouw van een historiegegevensbestand in het sys- I 35 teem van fig. 1 weergeeft; fig. 3 een opbouw van een met een partij in fig. 2 verbonden partijgegevenstabel toont; fig. 4 een opbouw van een met een in fig. 2 weergegeven proces- inrichting verbonden inrichtinggegevenstabel toont; fig. 5 een opbouw van een met een sjabloon van elk van de half-geleiderplakken, die in een in fig. 2 weergegeven cassette zijn opge-nomen, verbonden sjabloon- en cassettegegevenstabel toont; fig. 6 een opbouw van een met een in fig. 2 weergegeven in wer-5 king zijnd proces verbonden procesgegevenstabel weergeeft; H fig. 7Ά tot en met 7C stroomschema's zijn, die een werkwijze H voor het automatisch beheren van halfgeleiderproductiecompartimenten H volgens de uitvinding tonen; H fig. 8 een stroomschema is, dat stappen weergeeft, waarin een H 10 CMS een cassettetoevoercommando aan een procesinrichting zendt, zoals H weergegeven in fig. 7A; fig. 9 een stroomschema is, dat stappen weergeeft, waarin een H AGV in fig. 7A de cassette aan de procesinrichting toevoert; H fig. 10 een stroomschema is, dat stappen weergeeft voor het re- H 15 gistreren van onvertraagde procesgegevens in fig. 7B in een onver- traagde-gegevensbestand; fig. 11 een stroomschema is, dat stappen weergeeft, waarin de procesinrichting in fig. 7B vraagt om verwijdering van een cassette; fig. 12 een stroomschema is, dat stappen weergeeft, waarin een 20 CMS in fig. 7B een cassetteverwijderingscommando naar de procesin- I richting zendt; en fig. 13 een stroomschema is, dat stappen weergeeft, waarin een AGV de cassette uit de procesinrichting verwijdert en de cassette in.The above and other objects and features of the invention will become apparent from the following description of the preferred embodiments, which description is given in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. 1 is a diagram of an automation system in a half - conductor factory, which system uses a system for automatically managing a semiconductor production compartment according to a preferred embodiment of the invention; Fig. 2 shows a structure of a history data file in the system of Fig. 1; Fig. 3 shows a structure of a batch data table connected to a batch in Fig. 2; Fig. 4 shows a structure of a device data table connected to a process device shown in Fig. 2; FIG. 5 shows a structure of a template and cassette data table connected to a template of each of the semiconductor wafers included in a cassette shown in FIG. 2; Fig. 6 shows a structure of a process data table connected to a working process shown in Fig. 2; H Figures 7Ά to 7C are flow charts showing a method H for automatically managing semiconductor production compartments H according to the invention; H Fig. 8 is a flow chart showing steps in which an H 10 CMS sends a cassette feed command to a process device, such as H shown in Fig. 7A; Fig. 9 is a flow chart showing steps in which an H AGV in Fig. 7A feeds the cassette to the process device; H Fig. 10 is a flowchart showing steps for registering real-time process data in Fig. 7B in an real-time data file; Fig. 11 is a flow chart showing steps in which the process device in Fig. 7B requests removal of a cassette; Fig. 12 is a flow chart showing steps in which a CMS in Fig. 7B sends a cassette removal command to the process device; and FIG. 13 is a flow chart showing steps in which an AGV removes the cassette from the process device and inserts the cassette.

een voorraadhouder opslaat.store a storage container.

I 25 Gedetailleerde beschrijving van de voorkeursuitvoerinqsvormen I Om halfgeleiderinrichtingen te vervaardigen, zijn typisch een I aantal halfgeleiderproductiecompartimenten geïnstalleerd in een auto- matiseringssysteem in een halfgeleiderfabriek en zijn de halfgelei- I derproductiecompartimenten via een gemeenschappelijke communicatie- I 30 lijn met een productiebeheersysteem verbonden. Om wille van het gemak I zal de uitvinding voor slechts een halfgeleiderproductiecompartiment worden beschreven.Detailed Description of the Preferred Embodiments I To manufacture semiconductor devices, typically a number of semiconductor production compartments are installed in an automation system in a semiconductor factory and the semiconductor production compartments are connected to a production management system via a common communication line. For the sake of convenience I, the invention will be described for only a semiconductor production compartment.

Er wordt nu verwezen naar fig. 1, waarin een diagram van een I automatiseringssysteem in een halfgeleiderfabriek is weergegeven, I 35 welk automatiseringssysteem een systeem voor het automatisch beheren I van de halfgeleiderproductiecompartimenten volgens een voorkeursuit- I voeringsvorm van de uitvinding gebruikt.Reference is now made to Fig. 1, which shows a diagram of an automation system in a semiconductor factory, which automation system uses a system for automatically managing the semiconductor production compartments according to a preferred embodiment of the invention.

I Zoals is weergegeven, bevat het automatiseringssysteem in een halfgeleiderfabriek ten minste een cel, die ten minste een voorafbe- I 40 paald aantal, bijv. 4, halfgeleiderproductiecompartimenten heeft. Een - 5 - halfgeleiderproductiecompartiment is voorzien van een voorafbepaald aantal procesinrichtingen 700, een voorraadhouder 890 en een of meer automatische geleidingsvoertuigen (AGV's) 880. De procesinrichtingen 700 bewerken elk halfgeleiderplakken om halfgeleiderinrichtingen te 5 verkrijgen. De procesinrichting bevat bijv. een etsinrichting, een fotolithografische inrichting en dergelijke. De voorraadhouder slaat tijdelijk een aantal cassettes op. De cassettes hebben elk een voorafbepaald aantal halfgeleiderplakken, welk voorafbepaalde aantal als een partij wordt aangeduid. De cassettes worden onder gebruikmaking 10 van de AGV 880 selectief naar een procesinrichting getransporteerd. Een in de procesinrichting bewerkte cassette (hierna aangeduid als "een bewerkte cassette of partij") wordt vervolgens onder gebruikmaking van de AGV 880 naar een andere procesinrichting of de voorraadhouder 890 getransporteerd. De in de voorraadhouder 890 opgeslagen 15 bewerkte cassette wordt getransporteerd naar een ander halfgeleider-productiecompartiment.As shown, the automation system in a semiconductor factory includes at least one cell which has at least a predetermined number, e.g., 4, semiconductor production compartments. A semiconductor production compartment is provided with a predetermined number of process devices 700, a supply container 890 and one or more automatic guiding vehicles (AGVs) 880. The process devices 700 each process semiconductor wafers to obtain semiconductor devices. The process device comprises, for example, an etching device, a photolithographic device and the like. The stock holder temporarily stores a number of cassettes. The cassettes each have a predetermined number of semiconductor wafers, which predetermined number is referred to as a batch. The cassettes are selectively transported to a process device using the AGV 880. A cassette processed in the process device (hereinafter referred to as "a processed cassette or batch") is then transported to another process device or the storage container 890 using the AGV 880. The processed cassette stored in the storage container 890 is transported to another semiconductor production compartment.

Elke procesinrichting is via een inrichtingbesturingsgedeelte 600 aan een gemeenschappelijke communicatielijn 10, bijv. een door Xerox Corporation geleverd Ethernet™, gekoppeld. De voorraadhouder 20 890 en de AGV zijn eveneens aan de gemeenschappelijke communicatielijn 10 gekoppeld.Each process device is coupled via a device control portion 600 to a common communication line 10, e.g., an Ethernet ™ supplied by Xerox Corporation. The stock holder 2090 and the AGV are also coupled to the common communication line 10.

Het halfgeleiderfabriek-automatiseringssysteem bevat ook een celbeheergedeelte 100, een met het celbeheergedeelte 100 verbonden I onvertraagde-gegevensbestand 200, een met het celbeheergedeelte 100 I 25 verbonden tijdelijke opslageenheid 300, een met de tijdelijke opslag- I eenheid 300 verbonden historiebeheergedeelte 400 en een met het his- toriebeheergedeelte 400 verbonden historiegegevensbestand 500. Het celbeheergedeelte 100, het historiebeheergedeelte 400 en het histo- I riegegevensbestand 500 zijn voor communicatie met de gemeenschappe- I 30 lijke communicatielijn 10 verbonden.The semiconductor factory automation system also includes a cell management portion 100, a real-time data file 200 connected to the cell management portion 100, a temporary storage unit 300 connected to the cell management portion 100 I, a history management portion 400 connected to the temporary storage unit 300 and a history management section 400 connected history data file 500. The cell management section 100, the history management section 400, and the history data file 500 are connected to the common communication line 10 for communication.

Het celbeheergedeelte 100 communiceert via de Ethernet™-kabel I 10 met het inrichtingbesturingsgedeelte 600 voor het besturen van een I procesinrichting 700, en met het transportbesturingsgedeelte 800 voor I het besturen van de voorraadhouder 890 en de AGV 860.The cell management portion 100 communicates via the Ethernet ™ cable I 10 with the device control portion 600 for controlling an I process device 700, and with the transport control portion 800 for controlling the supply container 890 and the AGV 860.

35 Verder is het historiegegevensbestand 500 via de gemeenschappe- lijke communicatielijn gekoppeld aan een rapportagegedeelte 900.Furthermore, the history data file 500 is linked via the common communication line to a reporting section 900.

Het celbeheergedeelte 100 bevat een bedieningskoppelingsserverThe cell management portion 100 includes a control link server

(hierna als OIS aangeduid) 120, een celbeheerserver (hierna met CMS(hereinafter referred to as OIS) 120, a cell management server (hereinafter referred to as CMS)

H aangeduid) 140 voor het opwekken van stuurcommando's en een gegevens- 40 verzamelserver (hierna met DGS aangeduid) 160 voor het in het onver- Η ' traagde-gegevensbestand 200 opslaan van met de partij verbonden pro- cesgegevens.H) 140 for generating control commands and a data collection server (hereinafter referred to as DGS) 160 for storing process data associated with the batch in the real-time data file 200.

H De OIS 120 heeft een grafische gebruikerkoppeling. Een bediener H kan in beginsel in de OIS 120 met de te bewerken partij verbonden H 5 partijgegevens invoeren, zoals een identificatiesymbool (ID) van de H partij, een ID van de de partij bevattende cassette en dergelijke. De H in de OIS 120 ingevoerde partijgegevens worden naar de CMS 140 geïon- den en vervolgens via DGS 160 aan het onvertraagde-gegevensbestand 200 toegevoerd. In dit geval wekt de CMS 140 als stuurcommando een H 10 cassettetoevoercommando of een cassetteverwijderingscommando op, op basis van een eerder in het onvertraagde-gegevensbestand 200 opgesla- gen processchema. Het commando wordt via de gemeenschappelijke commu- nicatielijn, d.w.z. het Ethernet, in een Ethernet^-berichtvorm aan het transportbesturingsgedeelte 800 toegevoerd en gelijktijdig op een 15 scherm van de OIS 120 weergegeven.H The OIS 120 has a graphical user interface. An operator H can in principle enter in the OIS 120 H batch data associated with the batch to be processed, such as an identification symbol (ID) of the H batch, an ID of the cassette containing the batch and the like. The batch data entered in the OIS 120 is fed to the CMS 140 and then fed to the real-time database 200 via DGS 160. In this case, the CMS 140 generates an H 10 cassette feed command or a cassette removal command as a control command, based on a process scheme previously stored in the real-time data file 200. The command is applied to the transport control section 800 via the common communication line, i.e. the Ethernet, in an Ethernet message form and simultaneously displayed on a screen of the OIS 120.

De CMS 140 ontvangt onvertraagde procesgegevens van het inrich- tingbesturingsgedeelte 700 in een Ethernet-berichtvorm en slaat de onvertraagde procesgegevens in de tijdelijke opslageenheid 300 op. In I dit geval slaat de tijdelijke opslageenheid 300 de onvertraagde pro- 20 cesgegevens gedurende een voorafbepaalde tijd op.The CMS 140 receives real-time process data from the device control portion 700 in an Ethernet message form and stores the real-time process data in the temporary storage unit 300. In this case, the temporary storage unit 300 stores the real-time process data for a predetermined time.

Het historiebeheergedeelte 400 bevat een historie-informatie- I server (hierna met HIS aangeduid) 420 voor het uit de tijdelijke op- slageenheid 300 halen van de onvertraagde procesgegevens en het in het historiegegevensbestand 500 opslaan van de opgehaalde onvertraagd I 25 de procesgegevens, op basis van een commando van de CMS 140.The history management portion 400 includes a history information server (hereinafter referred to as HIS) 420 for retrieving the real-time process data from the temporary storage unit 300 and storing the retrieved real-time process data in the history data file 500 based on of a command from the CMS 140.

I Het inrichtingbesturingsgedeelte 600 bevat een met de gemeen- I schappelijke communicatielijn 10 Verbonden inrichtingserver (hierna met EQS aangeduid) 620 en een inrichtingcommunicatieserver (hierna I met ECS aangeduid) 640 voor het communiceren van de procesinrichtin- I 30 gen 700 met de EQS 620. De ECS 640 zet de door de procesinrichting 700 afgegeven procesgegevens om in een halfgeleiderinrichting-stan- I daardcommunicatie- (hierna met SECS aangeduid) bericht. De SECS is I een communicatieprotocol voor de communicatie tussen de servers in dit systeem. De EQS 620 zendt via de EQS 620 en de ECS 640 door de I 35 CMS 140 afgegeven stuurcommando's naar de procesinrichtingen 700.The device control section 600 includes a device server (hereinafter referred to as EQS) 620 and a device communication server (hereinafter referred to as ECS) 640 connected to the common communication line 10 for communicating the process devices 700 to the EQS 620. The ECS 640 converts the process data output from the process device 700 into a semiconductor device-standard communication (hereinafter referred to as SECS) message. The SECS is a communication protocol for communication between the servers in this system. The EQS 620 sends control commands issued by the CMS 140 via the EQS 620 and the ECS 640 to the process devices 700.

I Verder ontvangt de EQS 620 via de ECS 640 de door de procesinrichtin- I gen 700 afgegeven procesgegevens en zendt de procesgegevens naar de I CMS 140.Furthermore, the EQS 620 receives via the ECS 640 the process data issued by the process devices 700 and sends the process data to the I CMS 140.

Het transportbesturingsgedeelte 800 bevat een voorraadhouderbe-40 sturingsserver (hierna met SCS aangeduid) 820 voor het besturen van - 7 - de voorraadhouder 890, en met de SCS 820 verbonden intercompartiment-besturingsserver (hierna met ISC aangeduid) 840 en een met de ICS 840 verbonden automatische geleidingsvoertuigbesturing (hierna aangeduid met AGVC 860) .The transport control portion 800 includes a supply holder 40 control server (hereinafter referred to as SCS) 820 for controlling the supply holder 890, and intercompartment control server connected to the SCS 820 (hereinafter referred to as ISC) 840 and an ICS 840 connected to the ICS 840 automatic guidance vehicle control (hereinafter referred to as AGVC 860).

5 De ICS 840 ontvangt de door de CMS 140 afgegeven stuurcomman do's en zendt de stuurcommando's naar elk van de SCS 820 en AGVC 860. De SCS 820 bestuurt de voorraadhouder 890 op basis van de ontvangen stuurcommando's, zodat de voorraadhouder 890 geselecteerde cassettes laadt of ontlaadt.The ICS 840 receives the control commands issued by the CMS 140 and sends the control commands to each of the SCS 820 and AGVC 860. The SCS 820 controls the supply holder 890 on the basis of the received control commands, so that the supply holder 890 loads or unloads selected cassettes .

10 De AGVC 860 wekt op basis van de ontvangen stuurcommando's een transportbesturingssignaal op en zendt vervolgens het transportbestu-ringssignaal naar de AGV 880. Vervolgens transporteert de AGV 880 in reactie op het transportbesturingssignaal de geselecteerde cassettes.The AGVC 860 generates a transport control signal based on the received control commands and then sends the transport control signal to the AGV 880. The AGV 880 then transports the selected cassettes in response to the transport control signal.

Het rapportagedeelte 900 bevat een rapportageserver 920 voor 15 het uit het historiegegevensbestand 500 ophalen van de gegevens en het opwekken van een rapport, en een rapportgegevensbestand 940 voor het opslaan van het door de rapportageserver 920 opgewekte rapport.The reporting portion 900 includes a reporting server 920 for retrieving the data from the history data file 500 and generating a report, and a report data file 940 for storing the report generated by the reporting server 920.

Een aantal van de bovenstaande servers kan worden uitgevoerd door gebruik te maken van een aantal softwareprogramma's en elk ge-20 deelte kan worden uitgevoerd door gebruik te maken van een of meer personal computers, werkstations, microprocessoren en dergelijke.A number of the above servers can be executed by using a number of software programs and each part can be executed by using one or more personal computers, workstations, microprocessors and the like.

Er wordt nu verwezen naar fig. 2, waarin een opbouw van een historiegegevensbestand in het systeem volgens de uitvinding is weergegeven .Reference is now made to Fig. 2, which shows a structure of a history data file in the system according to the invention.

25 Zoals is weergegeven in fig. 2 bevat het historiegegevensbe stand 500 een partijgegevenstabel 510, een inrichtinggegevenstabel 520, een sjabloon- en cassettegegévenstabel 530 en een procesgegeven-stabel 540.As shown in FIG. 2, the history data file 500 includes a batch data table 510, a device data table 520, a template and cassette data table 530, and a process data table 540.

Er wordt nu verwezen naar fig. 3, waarin een opbouw van de in 30 fig. 2 weergegeven met een partij verbonden partijgegevenstabel 510 is weergegeven.Reference is now made to Fig. 3, which shows a structure of the batch data table 510 associated with a batch connected to a batch.

Zoals is weergegeven, heeft de partijgegevenstabel 510 een parti jtoestandstabel 511, een partijhistorietabel 512, een partij-ver-wijderd-historietabel 513, een partijeigenschaptabel 514, een wer-35 kingscommandotabel 515, een procestabel 516, een partijafkeuringstabel 517, een partijherbewerkingstabel 518 en een partijfouttabel 519.As shown, the batch data table 510 has a batch state table 511, a batch history table 512, a batch-deleted history table 513, a batch property table 514, a operation command table 515, a process table 516, a batch rejection table 517, a batch rework table 518, and a party error table 519.

De partijtoestandstabel 51 slaat gegevens op, die een op een partij uit te voeren proces, het aantal plakken in de partij, een plaktoestand in de partij en dergelijke weergeven. De partijhistorie-40 tabel 512 slaat gegevens op, die op de partij uitgevoerde processen, 1015251 de verandering van het aantal plakken in de partij en dergelijke weergeven. De partij-verwijderd-historietabel 513 slaat gegevens op, I die een door een historieverwijderingscommando en een verwijderings- tijd verwijderde partijhistorie, een bediener daarvoor en dergelijke 5 weergeven. De partijeigenschaptabel 514 slaat gegevens op, die een door de bediener gedefinieerde eigenschap van een partij weergeven.The batch state table 51 stores data representing a process to be performed on a batch, the number of slices in the batch, a slice state in the batch, and the like. The batch history 40 table 512 stores data representing processes performed on the batch, 1015251, the change in the number of slices in the batch, and the like. The batch-deleted history table 513 stores data representing a batch history deleted by a history delete command and a delete time, an operator therefor, and the like. The lot property table 514 stores data that represents a party-defined property.

De werkingscommandotabel 515 slaat gegevens, die de in elk proces ge- I bruikte werkingscommando's weergeven. De procestabel 516 slaat de I tijdens elk proces geproduceerde gegevens op. De partijafkeuringsta- 10 bel 517 slaat gegevens op, die een proces, waarin een afkeuring van een partij optreedt, een reden voor de afkeuring, een beheerhistorie voor de afkeuring en dergelijke weergeven. De partijherbewerkingsta- I bel 518 slaat gegevens op, die een reden, waarom de partij herbewerkt dient te worden, en dergelijke weergeven. Wanneer de partij zich in I 15 een fouttoestand bevindt, slaat de partij fouttabel 519 gegevens op, I die een reden van de fout, een beheerhistorie voor de fout enzovoorts I weergeven.The operation command table 515 stores data representing the operation commands used in each process. The process table 516 stores the data produced during each process. The batch rejection table 517 stores data representing a process in which a batch rejection occurs, a reason for the rejection, a management history for the rejection, and the like. The batch reprocessing table 518 stores data representing a reason why the batch needs to be reprocessed and the like. When the lot is in an error state, the lot error table 519 stores data, I representing a reason for the error, an error management history, and so on.

I Er wordt nu verwezen naar fig. 4, waarin een opbouw van de met een procesinrichting verbonden inrichtinggegevenstabel 520 van fig. 2 I 20 is weergegeven.Reference is now made to Fig. 4, which shows a structure of the device data table 520 of Fig. 2 I which is connected to a process device.

I Zoals is weergegeven in fig. 4, heeft de inrichtinggegevensta- bel 520 een inrichtingtoestandstabel 521, een inrichtinghistorietabel I 522, een inrichtingonderhoudstabel 1>23, een inrichtingwerkingstabel 524 en een inrichtingcommandohistorietabel 525.As shown in Fig. 4, the device data table 520 has a device state table 521, a device history table I 522, a device maintenance table 1> 23, a device operation table 524, and a device command history table 525.

I 25 De inrichtingtoestandstabel 521 slaat gegevens op, die de hui- I dige toestand van de in werking zijnde procesinrichting 700 weerge- ven. De inrichtinghistorietabel 522 slaat gegevens op, die een in de I procesinrichting 700 optredende fout weergeven. De inrichtingonder- houdstabel 523 slaat met het onderhoud van de procesinrichting ver- I 30 bonden informatie op. De inrichtingwerkingstabel 524 slaat met het in de procesinrichting 700 uitgevoerde proces verbonden gegevens en met I de procesinrichting 700 verbonden gegevens op. Wanneer de procesin- I richting 700 buiten werking is, slaat de inrichtingcommandohistorie- I tabel 525 in de procesinrichting 700 verwerkte commando's op.The device state table 521 stores data representing the current state of the operating process device 700. The device history table 522 stores data representing an error occurring in the process device 700. The device maintenance table 523 stores information associated with the maintenance of the process device. The device operation table 524 stores data associated with the process executed in the process device 700 and data associated with the process device 700. When the process device 700 is out of order, the device command history table 525 stores commands processed in the process device 700.

I 35 Er wordt nu verwezen naar fig. 5, waarin een opbouw van de in I fig. 2 weergegeven, met een sjabloon van elk van de in een cassette I opgenomen halfgeleiderplakken verbonden sjabloon- en cassettegege- I venstabel 530 is weergegeven.Reference is now made to Fig. 5, which shows a structure of the template and cassette data table 530 shown in Fig. 2, connected to a template of each of the semiconductor wafers included in a cassette I.

- 9 -- 9 -

Zoals is weergegeven in fig. 5, heeft de sjabloon- en cassette-gegevenstabel 530 een sjaboonhistorietabel 531 en een sjablooncomman-dohistorietabèl 532.As shown in FIG. 5, the template and cassette data table 530 has a template history table 531 and a template command history table 532.

Wanneer ten minste een van de sjablonen zich in een fouttoe-5 stand bevindt, slaat de sjabloonhistorietabel 531 gegevens op, die de in de sjablonen optredende fout weergeven. Wannéér ten minste een van de sjablonen zich in een fouttoestand bevindt, slaat de sjablooncom-mandohistorietabel 532 gegevens op, die de in de procesinrichting 700 verwerkte commando's weergeven.When at least one of the templates is in an error state, the template history table 531 stores data representing the error occurring in the templates. When at least one of the templates is in an error state, the template command history table 532 stores data representing the commands processed in the process device 700.

10 Er wordt nu verwezen naar fig. 6, waarin een opbouw van de in fig. 2 weergegeven, met een in werking zijnd proces verbonden proces-gegevenstabel is weergegeven.Reference is now made to Fig. 6, which shows a structure of the process data table associated with a running process and shown in Fig. 2.

Zoals is weergegeven in fig. 6, heeft de procesgegevenstabel 540 een procestoestandstabel 541 en een proceshistorietabel 542.As shown in FIG. 6, the process data table 540 has a process state table 541 and a process history table 542.

15 De procestoestandstabel 541 slaat toestandsinformatie voor de aan een proces onderworpen halfgeleiderplak of partij op. De proceshistorietabel 542 slaat gegevens op, die het aantal in de procesinrichting 700 bewerkte halfgeleiderplakken en de voor het proces vereiste tijd weergeven.The process state table 541 stores state information for the semiconductor wafer or batch subjected to a process. The process history table 542 stores data representing the number of semiconductor wafers processed in the process device 700 and the time required for the process.

20 Deze uitvoeringsvorm beschrijft de uitvinding met één celbe- heergedeelte 100, een historiebeheergedeelte 400 en een onvertraagde-gegevensbestand 200, doch in werkelijkheid kunnen twee of meer celbe-heergedeelten 100, historiebeheergedeelten 400 en onvertraagde-gege-vensbestanden 200 in het halfgeleiderfabriek-automatiseringssysteem 25 worden tóegepast.This embodiment describes the invention with one cell management portion 100, a history management portion 400, and an real-time data file 200, but in reality, two or more cell management portions 100, history management portions 400, and real-time data files 200 in the semiconductor plant automation system 25 may be are applied.

Bovendien worden de in de bovenstaande tabellen opgeslagen gegevens in een gegevensverzamelingsvorm in de tijdelijke opslageenheid 300 opgeslagen. Indien de voorafbepaalde tijd is verstreken, wordt de gegevensverzameling opgeslagen in het historiegegevensbestand 500.In addition, the data stored in the above tables is stored in a data collection form in the temporary storage unit 300. If the predetermined time has elapsed, the data set is stored in the history data file 500.

30 Het celbeheergedeelte 100 en de historiebeheergedeelten 400 zijn parallel werkzaam.The cell management portion 100 and the history management portions 400 operate in parallel.

Fig. 7A tot en met 7C zijn stroomschema's, die een werkwijze voor het automatisch beheren van halfgeleiderproductiecompartimenten volgens de uitvinding tonen.FIG. 7A to 7C are flow charts showing a method for automatically managing semiconductor production compartments according to the invention.

35 Zoals is wèergegeven in fig. 7A tot en met 7C, vormt een bedie ner in stap S300 een te bewerken partij 'door middel van het onder gebruikmaking van de grafische gebruikerkoppeling van de OIS 120 invoeren van met de partij verbonden partijgegevens. De met de partij verbonden partijgegevens omvatten een partij-ID, een op de partij uit te 40 voeren proces, het aantal plakken in de partij en een ID van de de 4 ft 4 r n r 4 - 10 - partij bevattende cassette. Gelijktijdig ontvangt de CMS 140 in stap S310 de eerste partijgegevens en wekt vervolgens een cassettetoevoer-commando op. In stappen S320 en S330 zendt de CMS 140 het cassette-toevoercommando in een berichtvorm naar de procesinrichtingen 700 en 5 ICS 840.As shown in Figs. 7A to 7C, an operator forms a batch to be processed in step S300 by inputting batch data associated with the batch using the graphical user interface of the OIS 120. The batch data associated with the batch includes a batch ID, a process to be performed on the batch, the number of slices in the batch and an ID of the cassette containing the 4 ft. 4 - 10 batch. Simultaneously, in step S310, the CMS 140 receives the first batch data and then generates a cassette feed command. In steps S320 and S330, the CMS 140 sends the cassette feed command in a message form to the process devices 700 and ICS 840.

In dit geval zendt de ICS 840 in stap S340 het cassettetoevoer-commando naar de SCS 820 en AGVC 860. Het cassettetoevoercommando bevat stuurgegevens, die een cassette-ID, een positie, waaraan de cassette wordt toegevoerd, en een positie voor het laden van de cassette 10 omvatten.In this case, in step S340, the ICS 840 sends the cassette feed command to the SCS 820 and AGVC 860. The cassette feed command contains control data, a cassette ID, a position to which the cassette is fed, and a position for loading the cassette. cassette 10.

In dit geval zendt de AGVC 860 in stap S350 een AGV-stuursig-naal naar de AGV 880 en zendt de SCS 820 een voorraadhouderstuursig-naal naar de voorraadhouder 890. Vervolgens stelt de voorraadhouder 890 de AGV 880 in staat om een de te bewerken partij bevattende cas-15 sette op te halen.In this case, the AGVC 860 sends an AGV control signal to the AGV 880 in step S350 and the SCS 820 sends a supply holder control signal to the supply holder 890. The supply holder 890 then enables the AGV 880 to process the batch to be processed containing cas-15 set.

Verder transporteert de AGV 880 in stap S360 de door de voorraadhouder 890 geleverde cassette naar een beoogde procesinrichting.Further, in step S360, the AGV 880 transports the cassette supplied by the storage container 890 to an intended process device.

Vervolgens bewerkt de beoogde procesinrichting in stap S370 de in de door de AGV 880 getransporteeerde cassette opgenomen partij en 20 zendt de onvertraagde procesgegevens, die met het proces verbonden procesgegevens en met de procesinrichting verbonden inrichtinggege-vens bevatten, naar de CMS 140. In dit geval registreert de CMS 140 in stap S380 de onvertraagde procesgegevens via de DGS 160 in het on-vertraagde-gegevensbestand 200.Then, in step S370, the intended process device processes the batch contained in the cassette transported by the AGV 880 and sends the real-time process data containing process data associated with the process and device data connected to the process device to the CMS 140. In this case in step S380, the CMS 140 records the real-time process data via the DGS 160 in the real-time data file 200.

25 Wanneer de beoogde procesinrichting het proces heeft voltooid, wekt de beoogde procesinrichting vervolgens in stap S390 een verzoek-signaal op voor verwijdering van de voltooide cassette en zendt dit via het inrichtingbesturingsgdeelte 600 naar de CMS 140.When the intended process device has completed the process, the intended process device then generates in step S390 a request signal for removal of the finished cassette and transmits it through the device control portion 600 to the CMS 140.

Daarna wekt de CMS 140 in stappen S400 en S410 een cassettever-30 wijderingscommando op en zendt het cassetteverwijderingscommando in een berichtvorm naar de beoogde procesinrichting en de ICS 840. Het cassetteverwijderingscommando bevat stuurgegevens, die een ID van de te verwijderen cassette, de procesinrichting waaruit de cassette dient te worden verwijderd en een volgende beoogde procesinrichting 35 omvatten. In stap S420 zendt de ICS 840 het cassetteverwijderingscommando naar de AGVC 860. Gelijktijdig laadt de procesinrichting 700 de bewerkte partij in de cassette en wacht vervolgens op een volgend werk.Thereafter, in steps S400 and S410, the CMS 140 generates a cassette removal command and sends the cassette removal command in a message form to the intended process device and the ICS 840. The cassette removal command contains control data, which is an ID of the cassette to be removed, the process device from which the cassette must be removed and include another intended process device. In step S420, the ICS 840 sends the cassette removal command to the AGVC 860. At the same time, the process device 700 loads the processed batch into the cassette and then waits for a subsequent operation.

In stap S430 zendt de AGVC 860 een AGV-stuursignaal naar de AGV 40 880 onder gebruikmaking van een draadloos communicatienetwerk en in ί - 11 - stap S440 verwijdert de AGV 880 de cassette uit de procesinrichting 700 om de cassette in de voorraadhouder 890 op te slaan.In step S430, the AGVC 860 sends an AGV control signal to the AGV 40 880 using a wireless communication network, and in step S440, the AGV 880 removes the cassette from the process device 700 to store the cassette in the storage container 890 .

In stap S450 zendt de SCS 820 nieuwe positie-informatie voor de nieuw gestapelde cassette naar de CMS 140 en in stap S460 werkt de 5 CSM 140 eerdere in het onvertraagde-gegevensbestand 200 opgeslagen positie-informatie voor de nieuw gestapelde cassette bij door gebruik te maken van de nieuwe positie-informatie.In step S450, the SCS 820 sends new position information for the newly stacked cassette to the CMS 140 and in step S460 the CSM 140 updates position information for the newly stacked cassette previously stored in the real-time data file 200 by using of the new position information.

Vervolgens haalt de CMS 140 de in het onvertraagde-gegevensbestand 200 opgeslagen procesgegevens op en registreert in stap S470 de 10 opgeslagen procesgegevens als een procesgegevensverzameling in de tijdelijke opslageenheid 300. Daarna zendt de CMS 140 gegevensverza-melingsinformatie, die het feit, dat de tijdelijke opslageenheid 300 de procesgegevens opslaat, weergeeft, naar de HIS 420. Vervolgens haalt de HIS 420 in stap S480 de procesgegevensverzameling op uit de 15 tijdelijke opslageenheid 300 en registreert de procesgegevens in het historiegegevensbestand 500.Then, the CMS 140 retrieves the process data stored in the real-time data file 200, and in step S470 records the stored process data as a process data set in the temporary storage unit 300. Thereafter, the CMS 140 sends data collection information, which is the fact that the temporary storage unit 300 stores, displays, the process data to the HIS 420. Next, in step S480, the HIS 420 retrieves the process data collection from the temporary storage unit 300 and records the process data in the history data file 500.

In dit geval bevestigt de bediener via de OIS 120 aan de CMS 140 in stap S490 of een ander werk noodzakelijk is of niet. Indien een ander werk noodzakelijk is, keert de CMS 140 vervolgens terug 20 naar de stap S310 en wekt een cassettetoevoercommando op. Indien anderzijds enig ander werk niet noodzakelijk is, bepaalt het rapporta-gegedeelte 900 in stap S500 of een rapport voor de voltooide processen gevraagd wordt of niet.In this case, the operator confirms via the OIS 120 to the CMS 140 in step S490 whether another work is necessary or not. If another work is necessary, the CMS 140 then returns to the step S310 and generates a cassette feed command. On the other hand, if any other work is not necessary, the report section 900 determines in step S500 whether a report for the completed processes is requested or not.

Wanneer het rapport gevraagd wordt, haalt de rapportageserver 25 920 in stap S510 in het historiegegevensbestand 500 opgeslagen gegevens op en geeft in stap S520 een rapport af. Daarna slaat de rapportageserver 920 de rapportgegevens van het rapport op in het rapport-gegevensbestand 940.When the report is requested, the reporting server retrieves 920 in step S510 of data stored in the history data file 500 and issues a report in step S520. Thereafter, the reporting server 920 stores the report data of the report in the report data file 940.

Wanneer anderzijds het rapport niet gevraagd wordt, keert het 30 proces terug ndar de stap S409.On the other hand, if the report is not requested, the process returns to step S409.

Er wordt nu verwezen naar fig. 8, waarin een stroomschema, dat stappen weergeeft, waarin de CMS 140 in fig. 7A een cassettetoevoer-commando naar de beoogde procesinrichting 700 zendt.Reference is now made to Fig. 8, in which a flow chart illustrating steps, in which the CMS 140 in Fig. 7A sends a cassette feed command to the intended process device 700.

In stap S321 zendt de CMS 140 het cassettetoevoercommando in 35 een berichtvorm naar de EQS 620. Daarna zendt de EQS 620 in stap S322 het cassettetoevoercommando naar de ECS 640 en zet de ECS 640 het cassettetoevoercommando om in een stuursignaal voor het besturen van de procesinrichting 700. Vervolgens zendt de ECS 640 in stap S323 het met het cassettetoevoercommando corresponderende stuursignaal naar de I - 12 - H procesinrichting 700. In dit geval bevindt de procesinrichting 700 I zich in een gereedheidstoestand in afwachting van de cassette.In step S321, the CMS 140 sends the cassette feed command to the EQS 620 in a message form. Then, in step S322, the EQS 620 sends the cassette feed command to the ECS 640 and the ECS 640 converts the cassette feed command into a control signal for controlling the process device 700. Subsequently, in step S323, the ECS 640 sends the control signal corresponding to the cassette feed command to the I-12-H process device 700. In this case, the process device 700 I is in a readiness state awaiting the cassette.

I Er wordt nu verwezen naar fig. 9, waarin een stroomschema is weergegeven, welk stroomschema stappen weergeeft, waarin de AGV 880 5 de cassette aan de beoogde procesinrichting toevoert.Reference is now made to Fig. 9, in which a flow chart is shown, which flow chart shows steps in which the AGV 880 feeds the cassette to the intended process device.

I In stap S361 zendt de SCS 820 het voorraadhouderstuursignaal I naar de voorraadhouder 890 en bereidt de voorraadhouder 890 zich in I stap S362 voor om een beoogde cassette in reactie op het stuursignaal I af te leveren.In step S361, the SCS 820 sends the storage container control signal I to the storage container 890 and the storage container 890 prepares in step S362 to deliver an intended cassette in response to the control signal I.

10 Vervolgens ontvangt de AGV 880 in stap S363 het met het casset- I tetoevoercommando corresponderende AGV-stuursignaal van de AGVC 860 I en beweegt de AGV 880 zich in stap S364 naar de voorraadhouder 890 I toe om de beoogde cassette daaraan te onttrekken. Daarna beweegt de I AGV 880 in stap S365 naar de beoogde procesinrichting 700 en levert I 15 in stap S366 de beoogde cassette aan de beoogde procesinrichting af.Subsequently, in step S363, the AGV 880 receives the AGV control signal corresponding to the cassette supply command from the AGVC 860 I, and in step S364 the AGV 880 moves to the storage container 890 I to extract the intended cassette therefrom. Thereafter, the I AGV 880 moves to the intended process device 700 in step S365 and delivers the intended cassette to the intended process device in step S366.

Er wordt nu verwezen naar fig. 10, waarin een stroomschema is I weergegeven, welk stroomschema de stappen voor het registreren van de I procesgegevens in het onvertraagde-gegevensbestand weergeeft.Reference is now made to Fig. 10, which shows a flow chart I, which flow chart shows the steps for registering the I process data in the real-time data file.

I In stap S381 zendt de procesinrichting 700 onvertraagde proces- I 20 gegevens naar de ECS 640. Vervolgens zet de ECS 640 in stap S382 de I onvertraagde procesgegevens om in een SECS-bericht en zendt daarna de I omgezette onvertraagde procesgegevens naar de EQS 620.In step S381, the process device 700 sends real-time process data to the ECS 640. Then, in step S382, the ECS 640 converts the real-time process data into a SECS message, and then sends the I converted real-time process data to the EQS 620.

I In dit geval zendt de EQS 620 in stap S383 de omgezette onver- I traagde procesgegevens via de gemeenschappelijke communicatielijn 10 I 25 naar de CMS 140. Vervolgens zendt de CMS 140 de onvertraagde proces- I gegevens naar de DGS 160 en in stap S384 registreert de DGS 160 de I onvertraagde procesgegevens in het onvertraagde-gegevensbestand 200.In this case, in step S383, the EQS 620 sends the converted real-time process data via the common communication line 10 to the CMS 140. The CMS 140 then sends the real-time process data to the DGS 160 and records in step S384 the DGS 160 the I real-time process data in the real-time data file 200.

I Er wordt nu verwezen naar fig. 11, waarin een stroomschema is I weergegeven, welk stroomschema stappen, waarin de procesinrichting I 30 vraagt om de cassetteverwijdering, weergeeft.Reference is now made to Fig. 11, in which a flow chart is shown, which flow chart shows steps in which the process device I 30 requests the cassette removal.

I In stap S391 voltooit de procesinrichting 700 het proces en in I stap S392 vraagt de procesinrichting 700 om een cassetteverwijdering aan de ECS 640.In step S391, the process device 700 completes the process and in step S392, the process device 700 requests a cassette removal from the ECS 640.

I Vervolgens zet ECS 640 in stap S393 het cassetteverwijderings- I 35 verzoek om in het SECS-bericht en zendt het omgezette cassetteverwij- I deringsverzoek naar de EQS 620. Daarna zendt de EQS 620 in stap S394 I het cassetteverwijderingsverzoek via de gemeenschappelijke communica- I tielijn 10 naar de CMS 140. In reactie op het cassetteverwijderings- I verzoek wekt de CMS 140 in stap S395 een cassetteverwijderingscomman- I 40 do op.Next, in step S393, ECS 640 converts the cassette removal request into the SECS message and sends the converted cassette removal request to the EQS 620. Then, in step S394, the EQS 620 sends the cassette removal request via the common communication I line 10 to the CMS 140. In response to the cassette removal request, the CMS 140 in step S395 generates a cassette removal command I 40 do.

- 13 -- 13 -

Er wordt nu verwezen naar fig. 12, waarin een stroomschema is weergegeven, welk stroomschema stappen, waarin de CMS het cassette-verwijderingscommando naar de procesinrichting zendt, weergeeft.Reference is now made to Fig. 12, which shows a flow chart, which flow chart shows steps in which the CMS sends the cassette removal command to the process device.

In stap S401 zendt de CMS 140 het cassetteverwijderingscommando 5 naar de EQS 620 en in stap S402 zendt de EQS 620 het cassetteverwijderingscommando naar de ECS 640.In step S401, the CMS 140 sends the cassette removal command 5 to the EQS 620 and in step S402, the EQS 620 sends the cassette removal command to the ECS 640.

Vervolgens zet de ECS 640 in stap S403 het SECS-berichttype cassetteverwijderingscommando om in een inrichtingstuursignaal en zendt in stap S404 het inrichtingstuursignaal naar de procesinrich-10 ting 700.Then, in step S403, the ECS 640 converts the SECS message type of cassette removal command into a device control signal and, in step S404, sends the device control signal to the process device 700.

Daarna laadt de procesinrichting 700 in stap S405 de bewerkte partij in de cassette en wacht op een volgend commando.Thereafter, in step S405, the process device 700 loads the processed batch into the cassette and waits for a next command.

Er wordt nu verwezen naar fig. 13, waarin een stroomschema is weergegeven, welk stroomschema stappen, waarin de AGV de cassette uit 15 de procesinrichting verwijdert en de cassette in de voorraadhouder opslaat, weergeeft.Reference is now made to Fig. 13, in which a flow chart is shown, which flow chart shows steps in which the AGV removes the cassette from the process device and stores the cassette in the storage container.

In stap S441 ontvangt de AGV 880 een met het cassetteverwijderingscommando corresponderend AGV-stuursignaal en beweegt de AGV 880 naar de procesinrichting 700. Vervolgens verwijdert de AGV 880 in 20 stap S442 de bewerkte cassette uit de procesinrichting 700. Daarna beweegt de AGV 880 in stap S443 naar de voorraadhouder 890 en slaat de cassette op in de voorraadhouder 890. In dit geval kan een beoogde inrichting een andere procesinrichting zijn.In step S441, the AGV 880 receives an AGV control signal corresponding to the cassette removal command and the AGV 880 moves to the process device 700. Next, in step S442, the AGV 880 removes the processed cassette from the process device 700. Then, the AGV 880 moves in step S443 to the storage container 890 and stores the cassette in the storage container 890. In this case, an intended device may be another process device.

Aangezien talrijke in halfgeleiderproductiecompartimenten 25 plaatsvindende processen en optredende besturingsgegevens volgens de uitvinding automatisch onvertraagd in een onvertraagde-gegevensbe-stand en een historiegegevensbestarid worden opgeslagen, kan op effectieve wijze een totaalbeheer voor de halfgeleiderproductiecomparti-menten worden bewerkstelligd teneinde daardoor de productiviteit van 30 de halfgeleiderinrichting sterk te verbeteren.Since numerous processes and occurring control data according to the invention taking place in semiconductor production compartments are automatically stored in real-time in a real-time data file and a history data file, total management for the semiconductor production compartments can be effectively achieved in order to thereby greatly increase the productivity of the semiconductor device. to improve.

Hoewel de uitvinding is beschreven met betrekking tot slechts bepaalde voorkeursuitvoeringsvormen, kunnen modificaties en variaties worden aangebracht zonder buiten de gedachte en het kader van de uitvinding, zoals deze in de volgende conclusies uiteengezet is, te tre-35 den.Although the invention has been described with respect to only certain preferred embodiments, modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the following claims.

4 Λ A Γ O C 44 Λ A Γ O C 4

Claims

CLAIMS 1. A system for automatically managing semiconductor production compartments, comprising: a number of process devices, each of which is adapted to process a batch, representing a predetermined number of semiconductor wafers, and to generate I in response to batch data a process-related real-time process data; I at least one production management device for generating control commands associated with the process in the semiconductor production compartments and receiving the delayed process data from each process device; a control device for controlling the process devices in response to the control commands and for transferring the real-time process data to the production management device; a data storage device for storing data associated with the process and the batch in the semiconductor production compartments in response to the commands issued by the production management device; and I a history management device for managing the history of each of the process devices and semiconductor wafers in response to the control commands issued by the production management device.

2. System as claimed in claim 1, further comprising a cassette I transport device for transporting a cassette containing the I batch to an intended process device in response to the control commands issued by the production management device. I 25

The system of claim 2, further comprising a reporting device for retrieving the data stored in the data storage device I and providing a report.

4. System as claimed in claim 3, further comprising: I a cassette stock holder means for storing, in response to the control commands issued by the production management device, the cassette containing a processed batch and a batch to be processed.

The system of claim 4, wherein the production management device I is a coupling means with a graphical user interface I for inputting the batch data; A production control means for generating a cassette feed command on the basis of the batch data and for generating a cassette removal command in response to a demand from the device control device, and for receiving the cassette removal command issued from the stations real-time process data; and a data collection means for storing the real-time process data in the data storage device.

The system of claim 5, wherein the control device comprises: a process device control means for controlling the process devices in response to commands issued by the production control means; and a device communication means for receiving the cassette feed command and cassette removal command issued by the production control means to convert the commands into a device control signal, and for converting the real-time process data output from the process devices into a semiconductor device standard communication (SECS) message and for subsequently sending the real-time process data to the device controller.

7. System as claimed in claim 6, wherein the cassette transport device comprises: an intercompartment control means for receiving the cassette feed command issued by the production control means and cassette removal command; a storage container control means for generating a storage container control signal for use in controlling the cassette storage container means in response to the cassette feed command and cassette removal command received via the intercompartment control means; a cassette transport control means for generating transport control signals corresponding to the cassette feed command and the cassette removal command; and a transport means for withdrawing an intended cassette from the cassette storage means to feed the intended cassette to an intended processing device and for withdrawing the intended cassette from the intended processing device to feed the intended cassette to the cassette holding means, in response to a transport control signal corresponding to the cassette feed command or the case removal command, respectively. q

The system of claim 7, wherein the data storage device comprises: an real-time data storage means for storing the real-time process data; A E C E E 1 - 16 - a temporary storage means for temporarily storing the real-time process data as a data set; a history storage means for sorting the delayed process data stored in the temporary storage means after a predetermined time under the control of the history management device; and a report storage means for storing the report prepared by the reporting device.

9. System as claimed in claim 8, wherein the batch data comprises a batch identification symbol (ID), a process to be performed on the batch, the number of semiconductor slices in the batch and a cartridge ID for a cartridge containing the batch.

10. System according to claim 9, wherein the real-time process data is a state of the batch, commands associated with the batch, process data associated with the batch, a state of the process devices, process data connected to the process devices, connected to the process devices commands and a state of an executed process.

11. System as claimed in claim 10, wherein the history storage means comprises: a batch data table connected to the processed batch, a device data table connected to the process devices, a template and cassette data table connected to templates of each of the semiconductor wafers included in the cassette and a process data table associated with an executed process.

The system of claim 11, wherein the batch data table includes: a batch state table for storing data representing a process performed on the batch, the number of slices in the batch, and the state of the slice in the batch; 30 is a batch history table for storing data representing processes performed on the batch and a change in the number of semiconductor wafers in the batch; a batch deleted history table for storing a deleted batch history; 35 a party property table for storing party properties defined by an operator; an operation command table for storing operation commands for continuing the process; a process table for storing data produced during the progress of the process; - a batch rejection table for storing data "representing" a process in which the batch was rejected, a reason for rejection, and a management history for rejection; a batch reprocessing table for storing data representing a reason why the batch is being reworked; and a batch error table for storing data representing a reason for the error and a management history for the error when the party is in an error state.

13. System as claimed in claim 12, wherein the device data table comprises: a current state of the operating process devices; a device history table for storing data representing an error occurring in the process devices; a device maintenance table for storing the maintenance of the device. process related information; a device operating table for storing data associated with the executed process and data associated with the process devices; and a device command history table for storing commands processed in the process devices when a process device is disabled.

14. System as claimed in claim 13, wherein the template and case data table comprises a template history table for storing data representing an error occurring in the cassette or templates when at least one of the cassette and templates shows an error.

15. A system according to claim 14, wherein the process data table associated with processes comprises: a process state table for storing state information for the semiconductor wafers or batch under processing; and a process history table for storing data representing the number of semiconductor wafers processed in the process devices and the time required for the process.

16. A method for automatically managing semiconductor production compartments, comprising the steps of: a) sending a cassette feed command to a plurality of process devices and an automatic transport means after generating the cassette feed command by using a production control means sent first batch data; 1015251 - 18 - b) processing a batch contained in a cassette using the processing devices; c) storing via a data collection means in a data storage means real-time process data occurring in the process devices in operation; d) storing the cassette in stock in a cassette storage means by using the automatic transport means; and e) storing the real-time process data in a history storage means, the real-time process data being sorted by a history management means.

The method of claim 16, further comprising the steps of: f) providing a report associated with data stored in the history storage means in response to a report query sent from the outside; and g) storing the report in a report storage means.

The method of claim 17, wherein the step a) comprises the steps of: al) entering the first batch data into a pair of irigra means; a2) generating the cassette feed command by the production control means that receives the first batch data; a3) sending the cassette feed command to the process devices and an intercompartment control means; a4) sending the cassette feed command and second batch of data to a transport control means for controlling the automatic transport means and to a supply container control means for controlling the cassette supply means; 30 and a5) transmitting the cassette feed command from the transport control means to the cassette transport means by wireless communication.

The method of claim 18, wherein the step a2) comprises the steps of: a21) sending the cassette feed command from the production controller to the device controller; a22) sending the cassette feed command from the device control means to a device communication means; A23) converting the cassette feed command into machine language in the device communication means; a24) sending the cassette feed command converted into machine language via the intermediary to the process devices after the a23) step; and a25) making the process devices wait.

20. The method of claim 18, wherein the first batch data includes a batch ID, a first process to be performed on the batch, the number of semiconductor wafers in the batch, and an ID for the batch containing cassette.

The method of claim 18, wherein the second batch data includes a cassette identification symbol (ID), a position to which the cassette is delivered, and a position for loading the cassette.

The method of claim 16, wherein the step b) includes the step of: b1) sending the second batch data from the stock holder controller through the command center media means to the cassette stock holder means; B2) preparing the cassette based on the second batch data; b3) sending the cassette feed command and the second batch data from the transport control means to the automatic transport means; B4) moving the automatic transport means, which withdraws the cassette from the cassette storage means, to the process device to which the cassette is to be supplied; b5) providing the cassette to the process device; and b6) performing the process for the batch included in the cassette.

The method of claim 16, wherein the step c) comprises the steps of: c1) sending the real-time process data via the command center means to the device communication means; C2) sending the converted real-time process data from the device communication means to the device control means after converting the real-time process data into a semiconductor device-standard communication type type; C15) sending the converted real-time process data from the device control means to the production control means; and c4) sending the converted real-time process data from the production control means to the data collection means and then storing the converted real-time process data in the data storage means using the data collection means.

The method of claim 16, wherein the step d) comprises the steps of: d1) requesting a production removal from the production control means if the process device has completed the process; d2) generating a cassette removal command, which contains third party data, by the production control means, and then sending the cassette removal command to the process device and the intercompartment control means; d3) sending the third party data to the transport control means using the intercompartment controller; d4) stacking the processed batch in the cassette by controlling the process device and then causing the process device to wait; d5) sending the cassette removal command from the transport control means to the automatic transport means; and d6) removing the cassette from the processing device by means of the automatic transport means and subsequently storing the cassette in the cassette storage means.

The method of claim 24, wherein the step d1) comprises the steps of: dll) requesting, via the command intermediary, the device communication means for removal from the cassette if the process device has completed the process; dl2) converting the request for the cassette removal 35 into the semiconductor device standard communication type message and then sending the converted request from the device communication means to the device control means; and dl3) sending the converted request from the device controller to the production controller. - 21 -

26. The method of claim 24, wherein the step d2) comprises the steps of: d21) generating the cassette removal command by the production controller and then sending the case removal command to the device control means; d22) sending the cassette removal command from the device controller to the device communication means; d23) it after converting the cassette removal command. sending the cassette removal command in machine language to the process device via the command intermediary means; and d24) sending the cassette removal command to the intercompartment controller.

The method of claim 26, wherein the third party data includes an ID of the cartridge to be removed, a process device 15 from which the cartridge is removed, and a process device to which the cartridge is provided.

The method of claim 24, wherein step d6) includes the I steps of: I d61) sending the case deletion command containing the third party data from the transport control means to the automatic transport means; D62) removing the cassette from the process device on the basis of the third party data; d63) storing the cassette in the cassette storage means; B d64) sending position information of the cassette stored in the cassette B stock holding means from the cassette stock B holding means to the production control means; and B d65) updating previous position information from the cassette stored in the data storage means to the position information I of the cassette stored in the cassette storage means.

29. Method as claimed in claim 16, wherein the step e) comprises the steps of: H e1) retrieving the delayed process data stored in the data storage means and subsequently storing the delayed process data in temporary storage means ; E e2) sending a result that stores the real-time process data in the temporary storage means from the production control means to the history management means; and I. e3) retrieving the delayed process data from the temporary storage means and subsequently registering the delayed process data in the history storage means.

30. A computer-readable medium storing program instructions, wherein the program instructions are placed in a computer to perform a method for automatically managing semiconductor production compartments, which method comprises the steps of: a) sending a cassette feed command to a plurality of process devices and an automatic transport means, after generating the cassette feed command by using a first batch data sent by a production control means; b) processing a batch contained in a cassette using the process devices; C) storing, via a data collection means, in a data storage means, real-time process data occurring in the operating process devices; d) storing the cassette in stock in a cassette storage means by using the automatic transport means; and e) storing the real-time process data in a history storage means, the real-time process data being sorted by a history management means.

The computer-readable medium of claim 13, further comprising the steps of: f) providing, in response to a report request sent from the outside, a report associated with data stored in the history storage means; and g) storing the report in a report storage means.