NL1003356C2 - Piezoelectric transformer and a method of manufacturing it. - Google Patents
Piezoelectric transformer and a method of manufacturing it. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1003356C2 NL1003356C2 NL1003356A NL1003356A NL1003356C2 NL 1003356 C2 NL1003356 C2 NL 1003356C2 NL 1003356 A NL1003356 A NL 1003356A NL 1003356 A NL1003356 A NL 1003356A NL 1003356 C2 NL1003356 C2 NL 1003356C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- silver
- piezoelectric
- palladium
- electrode
- piezoelectric transformer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/40—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/057—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by stacking bulk piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Ac-Ac Conversion (AREA)
- Dc-Dc Converters (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Korte aanduiding: Piëzo-electrische transformator en een werkwijze voor het vervaardigen daarvanShort designation: Piezoelectric transformer and a method of manufacturing it
Achtergrond van de uitvinding Gebied van de uitvindingBackground of the Invention Field of the Invention
De uitvinding heeft betrekking op een piëzo-electri-' sche transformator en een werkwijze voor het vervaardigen 5 daarvan, en meer in het bijzonder op een piëzo-electrische transformator met een structuur waarin een aandrijfelectrode en een generatorelectrode aangebracht zijn op een oppervlak van een piëzo-electrisch element bestaande uit PZT (lood-zirkonaat-titanaat) type piëzo-electrisch keramisch 10 materiaal en een Werkwijze voor het vervaardigen van de piëzo-electrische transformator,The invention relates to a piezoelectric transformer and a method of manufacturing the same, and more particularly to a piezoelectric transformer having a structure in which a driving electrode and a generator electrode are arranged on a surface of a piezo -electric element consisting of PZT (lead-zirconate titanate) type piezoelectric ceramic material and a Method for manufacturing the piezoelectric transformer,
Toelichting van de bekende techniek:Explanation of the known technique:
Een piëzo-electrische transformator is een eenheid waarin gelijktijdig een electrisch-mechanische omzetting en 15 een mechanisch-electrische omzetting in een piëzo-electrisch element uitgevoerd worden voor het afnemen van een gewenst vermogen. De piëzo-electrische transformator heeft vaak een constructie waarin een aandrijfelectrode en een generatorelectrode op een enkel piëzo-electrisch element in 20 de vorm van een plaat aangebracht zijn, waarbij aan de aandrijfelectrode een wisselspanning gelegd wordt om het piëzo-electrische element te laten trillen, terwijl door de trillingen opgewekte spanning van de generatorelectrode afgenomen wordt. Voor het piëzo-electrische element wordt 25 een keramisch materiaal met meestal een piëzo-electrische eigenschap gebruikt, en bovenal wordt vaak een PZT type piëzo-electrisch keramisch materiaal gebruikt.A piezoelectric transformer is a unit in which an electro-mechanical conversion and a mechanical-electrical conversion into a piezoelectric element are simultaneously carried out in order to decrease a desired power. The piezoelectric transformer often has a structure in which a driving electrode and a generator electrode are mounted on a single piezoelectric element in the form of a plate, an AC voltage being applied to the driving electrode to vibrate the piezoelectric element, while voltage generated by the vibrations is taken off the generator electrode. For the piezoelectric element, a ceramic material with usually a piezoelectric property is used, and above all, a PZT type piezoelectric ceramic material is often used.
Voor het vervaardigen van een dergelijke piëzo-electrische transformator als hiervoor beschreven, is een stap 3 0 voor het vormen van de aandrijf electrode en de generator electrode op een oppervlak van het keramische piëzo-electrische element nodig. Conventioneel worden deze electroden door bakken gevormd nadat op het oppervlak van het piëzo-electrische element electrodepatronen gevormd zijn met 1003356 i -2- gebruik van een geleidende pasta met 100% zilver (Ag).To manufacture such a piezoelectric transformer as described above, a step of forming the driving electrode and the generator electrode on a surface of the ceramic piezoelectric element is required. Conventionally, these electrodes are formed by baking after electrode patterns have been formed on the surface of the piezoelectric element using 1003356 i -2 using a conductive paste with 100% silver (Ag).
Wanneer in de onderhavige beschrijving het gehalte van zilver of palladium (Pd) in gewichtsverhouding voorgesteld wordt is het, tenzij anders gespecificeerd, een gewichts-5 verhouding van alleen metaalcomponenten en is de aanwezigheid van een bindmiddel, een draagmiddel, een verdunnings-middel of dergelijke niet in de berekening van de gewichtsverhouding betrokken.When the content of silver or palladium (Pd) in weight ratio is represented in the present description, unless otherwise specified, it is a weight-5 ratio of only metal components and is the presence of a binder, a carrier, a diluent or the like not included in the weight ratio calculation.
a Overigens omvatten de electronische onderdelen waar- 10 voor een keramisch materiaal gebruikt wordt niet alleen piëzo-electrische transformators, maar ook warmte-opwek-kingsweerstanden, stroombesturingselementen, diverse sensors, piëzo-electrische actuators en piëzo-electrische filters, en ook bij die electronische onderdelen, moeten 15 electroden op een oppervlak van het keramische element gevormd worden. Van de electronische onderdelen waarvoor een keramisch materiaal gebruikt wordt, wordt voor de andere electronische onderdelen dan de piëzo-electrische transformators als geleidende pasta voor het vormen van de 20 electroden geen geleidende pasta gebruikt die 100 gew.% zilver bevat, maar een andere geleidende pasta die een legering van zilver en een ander metaal bevat.a Incidentally, the electronic parts for which a ceramic material is used include not only piezoelectric transformers, but also heat generating resistors, current control elements, various sensors, piezoelectric actuators and piezoelectric filters, and also those electronic components, 15 electrodes must be formed on a surface of the ceramic element. Of the electronic parts for which a ceramic material is used, for the electronic parts other than the piezoelectric transformers, no conductive paste containing 100% by weight of silver is used as the conductive paste for forming the electrodes, but another conductive paste is used. which contains an alloy of silver and another metal.
Uit bijvoorbeeld de Japanse terinzage gelegde octrooiaanvrage Sho 62-199001 (JP-A-62 199001) is het bekend een 25 geleidende pasta te gebruiken waarin de verhouding van zilver en palladium 40 tot 90 gew.% zilver en 60 tot 10 gew.% palladium is voor een paar electroden die op een keramische halfgeleleider met een positieve temperatuurco-efficiënt aangebracht moeten worden. In de keramische 30 halfgeleider wordt voor de tegenoverliggende oppervlakken van een ringvormig halfgeleiderelement van barium titanaat electrolytische bekleding toegepast en er wordt vervolgens een pasta, die zilver met een gemiddelde deeltjesgrootte , j' van minder dan 1 μπι en palladium met een gemiddelde deel- j 35 tjesgrootte van 80 nm gezeefdrukt, waarna gedurende 15 minuten gebakken wordt bij 600°C voor het vormen van electroden.For example, from Japanese Patent Application Sho 62-199001 (JP-A-62 199001) laid open to public inspection, it is known to use a conductive paste in which the ratio of silver and palladium is 40 to 90% by weight of silver and 60 to 10% by weight of palladium. is for a pair of electrodes to be applied to a ceramic semiconductor with a positive temperature coefficient. In the ceramic semiconductor, electrolytic coating is applied to the opposing surfaces of an annular semiconductor element of barium titanate, and then a paste containing silver having an average particle size, j 'of less than 1 micron and palladium having an average particle size is 35. 80nm size screen-printed, then baked at 600 ° C for 15 minutes to form electrodes.
-? Uit de Japanse terinzage gelegde octrooiaanvrage nr-? Japanese Patent Application Laid-Open No.
Hei 4-96385 (JP-A-4-96385) is een gelaagd keramisch piëzo-40 electrisch element bekend met een structuur waarin een 1003356 - 3 - aantal piëzo-electrische keramische lagen met daartussen electrodelagen gelamineerd zijn. Het piëzo-electrische element maakt voor elk van de inwendige electroden gebruik van een mengsel bestaande uit 70 gew.% zilver en 30 gew.% 5 palladium.Hei 4-96385 (JP-A-4-96385) is a layered ceramic piezo-40 electrical element with a structure in which a 1003356-3 number of piezoelectric ceramic layers with electrode layers are laminated therebetween. The piezoelectric element uses a mixture consisting of 70% by weight of silver and 30% by weight of palladium for each of the internal electrodes.
Verder is uit de Japanse terinzage gelegde octrooiaanvrage nr Hei 2-114601 (JP-A-2-114601) een temperatuursensor bekend die een aluminium substraat en een door opdamping op het substraat aangebrachte platinaweerstand heeft. In de 10 temperatuursensor wordt een pasta van zilver, palladium en borosilicaat loodglas met een gewichtsverhouding van 83:10:7 bij 620°C gebakken voor het vormen van een afneem-electrode. De verkregen electrode zou minder te leiden hebben van soldeererosie en zou daarnaast een goede sol-15 deereigenschap hebben. Soldeererosie is een verschijnsel waarbij een electrodemetaal tijdens het solderen naar de soldeerlaag beweegt waarbij de electrode erodeert. Overigens houdt een goede soldeereigenschap in dat het oppervlak van de electrode geschikt is om zo goed met het soldeer 20 bevochtigd te worden dat gemakkelijk een soldeerresultaat met een voldoende verbindingssterkte verkregen kan worden.Furthermore, Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 2-114601 (JP-A-2-114601) discloses a temperature sensor having an aluminum substrate and a platinum resistance deposited on the substrate by vapor deposition. In the temperature sensor, a paste of silver, palladium and borosilicate lead glass with a weight ratio of 83: 10: 7 is baked at 620 ° C to form a take-off electrode. The electrode obtained would suffer less from solder erosion and would also have good solder property. Solder erosion is a phenomenon in which an electrode metal moves to the solder layer during soldering whereby the electrode erodes. Incidentally, a good soldering property means that the surface of the electrode is suitable for being so wetted with the solder 20 that a soldering result with a sufficient bonding strength can easily be obtained.
De reden waarom geen geleidende pasta met 100 gew.% zilver maar een andere geleidende pasta met een legering van zilver en palladium gebruikt wordt voor het op deze 25 wijze vormen van electroden op een oppervlak van een keramisch materiaal is dat beoogd wordt het optreden van een zilvermigratieverschijnsel te onderdrukken. Meer in het bijzonder is de reden dat wanneer electroden gevormd worden met gebruik van een geleidende nasta die 100% zilver en 30 geen palladium bevat, dan wanneer een potentiaal verschil tussen een paar tegenover liggende electroden gelegd wordt en een zogenoemd zilvermigratieverschijnsel optreedt waarbij het zilver in de electroden vanuit de positieve electrode naar de negatieve electrode van het paar electroden 35 langs het oppervlak van het element migreert. Het zilvermigratieverschijnsel treedt in het bijzonder vaak op in een omgeving met hoge temperatuur en hoge vochtigheid. Verder is het bekend dat in zilver aanwezig palladium effectief is 1003356 - 4 - ter voorkoming van "soldeer-erosie" bij gebruik van een soldeer.The reason why not a conductive paste with 100% by weight of silver but another conductive paste with an alloy of silver and palladium is used for forming electrodes on a surface of a ceramic material in this way is that the occurrence of a suppress silver migration phenomenon. More specifically, the reason is that when electrodes are formed using a conductive nasta containing 100% silver and no palladium, then when a potential difference is placed between a pair of opposite electrodes and a so-called silver migration phenomenon occurs in which the silver is the electrodes migrate from the positive electrode to the negative electrode of the pair of electrodes 35 along the surface of the element. In particular, the silver migration phenomenon often occurs in an environment of high temperature and high humidity. Furthermore, it is known that palladium present in silver is effective 1003356-4 to prevent "solder erosion" when using a solder.
In het algemeen echter, wanneer electroden gevormd worden met gebruik van een geleidende pasta die een lege-5 ring van zilver en palladium bevat, is bakken in een hoger temperatuurgebied dan dat waarin geleidende pasta met 100% zilver gebruikt wordt vereist. Daarom werd een geleidende pasta met 100% zilver voor het vormen van electroden van een PZT-type piëzo-electrische transformator gebruikt. In 10 het bijzonder, wanneer bij een piëzo-electrische transformator waarvoor een PZT type piëzo-electrisch keramisch materiaal gebruikt wordt het bakken voor het vormen van electroden in een hoog temperatuurgebied uitgevoerd wordt, vertoont de verkregen transformator verslechterde presta-15 ties in vergelijking met de prestaties die berekend zijn uit het keramische materiaal en de structuur, zoals de afmetingen. In het bijzonder verslechterden het rendement en de opjaagfactor van de transformator. Daarom zijn bekende piëzo-electrische transformators vatbaar om door een 20 zilvermigratieverschijnsel beïnvloed te worden.Generally, however, when electrodes are formed using a conductive paste containing an empty silver and palladium ring, baking in a higher temperature range than that using 100% silver conductive paste is required. Therefore, a conductive paste with 100% silver for electrodes of a PZT type piezoelectric transformer was used. In particular, when in a piezoelectric transformer using a PZT type piezoelectric ceramic material, baking for forming electrodes is performed in a high temperature range, the resulting transformer exhibits deteriorated performance compared to the performance calculated from the ceramic material and structure, such as dimensions. In particular, the efficiency and boost factor of the transformer deteriorated. Therefore, known piezoelectric transformers are susceptible to being affected by a silver migration phenomenon.
Samenvatting van de uitvindingSummary of the invention
De uitvinding heeft als doel een piëzo-electrische transformator te verschaffen die superieur bestand is tegen 25 een zilvermigratieverschijnsel en zeer goede electrische eigenschappen als een piëzo-electrische transformator vertoont, in het bijzonder een hoog rendement en een hoge opjaagfactor.The object of the invention is to provide a piezoelectric transformer that is superior to a silver migration phenomenon and exhibits very good electrical properties as a piezoelectric transformer, in particular a high efficiency and a high boost factor.
Een and.pr doel van de ïHtvIndinrr is hpf verschaffen 30 van een werkwijze voor het vervaardigen van een piëzo-electrische transformator die superieur bestand is tegen een zilvermigratieverschijnsel en die zeer goede electrische eigenschappen heeft als een piëzo-electrische transformator, in het bijzonder een hoog rendement en een hoge 35 opjaagfactor.Another object of the HTINIndinrr is to provide a method for manufacturing a piezoelectric transformer which is superior to a silver migration phenomenon and which has very good electrical properties as a piezoelectric transformer, especially a high efficiency and a high boost factor.
Het eerste doel van de uitvinding wordt bereikt door middel van een piëzo-electrische transformator met een piëzo-electrisch element bestaande uit PZT (lood zirconaat 1003356 - 5 - titanaat) type piëzo-electrisch keramisch materiaal en een aantal op het oppervlak van het piëzo-electrische element gevormde electroden, met het kenmerk dat de electroden gevormd zijn door het bakken van een geleidende pasta die 5 zilver en palladium als metaalcomponenten bevat.The first object of the invention is achieved by means of a piezoelectric transformer with a piezoelectric element consisting of PZT (lead zirconate 1003356-5-titanate) type piezoelectric ceramic material and a number on the surface of the piezoelectric electrically shaped electrodes, characterized in that the electrodes are formed by baking a conductive paste containing silver and palladium as metal components.
De tweede doelstelling van de uitvinding wordt bereikt door middel van een werkwijze voor het vervaardigen van een piëzo-electrische transformator, omvattende de stappen van het vormen van een patroon voor een aandrijf electrode en 10 een patroon voor een generatorelectrode op een oppervlak van een piëzo-electrisch element met gebruik van een geleidend bedekkingsmateriaal dat poeder, bestaande uit een legering van zilver en palladium bevat, en het bakken van de patronen voor het vormen van de aandrijfelectrode en de 15 generatorelectrode, waarin het bakken van het geleidende bedekkingsmateriaal uitgevoerd wordt in een temperatuursge-bied van 680°C tot 725°C, beide inclusief.The second object of the invention is achieved by a method of manufacturing a piezoelectric transformer, comprising the steps of forming a pattern for a driving electrode and a pattern for a generator electrode on a surface of a piezoelectric transformer. electrical element using a conductive coating material containing powder, consisting of an alloy of silver and palladium, and baking the patterns for forming the driving electrode and the generator electrode, wherein the baking of the conductive coating material is carried out in a temperature range range from 680 ° C to 725 ° C, both included.
Terwijl een conventionele piëzo-electrische transformator zilver als materiaal voor electroden gebruikt, maakt 20 de piëzo-electrische transformator volgens de uitvinding gebruik van een legering van zilver en palladium als materiaal voor de electroden. De electroden worden gevormd door het bakken van een geleidende pasta die zilver en palladium bevat.While a conventional piezoelectric transformer uses silver as the material for electrodes, the piezoelectric transformer according to the invention uses an alloy of silver and palladium as the material for the electrodes. The electrodes are formed by baking a conductive paste containing silver and palladium.
25 Een geleidende pasta die palladium bevat wordt conven tioneel gebakken bij ongeveer 850°C van een hoog tempera-tuurbereik omdat een reductiereactie van het palladium in de buurt van 450 tot 680°C optreedt. Een piëzo-electrische transformator waarnn de u.itvindinrr var topnasginn is is 30 echter onderhevig aan verslechtering van zijn electrische eigenschappen wanneer een hoge baktemperatuur toegepast wordt, omdat de electrische eigenschappen ervan geneigd zijn van de electrode-baktemperatuur af te hangen. Volgens een door de uitvinders uitgevoerd experiment, waarbij de 35 baktemperatuur 750°C overschreed, kon niet voldaan worden aan de doelprestaties van het transformatorrendement van 94% of meer en de opjaagverhouding van 15 maal. Anderzijds is ook het optreden van het zilvermigratieverschijnsel 1003356 - 6 - vatbaar afhankelijk van de electrode-baktemperatuur te zijn en wanneer de baktemperatuur afneemt kan het zilvermigra-tieverschijnsel optreden. Volgens een ander door de uitvinders uitgevoerd experiment, waarbij de baktemperatuur lager 5 dan 680°c was, nam de migratie-bestendigheidseigenschap af naar het niveau van dat van de zilverelectrode. Verder verslechterde de soldeer-bevochtigbaarheid bij een lagere temperatuur dan de temperatuur van 680°C van een reductie-reactie van palladium, omdat palladiumoxyde in de electro-10 den gemengd werd.A conductive paste containing palladium is conventionally baked at about 850 ° C over a high temperature range because a reduction reaction of the palladium occurs in the range of 450 to 680 ° C. However, a piezoelectric transformer in which the output varnish is subject to deterioration of its electrical properties when a high firing temperature is used, because its electrical properties tend to depend on the electrode firing temperature. According to an experiment conducted by the inventors, in which the baking temperature exceeded 750 ° C, the target performance of the transformer efficiency of 94% or more and the boost ratio of 15 times could not be met. On the other hand, the occurrence of the silver migration phenomenon 1003356-6 is also susceptible to depend on the electrode baking temperature, and as the baking temperature decreases, the silver migration phenomenon can occur. In another experiment conducted by the inventors, where the firing temperature was less than 680 ° C, the migration resistance property decreased to that of the silver electrode. Furthermore, the solder wettability at a temperature lower than the temperature of 680 ° C of a palladium reduction reaction deteriorated because palladium oxide was mixed in the electrodes.
Voor de electrische eigenschappen, de migratiebesten-digheidseigenschap en de soldeerprestaties van een piëzo-electrische transformator heeft volgens de uitvinding het vormen van de electroden van de PZT type piëzo-electrische 15 transformator met gebruik van een geleidende pasta, die een legering van zilver en palladium bevat, de voorkeur bij een baktemperatuur in een gebied van 680°C tot 725°C, beide inclusief.According to the invention, for the electrical properties, migration resistance property and soldering performance of a piezoelectric transformer, forming the electrodes of the PZT type piezoelectric transformer using a conductive paste containing an alloy of silver and palladium preferably at a baking temperature in a range of 680 ° C to 725 ° C, both inclusive.
Overigens is het bekend dat wanneer het palladiumge-20 halte in de legering 20 gew.% of meer wordt, de migratie-bestendigheidseigenschap verbeterd wordt, maar de opper-vlakteweerstand geleidelijk toeneemt wanneer het palladium-gehalte ongeveer 40 gew.% overschrijdt. Verder verslechtert de soldeer-bevochtigbaarheid bij verhoging van het palladi-25 umgehalte. Daarom wordt volgens de uitvinding bij voorkeur een geleidende pasta gebruik waarin de gewichtsmengverhou-ding van zilver en palladium 70 tot 80 gew.% zilver tegen 30 tot 20 gew.% palladium is.Incidentally, it is known that when the palladium content in the alloy becomes 20 wt% or more, the migration resistance property is improved, but the surface resistance gradually increases when the palladium content exceeds about 40 wt%. Furthermore, the solder wettability deteriorates as the palladium content increases. Therefore, according to the invention, a conductive paste is preferably used in which the weight mixing ratio of silver and palladium is 70 to 80 wt.% Silver against 30 to 20 wt.
De hiervoor genoemde doelstellingen., eigenschappen en 30 voordelen van de uitvinding zullen duidelijk worden uit de navolgende toelichting van de bijgevoegde tekeningen, die een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding tonen.The aforementioned objects, features and advantages of the invention will become apparent from the following explanation of the accompanying drawings, which show a preferred embodiment of the invention.
Korte toelichting van de tekeningenBrief explanation of the drawings
Figuur 1 toont een perspectivisch aanzicht van een 35 piëzo-electrische transformator volgens een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding;Figure 1 shows a perspective view of a piezoelectric transformer according to a preferred embodiment of the invention;
Figuur 2 toont een ketenschema van een keten die 1003356 - 7 - gebruikt wordt voor het meten van een electrische karakteristiek van een piëzo-electrische transformator, enFigure 2 shows a circuit diagram of a circuit 1003356-7 used to measure an electrical characteristic of a piezoelectric transformer, and
Figuur 3 toont een diagram van de baktemperatuurafhankelijkheid van de zilvermigratie-bestendigheidseigenschap, 5 het transformatorrendement en de opjaagfactor.Figure 3 shows a diagram of the firing temperature dependence of the silver migration resistance property, the transformer efficiency and the boost factor.
Toelichting van de voorkeursuitvoeringsvorm Een in figuur l getoonde piëzo-electrische transformator is een Rozen type piëzo-electrische transformator en is zodanig geconstrueerd dat op oppervlakken van een als 10 langwerpige plaat gevormd piëzo-electrisch element 21 aandrijfelectroden 22 en een generatorelectrode 23 gevormd zijn. Voor het piëzo-electrische element 21 wordt een piëzo-electrisch keramisch materiaal van het PZT type gebruikt. In totaal zijn vier aandrijfelectroden 22 zodanig 15 aangebracht dat twee aandri jfelectroden 22 zich op elk van twee hoofdvlakken bij de tegenover liggende eindgedeelten van het piëzo-electrische element 21 in langsrichting ervan bevinden, zodanig dat zij twee aan twee aan weerszijden van het piëzo-electrisch element 21 tegenover elkaar liggen. De 20 generatorelectrode 23 is zodanig als een band in een middelste gedeelte van het piëzo-electrische element 21 in de langsrichting gevormd dat het het piëzo-electrische element 21 omgeeft. In de navolgende toelichting wordt een gedeelte waar een paar aandri jfelectroden 22 aan weerszijden van 25 het piëzo-electrische element 21 aangebracht is een aandri j f gedeelte van de piëzo-electrische transformator 1 genoemd en wordt een ander gedeelte waar de generatorelectrode 23 aangebracht is, gencratcrgcdeslte genoemd. Samenvattend is de piëzo-electrische transformator 1 zoda-30 nig geconstrueerd dat een generatorgedeelte aangebracht is in een middelste gedeelte van het piëzo-electrische element 21 in de vorm van een enkele plaat en dat een paar aandrijf gedeelten aangebracht zijn in de tegenover liggende eindgedeelten van het piëzo-electrische element 21 in de 35 langsrichting ervan. Elk van de aandrijfelectroden 22 en het piëzo-electrische element 21 zijn over een groot aanra-kingsoppervlak met elkaar verbonden en de generatorelectro- 1003356 - 8 - de 23 en het piëzo-electrische element 21 zijn over een klein oppervlak met elkaar verbonden, zodat de aandrijfgedeelten een lage ingangsimpedantie kunnen hebben en het generatorgedeelte een hoge uitgangsimpedantie kan hebben.Explanation of the Preferred Embodiment A piezoelectric transformer shown in Figure 1 is a Rose type piezoelectric transformer and is constructed such that drive electrodes 22 and a generator electrode 23 are formed on surfaces of a piezoelectric element 21 formed as an elongated plate. For the piezoelectric element 21, a piezoelectric ceramic material of the PZT type is used. In total, four driving electrodes 22 are arranged such that two driving electrodes 22 are located on each of two major surfaces at the opposite end portions of the piezoelectric element 21 in their longitudinal direction, such that they are two by two on either side of the piezoelectric element 21 are opposite each other. The generator electrode 23 is formed in the longitudinal direction as a band in a middle portion of the piezoelectric element 21 to surround the piezoelectric element 21. In the following explanation, a section where a pair of driving electrodes 22 is disposed on either side of the piezoelectric element 21 is referred to as a driving section of the piezoelectric transformer 1, and another section where the generator electrode 23 is located is referred to as called. In summary, the piezoelectric transformer 1 is constructed such that a generator portion is mounted in a middle portion of the piezoelectric element 21 in the form of a single plate and a pair of drive portions are located in the opposite end portions of the the piezoelectric element 21 in its longitudinal direction. Each of the driving electrodes 22 and the piezoelectric element 21 are interconnected over a large area of contact and the generator electrodes 23 and the piezoelectric element 21 are interconnected over a small area so that the drive sections may have a low input impedance and the generator section may have a high output impedance.
5 De electroden 22 en 23 zijn gevormd door het bakken van een geleidende pasta die zilver en palladium bevat.The electrodes 22 and 23 are formed by baking a conductive paste containing silver and palladium.
Verder is het piëzo-electrische element 21 verwerkt om het volgens de in figuur 1 getoonde pijlen te polariseren. In het bijzonder wordt het polariseren uitgevoerd in een 10 richting vanaf het generatorgedeelte naar elk van de aan-drijfgedeelten, maar wordt in elk van de aandrijfgedeelten het polariseren in een richting vanaf een van de hoofdvlakken van het piëzo-electrische element 21 naar het andere hoofdvlak uitgevoerd.Furthermore, the piezoelectric element 21 is processed to polarize it according to the arrows shown in figure 1. Specifically, the polarization is performed in a direction from the generator section to each of the drive sections, but in each of the drive sections, polarization is conducted in one direction from one of the major surfaces of the piezoelectric element 21 to the other major plane executed.
15 Hierdoor wordt door het aanleggen van een wisselspan ning die correspondeert met de resonantiefrequentie van de piëzo-electrische transformator tussen een paar tegenover liggende aandrijfelectroden 22 in elk van de aandrijfgedeelten een opgejaagde hoge spanning door het generatorge-20 deelte uitgevoerd als gevolg van een piëzo-electrische transversale effectmodus 31 en een piëzo-electrische longitudinale effectmodus 33 in het piëzo-electrische element 21.As a result, by applying an AC voltage corresponding to the resonant frequency of the piezoelectric transformer between a pair of opposed drive electrodes 22 in each of the drive sections, a high voltage is applied through the generator section due to a piezoelectric transformer. electric transverse effect mode 31 and a piezoelectric longitudinal effect mode 33 in the piezoelectric element 21.
Hierna worden voorbeelden toegelicht van de werkelijke 25 vervaardiging van de hiervoor toegelichte piëzo-electrische transformator.Examples of the actual manufacture of the piezoelectric transformer illustrated above are explained below.
Voorbeeld 1:Example 1:
Een geleidende pasta met 77 gew.% anorganisch materiaal met een legering van zilver en palladium °n met· gebruik 30 van ethylcellulose als drager werd door een dikke-film zeefdrukwerkwijze op de piëzo-electrische keramische plaat 21 van het PZT type, bevattende mangaan (Mn) en antimoon (Sb) als derde componenten, gedrukt. De gewichtsmengverhou-ding van zilver en palladium van de geleidende pasta was 35 zilver/palladium = 73/27. Vervolgens werd de geleidende pasta gebakken bij een temperatuur in een gebied van 600°c tot 850 °C voor het vormen van de aandrijf electroden 22 en de generatorelectroden 23. De vormen van de electroden 1003356 - 9 - waren als getoond in figuur 1 en de dikte van de electroden 22 en 23 was 15 μπι. Door variatie van de temperatuur bij het bakken werd een aantal monsters vervaardigd. Daarna werd het polariseren binnen de met de in figuur 1 aangege-5 ven pijlen uitgevoerd voor het completeren van de piëzo-electrische transformators.A conductive paste containing 77% by weight inorganic material with an alloy of silver and palladium using ethylcellulose as the support was passed through a thick film screen printing process onto the PZT type piezoelectric ceramic plate 21 containing manganese ( Mn) and antimony (Sb) as third components, printed. The weight ratio of silver and palladium of the conductive paste was silver / palladium = 73/27. Then, the conductive paste was baked at a temperature in a range from 600 ° C to 850 ° C to form the driving electrodes 22 and the generator electrodes 23. The shapes of the electrodes 1003356-9 were as shown in Figure 1 and the thickness of electrodes 22 and 23 was 15 µm. A number of samples were produced by varying the temperature during baking. Polarization within the arrows indicated in Figure 1 was then performed to complete the piezoelectric transformers.
Met elk van de op deze wijze gecompleteerde piëzo-electrische transformators werd een schijnbelasting verbonden ter controle van de relatie tussen de electrode-baktem-10 peratuur en de electrische eigenschappen. In het bijzonder werd een aansluiting van een schijnbelasting 32 met weerstanden R1 en R2 en condensators Cl en C2 met de generator-electrode 23 verbonden, terwijl de andere aansluiting van de schijnbelasting 32 geaard werd en aan elk van de aan-15 drijfgedeelten vanuit een aandrijfvoedingsbron 31 een aandrijfspanning gelegd werd voor het meten van de opjaag-factor, d.w.z. in een verhouding tussen de uitgangsspanning en de aandrijfspanning, en het omzettingsrendement. Het resultaat is in figuur 3 getoond.An apparent load was applied to each of the piezoelectric transformers completed in this manner to check the relationship between the electrode baking temperature and the electrical properties. Specifically, a terminal of a false load 32 with resistors R1 and R2 and capacitors C1 and C2 was connected to the generator electrode 23, while the other terminal of the false load 32 was grounded and to each of the driving portions from a driving power source 31, a driving voltage was applied to measure the boost factor, ie, in a relationship between the output voltage and the driving voltage, and the conversion efficiency. The result is shown in Figure 3.
20 Een andere groep monsters die, wat betreft de kerami sche samenstelling, de geleidende pasta en de baktempera-turen gelijk waren aan de voor de meting van de electrische eigenschappen gebruikte monsters werd geprepareerd en de relatie tussen de electrode-baktemperatuur en de migratie-25 bestendigheidseigenschap werd onderzocht door middel van een waterdruppeltest, die uitgevoerd werd door zuiver water op de tegenoverliggende electroden te druppelen. De migra-tiebestendigheidseigenschap werd beoordeeld gedurende een tijd totdat mef t-oat bij Vatner-t-pmperatuur 30 een zelfde migratieverschijnsel waargenomen werd. Het resultaat is in figuur 3 getoond.Another group of samples which, in terms of the ceramic composition, the conductive paste and the baking temperatures, were equal to the samples used for the measurement of the electrical properties, was prepared and the relationship between the electrode baking temperature and the migration. resistance property was tested by a water drop test, which was performed by dripping pure water on the opposite electrodes. The migration resistance property was assessed for a time until a similar migration phenomenon was observed at Vatner temperature. The result is shown in Figure 3.
Uit figuur 3 volgt dat de migratiebestendigheidseigen-schap van de baktemperatuur afhangt. Bij een lagere baktem-peratuur dan 680eC is de migratiebestendigheidseigenschap 35 gelijk aan die welke verkregen wordt wanneer een geleidende pasta met 100% zilver gebruikt werd, en het voordeel bij gebruik van de pasta met een legering van zilver en palladium voor het onderdrukken van de migratie is niet meer te 1003356 - 10 - vinden. Daarom, voor wat betreft het voordeel van de pasta die een legering van zilver en palladium bevat aangaande de migratiebestendigheidseigenschap moet de electrode-baktem-peratuur bij voorkeur 680°C of hoger zijn. Omdat een lagere 5 baktemperatuur dan 700°C de migratiebestendigheidseigen- schap verslechtert, heeft een baktemperatuur van 700°C of hoger meer de voorkeur.It follows from Figure 3 that the migration resistance property depends on the baking temperature. At a baking temperature lower than 680eC, the migration resistance property 35 is the same as that obtained when using a conductive paste with 100% silver, and the advantage when using the paste with an alloy of silver and palladium to suppress migration is no longer to be found 1003356 - 10. Therefore, as to the advantage of the paste containing an alloy of silver and palladium in the migration resistance property, the electrode baking temperature should preferably be 680 ° C or higher. Since a baking temperature below 700 ° C deteriorates the migration resistance property, a baking temperature of 700 ° C or higher is more preferred.
Verder volgt uit figuur 3 dat het rendement en de opjaagfactor die de belangrijkste electrische eigenschappen 10 van een piëzo-electrische transformator zijn afnemen wanneer de electrodebaktemperatuur stijgt. Hoewel in het onderhavige voorbeeld de doelprestaties van de piëzo-electrische transformator op 94% of meer rendement en 15 maal of meer als opjaagfactor gesteld waren, kon bij een hogere 15 baktemperatuur dan 725°C niet aan de twee eisen voldaan worden. Wanneer beoogd wordt een piëzo-electrische transformator te verkrijgen met betere prestaties dan de doelprestaties wordt de electrodebaktemperatuur bij voorkeur 725°C of lager gekozen.Furthermore, it follows from figure 3 that the efficiency and the boosting factor which are the main electrical properties of a piezoelectric transformer decrease as the electrode baking temperature rises. Although in the present example the target performance of the piezoelectric transformer was set at 94% or more efficiency and 15 times or more as a boost factor, the two requirements could not be met at a baking temperature higher than 725 ° C. When aiming to obtain a piezoelectric transformer with better performance than the target performance, the electrode baking temperature is preferably chosen to be 725 ° C or less.
20 Uit oogpunt van de migratiebestendigheidseigenschap en de electrische eigenschappen als piëzo-electrische transformator, zoals hiervoor toegelicht, wanneer de electroden op een piëzo-electrische transformator gevormd worden met gebruik van een pasta die een legering van zilver en palla-25 dium bevat, wordt de pasta bij voorkeur gebakken bij een temperatuur in een gebied van 680°C tot 825°C, beide inclusief, voor het vormen van de electroden.From the viewpoint of the migration resistance property and the electrical properties as a piezoelectric transformer, as explained above, when the electrodes are formed on a piezoelectric transformer using a paste containing an alloy of silver and palladium, the pasta is preferably baked at a temperature in a range from 680 ° C to 825 ° C, both inclusive, to form the electrodes.
In het onderhavige voorbeeld waren de electrische eigenschappen van de bij de baktemperatuur van 680°C ver— 30 vaardigde piëzo-electrische transformator 94,8% rendement en 16 maal als opjaagfactor en was de migratiebestendig-heidseigenschap ongeveer 1,5 maal die wanneer pasta met 100% zilver gebruikt werd. Wanneer de baktemperatuur 700°c was, was het rendement 94,5% en was de opjaagfactor 15,8 35 maal en was de migratiebestendigheidseigenschap ongeveer 6 maal die wanneer pasta met 100% zilver gebruikt werd. Verder was de baktemperatuur 725°C, was het rendement 94,6% en was de opjaagverhouding 15,5 maal, en was de migratiebe- 1003356 - 11 - stendigheidseigenschap ongeveer 6 maal die wanneer de pasta 100% zilver bevatte.In the present example, the electrical properties of the piezoelectric transformer manufactured at the baking temperature of 680 ° C were 94.8% efficiency and 16 times as a boost factor, and the migration resistance property was about 1.5 times that when pasta with 100% silver was used. When the baking temperature was 700 ° C, the efficiency was 94.5%, and the chasing factor was 15.8 times 35 and the migration resistance property was about 6 times that when using pasta with 100% silver. Furthermore, the baking temperature was 725 ° C, the efficiency was 94.6%, and the chasing ratio was 15.5 times, and the migration resistance property was about 6 times that when the paste contained 100% silver.
Die piëzo-electrische transformators werden onderworpen aan een test met hoge temperatuur en hoge vochtigheid 5 (een temperatuur van 85°C en een relatieve vochtigheid van 95%) . Uit de test bleek dat geen diëlectrische doorslag door een zilvermigratieverschijnsel optrad.Those piezoelectric transformers were subjected to a high temperature and high humidity test (a temperature of 85 ° C and a relative humidity of 95%). The test showed that no dielectric breakdown occurred due to a silver migration phenomenon.
Voorbeeld 2:Example 2:
De piëzo-electrische transformator van voorbeeld 2 10 heeft dezelfde constructie als de piëzo-electrische transformator van voorbeeld 1, behalve dat de gewichtmengver-houding van zilver en palladium van de voor de vorming van de electroden gebruikte geleidende pasta gewijzigd was. In voorbeeld 2 werd de piëzo-electrische transformator ver-15 vaardigd door de electrodebaktemperatuur op 725°C te stellen. De verhouding van zilver en palladium in de geleidende pasta was 70 gew.% zilver en 30 gew.% palladium. De elec-trische eigenschappen van de piëzo-electrische transformator werden gemeten met gebruik van een in figuur 2 getoonde 20 meetketen. Het resultaat van de meting was 94,4% transfor-matorrendement en 15,3 maal als opjaagfactor., Verder werd de migratiebestendigheidseigenschap door middel van een waterdruppeltest beoordeeld. De bereikte migratiebestendig-heidseigenschap was ongeveer 6,5 maal die wanneer een pasta 25 met 100% zilver gebruikt werd. De piëzo-electrische transformator werd aan een test roet een hoge temperatuur en hoge vochtigheid onderworpen. Uit de test bleek dat geen defect als gevolg van diëlectrische doorslag optrad.The piezoelectric transformer of Example 2 has the same construction as the piezoelectric transformer of Example 1, except that the weight mixing ratio of silver and palladium of the conductive paste used to form the electrodes was changed. In Example 2, the piezoelectric transformer was manufactured by adjusting the electrode baking temperature to 725 ° C. The ratio of silver and palladium in the conductive paste was 70% by weight of silver and 30% by weight of palladium. The electrical properties of the piezoelectric transformer were measured using a measuring circuit shown in Figure 2. The result of the measurement was 94.4% transformer efficiency and 15.3 times as a chase factor. Furthermore, the migration resistance property was assessed by a water drop test. The migration resistance property achieved was about 6.5 times that when a paste containing 100% silver was used. The piezoelectric transformer was subjected to a high temperature and high humidity test. The test showed that no defects due to dielectric breakdown occurred.
Voorbeeld 3: 30 De piëzo-electrische transformator van voorbeeld 3 heeft dezelfde constructie als de piëzo-electrische transformator van voorbeeld 1, behalve dat de gewichtmengver-houding van zilver en palladium van de voor de vorming van de electroden gebruikte geleidende pasta gewijzigd was. In 35 voorbeeld 3 werd de piëzo-electrische transformator vervaardigd door de electrodebaktemperatuur op 725°C te stellen. De verhouding van zilver en palladium in de geleidende pasta was 80 gew.% zilver en 20 gew.% palladium. De elee- H003356 - 12 - trische eigenschappen van de piëzo-electrische transformator werden gemeten met gebruik van de in figuur 2 getoonde meetketen. Het resultaat van de meting was 94,4% transfor-matorrendement en 15,8 maal als opjaagfactor., Verder werd 5 de migratiebestendigheidseigenschap door middel van een waterdruppeltest beoordeeld. De bereikte migratiebestendig-heidseigenschap was ongeveer 1,5 maal die wanneer een pasta met 100% zilver gebruikt werd. Hoewel de onderhavige piëzo-electrische transformator een slechtere migratiebestendig-10 heidseigenschap dan de piëzo-electrische transformators van de voorbeelden 1 en 2 heeft, is het wat betreft de produktiekosten superieur, daar de pasta goedkoper is naarmate het palladiumgehalte lager is en de kosten voor de gehele piëzo-electrische transformator evenveel verlaagd 15 kunnen worden. De piëzo-electrische transformator werd onderworpen aan een test bij hoge temperatuur en hoge vochtigheid. Uit de test bleek dat geen defect als gevolg van diëlectrische doorslag optrad en verzekerde dat de piëzo-electrische transformator voor praktische toepassing 20 geschikt gebruikt kan worden.Example 3: The piezoelectric transformer of Example 3 has the same construction as the piezoelectric transformer of Example 1, except that the weight mixing ratio of silver and palladium of the conductive paste used to form the electrodes was changed. In Example 3, the piezoelectric transformer was manufactured by adjusting the electrode baking temperature to 725 ° C. The ratio of silver and palladium in the conductive paste was 80% by weight of silver and 20% by weight of palladium. The electrical properties of the piezoelectric transformer were measured using the measuring circuit shown in Figure 2. The result of the measurement was 94.4% transformer efficiency and 15.8 times as a chase factor. Furthermore, the migration resistance property was assessed by a water drop test. The migration resistance property achieved was about 1.5 times that when a paste containing 100% silver was used. Although the present piezoelectric transformer has a poorer migration-resistant property than the piezoelectric transformers of Examples 1 and 2, it is superior in production cost since the paste is cheaper the lower the palladium content and the cost of the paste. entire piezoelectric transformer can be lowered by the same amount. The piezoelectric transformer was subjected to a high temperature and high humidity test. The test showed that no defect due to dielectric breakdown occurred and ensured that the piezoelectric transformer can be suitably used for practical application.
Hoewel de uitvoeringsvorm volgens de uitvinding hiervoor als voorbeeld van een Rozen-type piëzo-electrische transformator toegelicht is werd bevestigd dat soortgelijke effecten als die welke met de hiervoor toegelichte voor-25 beelden bereikt werden, ook bereikt kunnen worden wanneer de uitvinding toegepast wordt bij piëzo-electrische transformator met een andere structuur dan de Rozen-type structuur.Although the embodiment according to the invention has been explained above as an example of a Rose-type piezoelectric transformer, it was confirmed that similar effects as those achieved with the examples explained above can also be achieved when the invention is applied in piezo -electric transformer with a structure other than the Rose type structure.
Het mopt- pchter duidelijk zijn datr, hoewel de eigen-30 schappen en voordelen van de uitvinding hiervoor toegelicht zijn de toelichting slechts illustratief is en binnen het kader van de bijgevoegde conclusies wijzigingen in de rangschikking van de onderdelen gemaakt kunnen worden.It is to be understood, however, that while the features and advantages of the invention have been illustrated above, the explanation is illustrative only and changes in the arrangement of the parts may be made within the scope of the appended claims.
10033561003356
Claims (10)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15582395 | 1995-06-22 | ||
| JP15582395A JPH098376A (en) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | Piezoelectric transformer and production thereof |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1003356A1 NL1003356A1 (en) | 1997-01-08 |
| NL1003356C2 true NL1003356C2 (en) | 1999-11-11 |
Family
ID=15614274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1003356A NL1003356C2 (en) | 1995-06-22 | 1996-06-17 | Piezoelectric transformer and a method of manufacturing it. |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH098376A (en) |
| KR (1) | KR970004105A (en) |
| NL (1) | NL1003356C2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5087824B2 (en) * | 2005-07-25 | 2012-12-05 | 富士ゼロックス株式会社 | Piezoelectric element, droplet discharge head, and droplet discharge apparatus |
| EP3454445B1 (en) | 2016-05-03 | 2021-03-24 | LG Electronics Inc. | Charging apparatus |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2570223A1 (en) * | 1984-09-07 | 1986-03-14 | Labo Electronique Physique | Piezoelectric device and method of production of such a device |
| JPS62199001A (en) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | 株式会社デンソー | Positive characteristics porcelain semiconductor |
| EP0235749A2 (en) * | 1986-02-27 | 1987-09-09 | Nippondenso Co., Ltd. | Positive ceramic semiconductor device |
| JPH02114601A (en) * | 1988-10-25 | 1990-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of electronic component |
| JPH0496385A (en) * | 1990-08-13 | 1992-03-27 | Nec Corp | Laminated ceramic piezoelectric element |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51122458A (en) * | 1975-04-17 | 1976-10-26 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Method of mounting electrode on transparent strong dielectric porcelai n |
| JP2682357B2 (en) * | 1992-08-12 | 1997-11-26 | 株式会社大真空 | Piezoelectric ceramics, method of manufacturing piezoelectric ceramics, ceramics vibrator, and piezoelectric transformer |
| JP2894908B2 (en) * | 1992-12-08 | 1999-05-24 | 日本電気株式会社 | Piezoelectric transformer and driving method thereof |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP15582395A patent/JPH098376A/en active Pending
-
1996
- 1996-06-17 NL NL1003356A patent/NL1003356C2/en not_active IP Right Cessation
- 1996-06-21 KR KR1019960022760A patent/KR970004105A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2570223A1 (en) * | 1984-09-07 | 1986-03-14 | Labo Electronique Physique | Piezoelectric device and method of production of such a device |
| JPS62199001A (en) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | 株式会社デンソー | Positive characteristics porcelain semiconductor |
| EP0235749A2 (en) * | 1986-02-27 | 1987-09-09 | Nippondenso Co., Ltd. | Positive ceramic semiconductor device |
| JPH02114601A (en) * | 1988-10-25 | 1990-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of electronic component |
| JPH0496385A (en) * | 1990-08-13 | 1992-03-27 | Nec Corp | Laminated ceramic piezoelectric element |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 014, no. 338 (E - 0954) 20 July 1990 (1990-07-20) * |
| PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 016, no. 326 (E - 1235) 16 July 1992 (1992-07-16) * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH098376A (en) | 1997-01-10 |
| KR970004105A (en) | 1997-01-29 |
| NL1003356A1 (en) | 1997-01-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5196757A (en) | Multilayer piezoelectric ceramic actuator | |
| US7982367B2 (en) | Piezoelectric/electrostrictive element having a multilayer external electrode structure and method for manufacturing thereof | |
| JP2015035581A (en) | Ceramic electronic component and method for manufacturing the same | |
| US7692368B2 (en) | Multi-layered component and method for the production thereof | |
| KR102552423B1 (en) | Dielectric powder and multilayered ceramic electronic components using the same | |
| US6080328A (en) | Piezoelectric ceramic and method for producing piezoelectric ceramic element | |
| CN100472673C (en) | Multilayer chip varistor | |
| NL1003356C2 (en) | Piezoelectric transformer and a method of manufacturing it. | |
| KR100809214B1 (en) | Conductive particle, conductive paste comprising same, and electronic device prepared by using same | |
| JP2000077258A (en) | Ceramic electronic part and manufacture of the same | |
| JP4748831B2 (en) | Electronic components | |
| US20230207196A1 (en) | Multilayer ceramic capacitor and mounting structure of multilayer ceramic capacitor | |
| JPH03283581A (en) | Laminated piezoelectric actuator element | |
| JP2971993B2 (en) | Multilayer ceramic capacitors | |
| JPH11214240A (en) | Laminated ceramic electronic component and their manufacture | |
| US20190288180A1 (en) | Piezoelectric laminate, method of manufacturing piezoelectric laminate and piezoelectric element | |
| JP3160855B2 (en) | Multilayer ceramic capacitors | |
| JPH09129478A (en) | Mounting structure of ceramic electronic part | |
| JP3253028B2 (en) | External electrode forming method of multilayer ceramic capacitor | |
| JPH06181343A (en) | Laminated displacement element and manufacture thereof | |
| WO2023243160A1 (en) | Laminated ceramic capacitor | |
| JPH0878279A (en) | Formation of outer electrode on electronic chip device | |
| WO2023243159A1 (en) | Multilayer ceramic capacitor | |
| JP2004119797A (en) | Stacked ceramic capacitor | |
| JPH06310304A (en) | Ntc thermistor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AD1A | A request for search or an international type search has been filed | ||
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| VD1 | Lapsed due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20010101 |