JP3160855B2 - Multilayer ceramic capacitors - Google Patents
Multilayer ceramic capacitorsInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、積層セラミックコンデンサ及びその製造方
法に関し、より特定的には、外部電極が形成される部分
の構造及び外部電極形成工程が改良されたものに関す
る。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multilayer ceramic capacitor and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a structure in which an external electrode is formed and an external electrode forming step are improved. About things.
積層セラミックコンデンサでは、誘電体セラミックス
内にセラミック層を介して重なり合うように複数の内部
電極が配置されており、該内部電極が、誘電体セラミッ
クスの第1,第2の側面に引出されており、かつ第1,第2
の側面に形成された外部電極に電気的に接続されている
構造を有する。In the multilayer ceramic capacitor, a plurality of internal electrodes are arranged in a dielectric ceramic so as to overlap with a ceramic layer interposed therebetween, and the internal electrodes are drawn out to first and second side surfaces of the dielectric ceramic, And the first and second
Has a structure electrically connected to an external electrode formed on the side surface of the.
積層セラミックコンデンサの一般的な製造方法は、以
下のとおりである。すなわち、ドクターブレード法等の
成形方法により形成されたセラミックグリーンシートを
用意し、セラミックグリーンシート上に内部電極を形成
するための導電ペーストを印刷・塗布し、これを複数枚
積層・圧着したものを焼成することにより焼結体を得
る。しかる後、焼結体の内部電極が引出されている第1,
第2の側面に、導電ペーストを塗布・焼付けることによ
り外部電極を形成する。A general manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor is as follows. That is, a ceramic green sheet formed by a molding method such as a doctor blade method is prepared, and a conductive paste for forming an internal electrode is printed and applied on the ceramic green sheet, and a plurality of these are laminated and pressed. A sintered body is obtained by firing. Thereafter, the first and second internal electrodes of the sintered body are drawn out.
An external electrode is formed on the second side surface by applying and baking a conductive paste.
よって、従来の積層セラミックコンデンサでは、セラ
ミックグリーンシートの積層体の磁器化のための焼成工
程と、外部電極を焼付けるための焼付け工程の二度の焼
成工程を実施する必要があり、コストダウンの妨げとな
っていた。Therefore, in the conventional multilayer ceramic capacitor, it is necessary to perform a firing step for baking the ceramic green sheet laminate into a porcelain and a firing step for firing the external electrodes twice, thereby reducing cost. Was hindered.
さらに、磁器化された誘電体セラミックスは、焼成に
より反り等の変形を生じがちでり、外部電極を塗布する
工程において、自動機にかからないものが生じがちであ
った。のみならず、外部電極材料を塗布するに当たりチ
ップを整列させた場合、自動機によって欠けや割れが生
じることがあり、この点からも量産コストの低減が困難
であった。Furthermore, dielectric ceramics made into porcelain tend to be deformed, such as warping, by firing, and in the step of applying external electrodes, those that do not require an automatic machine tend to occur. In addition, when the chips are aligned when applying the external electrode material, chipping or cracking may occur due to an automatic machine, and it is difficult to reduce the mass production cost from this point as well.
近年、上記の問題を解決するために、誘電体セラミッ
クグリーンシートと同一組成のセラミック粉末を、金属
粉末を主体とするペースト中に含有させた外部電極ペー
ストを使用し、セラミックグリーンシートの積層体の磁
器化と、外部電極の焼付けとを一度の焼成により同時に
達成する方法が提案されている。In recent years, in order to solve the above problem, using an external electrode paste containing a ceramic powder having the same composition as the dielectric ceramic green sheet in a paste mainly composed of a metal powder, a ceramic green sheet laminate is used. A method has been proposed in which porcelain formation and baking of an external electrode are simultaneously achieved by a single baking.
しかしながら、誘電体セラミックスを構成するための
セラミックグリーンシートと同一組成のセラミック粉末
を、外部電極を形成するための導電ペースト中に含有さ
せた場合、積層体の磁器化と外部電極の焼付けを一度の
焼成工程で行うことはできるが、外部電極の誘電体セラ
ミックスへの固着力にばらつきが生じたり、外部電極の
電極抵抗が高くなって周波数特性が劣化したり、めっき
やはんだ付け性が低下するという問題があった。However, when a ceramic powder having the same composition as the ceramic green sheet for forming the dielectric ceramics is contained in the conductive paste for forming the external electrodes, the lamination is porcelain and the external electrodes are baked once. Although it can be performed in the baking process, the adhesion of the external electrode to the dielectric ceramic varies, the electrode resistance of the external electrode increases, the frequency characteristics deteriorate, and the plating and soldering properties decrease. There was a problem.
すなわち、外部電極の塗布に際してはディップ法を用
いるが、外部電極を形成するための導電ペースト中にセ
ラミック粉末がかなりの割合で含有されている場合に
は、外部電極の電極抵抗が高くなる。同時に、外部電極
の外表面に露出している部分にセラミック粉末が存在す
ることになり、はんだとのぬれ性が低下し、はんだ付け
の不良が生じがちとなる。That is, the dip method is used for applying the external electrode. However, when the conductive paste for forming the external electrode contains a considerable proportion of ceramic powder, the electrode resistance of the external electrode increases. At the same time, the ceramic powder is present in a portion exposed on the outer surface of the external electrode, so that the wettability with the solder is reduced and the soldering tends to be defective.
他方、セラミック粉末の含有量が少ない場合には、誘
電体セラミックスの側面と外部電極との接合界面にセラ
ミック粉末が存在する箇所が多数発生し、誘電体セラミ
ックスと外部電極との密着強度を高めることができず、
外部電極の付着力が低下することになる。On the other hand, when the content of the ceramic powder is small, there are many places where the ceramic powder exists at the joint interface between the side surface of the dielectric ceramic and the external electrode, and the adhesion strength between the dielectric ceramic and the external electrode is increased. Not be able to
The adhesion of the external electrode will be reduced.
さらに、セラミック粉末の含有量が適切な量であった
としても、セラミック粉末と金属粉末との比重差によ
り、ペーストの保管中に沈降分離が生じ、両者を均一に
分散させることが困難となる。その結果、誘電体セラミ
ックスの側面と外部電極との接合界面にセラミック粉末
が存在しない部分が生じたり、外部電極の外表面にセラ
ミック粉末が存在したりし、セラミック粉末量及び分散
状態にばらつきが生じ、電気抵抗やはんだ付け性がばら
ついたり、外部電極付着力がばらついていた。Furthermore, even if the content of the ceramic powder is an appropriate amount, sedimentation occurs during storage of the paste due to a difference in specific gravity between the ceramic powder and the metal powder, and it is difficult to uniformly disperse both. As a result, there is a portion where the ceramic powder does not exist at the joining interface between the side surface of the dielectric ceramic and the external electrode, or the ceramic powder exists on the outer surface of the external electrode, and the amount and dispersion state of the ceramic powder vary. In addition, the electrical resistance and solderability varied, and the external electrode adhesion varied.
本発明の目的は、セラミック積層体の磁器化と外部電
極の形成とを一度の焼成で行うことができる構造を備え
たものにおいて、部電極の誘電体セラミックスへの付着
力が強く、外部電極の電気抵抗が充分に低く、かつ特定
のばらつきの少ない積層セラミックコンデンサ及びその
製造方法を提供することにある。An object of the present invention is to provide a ceramic laminate having a structure in which porcelain formation and external electrode formation can be performed by firing at a time, the adhesion of the partial electrode to the dielectric ceramic is strong, and the external electrode An object of the present invention is to provide a multilayer ceramic capacitor having sufficiently low electric resistance and having a small specific variation, and a method for manufacturing the same.
本発明は、誘電体セラミックス内にセラミック層を介
して重なり合うように複数の内部電極が配置されてお
り、この誘電体セラミックスの厚み方向において複数の
内部電極が交互に誘電体セラミックスの第1,第2の側面
に引出されており、第1,第2の側面に第1,第2の外部電
極がそれぞれ形成された積層セラミックコンデンサにお
いて、下記の構成を備えることを特徴とする。According to the present invention, a plurality of internal electrodes are arranged so as to overlap with each other via a ceramic layer in a dielectric ceramic, and the plurality of internal electrodes are alternately arranged in the thickness direction of the dielectric ceramic in the first and second dielectric ceramics. The multilayer ceramic capacitor, which is drawn out to two side surfaces and has first and second external electrodes formed on the first and second side surfaces, is characterized by having the following configuration.
すなわち、誘電体セラミック層の第1,第2の側面に、
誘電体セラミック層を構成している誘電体組成物の内少
なくとも一種から成るセラミック粉末が分散された状態
で誘電体セラミックスの焼成に伴って該第1,第2の側面
に固定されており、該セラミック粉末を間に介して、上
記第1,第2の側面に第1,第2の外部電極がそれぞれ形成
されていることを特徴とするものである。That is, on the first and second side surfaces of the dielectric ceramic layer,
The ceramic powder comprising at least one of the dielectric compositions constituting the dielectric ceramic layer is fixed to the first and second side surfaces with the firing of the dielectric ceramic in a dispersed state, The present invention is characterized in that first and second external electrodes are formed on the first and second side surfaces, respectively, with a ceramic powder interposed therebetween.
本発明の製造方法は、誘電体材料を主体とする複数枚
のセラミックグリーンシートを内部電極用導電ペースト
層を介して積層して成る積層体を用意する工程と、前記
積層体の内部電極用導電ペースト層の引出されている第
1,第2の側面に、前記誘電体材料を構成している組成物
の少なくとも一種から成るセラミック粉末とバインダと
を含む中間層を形成する工程と、前記中間層上に外部電
極用導電ペーストを付与する工程と、前記積層体を焼成
して積層体の磁器化と外部電極の焼付けを同時に行うと
ともに前記バインダを飛散させて前記セラミックス粉末
を分散させた状態で前記側面に固定する工程とを備え
る。The production method of the present invention includes a step of preparing a laminate formed by laminating a plurality of ceramic green sheets mainly composed of a dielectric material via a conductive paste layer for an internal electrode; No. of paste layer being drawn
1, a step of forming an intermediate layer containing a ceramic powder and a binder comprising at least one of the compositions constituting the dielectric material on the second side surface; and forming a conductive paste for an external electrode on the intermediate layer. Applying, and firing the laminate to simultaneously perform porcelainization of the laminate and baking of the external electrodes, and dispersing the binder to fix the ceramic powder on the side surface in a dispersed state. .
内部電極が引出されている誘電体セラミックスの第1,
第2の側面にセラミック粉末が分散されている。このセ
ラミック粉末は、誘電体セラミックスの構成組成物の少
なくとも一種類からなる組成物であるため、誘電体セラ
ミックスの焼成に伴って、誘電体セラミックスと強固に
接合されており、しかも誘電体セラミックスの第1,第2
の側面と外部電極の接触面積を拡大するものであるた
め、外部電極の密着性が効果的に高められる。The first of dielectric ceramics from which the internal electrodes are drawn
Ceramic powder is dispersed on the second side surface. Since this ceramic powder is a composition composed of at least one kind of a constituent composition of the dielectric ceramic, the ceramic powder is firmly bonded to the dielectric ceramic with the firing of the dielectric ceramic. 1, second
Since the contact area between the side surface of the external electrode and the external electrode is enlarged, the adhesion of the external electrode is effectively increased.
なお、セラミック粉末は第1,第2の側面に分散されて
いるものであるため、該セラミック粉末が存在していた
としても、第1,第2の側面に露出している内部電極と外
部電極との電気的な接続は確保される。Since the ceramic powder is dispersed on the first and second side surfaces, the internal electrode and the external electrode exposed on the first and second side surfaces even if the ceramic powder is present. The electrical connection with is ensured.
また、外部電極を形成するための材料自体にセラミッ
ク粉末が均一に分散されているものではないため、外部
電極自体の電極抵抗が高くなることもなく、また内部電
極の外表面にセラミック粉末が露出することもないた
め、はんだ付け性やめっき性が低下することもない。In addition, since the ceramic powder is not uniformly dispersed in the material for forming the external electrode itself, the electrode resistance of the external electrode itself does not increase, and the ceramic powder is exposed on the outer surface of the internal electrode. Therefore, the solderability and the plating property do not decrease.
また、本発明の製造方法では、積層体の磁器化と、外
部電極の焼付けが、一度の焼成工程により同時に行われ
るため、焼成コストも低減される。In addition, in the manufacturing method of the present invention, the sintering of the laminated body and the baking of the external electrodes are simultaneously performed in a single firing step, so that the firing cost is reduced.
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例につき説明す
る。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第1図は、本発明の一実施例の積層セラミックコンデ
ンサの断面図である。この積層セラミックコンデンサ1
では、誘電体セラミックス2内に、複数の内部電極3〜
6が誘電体セラミック層2a〜2cを介して重なり合うよう
に配置されている。内部電極3〜6は、誘電体セラミッ
クス2の厚み方向において、交互に、第1,第2の側面2
d,2eに引出されている。FIG. 1 is a sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention. This multilayer ceramic capacitor 1
Then, a plurality of internal electrodes 3 to
6 are arranged so as to overlap with each other via the dielectric ceramic layers 2a to 2c. The internal electrodes 3 to 6 alternately alternate with the first and second side surfaces 2 in the thickness direction of the dielectric ceramic 2.
d, 2e.
本実施例の特徴は、第1,第2の側面2d,2eに、誘電体
セラミックス2を構成する誘電体組成物のうち少なくと
も一種からなるセラミック粉末7,8が分散されているこ
とにある。このセラミック粉末7,8は、第1図では1つ
の層を構成するように図示されているが、第2図に側面
2dを代表して示すように、セラミック粉末7は側面2d上
に分散されて配置されている。This embodiment is characterized in that ceramic powders 7, 8 made of at least one of the dielectric compositions constituting the dielectric ceramics 2 are dispersed on the first and second side surfaces 2d, 2e. These ceramic powders 7, 8 are shown in FIG. 1 as constituting one layer, but are shown in FIG.
As shown representatively of 2d, the ceramic powder 7 is dispersed and arranged on the side surface 2d.
セラミック粉末7,8は、誘電体セラミックス2の焼成
前に側面7,8に付与され、誘電体セラミックス2の焼成
により誘電体セラミックス2と一体化されてる。The ceramic powders 7 and 8 are applied to the side surfaces 7 and 8 before firing the dielectric ceramics 2 and are integrated with the dielectric ceramics 2 by firing the dielectric ceramics 2.
9,10は、第1,第2の外部電極を示す。第1,第2の外部
電極9,10は、それぞれ、第1,第2の側面2d,2eに引出さ
れている内部電極3〜6に電気的に接続されている。Reference numerals 9 and 10 denote first and second external electrodes. The first and second external electrodes 9 and 10 are electrically connected to the internal electrodes 3 to 6 extending to the first and second side surfaces 2d and 2e, respectively.
次に、積層セラミックコンデンサ1の製造方法を説明
する。まず、誘電体セラミックスよりなる粉末をスラリ
ー化し、誘電体材料を主体とするセラミックグリーンシ
ートを成形する。複数枚のセラミックグリーンシートを
用意し、その一方主面に内部電極用導電ペーストを塗布
・乾燥することにより、内部電極用導電ペースト層を形
成する。なお、内部電極用導電ペースト層は、次に述べ
る焼成工程により焼付けられて第1図の内部電極3〜6
として完成されるものである。Next, a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 will be described. First, a powder made of a dielectric ceramic is slurried to form a ceramic green sheet mainly composed of a dielectric material. A plurality of ceramic green sheets are prepared, and a conductive paste for internal electrodes is applied to one main surface and dried to form a conductive paste layer for internal electrodes. The conductive paste layer for internal electrodes is baked in the firing step described below to form the internal electrodes 3 to 6 shown in FIG.
It is completed as
次に、導電ペースト層が形成された複数枚のセラミッ
クグリーンシートを積層し、最上部及び最下部に内部電
極用導電ペーストの塗布されていない誘電体セラミック
グリーンシートを積層し、厚み方向に圧着することによ
り積層体を得る。Next, a plurality of ceramic green sheets on which a conductive paste layer is formed are laminated, and a dielectric ceramic green sheet on which the conductive paste for an internal electrode is not applied is laminated on the uppermost and lowermost parts, and pressed in the thickness direction. Thus, a laminate is obtained.
次に、積層体の第1,第2の側面(第1図の第1,第2の
側面2d,2eに対応する側面)に、セラミックグリーンシ
ートを構成するのに用いた誘電体セラミック組成物の少
なくとも一種からなるセラミック粉末を、例えばバイン
ダを混合してペースト化して塗布し、中間層を形成す
る。この中間層を乾燥させた後、外部電極9,10を構成す
るための外部電極用導電ペーストをディップ法により塗
布する。Next, on the first and second side surfaces (side surfaces corresponding to the first and second side surfaces 2d and 2e in FIG. 1) of the laminate, a dielectric ceramic composition used for forming a ceramic green sheet is provided. Is formed into a paste by mixing a binder, for example, to form an intermediate layer. After drying the intermediate layer, a conductive paste for external electrodes for forming the external electrodes 9 and 10 is applied by a dipping method.
次に、上記積層体を所定の温度で焼成することによ
り、積層体の磁器化と、外部電極9,10の焼付けが同時に
行われ、チップ型の積層セラミックコンデンサ1が得ら
れる。この焼成に際しては、上述した中間層のセラミッ
ク粉末7,8が、誘電体セラミックス2と一体化するよう
に焼付けられている。従って、セラミック粉末7,8は、
誘電体セラミックス2の第1,第2の側面2d,2eに分散し
た状態で強固に接合される。Next, by firing the laminate at a predetermined temperature, the laminate is porcelain and the external electrodes 9 and 10 are simultaneously baked, and the chip-type multilayer ceramic capacitor 1 is obtained. During this firing, the ceramic powders 7 and 8 of the above-mentioned intermediate layer are baked so as to be integrated with the dielectric ceramics 2. Therefore, the ceramic powders 7, 8
The dielectric ceramics 2 is firmly joined to the first and second side surfaces 2d and 2e in a dispersed state.
そして、セラミック粉末7,8が第1,第2の側面2d,2eに
分散されているので、第1,第2の外部電極9,10と誘電体
セラミックス2の第1,第2の側面2d,2eとの接合面積が
拡大されているために、外部電極9,10の密着力が効果的
に高められている。Since the ceramic powders 7 and 8 are dispersed on the first and second side surfaces 2d and 2e, the first and second external electrodes 9 and 10 and the first and second side surfaces 2d and 2d of the dielectric ceramic 2 are formed. , 2e, the adhesion of the external electrodes 9, 10 is effectively increased.
なお、セラミック粉末7,8は、第2図に示したよう
に、第1,第2の側面2d,2eに分散配置されているため、
第1,第2の側面2d,2eに露出している内部電極3〜6と
の電気的な接続は充分に確保される。Since the ceramic powders 7 and 8 are distributed on the first and second side surfaces 2d and 2e as shown in FIG.
The electrical connection with the internal electrodes 3 to 6 exposed on the first and second side surfaces 2d and 2e is sufficiently ensured.
しかも、外部電極9,10自体は、通常の導電ペーストで
構成されているために、すなち前述した従来例のように
外部電極を形成するためにペースト中にセラミック粉末
を混入するものでないため、電極抵抗が高くなるおそれ
もない。のみならず、外部電極9,10の外表面側にセラミ
ック粉末が露出することもないため、外部との接合に際
してのはんだ付け性が低下することもない。Moreover, since the external electrodes 9 and 10 themselves are made of a normal conductive paste, the ceramic powder is not mixed into the paste to form the external electrodes as in the conventional example described above. Also, there is no possibility that the electrode resistance becomes high. In addition, since the ceramic powder is not exposed on the outer surface side of the external electrodes 9 and 10, the solderability at the time of joining with the outside is not reduced.
以下、本発明の具体的な実施例につき説明する。 Hereinafter, specific examples of the present invention will be described.
実施例1 まず、誘電体セラミックスを構成する材料として、純
度99%以上のBaCO3、CaCO3、ZrO2及びTiO2を、組成式
{(Ba0.90Ca0.10O}1.01(Ti0.80Zr0.20)O2となるよ
うに秤量した。Example 1 First, as a material constituting a dielectric ceramic, BaCO 3 , CaCO 3 , ZrO 2 and TiO 2 having a purity of 99% or more were prepared by a composition formula {(Ba 0.90 Ca 0.10 O} 1.01 (Ti 0.80 Zr 0.20 ) O Weighed to 2
秤量した粉末を混合・仮焼し、誘電体セラミックス用
原料粉末を得た。The weighed powder was mixed and calcined to obtain a raw material powder for a dielectric ceramic.
上記原料粉末に、有機質バインダ、分散剤及び消泡剤
からなる混合水溶液を15重量%添加し、50重量%の水と
共にボールミルにより混合・粉砕し、スラリーを調製し
た。15% by weight of a mixed aqueous solution composed of an organic binder, a dispersant and an antifoaming agent was added to the raw material powder, and the mixture was mixed and pulverized with 50% by weight of water by a ball mill to prepare a slurry.
つぎに、スラリーをドクターブレード法によりシート
状に成形し、厚み35μmのセラミックグリーンシートを
得た。このセラミックグリーンシート上に、ニッケル粉
末を主体とする内部電極用導電ペーストを印刷し、内部
電極を構成するための内部電極用導電ペースト層を形成
した。Next, the slurry was formed into a sheet by a doctor blade method to obtain a ceramic green sheet having a thickness of 35 μm. On this ceramic green sheet, a conductive paste for an internal electrode mainly composed of nickel powder was printed to form a conductive paste layer for an internal electrode for forming the internal electrode.
内部電極用導電ペースト層が形成されたセラミックグ
リーンシートを、内部電極用導電ペースト層の引出され
ている側が互い違いとなるように複数枚積層し、積層体
を得た。A plurality of ceramic green sheets on which the conductive paste layers for internal electrodes were formed were laminated such that the side from which the conductive paste layers for internal electrodes were drawn out staggered, to obtain a laminate.
次に、下記の第1表に示すセラミックス粉末を粉砕
し、エチルセルロース樹脂及びブチルセロソルブ溶剤か
らなる有機質バインダを加え、混練し、セラミック粉末
ペーストを得た。このペーストを、内部電極が露出して
いる上記積層体の第1,第2の側面に塗布し、乾燥させて
中間層を形成した後、この中間層上にニッケル粉末を主
体とする外部電極用導電ペーストを塗布し、乾燥した。Next, the ceramic powders shown in Table 1 below were pulverized, and an organic binder composed of an ethyl cellulose resin and a butyl cellosolve solvent was added and kneaded to obtain a ceramic powder paste. This paste is applied to the first and second side surfaces of the laminate where the internal electrodes are exposed, and dried to form an intermediate layer. A conductive paste was applied and dried.
上記のようにして得られた積層体を、N2雰囲気中にお
いて500℃の温度に加熱し、有機質バインダを焼成・飛
散させた後、酸素分圧10-1〜10-12MPaのH2−N2及びH2O
混合ガスを用いた還元雰囲気下において、1300℃の温度
で2時間焼成し、積層体の磁器化及び外部電極の焼付け
を同時に行った。このようにして、誘電体セラミックス
の内部電極が露出している第1,第2の側面と、外部電極
との間に上記セラミック粉末が分散した状態で介在され
た積層セラミックコンデンサを得た。The laminate obtained as described above was heated to a temperature of 500 ° C. in an N 2 atmosphere, and after firing and scattering the organic binder, H 2 − having an oxygen partial pressure of 10 −1 to 10 −12 MPa was used. N 2 and H 2 O
In a reducing atmosphere using a mixed gas, the laminate was fired at a temperature of 1300 ° C. for 2 hours, and the laminate was porcelain and the external electrodes were baked simultaneously. In this way, a multilayer ceramic capacitor in which the above-mentioned ceramic powder was dispersed and interposed between the first and second side surfaces on which the internal electrodes of the dielectric ceramic were exposed and the external electrodes was obtained.
上記のようにして得た積層セラミックコンデンサの仕
様を下記に示す。The specifications of the multilayer ceramic capacitor obtained as described above are shown below.
外形寸法は、幅:3.2mm、長さ;1.6mm、厚み;1.2mmであ
り、内部電極間のセラミック層の厚みは20μmであり、
有効誘電体層の数は19であり、一層あたりの対向電極面
積は1.3mm2である。The external dimensions are width: 3.2 mm, length; 1.6 mm, thickness; 1.2 mm, the thickness of the ceramic layer between the internal electrodes is 20 μm,
The number of effective dielectric layers is 19, and the counter electrode area per layer is 1.3 mm 2 .
第1表の各セラミック粉末ペーストを塗布した試料番
号1〜5の各積層セラミックコンデンサにつき、自動ブ
リッジ式測定器を用いて、1KHz、1Vrmsの電圧を印加
し、静電容量C及び誘電損失tnaδを測定した。また、
絶縁抵抗Rを、絶縁計を用いて、直流電圧50Vを2分間
印加して測定した。A voltage of 1 KHz and 1 V rms was applied to each of the multilayer ceramic capacitors of Sample Nos. 1 to 5 to which each of the ceramic powder pastes in Table 1 was applied using an automatic bridge type measuring instrument, and the capacitance C and the dielectric loss tnaδ were applied. Was measured. Also,
The insulation resistance R was measured by applying a DC voltage of 50 V for 2 minutes using an insulation meter.
さらに、外部電極に対するはんだのぬれ性を評価する
ために、230℃のはんだに2秒間浸漬し、はんだ付け試
験を行った。はんだ付け試験の評価としては、外部電極
面にはんだが3/4以上切れ目なく付着している場合を良
として、下記の第2表において○印で示し、そうでない
場合を下記の第2表に×印で示した。Furthermore, in order to evaluate the wettability of the solder to the external electrode, the solder was immersed in a solder at 230 ° C. for 2 seconds to perform a soldering test. In the evaluation of the soldering test, the case where the solder is continuously attached to the external electrode surface more than 3/4 without break is indicated as good. In Table 2 below, it is indicated by a circle, and when it is not, it is indicated in Table 2 below. Indicated by X.
また、銀−パラジウムを配線したガラスエポキシ基板
に上記各試料の積層セラミックコンデンサをはんだ付け
し、基板の裏側を押圧し、破壊した際の強度(すなわち
外部電極固着力)を測定した。Further, the laminated ceramic capacitors of each of the above samples were soldered to a glass epoxy substrate on which silver-palladium was wired, the back side of the substrate was pressed, and the strength at the time of breakage (that is, the external electrode fixing force) was measured.
以上の各測定結果を、下記の第2表に併せて示す。 The results of the above measurements are also shown in Table 2 below.
第2表から明らかなように、本発明の範囲に入る試料
番号1〜3のセラミック粉末を塗布した場合には、容
量、誘電損失及び絶縁抵抗等の特性が低下せず、または
んだ付け性に優れており、かつ外部電極固着力が高めら
れていることがわかる。 As is clear from Table 2, when the ceramic powders of Sample Nos. 1 to 3 which fall within the scope of the present invention are applied, the properties such as capacity, dielectric loss and insulation resistance do not decrease or the solderability is deteriorated. It can be seen that they are excellent and the external electrode fixing force is enhanced.
これに対して、ガラスフリットを利用した試料番号4
の積層セラミックコンデンサでは、すべての特性が大き
く劣化することがわかる。また、セラミック粉末を誘電
体セラミックスの側面に塗布していない通常の積層セラ
ミックコンデンサ(試料番号5)に対応)では、容量、
誘電損失及び絶縁抵抗が本発明に比べて低下しており、
はんだ付け性こそ良好であるものの、外部電極固着力も
充分でないことがわかる。On the other hand, sample number 4 using a glass frit
It can be seen that all the characteristics of the multilayer ceramic capacitor significantly deteriorate. In addition, in the case of a normal multilayer ceramic capacitor (corresponding to sample number 5) in which ceramic powder is not applied to the side surface of the dielectric ceramic, the capacitance,
Dielectric loss and insulation resistance are reduced compared to the present invention,
It can be seen that although the solderability is good, the external electrode fixing force is not sufficient.
実施例2 誘電体セラミックスを構成する組成物材料として、8
2.5Pb(Mg1/3Nb2/3)O3+5.0PbTiO3+12.5Pb(Mo1/2W
1/2)O3を100重量%に対し、Pb(Mn2/3W1/3)O3を0.5
重量%の割合で添加してなる混合粉末を用いた。なお、
上記組成物において数字はモル%を示す。Example 2 As a composition material constituting dielectric ceramics, 8
2.5 Pb (Mg 1/3 Nb 2/3 ) O 3 +5.0 PbTiO 3 +12.5 Pb (Mo 1/2 W
The 1/2) O 3 with respect to 100 wt%, Pb a (Mn 2/3 W 1/3) O 3 0.5
A mixed powder added at a ratio of% by weight was used. In addition,
In the above composition, the numbers indicate mol%.
上記原料粉末に、ポリビニルブチラール系のバインダ
及びエタノール等の有機溶媒を加えてスラリーを得た。
このスラリーをドクターブレード法によりシート状に成
形し、厚み35μmのセラミックグリーンシートを形成し
た。A slurry was obtained by adding a polyvinyl butyral-based binder and an organic solvent such as ethanol to the raw material powder.
The slurry was formed into a sheet by a doctor blade method to form a ceramic green sheet having a thickness of 35 μm.
上記セラミックグリーンシート上に、70Ag−30Pd(数
字は重量%)を主体とする内部電極用導電ペーストを印
刷し、内部電極用導電ペースト層を形成した。次に、実
施例1と同様の工程を経て、内部電極用導電ペースト層
が第1,第2の側面に露出している積層体を得た。On the ceramic green sheet, a conductive paste for internal electrodes mainly composed of 70Ag-30Pd (the number is% by weight) was printed to form a conductive paste layer for internal electrodes. Next, through the same steps as in Example 1, a laminate was obtained in which the conductive paste layers for internal electrodes were exposed on the first and second side surfaces.
他方、下記の第3表に示す組成を有する、粉砕された
各セラミック粉末に、エチルセルロース樹脂、α−テレ
ピネオール溶剤からなる有機質バインダを加えて混練
し、セラミック粉末ペーストを得た。このセラミック粉
末ペーストを積層体の内部電極が露出している第1,第2
の側面に塗布し、乾燥させて中間層を形成した。しかる
後、該セラミック粉末ペースト上に、70Ag−30Pd(数字
は重量%)を主体とする外部電極用導電ペーストを塗布
し、乾燥した。On the other hand, an organic binder composed of an ethylcellulose resin and an α-terpineol solvent was added to each of the pulverized ceramic powders having the composition shown in Table 3 below and kneaded to obtain a ceramic powder paste. This ceramic powder paste is applied to the first and second exposed inner electrodes of the laminate.
And dried to form an intermediate layer. Thereafter, a conductive paste for external electrodes mainly composed of 70Ag-30Pd (the number is% by weight) was applied on the ceramic powder paste, and dried.
得られた積層体を空気中において、1000℃の温度で2
時間焼成し、積層体の磁器化及び外部電極の焼付けを同
時に行い、誘電体セラミックスの内部電極が露出してい
る第1,第2の側面と外部電極との間に、セラミック粉末
が分散した状態で介在した積層セラミックコンデンサを
得た。The obtained laminate is heated in air at 1000 ° C. for 2 hours.
The ceramic powder is dispersed between the first and second side surfaces where the internal electrodes of the dielectric ceramic are exposed and the external electrodes, while firing for a period of time to simultaneously produce the laminated body and bake the external electrodes. To obtain a multilayer ceramic capacitor interposed.
上記のようにして形成された積層セラミックコンデン
サの外形寸法その他の仕様は、実施例1の場合と同様で
ある。The external dimensions and other specifications of the multilayer ceramic capacitor formed as described above are the same as those in the first embodiment.
また、電気的特性を調べるために、実施例1と同一の
条件で、同一の各種測定試験を行った。測定結果を、下
記の第4表に併せて示す。Further, in order to examine the electrical characteristics, the same various measurement tests were performed under the same conditions as in Example 1. The measurement results are shown in Table 4 below.
第4表から明らかなように、本発明の範囲内にある試
料番号6〜8のセラミック粉末ペーストを塗布した実施
例2の積層セラミックコンデンサでは、容量C、誘電損
失tanδ及び絶縁抵抗Rの何れもが優れており、はんだ
付け性及び外部電極固着力も優れていることがわかる。
これに対して、試料番号9のガラスフリットを第1,第2
の側面に介在させた積層セラミックコンデンサでは、容
量が低く、誘電損失が大きく、絶縁抵抗が小さかった。
また、はんだ付け性も充分でなく、外部電極固着力も劣
っていた。同様に、試料番号10、すなわちセラミック粉
末ペーストを塗布していない従来品においも、電気的な
特性は、実施例の積層セラミックコンデンサよりも劣
り、はんだ付け性こそ優れているものの、外部電極固着
力も充分でないことがわかる。 As is clear from Table 4, in the multilayer ceramic capacitor of Example 2 in which the ceramic powder pastes of Sample Nos. 6 to 8 which are within the scope of the present invention were applied, all of the capacitance C, the dielectric loss tan δ, and the insulation resistance R were all different. It is clear that the solderability and the external electrode fixing force are also excellent.
On the other hand, the glass frit of sample number 9 was
The multilayer ceramic capacitor interposed on the side surface of (1) had a low capacitance, a large dielectric loss, and a low insulation resistance.
In addition, the solderability was not sufficient, and the external electrode fixing force was poor. Similarly, in the sample No. 10, that is, in the conventional product to which the ceramic powder paste was not applied, the electrical characteristics were inferior to those of the multilayer ceramic capacitor of the example, and the solderability was excellent, but the external electrode fixing force was excellent. Is also not enough.
なお、上記実施例1,2では、セラミック粉末ペースト
を塗布することによりセラミック粉末を第1,第2の側面
に分散させていたが、これに限定されるものではなく、
セラミック粉末を含むペーストをシート上に成形し、こ
れを積層体の第1,第2の側面に圧着したり、蒸着等によ
りセラミック粉末を含む層を形成しても同様の効果が得
られる。In the above Examples 1 and 2, the ceramic powder was dispersed on the first and second side surfaces by applying the ceramic powder paste. However, the present invention is not limited to this.
Similar effects can be obtained by forming a paste containing ceramic powder on a sheet and pressing the paste on the first and second side surfaces of the laminate, or forming a layer containing ceramic powder by vapor deposition or the like.
また、外部電極の形成方法についても、導電ペースト
の塗布による方法の他、樹脂フイルム上に導電性粉末層
を形成した後、これを熱転写により積層体に付与した
り、蒸着やスパッタリング等による成膜法により外部電
極を形成してもよい。In addition to the method of forming an external electrode, in addition to the method of applying a conductive paste, after forming a conductive powder layer on a resin film, this is applied to a laminate by thermal transfer, or formed by vapor deposition or sputtering. The external electrodes may be formed by a method.
さらに、シート成形されたセラミック粉末ペースト層
上に、予め導電膜を積層成形し、これを積層体の第1,第
2の側面に接着してもよい。Further, a conductive film may be laminated and formed in advance on the ceramic powder paste layer formed into a sheet, and this may be bonded to the first and second side surfaces of the laminate.
以上のように、本発明によれば、内部電極が露出して
いる誘電体セラミックスの第1,第2の側面と外部電極と
の間に誘電体セラミックスを構成している組成物の少な
くとも一種からなるセラミックス粉末が分散した状態で
介在されると共に、セラミック粉末が誘電体セラミック
スと強固に一体化されているため、誘電体セラミックス
と外部電極との密着強度が高められている。しかも、セ
ラミック粉末が第1,第2の側面に分散配置されているこ
とから、内部電極と外部電極との電気的な接続も確保さ
れている。As described above, according to the present invention, at least one of the compositions constituting the dielectric ceramic between the first and second side surfaces of the dielectric ceramic where the internal electrode is exposed and the external electrode is provided. Since the ceramic powder is interposed in a dispersed state and the ceramic powder is firmly integrated with the dielectric ceramic, the adhesion strength between the dielectric ceramic and the external electrode is increased. In addition, since the ceramic powder is dispersed on the first and second side surfaces, electrical connection between the internal electrode and the external electrode is also ensured.
また、外部電極材料自体にはセラミック粉末を混練し
ていないため、外部電極の電極抵抗が高くなることもな
く、また外部電極のはんだ付け性が劣化することもな
い。Also, since ceramic powder is not kneaded in the external electrode material itself, the electrode resistance of the external electrode does not increase and the solderability of the external electrode does not deteriorate.
さらに、本発明の製造方法では、誘電体セラミックス
を構成している組成物の少なくとも一種からなるセラミ
ック粉末を第1,第2の側面上に配置し、外部電極の焼付
けを誘電体セラミックスの焼成と同時に行うため、すな
わち磁器化の前に外部電極材を付与するため、焼成コス
トを低減し得るだけでなく、自動機にかけた際のチップ
の変形や欠けや割れの発生を効果的に防止することがで
きる。よって、製品の歩留を大幅に改善することが可能
となる。Further, in the manufacturing method of the present invention, the ceramic powder composed of at least one of the compositions constituting the dielectric ceramic is disposed on the first and second side surfaces, and the baking of the external electrodes is performed by firing the dielectric ceramic In order to perform simultaneously, that is, to apply an external electrode material before porcelain formation, not only can the firing cost be reduced, but also to effectively prevent the deformation, chipping and cracking of the chip when applied to an automatic machine. Can be. Therefore, it is possible to greatly improve the product yield.
第1図は本発明の一実施例の積層セラミックコンデンサ
の断面図、第2図は第1図実施例における誘電体セラミ
ックスの側面に分散・固定されたセラミック粉末を説明
するための模式的側面図である。 図において、1は積層セラミックコンデンサ、2は誘電
体セラミックス、2a〜2cはセラミック層、2d,2eは第1,
第2の側面、3〜6は内部電極、7,8はセラミック粉
末、9,10は外部電極を示す。FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic side view for explaining ceramic powder dispersed and fixed on a side surface of a dielectric ceramic in the embodiment of FIG. It is. In the figure, 1 is a multilayer ceramic capacitor, 2 is a dielectric ceramic, 2a to 2c are ceramic layers, 2d and 2e are first and second ceramic capacitors.
The second side, 3 to 6 denote internal electrodes, 7, 8 denote ceramic powder, and 9, 10 denote external electrodes.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−86414(JP,A) 特公 昭62−40843(JP,B2) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-86414 (JP, A) JP-B-62-40843 (JP, B2)
Claims (2)
して重なり合うように配置されており、セラミックスの
厚み方向において交互にセラミックスの第1,第2の側面
に引出された複数の内部電極と、 前記誘電体セラミックスの第1,第2の側面に形成された
第1,第2の外部電極とを備える積層セラミックコンデン
サにおいて、 前記誘電体セラミックスの第1,第2の側面に、誘電体セ
ラミックスを構成している誘電体組成物の内少なくとも
一種から成るセラミック粉末が分散された状態で誘電体
セラミックスの焼成により該第1,第2の側面に固定され
ており、該セラミック粉末を間に介在させた状態で、第
1,第2の側面に前記第1,第2の外部電極が形成されてい
ることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。1. A dielectric ceramic, wherein the dielectric ceramic is disposed so as to overlap with a ceramic layer therebetween via a ceramic layer, and is alternately drawn to first and second side surfaces of the ceramic in a thickness direction of the ceramic. A multilayer ceramic capacitor comprising a plurality of internal electrodes and first and second external electrodes formed on first and second side surfaces of the dielectric ceramic, wherein the first and second side surfaces of the dielectric ceramic are provided. A ceramic powder composed of at least one of the dielectric compositions constituting the dielectric ceramic is dispersed and fixed to the first and second side surfaces by firing the dielectric ceramic; With the powder interposed,
1. A multilayer ceramic capacitor wherein the first and second external electrodes are formed on a second side surface.
クグリーンシートを内部電極用導電ペースト層を介して
積層して成る積層体を用意する工程と、 前記積層体の内部電極用導電ペースト層の引出されてい
る第1,第2の側面に、前記誘電体材料を構成している組
成物の少なくとも一種から成るセラミック粉末とバイン
ダとを含む中間層を形成する工程と、 前記中間層上に外部電極用導電ペーストを付与する工程
と、 前記積層体を焼成して積層体の磁器化と外部電極の焼付
けを同時に行うとともに前記バインダを飛散させて前記
セラミック粉末を分散させた状態で前記側面に固定する
工程とを備える、積層セラミックコンデンサの製造方
法。2. A step of preparing a laminate formed by laminating a plurality of ceramic green sheets mainly composed of a dielectric material via a conductive paste layer for an internal electrode; and a conductive paste layer for an internal electrode of the laminate. Forming, on the first and second side surfaces, a middle layer containing a ceramic powder and a binder comprising at least one of the compositions constituting the dielectric material; and A step of applying a conductive paste for an external electrode, and baking the laminate to simultaneously perform porcelainization of the laminate and baking of the external electrode, and simultaneously scatter the binder to disperse the ceramic powder on the side surface. Fixing the multilayer ceramic capacitor.
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JP22419589A JP3160855B2 (en) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | Multilayer ceramic capacitors |
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- 1989-08-29 JP JP22419589A patent/JP3160855B2/en not_active Expired - Lifetime
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