MXPA05010093A - Dispositivo y metodo para memoria de pantalla utilizando manipulacion de respuesta mecanica. - Google Patents
Dispositivo y metodo para memoria de pantalla utilizando manipulacion de respuesta mecanica.Info
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Abstract
Las modalidades de un modulador interferometrico de MEMS a manera de ejemplo comprenden una capa movil y una capa fija separada por un hueco de aire. Un esquema de manejo emplea protocolos de activacion de hilera/columna los cuales mantienen voltajes al modulador interferometrico de MEMS que se encuentra por arriba o por abajo del rango de voltajes necesario para colocar al modulador interferometrico de MEMS dentro de una "ventana de histeresis" o "ventana de estabilidad". La operacion estable del modulador interferometrico de MEMS se alcanza seleccionando caracteristicas de diseno mecanicas que optimizan los tiempos de liberacion y activacion del modulador interferometrico. Algunas de las caracteristicas que afectan los tiempos de liberacion y activacion incluyen alterar el espaciamiento de postes, alterar la tension interna de la capa movil, alterar el grosor o composicion de la capa movil, alterar la voluminosidad de las correas, perforar la capa movil y proporcionar vias en la capa fija.
Description
"DISPOSITIVO Y MÉTODO PARA MEMORIA DE PANTALLA UTILIZANDO MANIPULACIÓN DE RESPUESTA MECÁNICA" CAMPO DE LA INVENCIÓN El campo de la invención se refiere a sistemas microelectromecánicos (MEMS - microelectromechanical systems) .
ANTECEDENTES DE LA INVENCIÓN Los sistemas microelectromecánicos (MEMS) incluyen elementos microelectromecánicos, activadores y electrónicos. Los elementos microelectromecánicos pueden crearse utilizando deposición, grabado al agua fuerte, y/u otros procesos de micromaquinado que graban las partes de substratos y/o capas de material depositado o que añaden capas para formar dispositivos eléctricos y electromecánicos. Un tipo de dispositivo de MEMS es llamado modulador interferométrico . Un modulador interferométrico puede comprender un par de placas conductoras, una o ambas de las cuales pueden ser transparentes y/o reflectoras totalmente o parcialmente y capaces de movimiento relativo después de la aplicación de una señal eléctrica apropiada. Una placa puede comprender una capa estacionaria depositada en un substrato, la otra placa puede comprender una membrana metálica separada de la - capa estacionaria por un hueco de aire. Tales dispositivos tienen un amplio rango de aplicaciones, y seria benéfico en la materia utilizar y/o modificar las características de estos tipos de dispositivos de manera que sus características pueden explotarse para mejorar los productos existentes y crear nuevos productos que aún no han sido de desarrollados.
BREVE DESCRIPCIÓN DE LA INVENCIÓN El sistema, método, y dispositivos de la invención tienen cada uno de ellos diversos aspectos, ninguno de los cuales es único responsable de sus atributos deseables. Sin limitarse al alcance de esta invención, a continuación se describirán sus características más prominentes brevemente. Después de considerar esta descripción, y particularmente después de leer la sección titulada "Descripción Detallada de la Invención" uno comprenderá cómo las características de esta invención proporcionan ventajas sobre otros dispositivos de visualización. Una modalidad incluye un dispositivo de MEMS que incluye una capa fija que incluye un primer electrodo, configurada una capa móvil para moverse entre una primera ubicación distal al primer electrodo y una segunda ubicación próxima al primer electrodo, formando la capa - - móvil y la capa fija una cavidad cuando la capa móvil se encuentra en la primera ubicación, y un segundo electrodo conectado a la capa móvil. El movimiento de la capa móvil se basa en una diferencia de voltaje entre los electrodos primero y segundo y la capa móvil se configura para moverse de la primera ubicación a la segunda ubicación a una primera tasa promedio y para moverse de la segunda ubicación a la primera ubicación a una segunda tasa promedio. Las tasas promedio primera y segunda son diferentes. Otra modalidad incluye un dispositivo de MEMS que incluye el primer medio para mover una capa móvil entre una primera ubicación distal al primer medio móvil y una segunda ubicación próxima al primer medio de movimiento y una segunda ubicación próxima al primer medio de movimiento, el segundo medio para mover la capa móvil entre las ubicaciones primera y segunda, formando la capa móvil y el primer medio de movimiento una cavidad cuando la capa móvil se encuentra en la primera ubicación, y el tercer medio para mover la capa móvil de la primera ubicación a la segunda ubicación a una primera tasa promedio y para mover la capa móvil de la segunda ubicación a la primera ubicación a una segunda tasa promedio. Las tasas promedio primera y segunda son diferentes. Otra modalidad incluye un método para activar un arreglo de moduladores interferométricos múltiples veces para desplegar un cuadro individual de datos, incluyendo el método recibir una señal de datos para activar uno o más moduladores interferométricos durante un periodo de tiempo correspondiente a un cuadro individual, activar uno o más moduladores interferométricos con una diferencia de potencial tal que el modulador interferométrico se mueve a un estado activado a una primera tasa promedio, y liberar uno o más moduladores interferométricos de manera tal que el modulador interferométrico se mueve del estado activado y hacia un estado liberado a una segunda tasa promedio diferente . Otra modalidad incluye un método para manejar un elemento de modulador interferométrico a fin de desplegar un cuadro de datos. El método incluye recibir una señal de datos para pantalla por el modulador interferométrico durante un periodo de tiempo correspondiente a un periodo de pantalla de cuadro individual y aplicar periódicamente una primera diferencia de potencial al elemento de pantalla de modulador interferométrico durante el periodo de pantalla de cuadro individual. El modulador interferométrico se mueve de un estado activado hacia un estado liberado cada vez que se aplica la primera diferencia de potencial y se mueve al estado activado antes de alcanzar el estado liberado cuando se aplica una segunda - - diferencia de potencial al modulador interferométrico . Otra modalidad incluye un método para escribir datos de visualizacion en una hilera de elementos de pantalla de modulador interferométrico en un arreglo de elementos de pantalla. El método incluye escribir un primer conjunto de datos de visualizacion en la hilera del arreglo con una diferencia de potencial a fin de mover al menos algunos de los elementos de modulador interferométrico a un estado activado, liberar los elementos de modulador interferométrico en la hilera del arreglo de manera tal que los elementos de modulador interferométrico se mueven lentamente del estado activado y hacia el estado liberado, y re-escribir el primer conjunto de datos de visualizacion en la hilera del arreglo con una diferencia de potencial a fin de regresar los elementos de modulador interferométrico al estado activado antes de que los elementos de modulador interferométrico alcancen el estado liberado. Otra modalidad incluye un método para activar un arreglo de moduladores interferométricos múltiples veces para desplegar un cuadro individual de datos . El método incluye recibir una señal de datos para activar uno o más moduladores interferométricos durante un periodo de tiempo correspondiente a un cuadro individual, liberar el elemento de pantalla de modulador interf rométrico con una diferencia de potencial de manera tal que el modulador interferométrico se mueve a un estado liberado, activar el elemento de pantalla de modulador interferométrico de manera tal que el modulador interferométrico cambia del estado liberado hacia un estado activado, y re-liberar el elemento de pantalla de modulador interferométrico de manera tal que antes de alcanzar el estado activado, el modulador interferométrico regresa al estado liberado. Otra modalidad incluye un método para manejar un elemento de modulador interferométrico a fin de desplegar un cuadro de datos. El método incluye recibir una señal de datos para pantalla por el modulador interferométrico durante un periodo de tiempo correspondiente a un periodo de pantalla de cuadro individual, y aplicar periódicamente una primera diferencia de potencial al elemento de pantalla de modulador interferométrico durante el periodo de pantalla de cuadro individual. El modulador interferométrico se mueve de un estado liberado hacia un estado activado cada vez que se aplica la primera diferencia de potencial y se mueve al estado liberado antes de alcanzar el estado activado cuando se aplica una segunda diferencia de potencial al modulador interferométrico . Otra modalidad incluye un método para escribir datos de visualización en una hilera de elementos de modulador interferométrico en un arreglo de elementos de - pantalla. El método incluye escribir un primer conjunto de datos de visualización en la hilera del arreglo con una diferencia de potencial a fin de mover al menos algunos de los elementos de modulador interferométrico a un estado liberado, activar los elementos de modulador interferométrico en la hilera del arreglo de manera tal que los elementos de modulador interferométrico cambian del estado liberado y hacia el estado activado, y re-escribir el primer conjunto de datos de visualización en la hilera del arreglo con una diferencia de potencial a fin de regresar los elementos de modulador interferométrico al estado liberado antes de que los moduladores interferométricos alcancen el estado activado. Otra modalidad incluye un método para fabricar un dispositivo de MEMS . El método incluye formar una capa fija que incluye un primer electrodo, formar una capa móvil configurada para moverse entre una primera ubicación distal al primer electrodo y una segunda ubicación próxima al primer electrodo, formando la capa móvil y la capa fija una cavidad que incluye un gas cuando la capa móvil se encuentra en la primera ubicación, y formar un segundo electrodo conectado a la capa móvil. El movimiento de la capa móvil se basa en una diferencia de voltaje entre los electrodos primero y segundo y la capa móvil se fabrica para moverse de la primera ubicación a la segunda ubicación a una primera tasa promedio y para moverse de la segunda ubicación a la primera ubicación a una segunda tasa promedio. Las tasas promedio primera y segunda son diferentes . Otra modalidad incluye un método para manejar un arreglo de moduladores interferométricos múltiples veces para desplegar un cuadro individual de datos . El aparato comprende medios para recibir una señal de datos para mover uno o más moduladores interferométricos entre los estados primero y segundo durante un periodo de tiempo correspondiente a uno solo cuadro, primer medio para mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial del primer estado al segundo, segundo medio para mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial del segundo estado hacia el primer estado y tercer medio para mover elemento de pantalla de modulador interferométrico con diferencia de potencial al segundo estado antes de que el modulador interferométrico alcance el primer estado.
BREVE DESCRIPCIÓN DE LAS FIGURAS La Figura 1 es una vista isométrica que representa gráficamente una porción de una modalidad de una pantallas de modulador interferométrico en la cual una capa reflectora móvil de un primer modulador inter erométrico se encuentra en una posición liberada y una capa reflectora móvil de un segundo modulador interferométrico se encuentra en una posición activada. La Figura 2 es un diagrama de bloques del sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que incorpora una pantalla de modulador interferométrico de 3*3. La Figura 3 es un diagrama de posición de espejo móvil contra el voltaje aplicado para una modalidad a manera de ejemplo de un modulador interferométrico de la Figura 1 que opera en una ventana de estabilidad. La Figura 4 es una ilustración de un conjunto de voltajes de hilera y columna que pueden utilizarse para manejar una pantalla de modulador interferométrico . La Figuras 5A ilustra un cuadro a manera de ejemplo de datos de visualización en la pantalla de modulador interferométrico de 3*3 de la Figura 2. La Figura 5B ilustra un diagrama de sincronización a manera de ejemplo para señales de hileras y columnas que pueden utilizarse para escribir el cuadro de la Figura 5A. La Figura 6A es un corte transversal del dispositivo de la Figura 1. La Figura ~6B es un corte transversal de una modalidad alterna de un modulador interferométrico . La Figura 6C es un corte transversal de otra modalidad alterna de un modulador interferométrico . La Figura 7 es un diagrama de posición de espejo móvil contra el voltaje aplicado para una modalidad a manera de ejemplo de un modulador interferométrico de la Figura 1 que opera sin sacar ventaja de la propiedad de histéresis del modulador. La Figura 8 es una ilustración de un conjunto de voltajes de hilera y columna que puede utilizarse para manejar una pantalla de modulador interferométrico que da como resultado en una variación del modulador a un estado liberado cuando se libera el voltaje de hilera. La Figura 9 ilustra la respuesta operacional de un modulador que tiene un tiempo de activación largo y que se maneja de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 8. La Figura 10 ilustra la respuesta operacional de un modulador que tiene un tiempo de liberación corto y que se maneja de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 8. Las Figuras 11A y 11B ilustran una variación geométrica en el espaciamiento de poste que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador.
Las Figuras 12A y 12B ilustran una variación geométrica en la tensión de la capa móvil que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Las Figuras 13A y 13B ilustran una variación geométrica en el grosor de la capa móvil que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Las Figuras 14A y 14B ilustran una variación geométrica en el tamaño de correa de la capa móvil que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Las Figuras 15A y 15B ilustran una variación geométrica en la capa móvil que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Las Figuras 16A y 16B ilustran una variación geométrica en la superficie de la capa fija que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. La Figura 17 ilustra los efectos de sincronización del video en movimiento en un arreglo de moduladores manejados de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 8 a fin de variar un estado liberado cuando se elimina la selección de hilera.
La Figura 18 es una ilustración de un conjunto de voltajes de hilera y columna que pueden utilizarse para manejar una pantalla de modulador interferométrica que reside en la variación del modulador a un estado activado cuando se libera el voltaje de hilera. La Figura 19 ilustra el recurso operacional de un modulador que tiene un tiempo de liberación largo y que se maneja de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 18. La Figura 20 ilustra el recurso operacional de un modulador que tiene un tiempo de activación corto y que se maneja de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 18. La Figura 21 ilustra el efecto de sincronización de video en movimiento en un arreglo de moduladores accionados de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 18 a fin de variar a un estado activado cuando se elimina la selección de hilera. Las Figuras 22A y 22B son diagramas de bloques del sistema que ilustran una modalidad de un dispositivo de visualización visual que comprende una pluralidad de moduladores interferométricos .
DESCRIPCIÓN DETALLADA DE LA INVENCIÓN Un modulador interferométrico de MEMS a manera ejemplo comprende una capa móvil y una capa fija separada por un hueco de aire. Un esquema de manejo maneja protocolos de activación de hilera/columna los cuales mantienen voltajes al modulador interferométrico de MEMS que se encuentra por arriba o por abajo del rango de voltajes necesario para colocar al modulador interferométrico de MEMS dentro de una "ventana de histéresis" o "ventana de estabilidad". La operación estable del modulador interferométrico de MEMS se alcanza seleccionando características de diseño mecánicas que mejoran los tiempos de liberación y activación del modulador interferométrico . En general, las características que hacen la capa móvil más dúctil dan como resultado un tiempo de liberación incrementado y un tiempo de activación disminuido. Se ha descubierto que una capa móvil más dúctil es ventajosa cuando el esquema de manejo se basa al menos en parte en la cada móvil que varía lentamente a un estado liberado cuando se libera el voltaje de hilera. De manera similar, las características que hacen menos dúctil a la capa móvil dan como resultado un tiempo de activación incrementado y un tiempo de liberación disminuido. Una capa móvil menos dúctil puede ser ventajosa cuando el esquema de manejo se basa al menos en parte en la capa móvil que varía lentamente a un estado activado cuando se libera el voltaje de hilera. Algunas de las características que afectan los tiempos de liberación y activación incluyen alterar el espaciamiento de postes, alterar la tensión interna de la capa móvil, alterar el grosor o composición de la capa móvil, alterar la voluminosidad de las correas, perforar la capa móvil y proporcionar vías en la capa fija. La siguiente descripción detallada se refiere a algunas modalidades específicas de la invención. Sin embargo, la invención puede incorporarse en una multitud de diferentes maneras. En esta descripción, se hace la referencia a los dibujos en los que las partes similares se encuentran designadas con números similares a lo largo de la misma. Como será aparente a partir de la siguiente descripción, las modalidades pueden im lementarse en cualquier dispositivo que se configura para visualizar una imagen, sea en movimiento (por ejemplo, video) o estacionaria (por ejemplo, imagen fija) , y textual o ilustrativa. Más particularmente, se contempla que las modalidades pueden implementarse o asociarse con una variedad de dispositivos electrónicos tales como, pero que no se limitan a, teléfonos móviles, dispositivos inalámbricos, asistentes de datos personales (PDAs -personal data assistants) , computadoras manuales o portátiles, receptores/navegadores de GPS, cámaras, reproductores de MP3, videograbadoras, consolas de juegos, - - relojes de muñeca, relojes, calculadoras, monitores de televisión, pantallas de panel plano, monitores de computadora, pantallas de automóvil (por ejemplo, pantalla de odómetro, etc.), controles y/o pantallas de cabina, pantalla de vistas de cámara (por ejemplo, pantalla de una cámara de vista posterior en un vehículo) , fotografías electrónicas, carteleras o señalizaciones electrónicas, proyectores, estructuras arquitectónicas, empaquetamiento, y estructuras estéticas (por ejemplo, pantalla de imágenes en una pieza de joyería) . Los dispositivos de MEMS de estructura similar a aquellos descritos en la presente pueden utilizarse también en aplicaciones sin visualización tal como en dispositivos de conmutación electrónica. Una modalidad de pantalla de modulador interferométrico que comprende un elemento de pantalla de MEMS interferométrico se ilustra en la Figura 1. En estos dispositivos, los píxeles se encuentran en estado brillante o en estado oscuro. En el estado brillante ("encendido" o "abierto"), el elemento de pantalla refleja una porción grande de luz visible incidente a un usuario. Cuando se encuentra en el estado oscuro ("apagado" o "cerrado") , el elemento de pantalla refleja poca luz visible incidente al usuario. Dependiendo de la modalidad, las propiedades de reflectancia de luz de los estados "encendido" y "apagado" pueden invertirse. Los píxeles de MEMS pueden configurarse - - para reflejar predominantemente en colores seleccionados, permitiendo una pantalla de colores además de blanco y negro . La Figura 1 es una vista isométrica que representa gráficamente dos pixeles adyacentes en una serie de pixeles de una pantalla visual, donde cada pixel comprende un modulador interferométrico de MEMS . En algunas modalidades, una pantalla de modulador interferométrico comprende un arreglo de hileras/columnas de estos moduladores interferométricos . Cada modulador interferométrico incluye un par de capas reflectoras colocadas a una distancia variable y controlable una de otra para formar una cavidad óptica resonante con al menos una dimensión variable. En una modalidad, una de las capas reflectoras puede moverse entre dos posiciones. En la primera posición, referida en la presente como el estado relajado, la capa móvil se encuentra colocada a una distancia relativamente grande- de una capa parcialmente reflectora fija. En la segunda posición, la capa móvil se encuentra colocada más estrechamente adyacente a la capa parcialmente reflectora. La luz incidente que se refleja de las dos capas interfiere constructivamente o destructivamente dependiendo de la posición de la capa reflectora móvil, produciendo sea un estado reflector o no reflector general para cada pixel.
La porción representada gráficamente del arreglo de pixeles en la Figura 1 incluye dos moduladores ínterferométricos adyacentes 12a y 12b. En el modulador interferométrico 12a a la izquierda, una capa 14a móvil y altamente reflectora se ilustra en una posición liberada a una distancia predeterminada de una capa fija parcialmente reflectora 16a. En el modulador interferométrico 12b a la derecha, la capa reflectora altamente móvil 14b se ilustra en una posición activada adyacente a la capa fija parcialmente reflectora 16b. Las capas fijas 16a, 16b son eléctricamente conductoras, parcialmente transparentes y parcialmente reflectoras, y pueden fabricarse, por ejemplo, al depositar una o más capas cada una de cromo y de óxido de indio-estaño sobre un substrato transparente 20. Las capas se colocan en patrones en bandas paralelas, y pueden formar dos electrodos en hilera en un dispositivo de visualización como se describe detalladamente a continuación. Las capas móviles 14a, 14b pueden formarse como una serie de bandas paralelas de una capa o capas de metal depositado (ortogonal a los electrodos en hilera 16a, 16b) depositada (s) en la parte superior de los postes 18 y un material de sacrificio de intervención depositado entre los postes 18. Cuando el material de sacrificio se graba, las capas metálicas deformables 14a, 14b se separan de las capas metálicas fijas por un hueco 19 de aire definido. Puede utilizarse un material altamente conductor y reflector tal como aluminio para las capas deformables, y estas bandas pueden formar electrodos en columna en un dispositivo de visualización . Sin voltaje aplicado, la cavidad 19 permanece entre las capas 14a, 16a y la capa deformable se encuentra en un estado relajado mecánicamente como se ilustra por el pixel 12a de la Figura 1. Sin embargo, cuando se aplica una diferencia de potencial a una hilera y columna seleccionadas, se carga el capacitor formado en la intersección de los electrodos de hilera y columna en el pixel correspondiente, y las fuerzas electrostáticas jalan los electrodos conjuntamente. Si el voltaje es suficientemente alto, la capa móvil se deforma y es forzada contra la capa fija (un material dieléctrico que no se ilustra en esta Figura puede depositarse en la capa fija a fin de evitar disminuir y controlar la distancia de separación) como se ilustra por el pixel 12b en la parte derecha en la Figura 1. El comportamiento es el mismo independientemente de la polaridad de la diferencia de potencial aplicado. En esta manera, la activación de hileras/columnas que puede controlar los estados de pixel reflectores contra no reflectores es análoga en muchas maneras a las que se utilizan en las tecnologías de LCD convencional y otras . Las Figuras 2 a 5B ilustran un proceso y sistema a manera de ejemplo para utilizar un arreglo de moduladores interferométrieos en una aplicación de pantalla. La Figura 2 es un diagrama de bloques del sistema que ilustra una modalidad de un dispositivo electrónico que puede incorporar aspectos de la invención. En la modalidad a manera de ejemplo, el dispositivo electrónico incluye un procesador 21 que puede ser cualquier microprocesador de propósito general de chip individual o múltiple tal como un ARM, Pentium®, Pentium II®, Pentium III®, Pentium IV®, Pentium V®, Pentium ®Pro, un 8051, un MIPS®, un Power PC®, un ALPHA®, o cualquier microprocesador de propósito especial tal como un procesador de señales digitales, microcontrolador, o un arreglo de compuerta programable. Como es convencional en la materia, el procesador 21 puede configurarse para ejecutar uno o más módulos de software. Además de ejecutar un sistema operativo, el procesador puede configurarse para ejecutar una o más aplicaciones de software, incluyendo un explorador de web, una aplicación telefónica, un programa de correo electrónico, o cualquier otra aplicación de software. En una modalidad, el procesador 21 se encuentra configurado también para comunicarse con un controlador 22 de arreglo. En una modalidad, el controlador 22 de arreglo incluye un circuito 24 de manejador de hilera y un circuito 26 de manejador de columna que proporciona señales a un arreglo 30 de pixeles. El corte transversal del arreglo ilustrado en la Figura 1 se muestra por las lineas 1-1 en la Figura 2. Para moduladores interferométricos de MEMS, el protocolo de activación hileras/columnas puede sacar ventaja de una propiedad de histéresis de estos dispositivos ilustrados en la Figura 3. Para sacar ventaja de esta propiedad de histéresis, puede requerirse, por ejemplo, una diferencia de potencial de 10 voltios a fin de ocasionar que se deforme una capa móvil del estado liberado al estado activado. Sin embargo, cuando se reduce el voltaje desde ese valor, la capa móvil mantiene su estado a medida que el voltaje cae de regreso debajo de 10 voltios. En la modalidad a manera de ejemplo de la Figura 3, la capa móvil no se libera completamente hasta que el voltaje cae debajo de 2 voltios. Consecuentemente, existe un rango de voltaje, aproximadamente 3 a 7 V en el ejemplo ilustrado en la Figura 3, donde existe una ventana de voltaje aplicado en el cual el dispositivo es estable sea en el estado liberado o el estado activado. Esto es referido en la presente como la "ventana de histéresis" o ??ventana de estabilidad". Para un arreglo de pantallas que tiene las características de histéresis de la Figura 3, el protocolo de activación de hileras/columnas puede estar diseñado de manera tal que durante la sincronización estroboscópica de hilera, los pixeles en la hilera de sincronización estroboscópica que se van a activar se exponen a una diferencia de voltaje de aproximadamente 10 voltios, y los pixeles que se van a liberar se exponen a una diferencia de voltaje de casi cero voltios. Después de la sincronización estroboscópica, los pixeles se exponen a una diferencia de estado permanente de aproximadamente 5 voltios de manera tal que permanecen en cualquier estado que los ponga la sincronización estroboscópica de hilera. Después de haberse escrito, cada pixel ve una diferencia de potencial dentro de la "ventana de estabilidad" de 3-7 voltios en este ejemplo. Esta característica hace estable al diseño de pixel ilustrado en la Figura 1 bajo las mismas condiciones de voltaje aplicado en cualquier estado preexistente activado o liberado. Dado que cada pixel del modulador interferométrico, sea en el estado activado o liberado, es esencialmente un capacitor formado por las capas reflectoras fijas y móviles, este estado estable puede mantenerse a un voltaje dentro de la ventana de histéresis casi sin disipación de potencia. Esencialmente no fluye corriente en el pixel si se fija el potencial aplicado . En las aplicaciones típicas, puede crearse un cuadro de visualización al sostener el conjunto de electrodos en columna de acuerdo con el conjunto deseado de pixeles activados en la primera hilera. Después se aplica un impulso de hilera al electrodo de la hilera 1, activando los pixeles correspondientes a las lineas de columna sostenida. El conjunto sostenido de electrodos en columna se cambia después para corresponder con el conjunto deseado de pixeles activados en la segunda hilera. Después se aplica un impulso al electrodo de la hilera 2 , activando los pixeles apropiados en la hilera 2 de acuerdo con los electrodos de la columna sostenida. Los pixeles de la hilera 1 no se ven afectadas por el impulso de la hilera 2, y permanecen en el estado donde se encontraban durante el impulso de la hilera 1. Esto puede repetirse para toda la serie de hileras de manera secuencial a fin de producir el cuadro. Generalmente, los cuadros se refrescan y/o actualizan con nuevos datos de visualización al repetir continuamente este proceso a algún número deseado de cuadros por segundo. También es conocida una amplia variedad de protocolos para accionar electrodos de hileras y columnas de arreglos de pixeles a fin de producir cuadros de pantalla y pueden utilizarse en conjunto con la presente invención. Las Figuras 4, 5A y 5B ilustran un posible protocolo de activación para crear un cuadro de pantalla en el arreglo de 3*3 de la Figura 2. La Figura 4 ilustra un conjunto posible de niveles de voltaje de columnas e hileras que pueden utilizarse para los pixeles que exhiben las curvas de histéresis de la Figura 3. En la modalidad de la Figura 4, activar un pixel involucra establecer la columna apropiada en -VpoiariZación/ y la hilera apropiada en +AV, lo cual puede corresponder a -5 voltios y +5 voltios, respectivamente. Liberar el pixel se realiza al establecer la columna apropiada en +Vpoiarización y la hilera apropiada en el mismo +AV, produciendo una diferencia de potencial de cero voltios en el pixel. En esas hileras donde el voltaje de hilera se mantiene en cero voltios, los pixeles se encuentran estables en cualquier estado en que estuviese originalmente, independientemente de si la columna se encuentra en +Velarización o -VpolarlzaCión . Como también se ilustra en la Figura 4, se apreciará que los voltajes de polaridad opuesta a la descrita pueden utilizarse, por ejemplo, activar un pixel puede involucrar establecer la columna apropiada en +Vpoiarj.zación/ la hilera apropiada en -AV. En esta modalidad, la liberación del pixel se realiza estableciendo la columna apropiada en - pC,iariZaci6n/' y la hilera apropiada en el mismo -AV, produciendo una diferencia de potencia de cero voltios en todo el pixel. La Figura 5B es un diagrama de sincronización que muestra una serie de señales de hileras y columnas aplicadas al arreglo de 3*3 de la Figura 2 que dará como resultado la configuración de pantalla ilustrada en la Figura 5A, donde los pixeles activados son no reflectores. Antes de escribir el cuadro ilustrado en la Figura 5A, los pixeles pueden encontrarse en cualquier estado, y en este ejemplo, todas las hileras se encuentran a 0 voltios, y todas las columnas se encuentran a +5 voltios. Con estos voltajes aplicados, todos los pixeles se encuentran estables en sus estados activados o relajados. En el cuadro de la Figura 5A, se activan los pixeles (1,1), (1,2), (2,2), (3,2) y (3,3). Para realizar esto, durante un "tiempo de linea" para la hilera 1, las columnas 1 y 2 se establecen en -5 voltios, y la columna 3 se establece en +5 voltios. Esto no cambia el estado de ningún pixel, debido a que todos los pixeles permanecen en la ventana de estabilidad de 3-7 voltios. La hilera 1 se somete a sincronización estroboscópica con un impulso que va desde 0, hasta 5 voltios y, y de regreso a cero. Esto activa los pixeles (1,1) y (1,2) y libera el pixel (1,3). No se afecta ningún pixel en el arreglo. Para establecer la hilera 2 como se desea, la columna 2 se establece en -5 voltios, y las columnas 1 y 3 se establecen en +5 voltios. La misma sincronización estroboscópica aplicada a la hilera 2 activará después el pixel (2,2) y libera los pixeles (2,1) y (2,3) . Nuevamente, no se afecta ningún otro pixel del arreglo. La hilera 3 se establece de manera similar al establecer las columnas 2 y 3 en -5 voltios, y la columna 1 en +5 voltios. La sincronización estroboscópica de la hilera 3 establece los pixeles de la hilera 3 como se muestra en la Figura 5A. Después de escribir el cuadro, los potenciales de hilera son cero, y los potenciales de columna pueden permanecer sea en +5 o -5 voltios, y la pantalla se encuentra entonces estable en la configuración de la Figura 5A. Se apreciará que puede emplearse el mismo procedimiento para arreglos de docenas o cientos de hileras y columnas. También se apreciará que la sincronización, secuencia, y niveles de voltajes utilizados para realizar la activación de hilera y columna pueden variar ampliamente dentro de los principios generales descritos con anterioridad, y el ejemplo anterior se brinda solamente a manera de ejemplo, y puede utilizarse cualquier método de voltaje con la presente invención. Por ejemplo, la polaridad de la sincronización estroboscópica de hilera para un primer cuadro puede invertirse para su uso en el siguiente cuadro . Aún refiriéndose a la Figura 5A, la operación de escritura progresa secuencialmente por cada hilera, de la hilera 1 a la hilera 3 y regresa después a escribir datos nuevos en la hilera 1. El intervalo de tiempo entre escribir datos en los moduladores de la hilera 1 y el tiempo que le toma regresar a la hilera 1 para escribir datos nuevos o para re-escribir datos viejos en los moduladores de la hilera 1 es referido en la presente como el tiempo de actualización Tu. El intervalo de tiempo sobre el cual la información desplegada permanece constante es referido como el periodo de cuadro Tf. Por ejemplo, el video en movimiento puede reproducirse a una tasa de cuadro de 30 Hz, la cual corresponde a un periodo de cuadro de 33.3 ms. En una modalidad, el tiempo de actualización Tu se selecciona para ser más alto que el periodo de cuadro Tf. En la modalidad a manera de ejemplo del video en movimiento que se reproduce a 30 Hz, se selecciona una tasa de actualización a 150 Hz, de manera tal que cada hilera del arreglo se actualiza 5 veces por cada cuadro único de video en movimiento. Esta tasa de actualización de 150 Hz corresponde a un tiempo de actualización Tu de 6.6 ms . Aquellos expertos en la materia comprenderán que los sistemas descritos en la presente son igualmente aplicables a otros periodos de cuadro y tiempos de actualización y que estos casos son ejemplares para facilidad de la ilustración. Los detalles de la estructura de moduladores interferométricos que operan de acuerdo con los principios expuestos con anterioridad pueden variar ampliamente. Por ejemplo, las Figuras 6A-6C ilustran tres modalidades diferentes de la estructura de espejo móvil. La Figura 6? es un corte transversal de la modalidad de la Figura 1, donde una banda de material metálico 14 se deposita en soportes 18 extendidos ortogonalmente . En la Figura 6B, el material reflector móvil 14 se une a los soportes en las esquinas solamente, sobre correas 32. En la Figura 6C, el material reflector móvil 14 se encuentra suspendido desde una capa deformable 34. Esta modalidad tiene beneficios debido a que el diseño estructural y el material utilizados para el material reflector 14 pueden optimizarse con respecto a las propiedades ópticas, y el diseño estructural y los materiales utilizados para la capa deformable 34 pueden optimizarse con respecto a las propiedades mecánicas deseadas. La producción de diversos tipos de dispositivos interferométricos se describe en una variedad de documentos publicados, incluyendo, por ejemplo, la Solicitud Publicada de E.U. 2004/0051929. Puede utilizarse una amplia variedad de técnicas bien conocidas para producir las estructuras anteriormente descritas que implican una serie de pasos de deposición, de patrones, y grabado de material. Las Figuras 7 a 21 ilustran procesos y sistemas adicionales para utilizar el arreglo de moduladores interferométricos en aquellos procesos y sistemas ilustrados en las Figuras 3 a 5. La Figura 7 es un diagrama a manera de ejemplo de posición de espejo móvil contra voltaje aplicado para un modulador interferométrico de la Figura 1 que opera sin sacar ventaja de la propiedad de histéresis del modulador. En cambio, los procesos y sistemas descritos con referencia a las Figuras 7 a 21 emplean protocolos de activación de hilera/columna los cuales mantienen voltajes en los moduladores interferométricos de MEMS que se encuentran siempre por arriba o por debajo, pero no dentro, de la "ventana de histéresis" o "ventana de estabilidad". Las modalidades a manera de ejemplo que operan de acuerdo con la Figura 7 se describen con referencia a las Figuras 8 a 10 y 17 y con referencia a las Figuras 18 a 21. La operación estable del modulador interferométrico de MEMS se alcanza seleccionando las características mecánicas de diseño del modulador interferométrico que optimizan los tiempos de activación y liberación para el protocolo de activación particular de hilera/columna. En la presente se describen algunas estructuras y métodos para realizar los moduladores interferométricos que tienen tiempos variables de activación y liberación. En general, las características que tienen la capa móvil más dúctil dan como resultado un tiempo de liberación incrementado y un tiempo de activación disminuido. De manera similar, las características que hacen menos dúctil la capa móvil dan como resultado un tiempo de activación incrementad y un tiempo de liberación disminuido . Se describe un protocolo de activación de hilera/columna a manera de ejemplo con referencia a la Figura 8 opera el modulador en la región liberada de la Figura 7 entre las sincronizaciones estroboscópicas . Otro protocolo de activación de hilera/columna a manera de ejemplo descrito con referencia a la Figura 18 opera el modulador en la región activada de la Figura 7 entre las sincronizaciones estroboscópicas de hilera. Pueden emplearse otras combinaciones del esquema de diseño y activación de modulador para operar el modulador en diferentes regiones de la Figura 7 sin depender de una ventana de histéresis. Los protocolos descritos con referencia a las Figuras 7 a 21 operan ventajosamente el modulador interferométrico de MEMS en voltajes menores que los voltajes empleados con los procesos y sistemas descritos con referencia a las Figuras 3 a 5. Por ejemplo, los protocolos de activación de hilera/columna descritos con referencia a las Figuras 3 a 5 aplican un rango de voltaje a manera de ejemplo desde 0 voltios a ±10 voltios. En cambio, los protocolos de activación de hilera/columna descritos con referencia a las Figuras 7 a 21 aplican voltajes menores. Por ejemplo, el protocolo de activación de hilera/columna descrito con referencia a las Figuras 8 a 10 y 17 emplea un rango de -2Vpoiarización voltios a +2VPoiarización voltios donde VpoiarÍ2ación= 1 voltio. El protocolo de activación de hilera/columna descrito con referencia a las Figuras 18-21 emplea un rango de - 4VpolariZación VOltlOS a +4VpoiariZaoión VOltlOS donde Vpolarización =
0.5 voltios. Con tales voltajes de polarización bajos, la ventana de histéresis es muy estrecha, de manera que son ventajosos los métodos de accionamiento que no utilizan voltajes en la ventana de histéresis. Operar el modulador interferométrico de MEMS con protocolos de activación de hilera/columna de voltaje más bajo puede incrementar la eficiencia de un dispositivo de pantalla que emplea el dispositivo de MEMS. Ventajosamente para dispositivos de visualización portátiles, la capacidad de almacenamiento de la fuente de energía de batería puede reducirse mientras se mantiene el tiempo operativo del dispositivo de pantalla en comparación con los dispositivos de visualización que operan sobre un rango de voltaje más amplio de, por ejemplo, 20 voltios. El rango de voltaje de 4 voltios es solamente a manera de ejemplo y pueden emplearse otros rangos de voltaje que son menores que el rango típico de 20 voltios aunque permanece dentro del alcance de la invención. Para la modalidad descrita con referencia a la Figura 8, Vpolai:ización permanece en la región - - liberada de la Figura 7. Para la modalidad descrita con referencia a la Figura 18, elarización permanece en la región activada de la Figura 7. Aunque se han descrito valores a manera de ejemplo para poiarización tales como 1 voltio y 0.5 voltios, otros valores de Vpoiarización se encuentran dentro del alcance de la invención. En estas modalidades, la estrechez de la ventana de histéresis da como resultado el protocolo de activación de hilera/columna que opera el modulador interferométrico substancialme te fuera de la ventana de histéresis en todo momento. La modalidad descrita con referencia a la Figura 7 a 10 opera el arreglo de los moduladores interferométricos de MEMS sin depender de la propiedad de histéresis del modulador interferométrico . En la Figura 7, el inverso de la intensidad se representa gráficamente contra el voltaje entre los electrodos de columna e hilera del modulador. Comenzando en 0 y moviéndose a la derecha en dirección de un voltaje positivo aplicado entre los electrodos de columna hilera, la intensidad de la luz desplegada se encuentra en un máximo con la cavidad 19 de modulador totalmente abierta hasta que el voltaje aplicado alcanza el voltaje representado por el punto 700. En este punto, el potencial entre los electrodos de columna e hilera es suficiente para comenzar a colapsar la cavidad 19 del modulador, lo cual dará como resultado que el modulador despliega una pantalla negra o que refleja una intensidad mínima de luz. En el punto 702, el modulador despliega negro. Dado que este voltaje se reduce desde el punto 702, el modulador continuará desplegando negro hasta el punto 704, donde las fuerzas electromecánicas del modulador comenzarán a exceder el potencial eléctrico que se aplica. Continuar con la reducción del potencial entre los electrodos de columna e hilera dará como resultado la intensidad de la luz desplegada para incrementarse hasta que, en el punto 706, la cavidad 19 del modulador se encuentra totalmente abierta y la luz desplegada se encuentra en intensidad máxima. En caso de que se aplique un potencial negativo entre el electrodo de columna e hilera, comenzando en 0 y moviéndose a la izquierda en dirección de un voltaje negativo aplicado entre los electrodos de columna e hilera, la intensidad de la luz desplegada se encuentra a lo máximo con la cavidad 19 de modulador totalmente abierta hasta que el voltaje aplicado alcanza el voltaje representado por el punto 710. En este punto, el potencial entre los electrodos de columna e hilera es suficiente par comenzar a colapsar la cavidad 19, lo cual dará como resultado que el modulador despliegue una pantalla negra o que refleje una intensidad mínima de luz. En el punto 712, el modulador despliega una pantalla negra. A medida que se reduce este potencial desde el punto 712 (se regresa a la derecha) , el modulador continuará desplegando una pantalla negra hasta el punto 714, donde las fuerzas electromecánicas del modulador comenzarán a exceder el potencial eléctrico que se aplica al modulador. Continuar con la reducción del potencial entre los electrodos de columna e hilera dará como resultado la intensidad de la luz desplegada para incrementarse hasta que, en el punto 716, la cavidad 19 del modulador se encuentra totalmente abierta y la luz desplegada se encuentra en intensidad máxima. La Figura 8 es una ilustración de un conjunto de voltajes de hilera y columna que puede utilizarse para manejar una pantalla de modulador interferométrico que da como resultado en la variación del modulador a un estado liberado entre las sincronizaciones estroboscópicas de hilera. En la modalidad a manera de ejemplo, la señal de selección de hilera toma los valores de +?? o -?? durante una sincronización estroboscópica de hilera y la señal de selección de hilera toma un valor de 0 entre las sincronizaciones estroboscópicas de hilera. Cuando se sincroniza estroboscópicamente una hilera con una señal de -AV, los datos toman el valor de +Vp0iariZaoión para activar el modulador que colapsa la cavidad 19 o -VpolaEiZaci6n para liberar el modulador que abre la cavidad 19. Cuando se selecciona una hilera con una señal de +??, la columna toma el valor de - elarización para activar el modulador o + Poiarización para liberar el modulador. En la presente modalidad, entre sincronizaciones estroboscópicas, el voltaje de hilera se establece en 0. Durante estos periodos, la señal de columna que toma los valores de +VPoiarización y -Vpoiarización dará como resultado la liberación lenta del modulador. La Figura 9 ilustra la respuesta operacional de un modulador que tiene un tiempo de activación largo y que se acciona de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 8. En t=0, el modulador interferométrico se activa por un potencial expresado entre los electrodos de columna e hilera. Este voltaje solamente se aplicará durante el intervalo de tiempo en que el electrodo de hilera tiene un voltaje de habilitación aplicado a él, referido en la presente como TS/ como se describió con anterioridad. Cuando termine la sincronización estroboscópica de hilera, los moduladores en esa hilera migrarán gradualmente a la posición liberada bajo las fuerzas de rehabilitación mecánicas del electrodo en movimiento. Si el tiempo de activación TA excede Ts como es el caso ilustrado por la linea continua en la Figura 9, entonces el modulador no se activará totalmente y puede variar de nuevo a la posición liberada cuando el voltaje es eliminado del electrodo de hilera. Preferentemente, el tiempo de activación T¾ es el mismo que o menor que Ts de manera tal que la respuesta operacional sigue la linea 900. La Figura 10 ilustra la respuesta operacional de un modulador que tiene un tiempo de liberación corto y que se acciona de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 8. Si el tiempo de liberación es demasiado corto, el modulador puede activarse totalmente como se ilustra en la Figura 10. Sin embargo, las fuerzas mecánicas ocasionan que el modulador se abra demasiado rápido, lo cual da como resultado que se despliegue incorrectamente la máxima intensidad para una porción significativa del intervalo de actualización. Preferentemente, el tiempo de liberación TR es el mismo que o mayor que el tiempo de actualización Tu de manera tal que la respuesta operacional sigue la linea 1000. Las Figuras 11 a 16 ilustran métodos y estructuras apara optimizar los tiempos de activación y liberación de un modulador interferométrico . Las Figuras 11A y 11B ilustran una variación geométrica en el poste 18 que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Al incrementar la distancia entre los postes 18, se incrementa el tiempo de liberación del modulador y el tiempo de activación es disminuido. En la Figura 11A, los postes 18 del modulador se apartan una distancia W uno - - de otro. En la Figura 11B, al incrementar la distancia entre los postes 18 a W+?, el tiempo de liberación es incrementado y el tiempo de activación es disminuido. Las Figuras 12A y 12B ilustran una variación geométrica en la tensión de la capa móvil 14 que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Al reducir la tensión de la capa móvil 14, el tiempo de liberación se incrementa y el tiempo de activación es disminuido. La tensión en la capa móvil 14 puede inducirse de muchas maneras tal como el material utilizado, el reciclaje de temperatura, método de deposición, etcétera. Por ejemplo, la tensión en la capa móvil 14 puede disminuir al incrementar la potencia o la presión de gas durante el proceso de deposición que forma la capa móvil 14. En la Figura 12A, la capa móvil 14 se encuentra bajo tensión. En la Figura 12B, la tensión se reduce (representada por la naturaleza ondulada de la capa móvil 14) . La tensión reducida en la capa móvil 14 dará como resultado un tiempo de liberación incrementado y un tiempo de activación disminuido . Las Figuras 13A y 13B ilustran una variación geométrica en el grosor de la capa móvil 14 que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Reducir el - - grosor de la capa móvil 14 incrementa también el tiempo de liberación del modulador aunque disminuye el tiempo de activación del modulador. En la Figura 13A, el grosor de la capa móvil 14 es t. En la Figura 13B, el grosor de la capa móvil 14 se reduce a t-?, lo cual incrementa el tiempo de liberación del modulador y disminuye el tiempo de activación del modulador. Alternativamente o además de, la composición de material de la capa móvil 14 puede cambiarse a un material más flexible, el cual incrementará también el tiempo de liberación del modulador y disminuirá el tiempo de activación del modulador. Por ejemplo, materiales tales como aluminio/aleaciones de aluminio, óxidos de metal, cromo, y níquel podrían utilizarse para la capa móvil 14 siendo menos dúctiles estos últimos materiales. Las Figuras 14A y 14B ilustran una variación geométrica en el tamaño de la correa 32 de la capa móvil 14 que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Las Figuras 14A y 14B son la representación arriba debajo de la capa móvil 14. Como se explicó con anterioridad, las correas 32 conectan la capa móvil 14 con los postes 18 de un modulador interferométrico . Al reducir la voluminosidad de las correas 32, se reduce la elasticidad de la capa móvil 14 lo cual a su vez da como resultado un incremento en el tiempo de liberación del - - modulador y una disminución en el tiempo de activación del modulador. En la Figura 14B el tamaño de las correas 32 se reduce a fin de incrementar el tiempo de liberación del modulador y disminuir el tiempo de activación del modulador. Las Figuras 15A y 15B ilustran una variación geométrica en la capa móvil 14 que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. Cuando se activa el modulador y se colapsa la cavidad 19, el aire es forzado a salir de la cavidad 19. Al perforar la capa móvil 14, se permite que el aire salga de la cavidad 19 mediante la capa móvil 14, dando como resultado una disminución del tiempo de activación. En las Figuras 15? se ilustra una capa móvil sólida 14. En la Figura 15B, . la capa móvil 14 incluye una o más perforaciones 1500 a fin de disminuirle tiempo de activación del modulador. Esto incrementará también el tiempo de liberación, debido a que la presión de aire que tendría que conformarse más allá de la capa móvil 14 colapsada se ha descargado. Las Figuras 16A y 16B ilustran una variación geométrica en la superficie de las capas fijas 16 que afecta los tiempos de activación y liberación del modulador a fin de mejorar la respuesta operacional del modulador. La Figura 16B ilustra las vías 1600 en la capa fija 16, la cuales forman los canales de cavidad para liberar el gas capturado por la cavidad. Las vías 1600 le dan al aire en la cavidad 19 un lugar para ir cuando se colapsa la cavidad 19, reduciendo consecuentemente el tiempo de activación. Además, la reducción en la presión ascendente del aire comprimido en la cavidad colapsada 19 incrementa el tiempo de liberación del modulador. Los canales de liberación de gas de cavidad también pueden crearse en otras capas. Se comprenderá que cualquier combinación de los métodos anteriormente expuestos puede utilizarse también para alcanzar el resultado final deseado. La Figura 17 ilustra los efectos de sincronización de video en movimiento en un arreglo de moduladores manejados de acuerdo con los voltajes de columna e hilera de la Figura 8 a fin de variar hacia un estado liberado cuando se elimina la selección de hilera. En esta modalidad a manera de ejemplo, el video en movimiento se despliega a 30 cuadros por segundo (30 Hz) , consecuentemente, el tiempo de cuadro es de 33.3 ms . En esta modalidad a manera de ejemplo, las hileras se actualizan cinco veces por cuadro a una tasa de 150Hz (¾= 6.6 ms) . En este ejemplo, se ha sintonizado el modulador para tener un tiempo de activación muy rápido y un tiempo de liberación largo de 30ms por una combinación de los métodos descritos con referencia a las Figuras 11 a 16.
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Las actualizaciones de subcuadro en forma de comandos a un modulador particular se proporcionan arriba de los miembros de cuadro. Estos comandos se presentan en forma de comandos de abrir y cerrar, los cuales corresponden a voltajes aplicados a los electrodos de columna e hilera del modulador que liberan y activan respectivamente el modulador. Estos voltajes se proporcionan bajo los comandos en la Figura 17. El tamaño de la cavidad 19 se ilustra directamente arriba de los subcuadros para ilustrar el grosor de la cavidad 19 en todo momento durante la operación. La secuencia comienza con los últimos dos subcuadros de actualización de Cuadro 0. El modulador se encuentra en estado permanente con la cavidad 19 a apertura máxima. Al inicio del Cuadro 1, el modulador es instruido para activarse. La cavidad 19 se colapsa en el punto 1700. Dado que el impulso de hilera es eliminado del modulador y que se exploran las lineas restantes, la cavidad 19 quedará abierta una cierta cantidad. Después de Tu (6.6 ms) , el voltaje de activación se aplica ' nuevamente accionando el modulador en un estado de máxima activación. Esto ocurre cinco veces durante la visualización del Cuadro 1 en los puntos etiquetados 1702, 1704, 1706, 1708 y 1710. Durante el Cuadro 2, el modulador se escribe a la posición abierta con el potencial entre los electrodos de - - hilera y columna que son aproximadamente 0 durante las sincronizaciones estroboscópicas de hilera. El modulador se libera en los siguientes 30 ms para alcanzar su máximo tamaño de apertura en el punto 1712. El cuadro 3 despliega también el modulador en estado abierto. Consecuentemente, el modulador en estado abierto permanecerá como tal para la totalidad del Cuadro 3. Si el modulador se activase en el Cuadro 4, el proceso descrito con respecto al Cuadro 1 se repetiría . La Figura 18 es una ilustración de un conjunto de voltajes de hilera y columna que puede utilizarse para manejar una pantalla de modulador interferométrico que da como resultado la variación del modulador a un estado activado entre sincronizaciones estroboscópicas de hilera. En contraste con el protocolo de activación de hilera/columna de la Figura 8 que da como resultado la variación del modulador a un estado liberado, alterar la estrategia de manejo de pantalla y los tiempos de activación y liberación del modulador, el estado natural del modulador es el estado activado de manera tal que los moduladores variarán hacia una condición activada entre actualizaciones de hilera. La estrategia de manejo aplica voltajes de hilera y combinaciones de datos de manera tal que cuando la hilera no se sincroniza estroboscópicamente el modulador se manejará a un estado activado y cuando la hilera se sincroniza estroboscópicamente los moduladores en esa hilera pueden escribirse a un estado liberado. Este protocolo de activación de hilera/columna tiene características que son el inverso de aquellas presentes en la modalidad descrita con referencia a las Figuras 8-10 y 17. La Figura 19 ilustra la respuesta operacional de un modulador que tiene un tiempo de liberación largo y que se maneja de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 18. La Figura 19 supone la misma respuesta óptica que la ilustrada en la Figura 7. La Figura 19 supone la misma respuesta óptica que la ilustrada en la Figura 7. En la Figura 19, si el tiempo de liberación es demasiado largo entonces el modulador no se liberará durante el período de tiempo en el cual se habilita la hilera. El modulador en esta modalidad variará hacia el estado activado y supondrá el estado activado en el intervalo antes de la reescritura del estado modulador. Preferentemente, el tiempo de liberación TR es el mismo que o más corto que Ts de manera tal que la respuesta operacional sigue la línea 1900. La Figura 20 ilustra la respuesta operacional de un modulador que tiene un tiempo de activación corta y que se maneja de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 18. En la Figura 20, el tiempo de activación es demasiado corto, de manera que después de la liberación exitosa del modulador, el modulador varia demasiado rápidamente al estado activado que despliega la respuesta óptica incorrecta para una fracción inaceptable del periodo de actualización. Preferentemente, el tiempo de activación TA es el mismo que o más largo que el tiempo de actualización Tu de manera tal que la respuesta operacional sigue la linea 2000. Se desea incrementar el tiempo de activación y disminuir el tiempo de liberación para el modulador que tiene la respuesta óptica ilustrada en la Figura 19 y 20 cuando es manejado por voltajes de hilera y columna ilustrados en la Figura 18. Esto se realiza por el inverso de los métodos descritos con respecto a las Figuras 11 a 16. Específicamente, las metas para incrementar el tiempo de activación y disminuir el tiempo de liberación pueden alcanzarse al: disminuir el espaciamiento de postes como se ilustra en la Figura 11A; incrementar la tensión de la capa móvil 14 como se ilustrada en la Figura 12?; incrementar el grosor de la capa móvil 14 como se ilustra en la Figura 13A utilizar un material menos flexible en la formación de la capa móvil 14, incrementando la voluminosidad de las correas 32 como se ilustra en la Figura 14A; utilizar materiales sólidos en la formación de la capa móvil 14 como se ilustra en la Figura 15A; y utilizar una capa sólida uniformemente plana en la capa fija 16. Se comprenderá que cualquier combinación de los métodos anteriores puede utilizarse también para alcanzar el resultado final deseado . La Figura 21 ilustra los efectos de la sincronización del video en movimiento en un arreglo de moduladores manejados de acuerdo con los voltajes de hilera y columna de la Figura 18 a fin de variar a un estado activado cuando se elimina la selección de hilera. En esta modalidad a manera de ejemplo, el video en movimiento se despliega a 30 cuadros por segundo (30 Hz), consecuentemente, el tiempo de cuadro es 33.3 ms . En esta modalidad a manera de ejemplo, las hileras se actualizan cinco veces por cuadro a una tasa de 150 Hz (Tu= 6.6 ms) . En este ejemplo, el modulador se ha sintonizado para tener un tiempo de liberación muy rápido y un tiempo de activación largo de 30 ms por una combinación de los métodos descritos con referencia a las Figuras 11-16. Las actualizaciones de subcuadro en forma de comandos a un modulador particular se proporcionan arriba de los números de cuadro. Estos comandos se presentan en forma de comandos de abrir y cerrar, los cuales corresponden a voltajes aplicados a los electrodos de columna e hilera del modulador que liberan y activan respectivamente el modulador. Estos voltajes se proporcionan bajo los - - comandos en la Figura 21. El tamaño de la cavidad 19 se ilustra directamente arriba de los subcuadros para ilustrar el grosor de la cavidad 19 en todo momento durante la operación . La secuencia inicia con los dos último subcuadros del Cuadro 0. El modulador se encuentra en estado permanente con la cavidad 19 en apertura mínima. Al inicio del Cuadro 1, el modulador es instruido para liberarse. La cavidad 19 se abre en el punto 2100. Dado que el impulso de selección de hilera es eliminado del modulador, y que las líneas restantes son exploradas, la cavidad 19 quedará cerrada por una cierta cantidad. Después de Tu (6.6 ms) , el voltaje de liberación se vuelve a aplicar nuevamente llevando al modulador al estado de liberación. Esto ocurre cinco veces durante la visualización del Cuadro 1 en los puntos etiquetados 2102, 2104, 2106, 2108 y 2110. Estos corresponden a los puntos de actualización de hilera para el arreglo. Durante el Cuadro 2, el modulador es escrito en la posición abierta con el potencial eliminado entre los electrodos de hilera y columna. El modulador se libera los siguientes 30 ms tomando casi todo la duración de cuadro para alcanzar su máximo tamaño de apertura en el punto 2112. El Cuadro 3 despliega también el modulador en el estado activado. Consecuentemente, el modulador en el - - estado cerrado permanecerá como tal para la totalidad del Cuadro 3. Si el modulador Las Figuras 22A y 22B son diagrama de bloques de sistema que ilustran una modalidad de un dispositivo 2040 de visualización. El dispositivo 2040 de visualización puede ser, por ejemplo, un teléfono celular o móvil. Sin embargo, los mismos componentes de dispositivo 2040 de visualización o ligeras variaciones del mismo son ilustrativas también de diversos tipos de dispositivos de visualización tales como televisiones y reproductores de medios portátiles. El dispositivo 2040 de visualización incluye un alojamiento 2041, una pantalla 2030, una antena 2043, una bocina 2045, un dispositivo 2048 de entrada, y un micrófono 2046. El alojamiento 2041 generalmente se forma a partir de cualquier variedad de procesos de elaboración como es conocido por aquellos expertos en la materia, incluyendo el moldeo por inyección, y formación de vacio. Además, el alojamiento 2041 puede elaborarse a partir de cualquier variedad de materiales, incluyendo pero sin limitarse a plástico, metal, vidrio, caucho, y cerámica, o una combinación de los mismos. En una modalidad, el alojamiento 2041 incluye porciones extraibles (no se muestra) que pueden intercambiarse con otras porciones extraibles de diferente o color o que contienen diferentes - - logotipos, imágenes, o símbolos. La pantalla 2030 del dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo puede ser cualquiera de una variedad de pantallas, · incluyendo una pantalla bi-estable, como se describe en la presente. En otras modalidades, la pantalla 2030 incluye una pantalla de panel plano, tal como plasma, EL, OLED, STN LCD, o TFT LCD como se describió con anterioridad, o una pantalla de panel no plano, tal como un CRT u otro dispositivo de tubo, como saben bien aquellos expertos en la materia. Sin embargo, para propósitos de describir la presente modalidad, la pantalla 2030 incluye una pantalla de modulador interferométrico, como se describe en la presente . Los componentes de una modalidad de dispositivo
2040 de visualización a manera de ejemplo se ilustran esquemáticamente en la Figura 2B. El dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo ilustrado incluye un alojamiento 2041 y puede incluir componentes adicionales incluidos al menos parcialmente en el mismo. Por ejemplo, en una modalidad, el dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo incluye una interfase 2027 de red que incluye una antena 2043 la cual se acopla a un transceptor 2047. El transceptor 2047 se conecta al procesador 2021, el cual se conecta al hardware 2052 de acondicionamiento.
El hardware 2052 de acondicionamiento puede configurarse para acondicionar una señal (por ejemplo, filtrar una señal) . El hardware 2052 de acondicionamiento se conecta a una bocina 2045 y un micrófono 2046. El procesador 2021 se conecta también a un dispositivo 2048 de entrada y a un controlador 2029 de impulso. El controlador 2029 de impulso se acopla a una memoria temporal 2028 de cuadro y al manejador 2022 de arreglo, el cual a su vez se acopla a un arreglo 2030 de pantallas. Un suministro 2050 de energía proporciona energía a todos los componentes como se requiere por el diseño particular de dispositivo 2040 de visualizacion a manera de ejemplo. La interfase 2027 de red incluye la antena 2043 y el transceptor 2047 de manera que el dispositivo 2040 de visualizacion a manera de ejemplo puede comunicarse con uno o más dispositivos por una red. En una modalidad, la interfase 2027 de red puede tener también algunas capacidades de procesamiento para aliviar los requisitos del procesador 2021. La antena 2043 es cualquier antena conocida por aquellos expertos en la materia para transmitir y recibir señales . En una modalidad, la antena transmite y recibe señales de RF de acuerdo con la norma IEEE 802.11, incluyendo la IEEE 802.11(a), (b) , o (g) . En otra modalidad, la antena transmite y recibe señales de RF de acuerdo con la norma BLUETOOTH. En el caso de un - - teléfono celular, la antena se encuentra diseñada para recibir señales de CDMA, GSM, 7AMPS u otras señales conocidas que se utilizan para comunicarse en una red de teléfono celular inalámbrica. El transceptor 2047 pre-procesa las señales recibidas desde la antena 2043 de manera que pueden recibirse y manipularse adicionalmente por el procesador 2021. El transceptor 2047 procesa también las señales recibidas provenientes del procesador 2021 de manera que pueden transmitirse desde el dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo mediante la antena 2043. En una modalidad alterna, el transceptor 2047 puede reemplazarse por un receptor. Aún en otra modalidad alterna, la interfase 2027 de red puede reemplazarse por una imagen fuente, la cual puede almacenar o generar datos de imagen a enviarse al procesador 2021. Por ejemplo, la imagen fuente puede ser un disco de video digital (DVD -digital video disc) o un mane ador de disco duro que contenga datos de imagen, o un módulo de software que genere datos de imagen. El procesador 2021 controla generalmente la operación total del dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo. El procesador 2021 recibe datos, tal como los datos de imagen comprimida provenientes de la interfase 2027 de red o una imagen fuente, y procesa los - - datos en datos de imagen sin procesar o en un formato que se procese fácilmente en datos de imagen sin procesar. El procesador 2021 envía después los datos procesados al controlador 2029 de impulso o a la memoria temporal 2028 de cuadros para su almacenamiento. Los datos sin procesar se refieren típicamente a la información que identifica las características de imagen en cada ubicación dentro de una imagen. Por ejemplo, tales características de imagen pueden incluir color, saturación, y nivel de escala de grises. En una modalidad, el procesador 2021 incluye un microcontrolador, CPU, o unidad lógica para controlar la operación del dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo. El hardware 2052 de acondicionamiento incluye generalmente amplificadores y filtros para transmitir señales a la bocina 2045, y para recibir señales provenientes del micrófono 2046. El hardware 2052 de acondicionamiento puede ser componentes discretos en el dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo, o puede incorporarse en el procesador 2021 u otros componentes . El controlador 2029 de impulso toma los datos de imagen sin procesar generados por el procesador 2021 sea directamente del procesador 2021 o de la memoria temporal 2028 de cuadros y reformatea los datos de imagen sin - - procesar apropiadamente para la transmisión de alta velocidad al manejador 2022 de arreglos. Especifreamente, el controlador 2029 de impulso reformatea los datos de imagen sin procesar en un flujo de datos que tiene un formato de tipo exploración total de imagen, de manera tal que tiene un orden de tiempo adecuado para explorar por todo el arreglo 2030 de pantallas. Después, el controlador 2029 de impulso envía la información formateada al manejador 2022 de arreglos. Aunque un controlador 2029 de impulsos, tal como un controlador de LCD, se asocia frecuentemente con el procesador 2021 de sistema como un Circuito Integrado (IC - integrated circuit) independiente, tales controladores pueden implementarse de muchas maneras. Pueden incorporarse en el procesador 2021 como hardware, incorporarse en el procesador 2021 como software, o integrarse completamente en hardware con el manejador 2022 de arreglos . Típicamente, el manejador 2022 de arreglos recibe la información formateada proveniente del controlador 2029 de impulsos y reformatea los datos de video en un conjunto paralelo de formas de onda que se aplican muchas veces por segundo a los cientos y algunas veces miles de direcciones provenientes de la matriz de pixeles x-y de la pantalla. En una modalidad, el controlador 2029 de impulsos, el manejador 2022 de arreglos, y el arreglo 2030 - - de pantallas son apropiados para cualquiera de los tipos de pantallas descritos en la presente. Por ejemplo, en una modalidad, el controlador 2029 de impulsos es un controlador de pantalla convencional o un controlador de pantalla bi-estable (por ejemplo, un controlador de modulador interferométrico) . En otra modalidad, el manejador 2022 de arreglos es un manej ador convencional o un manejador de pantallas bi-estable (por ejemplo, una pantalla de modulador interferométrico) . En una modalidad, un controlador 2029 de impulso se integra con el manejador 2022 de arreglos. Tal modalidad es común en sistemas altamente integrados tales como teléfonos celulares, relojes, y otras pantallas de área pequeña. Aún en otra modalidad, el arreglo 2030 de pantallas es un arreglo de pantalla típico o un arreglo de pantalla bi-estable (por ejemplo, una pantalla que incluye un arreglo de moduladores interferométricos) . El dispositivo 2048 de entrada le permite a un usuario controlar la operación del dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo. En una modalidad, el dispositivo 2048 de entrada incluye un teclado, tal como un teclado QWERTY o un teclado telefónico, un botón, un conmutador, una pantalla táctil, una membrana sensible a la presión o al calor. En una modalidad, el micrófono 2046 es un dispositivo de entrada para el dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo. Cuando se utiliza el micrófono 2046 para tomar como entrada datos al dispositivo, pueden proporcionársele comandos de voz a un usuario para controlar las operaciones del dispositivo 2040 de visualización a manera de ejemplo. El suministro 2050 de energía puede incluir una variedad de dispositivos de almacenamiento de energía como son conocidos en la materia. Por ejemplo, en una modalidad, el suministro 2050 de energía es una batería recargable, tal como una batería de níquel-cadmio o una batería de ion de litio. En otra modalidad, el suministro 2050 de energía es una fuente de energía renovable, un capacitor, o una celda solar, incluyendo una celda solar plástica, y pintura de celda solar. En otra modalidad, el suministro 2050 de energía se encuentra configurado para recibir energía proveniente de una salida de pared. En algunas implementaciones reside la capacidad de programación del control, como se describió anteriormente, en un controlador de impulsos el cual puede ubicarse en varios lugares en el sistema de pantalla electrónica. En algunos casos la capacidad de programación de control reside en el manejador 2022 de arreglos. Aquellos expertos en la materia reconocerán que la optimización anteriormente descrita puede implementarse en cualquier número de componentes hardware y/o software y en - - diversas configuraciones. r se liberaron en el Cuadro 4, el proceso como se describió con respecto al Cuadro 1 se repetirían. Aunque se ha mostrado la descripción detallada con anterioridad, se ha descrito y ha señalado características novedosas de la invención como se aplica a diversas modalidades, se comprenderá que pueden realizarse diversas omisiones, substituciones, y cambios en la forma y detalles del dispositivo o proceso ilustrados por aquellos expertos en la materia sin aislarse del espíritu de la invención. Como se reconocerá, la presente invención puede incorporarse en una forma que no proporcione todas las características y beneficios expuestos en la presente, dado que algunas características pueden utilizarse o practicarse separadamente de otras.
Claims (43)
- NOVEDAD DE LA INVENCIÓN Habiéndose descrito la invención como antecedente, se reclama' como propiedad lo contenido en las siguientes reivindicaciones:
- REIVINDICACIONES 1. Un dispositivo de MEMS, caracterizado porque comprende : primeros medios para mover una capa móvil entre una primera ubicación distal a los primeros medios móviles y una segunda ubicación próxima a los primeros medios móviles; segundos medios para mover la capa móvil entre las ubicaciones primera y segunda, formando la capa móvil y los primeros medios móviles una cavidad cuando la capa móvil se encuentra en una primera ubicación; y terceros medios para mover la capa móvil de la primera ubicación a la segunda ubicación a una primera tasa promedio y para mover la capa móvil de la segunda ubicación a la primera ubicación a una segunda tasa promedio, donde las tasas promedio primera y segunda son diferentes. 2. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque los primeros medios móviles comprenden una capa fija que comprende un primer electrodo.
- 3. El dispositivo según la reivindicación 1 o 2, caracterizado porque los segundos medios móviles comprenden un segundo electrodo conectado a la capa móvil.
- 4. El dispositivo según la reivindicación 1, 2 o 3, caracterizado porque los terceros medios móviles comprenden dichos electrodos primeros segundos.
- 5. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado además porque comprende medios para modular interferométricamente la luz.
- 6. El dispositivo según la reivindicación 5, caracterizado porque los medios de modulación de luz comprenden una cavidad.
- 7. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque la primera tasa promedio es mayor que la segunda tasa promedio.
- 8. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque la segunda tasa promedio es mayor que la primera tasa promedio.
- 9. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque la capa móvil es reflectora.
- 10. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque la capa móvil comprende al menos uno de entre aluminio, óxido metálico, cromo, y níquel.
- 11. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque la capa móvil comprende perforaciones.
- 12. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque la cavidad comprende canales de liberación de gas de cavidad.
- 13. El dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado además porque comprende: un procesador que se encuentra en comunicación eléctrica con al menos uno de dichos primeros medios móviles, segundos medios móviles, y terceros medios móviles, configurándose dicho procesador para procesar datos de imagen; y un dispositivo de memoria en comunicación eléctrica con dicho procesador.
- 14. El dispositivo según la reivindicación 13, caracterizado además porque comprende un circuito de mane ador configurado para enviar al menos una señal al menos a uno de dichos primeros medios móviles, segundos medios móviles, y terceros medios móviles.
- 15. El dispositivo según la reivindicación 14, caracterizado además porque comprende un controlador configurado para enviar al menos un porción de dichos datos de imagen a dicho circuito de manejador.
- 16. El dispositivo según la reivindicación 13, caracterizado además porque comprende un módulo fuente de imagen configurado para enviar dichos datos de imagen a dicho procesador.
- 17. El dispositivo según la reivindicación 16, caracterizado porque dicho módulo fuente de imagen comprende al menos uno de entre un receptor, transceptor, y transmisor .
- 18. El dispositivo según la reivindicación 13, caracterizado además porque comprende un dispositivo de entrada configurado para recibir datos de entrada y para comunicar dichos datos de entrada a dicho procesador.
- 19. Un método para activar un arreglo de moduladores interferométricos múltiples veces a fin de visualizar un solo cuadro de datos, caracterizado el método porque comprende : recibir una señal de datos para activar uno o más moduladores interferométricos durante un periodo de tiempo correspondiente a un solo cuadro; activar el uno o más moduladores interferométricos con una diferencia de potencial de manera tal que el modulador interferométrico se mueve a un estado activado a una primera tasa promedio; y liberar el uno o más moduladores interferométricos de manera tal que el uno o más moduladores interferométricos se mueve del estado activado y hacia un estado liberado a una segunda tasa promedio diferente.
- 20. El método según la reivindicación 19, caracterizado además porque comprende re-activar el elemento de pantalla de modulador interferométrico de manera tal que antes de alcanzar el estado liberado, el modulador interferométrico se regresa al estado activo.
- 21. El método según la reivindicación 19, caracterizado además porque comprende aplicar un voltaje de polarización al modulador interferométrico mientras el modulador interferométrico se mueve del estado activado.
- 22. El método según la reivindicación 21, caracterizado porque la diferencia de potencial es substancialmente igual al doble del voltaje de polarización.
- 23. El método según la reivindicación 21, caracterizado porque un valor absoluto del voltaje de polarización es menor que un valor absoluto de un voltaje correspondiente a una ventana de histéresis para el elemento de pantalla de modulador interferométrico .
- 24. Un método para fabricar un dispositivo de MEMS, caracterizado el método porque comprende: formar una capa fija que comprende un primer electrodo; formar una capa móvil configurada para moverse entre una primera ubicación distal al primer electrodo y una segunda ubicación próxima al primer electrodo, formando la capa móvil y la capa fija una cavidad que comprende un gas cuando la capa móvil se encuentra en la primera ubicación; y formar un segundo electrodo conectado a la capa móvil, donde el movimiento de la capa móvil se basa en una diferencia de voltaje entre los electrodos primero y segundo y la capa móvil se fabrica para moverse de la primera ubicación a la segunda ubicación a una primera tasa de promedio y para moverse de la segunda ubicación a la primera ubicación a una segunda tasa promedio, donde las tasas promedio primera y segunda son diferentes.
- 25. El método según la reivindicación 24, caracterizado porque la primera tasa promedio es mayor que la segunda tasa promedio.
- 26. El método según la reivindicación 24, caracterizado porque la segunda tasa promedio es mayor que la primera tasa promedio .
- 27. El método según la reivindicación 24, caracterizado porque formar la capa móvil comprende formar una capa reflectora.
- 28. El método según la reivindicación 24, caracterizado porque formar la cavidad comprende formar una cavidad de modulación de luz interferométricamente .
- 29. El método según la reivindicación 24, caracterizado porque formar la capa móvil comprende formar la capa móvil a fin de comprender al menos uno de entre aluminio, óxido metálico, cromo, y níquel.
- 30. El método según la reivindicación 24, caracterizado porque formar la capa móvil comprende formar las perforaciones en la capa móvil.
- 31. El método según la reivindicación 24, caracterizado porque formar la cavidad comprende formar canales de liberación de gas en la cavidad.
- 32. Un dispositivo de MEMS fabricado por el método según la reivindicación 24.
- 33. Un método para manejar un arreglo de moduladores interferométricos múltiples veces a fin de desplegar un solo cuadro de datos, caracterizado el método porque comprende : recibir una señal de datos para mover uno o más moduladores interferométricos entre los estados primero y segundo durante un período de tiempo correspondiente a un solo cuadro; mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial del primer estado al segundo; mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial del segundo estado hacia el primer estado; y mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial al segundo estado antes de que el modulador interferométrico alcance el primer estado.
- 34. El método según la reivindicación 33, caracterizado porque la primera tasa promedio es mayor que la segunda tasa promedio.
- 35. El método según la reivindicación 33, caracterizado porque la segunda tasa promedio es mayor que la primera tasa promedio.
- 36. El método según la reivindicación 33, caracterizado además porque comprende aplicar un voltaje de polarización al modulador interferométrico mientras que el modulador interferométrico se retira del estado activado.
- 37. El método según la reivindicación 33, caracterizado porque la diferencia de potencial es substancialmente igual al doble del voltaje de polarización.
- 38. El método según la reivindicación 33, caracterizado porque un valor absoluto del voltaje de polarización es menor que un valor absoluto de un voltaje correspondiente a una ventana de histéresis para el elemento de pantalla de modulador interferométrico .
- 39. Un aparato para manejar un arreglo de moduladores interferométricos múltiples veces a fin de desplegar un cuadro individual de datos, caracterizado el aparato porque comprende : medios parra recibir una señal de datos para mover uno o más moduladores interferométrieos a entre los estados primero y segundo durante un periodo de tiempo correspondiente a un cuadro individual; primeros medios para mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial del primer estado al segundo; segundos medios para mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial del segundo estado hacia el primer estado; y terceros medios para mover el elemento de pantalla de modulador interferométrico con una diferencia de potencial con el segundo estado antes de que el modulador interferométrico alcance el primer estado .
- 40. El aparato según la reivindicación 39, caracterizado porque los medios de recepción comprenden un circuito de manej ador.
- 41. El aparato según la reivindicación 39 o 40, caracterizado porque los primeros medios móviles comprenden una capa fija que comprende un primer electrodo.
- 42. El aparato según la reivindicación 39, 40, o 41, caracterizado porque los segundos medios móvile¡ comprenden un segundo electrodo conectado a una capa móvil
- 43. El aparato según la reivindicación 39, 40 41 o 42, caracterizado porque los terceros medios móvile comprenden al menos uno de dichos electrodos primeros segundos .
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