MD360Z - Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек - Google Patents

Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек

Info

Publication number
MD360Z
MD360Z MDS20100158A MDS20100158A MD360Z MD 360 Z MD360 Z MD 360Z MD S20100158 A MDS20100158 A MD S20100158A MD S20100158 A MDS20100158 A MD S20100158A MD 360 Z MD360 Z MD 360Z
Authority
MD
Moldova
Prior art keywords
silicon substrates
formation
microstructured surfaces
mechanical action
linear mechanical
Prior art date
Application number
MDS20100158A
Other languages
English (en)
Romanian (ro)
Inventor
Евгений ХАРЯ
Дарья ГРАБКО
Ольга ШИКИМАКА
Дормидонт ШЕРБАН
Original Assignee
Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы filed Critical Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
Priority to MDS20100158A priority Critical patent/MD360Z/ru
Publication of MD360Y publication Critical patent/MD360Y/mo
Publication of MD360Z publication Critical patent/MD360Z/ru

Links

Landscapes

  • Weting (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способам обработки полупроводниковых пластин и может быть использовано для изготовления кремниевых подложек используемых для солнечных элементов.Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек состоит в том, что поверхность кремниевой подложки подвергают линейному механическому воздействию с последующим селективным травлением водным щелочным раствором, при этом линейное механическое воздействие осуществляют посредством индентора Виккерса при нагрузке не более 0,3 г.
MDS20100158A 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек MD360Z (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20100158A MD360Z (ru) 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20100158A MD360Z (ru) 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MD360Y MD360Y (en) 2011-04-30
MD360Z true MD360Z (ru) 2011-11-30

Family

ID=45815106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MDS20100158A MD360Z (ru) 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек

Country Status (1)

Country Link
MD (1) MD360Z (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2056672C1 (ru) * 1993-06-08 1996-03-20 Евгений Макарович Соколов Способ текстурирования поверхности кремниевых пластин для солнечных элементов
RU2072585C1 (ru) * 1994-02-08 1997-01-27 Научно-исследовательский институт измерительных систем Способ подготовки полупроводниковых подложек
RU2340979C1 (ru) * 2004-10-28 2008-12-10 Мимасу Семикондактор Индастри Ко., Лтд Способ производства полупроводниковой подложки, полупроводниковая подложка для солнечных установок и раствор для травления
US20100216308A1 (en) * 2009-02-25 2010-08-26 Imec Method for etching 3d structures in a semiconductor substrate, including surface preparation
  • 2010

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2056672C1 (ru) * 1993-06-08 1996-03-20 Евгений Макарович Соколов Способ текстурирования поверхности кремниевых пластин для солнечных элементов
RU2072585C1 (ru) * 1994-02-08 1997-01-27 Научно-исследовательский институт измерительных систем Способ подготовки полупроводниковых подложек
RU2340979C1 (ru) * 2004-10-28 2008-12-10 Мимасу Семикондактор Индастри Ко., Лтд Способ производства полупроводниковой подложки, полупроводниковая подложка для солнечных установок и раствор для травления
US20100216308A1 (en) * 2009-02-25 2010-08-26 Imec Method for etching 3d structures in a semiconductor substrate, including surface preparation

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Крапивко Г.И., Хлопёнова И.А. Современные технические средства, комплексы и системы повышения коэффициента полезного действия кремниевых фотоэлектронных преобразователей методом лазерной гравировки, ААЭКС, № 2 (12), 2003 (Regăsită în Internet la 04.02.2011, url: http://aaecs.org/krapivko-gi-hlopenova-ia-povishenie-koafficienta-poleznogo-deistviya-kremnievih-fotoalektronnih-preobrazovatelei-metodom-lazernoi-gravirovki.html) *

Also Published As

Publication number Publication date
MD360Y (en) 2011-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SI1989740T2 (sl) Postopek označevanja sončnih celic in sončna celica
MY158452A (en) Aqueous acidic etching solution and method for texturing the surface of single crystal and polycrystal silicon substrates
WO2010129136A3 (en) Production line for the production of multiple sized photovoltaic devices
WO2012013965A9 (en) Method of producing a light emitting device
TW201130019A (en) In vacuum optical wafer heater for cryogenic processing
WO2011112812A3 (en) Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching
WO2011112802A3 (en) Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching
WO2011112823A3 (en) Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching
MY181191A (en) Metal-foil-assisted fabrication of thin-silicon solar cell
TW201129719A (en) Microelectronic processing component having corrosion-resistant layer, microelectronic workpiece processing apparatus incorporating same, and method of forming an article having the corrosion-resistant layer
WO2010127764A3 (de) Verfahren zum kontaktieren eines halbleitersubstrates
MY164303A (en) Method and device for processing silicon substrates
SG159484A1 (en) Method of manufacturing soi substrate
MY187868A (en) Activation method for silicon substrates
EP2429005A3 (en) Method for manufacturing a mono-crystalline silicon solar cell and etching method thereof
EP2704214A3 (en) Method for manufacturing solar cell
MY191131A (en) Photovoltaic devices and method of manufacturing
GB2495166A (en) Single-junction photovoltaic cell
GB2541146A (en) Method of manufacturing a germanium-on-insulator substrate
EP2626891A3 (en) Activation process to improve metal adhesion
BR112012027611A2 (pt) dispositivo e método para texturizar mecanicamente uma pastilha de silício destinada a compreender uma célula fotovoltaica e pastilha de silício resultante
IN2014CN02652A (ru)
IN2014DN10143A (ru)
SG140530A1 (en) Alkaline etching solution for semiconductor wafer and alkaline etching method
GB0908583D0 (en) Semiconductor device contacts

Legal Events

Date Code Title Description
KA4Y Short-term patent lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration)