MD360Z - Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек - Google Patents
Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложекInfo
- Publication number
- MD360Z MD360Z MDS20100158A MDS20100158A MD360Z MD 360 Z MD360 Z MD 360Z MD S20100158 A MDS20100158 A MD S20100158A MD S20100158 A MDS20100158 A MD S20100158A MD 360 Z MD360 Z MD 360Z
- Authority
- MD
- Moldova
- Prior art keywords
- silicon substrates
- formation
- microstructured surfaces
- mechanical action
- linear mechanical
- Prior art date
Links
Landscapes
- Weting (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способам обработки полупроводниковых пластин и может быть использовано для изготовления кремниевых подложек используемых для солнечных элементов.Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек состоит в том, что поверхность кремниевой подложки подвергают линейному механическому воздействию с последующим селективным травлением водным щелочным раствором, при этом линейное механическое воздействие осуществляют посредством индентора Виккерса при нагрузке не более 0,3 г.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
MDS20100158A MD360Z (ru) | 2010-09-23 | 2010-09-23 | Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
MDS20100158A MD360Z (ru) | 2010-09-23 | 2010-09-23 | Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
MD360Y MD360Y (en) | 2011-04-30 |
MD360Z true MD360Z (ru) | 2011-11-30 |
Family
ID=45815106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
MDS20100158A MD360Z (ru) | 2010-09-23 | 2010-09-23 | Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
MD (1) | MD360Z (ru) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2056672C1 (ru) * | 1993-06-08 | 1996-03-20 | Евгений Макарович Соколов | Способ текстурирования поверхности кремниевых пластин для солнечных элементов |
RU2072585C1 (ru) * | 1994-02-08 | 1997-01-27 | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Способ подготовки полупроводниковых подложек |
RU2340979C1 (ru) * | 2004-10-28 | 2008-12-10 | Мимасу Семикондактор Индастри Ко., Лтд | Способ производства полупроводниковой подложки, полупроводниковая подложка для солнечных установок и раствор для травления |
US20100216308A1 (en) * | 2009-02-25 | 2010-08-26 | Imec | Method for etching 3d structures in a semiconductor substrate, including surface preparation |
-
2010
- 2010-09-23 MD MDS20100158A patent/MD360Z/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2056672C1 (ru) * | 1993-06-08 | 1996-03-20 | Евгений Макарович Соколов | Способ текстурирования поверхности кремниевых пластин для солнечных элементов |
RU2072585C1 (ru) * | 1994-02-08 | 1997-01-27 | Научно-исследовательский институт измерительных систем | Способ подготовки полупроводниковых подложек |
RU2340979C1 (ru) * | 2004-10-28 | 2008-12-10 | Мимасу Семикондактор Индастри Ко., Лтд | Способ производства полупроводниковой подложки, полупроводниковая подложка для солнечных установок и раствор для травления |
US20100216308A1 (en) * | 2009-02-25 | 2010-08-26 | Imec | Method for etching 3d structures in a semiconductor substrate, including surface preparation |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Крапивко Г.И., Хлопёнова И.А. Современные технические средства, комплексы и системы повышения коэффициента полезного действия кремниевых фотоэлектронных преобразователей методом лазерной гравировки, ААЭКС, № 2 (12), 2003 (Regăsită în Internet la 04.02.2011, url: http://aaecs.org/krapivko-gi-hlopenova-ia-povishenie-koafficienta-poleznogo-deistviya-kremnievih-fotoalektronnih-preobrazovatelei-metodom-lazernoi-gravirovki.html) * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MD360Y (en) | 2011-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SI1989740T2 (sl) | Postopek označevanja sončnih celic in sončna celica | |
MY158452A (en) | Aqueous acidic etching solution and method for texturing the surface of single crystal and polycrystal silicon substrates | |
WO2010129136A3 (en) | Production line for the production of multiple sized photovoltaic devices | |
WO2012013965A9 (en) | Method of producing a light emitting device | |
TW201130019A (en) | In vacuum optical wafer heater for cryogenic processing | |
WO2011112812A3 (en) | Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching | |
WO2011112802A3 (en) | Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching | |
WO2011112823A3 (en) | Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching | |
MY181191A (en) | Metal-foil-assisted fabrication of thin-silicon solar cell | |
TW201129719A (en) | Microelectronic processing component having corrosion-resistant layer, microelectronic workpiece processing apparatus incorporating same, and method of forming an article having the corrosion-resistant layer | |
WO2010127764A3 (de) | Verfahren zum kontaktieren eines halbleitersubstrates | |
MY164303A (en) | Method and device for processing silicon substrates | |
SG159484A1 (en) | Method of manufacturing soi substrate | |
MY187868A (en) | Activation method for silicon substrates | |
EP2429005A3 (en) | Method for manufacturing a mono-crystalline silicon solar cell and etching method thereof | |
EP2704214A3 (en) | Method for manufacturing solar cell | |
MY191131A (en) | Photovoltaic devices and method of manufacturing | |
GB2495166A (en) | Single-junction photovoltaic cell | |
GB2541146A (en) | Method of manufacturing a germanium-on-insulator substrate | |
EP2626891A3 (en) | Activation process to improve metal adhesion | |
BR112012027611A2 (pt) | dispositivo e método para texturizar mecanicamente uma pastilha de silício destinada a compreender uma célula fotovoltaica e pastilha de silício resultante | |
IN2014CN02652A (ru) | ||
IN2014DN10143A (ru) | ||
SG140530A1 (en) | Alkaline etching solution for semiconductor wafer and alkaline etching method | |
GB0908583D0 (en) | Semiconductor device contacts |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
KA4Y | Short-term patent lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration) |