MD360Z - Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек - Google Patents

Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек Download PDF

Info

Publication number
MD360Z
MD360Z MDS20100158A MDS20100158A MD360Z MD 360 Z MD360 Z MD 360Z MD S20100158 A MDS20100158 A MD S20100158A MD S20100158 A MDS20100158 A MD S20100158A MD 360 Z MD360 Z MD 360Z
Authority
MD
Moldova
Prior art keywords
silicon substrates
formation
microstructured surfaces
mechanical action
linear mechanical
Prior art date
Application number
MDS20100158A
Other languages
English (en)
Romanian (ro)
Inventor
Евгений ХАРЯ
Дарья ГРАБКО
Ольга ШИКИМАКА
Дормидонт ШЕРБАН
Original Assignee
Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы filed Critical Институт Прикладной Физики Академии Наук Молдовы
Priority to MDS20100158A priority Critical patent/MD360Z/ru
Publication of MD360Y publication Critical patent/MD360Y/mo
Publication of MD360Z publication Critical patent/MD360Z/ru

Links

Landscapes

  • Weting (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способам обработки полупроводниковых пластин и может быть использовано для изготовления кремниевых подложек используемых для солнечных элементов.Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек состоит в том, что поверхность кремниевой подложки подвергают линейному механическому воздействию с последующим селективным травлением водным щелочным раствором, при этом линейное механическое воздействие осуществляют посредством индентора Виккерса при нагрузке не более 0,3 г.
MDS20100158A 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек MD360Z (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20100158A MD360Z (ru) 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20100158A MD360Z (ru) 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MD360Y MD360Y (en) 2011-04-30
MD360Z true MD360Z (ru) 2011-11-30

Family

ID=45815106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MDS20100158A MD360Z (ru) 2010-09-23 2010-09-23 Способ формирования микроструктурных поверхностей кремниевых подложек

Country Status (1)

Country Link
MD (1) MD360Z (ru)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2056672C1 (ru) * 1993-06-08 1996-03-20 Евгений Макарович Соколов Способ текстурирования поверхности кремниевых пластин для солнечных элементов
RU2072585C1 (ru) * 1994-02-08 1997-01-27 Научно-исследовательский институт измерительных систем Способ подготовки полупроводниковых подложек
RU2340979C1 (ru) * 2004-10-28 2008-12-10 Мимасу Семикондактор Индастри Ко., Лтд Способ производства полупроводниковой подложки, полупроводниковая подложка для солнечных установок и раствор для травления
US20100216308A1 (en) * 2009-02-25 2010-08-26 Imec Method for etching 3d structures in a semiconductor substrate, including surface preparation
  • 2010

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2056672C1 (ru) * 1993-06-08 1996-03-20 Евгений Макарович Соколов Способ текстурирования поверхности кремниевых пластин для солнечных элементов
RU2072585C1 (ru) * 1994-02-08 1997-01-27 Научно-исследовательский институт измерительных систем Способ подготовки полупроводниковых подложек
RU2340979C1 (ru) * 2004-10-28 2008-12-10 Мимасу Семикондактор Индастри Ко., Лтд Способ производства полупроводниковой подложки, полупроводниковая подложка для солнечных установок и раствор для травления
US20100216308A1 (en) * 2009-02-25 2010-08-26 Imec Method for etching 3d structures in a semiconductor substrate, including surface preparation

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Крапивко Г.И., Хлопёнова И.А. Современные технические средства, комплексы и системы повышения коэффициента полезного действия кремниевых фотоэлектронных преобразователей методом лазерной гравировки, ААЭКС, № 2 (12), 2003 (Regăsită în Internet la 04.02.2011, url: http://aaecs.org/krapivko-gi-hlopenova-ia-povishenie-koafficienta-poleznogo-deistviya-kremnievih-fotoalektronnih-preobrazovatelei-metodom-lazernoi-gravirovki.html) *

Also Published As

Publication number Publication date
MD360Y (en) 2011-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SI1989740T1 (sl) Postopek označevanja sončnih celic in sončna celica
Seigneur et al. Manufacturing metrology for c-Si photovoltaic module reliability and durability, Part I: Feedstock, crystallization and wafering
WO2010129136A3 (en) Production line for the production of multiple sized photovoltaic devices
MY158452A (en) Aqueous acidic etching solution and method for texturing the surface of single crystal and polycrystal silicon substrates
WO2012013965A9 (en) Method of producing a light emitting device
TW201130019A (en) In vacuum optical wafer heater for cryogenic processing
MX393517B (es) Metodo para preparar estructura texturizada de celda solar de silicio cristalino.
WO2011112812A3 (en) Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching
WO2011112823A3 (en) Apparatus and methods for cyclical oxidation and etching
TW201129719A (en) Microelectronic processing component having corrosion-resistant layer, microelectronic workpiece processing apparatus incorporating same, and method of forming an article having the corrosion-resistant layer
WO2013019062A3 (ko) 에피택셜 공정을 위한 반도체 제조설비
WO2010127764A3 (de) Verfahren zum kontaktieren eines halbleitersubstrates
PH12017501562B1 (en) Activation method for silicon substrates
MY191131A (en) Photovoltaic devices and method of manufacturing
SG159484A1 (en) Method of manufacturing soi substrate
MY164303A (en) Method and device for processing silicon substrates
EP2429005A3 (en) Method for manufacturing a mono-crystalline silicon solar cell and etching method thereof
MY157203A (en) Aqueous acidic solution and etching solution and method for texturing the surface of single crystal and polycrystal silicon substrates
GB2541146A (en) Method of manufacturing a germanium-on-insulator substrate
SG142223A1 (en) Methods for characterizing defects on silicon surfaces, etching composition for silicon surfaces and process of treating silicon surfaces with the etching composition
IN2014CN02652A (ru)
EP2626891A3 (en) Activation process to improve metal adhesion
BR112012027611A2 (pt) dispositivo e método para texturizar mecanicamente uma pastilha de silício destinada a compreender uma célula fotovoltaica e pastilha de silício resultante
TW201130046A (en) Semiconductor device and process for production of semiconductor device
WO2009113874A3 (en) Method for texturing silicon surfaces and wafers thereof

Legal Events

Date Code Title Description
KA4Y Short-term patent lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration)