LT5479B - Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys - Google Patents
Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys Download PDFInfo
- Publication number
- LT5479B LT5479B LT2006041A LT2006041A LT5479B LT 5479 B LT5479 B LT 5479B LT 2006041 A LT2006041 A LT 2006041A LT 2006041 A LT2006041 A LT 2006041A LT 5479 B LT5479 B LT 5479B
- Authority
- LT
- Lithuania
- Prior art keywords
- vortex
- focusing error
- light
- intensity distribution
- focusing
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 49
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003913 materials processing Methods 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
Išradimas priklauso optinių technologijų sričiai ir yra skirtas fokusavimo klaidos nustatymo būdamsir įrenginiams, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, pagrįstas to paviršiaus atspindėtos šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimu. Registruojamas koherentinės šviesos pluoštas yra transformuotas į sūkurinį šviesos pluoštą, kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, o fokusavimo klaidą nustato registravimo plokštumoje pagal sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kuri atitinką tikslią fokusavimo padėtį minėtos medžiagos paviršiuje, o pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus.
Description
Išradimas priklauso optinių technologijų sričiai ir yra skirtas fokusavimo klaidos nustatymo būdams ir įrenginiams, kai j medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, pagrįstas to paviršiaus atspindėtos šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimu. Registruojamas koherentinės šviesos pluoštas yra transformuotas į sūkurinį šviesos pluoštą, kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, o fokusavimo klaidą nustato registravimo plokštumoje pagal sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kuri atitinką tikslią fokusavimo padėtį minėtos medžiagos paviršiuje, o pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus.
Išradimas priklauso optinių technologijų sričiai ir yra skirtas fokusavimo klaidos nustatymo būdams ir įrenginiams, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, pagrįstas to paviršiaus atspindėtos šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimu ir gali būti panaudotas duomenų nuskaitymo ir įrašymo į optines laikmenas įrenginiuose, lazerinio medžiagų apdirbimo įrenginiuose, konfokaliniuose mikroskopuose.
Yra žinomas fokusavimo klaidos nustatymo būdas, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimantis atspindėto nuo minėto paviršiaus šviesos pluošto atskyrimą, astigmatinį fokusavimą bei erdvinio intensyvumo skirstinio registravimą, nustatant fokusavimo klaidą pagal registravimo plokštumoje gauto astigmatiškai sufokusuoto pluošto elipsės formos erdvinio intensyvumo skirstinio nukrypimus nuo apskritinio formos, kuri atitinka tikslią fokusavimo minėtos medžiagos paviršiuje padėtį (žiūrėti išradimo aprašymą pagal Japonijos patentąNr.59033643).
Yra žinomas fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimantis atspindėtos nuo minėto paviršiaus koherentinės šviesos pluošto kelyje esančią optinę sistemą, kuri turi šviesos daliklį, atskiriantį atspindėtą šviesos pluoštą bei jį nukreipiantį per astigmatiškai fokusuojančią zoninę plokštelę į segmentinį fotodiodą, o fokusavimo klaidą nustato pagal fotodiodo registravimo plokštumoje gauto astigmatiškai sufokusuoto pluošto elipsės formos erdvinio intensyvumo skirstinio nukrypimus nuo apskritimo formos, kuri atitinka tikslią fokusavimo minėtame medžiagos paviršiuje padėtį (žiūrėti išradimo aprašymą pagal Japonijos patentąNr.59033643).
Žinomo būdo ir įrenginio trūkumas yra tas, kad fokusavimo klaidos perdavimo į detektuojamą signalą, gautą nustatant pluošto elipsės formos erdvinio intensyvumo skirstinio nukrypimus nuo apskritimo formos, funkcija nėra simetrinė teigiamiems ir neigiamiems optinio židinio nuokrypiams, o tai mažina fokusavimo klaidos nustatymo tikslumą.
Be to, fokusavimo klaidos nustatymas, pagrįstas registravimo plokštumoje gaunamų pluošto erdvinio intensyvumo elipsės formos skirstinio nukrypimų nuo apskritimo formos registravimu bei jų palyginimu, dėl gaunamų vaizdų mažo kontrasto turi mažą jautrumą bei šis jautrumas negali būti pasirenkamas.
Žinomame įrenginyje naudojama zoninė plokštelė pluoštą fokusuoja ne vien tik astigmatiškai, bet jį ir defokusuoja, dėl to sumažėja klaidos nustatymo įrenginio jautrumas ir tikslumas.
Artimiausias pagal techninį sprendimą yra žinomas fokusavimo klaidos nustatymo būdas, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimantis atspindėto nuo minėto paviršiaus šviesos pluošto atskyrimą, astigmatinį fokusavimąbei pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimą, nustatant fokusavimo klaidą pagal registravimo plokštumoje gauto astigmatiškai sufokusuoto pluošto elipsės formos erdvinio intensyvumo skirstinio nukrypimus nuo apskritimo formos, kuri atitinka tikslią fokusavimo minėtame medžiagos paviršiuje padėtį (žiūrėti išradimo aprašymą pagal Japonijos patentą Nr.58200442).
Artimiausias pagal techninį sprendimą yra žinomas fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimantis atspindėtos nuo minėto paviršiaus koherentinės šviesos pluošto kelyje išdėstytą optinę sistemą, kuri turi šviesos daliklį, atskiriantį atspindėtą šviesos pluoštą bei jį nukreipiantį į fokusavimo priemonę, susidedančią iš dviejų, nedideliu atstumu atskirtų ir statmenai sukryžiuotų cilindrinių lęšių, simetriškai tarp minėtų cilindrinių lęšių židinių išdėstytą segmentinį fotodiodą, registruojantį pluošto erdvinį intensyvumo skirstinį, o fokusavimo klaidą nustato pagal registruojamoje plokštumoje esančio pluošto elipsės formos erdvinio intensyvumo skirstinio nukrypimus nuo apskritimo formos, kuri atitinka tikslią fokusavimo minėtame medžiagos paviršiuje padėtį (žiūrėti išradimo aprašymą pagal
Japonijos patentą Nr. 58200442).
Žinomo būdo ir įrenginio trūkumas yra mažas tikslumas dėl to, kad fokusavimo klaidos perdavimo į detektuojamą klaidos signalą gautą lyginant registravimo plokštumoje registruojamus pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio elipsės formos nukrypimus nuo apskritimo formos, funkcija nėra simetrinė teigiamiems ir neigiamiems optinio židinio nuokrypiams.
Be to, šiuo būdu registravimo plokštumoje gaunami bei registruojami šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio elipsės formos nukrypimai nuo apskritimo formos yra mažo kontrasto ir dėl to žinomas įrenginys ir būdas turi mažą jautrumą bei šis jautrumas negali būti pasirenkamas.
Įrenginiui reikalingi brangūs cilindriniai lęšiai, sudėtingas jų suderinimas, dėl to žymiai padidėja jo savikaina.
Išradimu siekiama sukurti didesnio jautrumo ir tikslumo bei mažesnės savikainos fokusavimo klaidos nustatymo būdą bei įrenginį.
Uždavinio sprendimo esmė yra ta, kad fokusavimo klaidos nustatymo būde, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimančiame nuo minėto paviršiaus atspindėto koherentinio šviesos pluošto atskyrimą fokusavimąbei pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimą nustatant fokusavimo klaidą pagal registruojamo šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pakitimus registravimo plokštumoje, registruojamas koherentinės šviesos pluoštas yra transformuotas į sūkurinį šviesos pluoštą kurio erdvinis intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, o fokusavimo klaidą registravimo plokštumoje nustato pagal sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kur pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus.
Siūlomo būdo privalumas yra tas, kad fokusavimo židinio nuokrypio nuo medžiagos paviršiaus perdavimo į generuojamą klaidos signalą gautą registravimo plokštumoje matuojant pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, funkcija yra simetrinė teigiamiems ir neigiamiems optinio židinio nuokrypiams ir dėl to padidėja fokusavimo klaidos nustatymo tikslumas.
Be to, funkcinis ryšys tarp generuojamo fokusavimo klaidos signalo ir fokusavimo židinio nuokrypio nuo medžiagos paviršiaus gali būti pasirenkamas priklausomai nuo sūkurinio pluošto kompleksinės amplitudės, todėl atsiranda galimybė pasirinkti reikiamą fokusavimo klaidos nustatymo jautrumą.
Koherentinės šviesos pluoštas transformuojamas į sūkurinį pluoštą prieš nukreipiant jį į medžiagos paviršių.
Koherentinės šviesos pluoštas transformuojamas į sūkurinį pluoštą po jo atsispindėjimo nuo medžiagos paviršiaus.
Fokusavimo klaidos nustatymo įrenginyje, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimančiame atspindėtos nuo minėto paviršiaus koherentinės šviesos pluošto kelyje esančią optinę sistemą kuri turi šviesos daliklį, atskiriantį atspindėtą šviesos pluoštą bei nukreipiantį per fokusavimo priemonę į šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimo priemonę, kuri nustato fokusavimo klaidą pagal registruojamo šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pakitimus registravimo plokštumoje, koherentinės šviesos pluošto kelyje yra priemonė, transformuojanti šviesos pluoštą į sūkurinį šviesos pluoštą kurio erdvinis intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, bei kuris perduodamas į minėtą registravimo priemonę, o fokusavimo klaidą nustato pagal registravimo plokštumoje sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kur pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus.
Siūlomo įrenginio privalumas yra tas, kad fokusavimo klaidos perdavimo į generuojamą klaidos signalą gautą registravimo plokštumoje matuojant pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pakrypimo kampą nuo pradinės azimutinės koordinatės, funkcija yra simetrinė teigiamiems ir neigiamiems optinio židinio nuokrypiams ir dėl to padidėja fokusavimo klaidos nustatymo tikslumas.
Be to, funkcinis ryšys tarp generuojamo fokusavimo klaidos signalo ir fokusavimo židinio nuokrypio nuo medžiagos paviršiaus gali būti pasirenkamas priklausomai nuo sūkurinio pluošto kompleksinės amplitudės, todėl atsiranda galimybė pasirinkti reikiamą fokusavimo klaidos nustatymo jautrumą.
Be to, įrenginiui nereikalingi brangūs lęšiai bei jų suderinimas, dėl to sumažėja įrenginio savikaina.
Minėta šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė yra išdėstyta šviesos pluošto, nukreipiamo į minėtos medžiagos paviršių kelyje.
Minėta šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė yra išdėstyta šviesos pluošto, atspindėto nuo minėtos medžiagos paviršiaus, kelyje.
Šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė yra holografinė plokštelė.
Šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė yra fazinė plokštelė.
Detaliau išradimas paaiškinamas brėžiniais, kuriuose pavaizduota:
Fig. 1 -pasiūlyto fokusavimo klaidos nustatymo įrenginio optinė schema, pirmas variantas.
Fig.2 - pasiūlyto fokusavimo klaidos nustatymo įrenginio optinė schema, antras variantas.
Fig. 3 - sūkurinio šviesos pluošto intensyvumo skirstinio vaizdai registravimo plokštumoje.
Fig. 4 - holografinė plokštelė.
Fig. 5 - fokusavimo klaidos perdavimo į generuojamą klaidos signalą funkcija, naudojant holografinę plokštelę sūkuriniam pluoštui gauti.
Fig. 6 - fazinė plokštelė.
Siūlomas fokusavimo klaidos nustatymo būdas apima toliau nurodytą operacijų seką. Į medžiagos paviršių nukreipia ir fokusuoja sūkurinį koherentinės šviesos pluoštą kurio erdvinio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi. Nuo minėto medžiagos paviršiaus atspindėtą koherentinis šviesos sūkurinį pluoštą atskirtą jį fokusuoja bei registruoja jo erdvinio intensyvumo skirstinio vaizdą o fokusavimo klaidą nustato pagal registravimo plokštumoje sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kuri atitinką tikslią fokusavimo padėtį minėtos medžiagos paviršiuje, o pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus.
Kitas fokusavimo klaidos nustatymo būdo variantas skiriasi nuo aukščiau aprašytojo tuo, kad koherentinės šviesos pluošto transformavimą į sūkurinį pluoštą atlieka po atspindėto koherentinės šviesos pluošto atskyrimo.
Siūlomas fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys, kai iš koherentinės šviesos šaltinio, pavyzdžiui lazerio (1), į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas (Fig.l), apima minėto šviesos pluošto kelyje esančią koherentinės šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, priemonę (2), kuri per šviesos daliklį (3) sūkurinį šviesos pluoštą nukreipia į objektyvą (4). Objektyvas (4) sūkurinį šviesos pluoštą fokusuoja į medžiagos paviršių (5). Nuo medžiagos paviršiaus (5) atspindėto pluošto kelyje esantis objektyvas (4), nukreipia pluoštą į šviesos daliklį (3), atskiriantį atspindėtą nuo minėto paviršiaus (5) pluoštą bei nukreipiantį į lęšį (6). Objektyvas (4) ir lęšis (6) sudaro 4F
Ί sistemą arba teleskopą. Sudarytu teleskopu sūkurinio pluošto vaizdas medžiagos paviršiuje (5) yra perkeliamas į registruojančią priemonę, būtent segmentinį fotodiodą (7), sudarytą iš keturių segmentų: A, B, C ir D. Koherentinės šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, priemonė (2) gali būti holografinė plokštelė t.y. kompiuteriu suprojektuota amplitudinė difrakcinė gardelė, turinti dvi dislokacijas (Fig.4). Be to, minėta priemonė (2) taip pat gali būti fazinė plokštelė (Fig.6), modų keitiklis ir kt.
Fig. 2 pavaizduotas siūlomo fokusavimo klaidos nustatymo įrenginio kitas variantas, kuris skiriasi nuo aukščiau aprašytojo tuo, kad šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, priemonė (2) , yra išdėstyta nuo medžiagos paviršiaus atspindėto pluošto kelyje tarp šviesos daliklio (3) ir lęšio (6).
Tiksli objektyvo (4) židinio padėtis medžiagos paviršiuje (5) atitinka registravimo plokštumoje pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio vaizdą (9) (Fig.3), kuriam esant fotodiodo (7) generuojamas fokusavimo klaidos signalas (FKS) yra lygus nuliui. Esant objektyvo (4) židinio padėties nukrypimams nuo medžiagos paviršiaus (5), minėto skirstinio vaizdas registravimo plokštumoje atitinka , pavyzdžiui, vaizdą (8) arba (10) (Fig.3). Priklausomai nuo to ar židinys yra prieš ar už medžiagos paviršiaus (5), fotodiodo (7) generuojamas (FKS) atitinkamai yra neigiamas arba teigiamas .
Fokusavimo klaidos nustatymo įrenginio (Fig.1, Fig.2) veikimo principas yra pagrįstas tuo, kad fokusavimo klaidą nustato pagal sūkurinio šviesos pluošto, kurio erdvinis intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, pasisukimo kampą segmentinio fotodiodo (7) registravimo plokštumoje. Šviesos pluoštas, sklisdamas per transformavimo priemonę (2), pavyzdžiui per kompiuteriu suprojektuotą amplitudinę difrakcinę gardelę (Fig.4), transformuojasi į sūkurinį pluoštą. Suformuotas sūkurinis šviesos pluoštas sklisdamas erdve sukasi. Sūkurinio pluošto pasisukimo kampas yra registruojamas segmentiniu fotodiodu (7), kuris sudarytas iš keturių segmentų: A, B, C ir D. Segmentinio fotodiodo (7) atskirų segmentų apšviestumas priklauso nuo sūkurinio pluošto, moduliuoto azimutinės koordinatės kryptimi, pasisukimo kampo. Fokusavimo klaida t.y. objektyvo (4) židinio padėties nuokrypis nuo medžiagos paviršiaus (5), nustatomas pagal segmentinio fotodiodo (7) generuojamą fokusavimo klaidos signalą (FKS). FKS yra apibrėžiamas taip: FK8=(VA+Vc)-(VB+VD), kur VA, Ve, VB ir VD yra fotodiodo (7) atitinkamų segmentų A, C, B ir D įtampa arba apšviestumas. Esant tiksliai objektyvo (4) židinio padėčiai medžiagos paviršiaus (5) atžvilgiu, fotodiodo (7) generuojamas FKS yra lygus nuliui, o esant objektyvo (4) židinio padėties nuokrypiui, fotodiodo (7) generuojamas FKS yra nelygus nuliui ir FKS ženklas priklauso nuo tuo ar objektyvo (4) židinys yra prieš ar už medžiagos paviršiaus.
Vienas iš pavyzdžių sūkurinio pluošto, kurio erdvinis intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, yra antros eilės šviesos sūkurio ir Gauso pluošto suma. Tokio sudėtinio pluošto intensyvumo skirstinyje susiformuoja du intensyvumo nuliai kurie simetriškai išsidėstę priešinguose pluošto pusėse (Fig. 3). Atstumas tarp intensyvumo nulių sūkurinio pluošto skirstinyje priklauso nuo Gauso pluošto ir antros eilės šviesos sūkurio amplitudžių santykio. Jei Gauso pluošto amplitudė yra daug mažesnė nei antros eilės šviesos sūkurio, tada sūkurinio pluošto intensyvumo nuliai susilieja į vieną intensyvumo nulį, sūkurinio pluošto intensyvumo skirstinio centre. Šiuo atveju sūkurinio pluošto intensyvumo moduliacija azimutinės koordinatės kryptimi yra nykstamai maža ir jis netinkamas objektyvo židinio padėties nuokrypio nuo medžiagos paviršiaus detektavimui. Priešingu atveju, kai Gauso pluošto amplitudė yra daug didesnė nei antros eilės šviesos sūkurio, intensyvumo nuliai išsidėsto sūkurinio pluošto periferijoje ir intensyvumo moduliacija azimutinės koordinatės kryptimi taip pat yra nykstamai maža. Objektyvo (4) židinio padėties nuokrypio nuo medžiagos paviršiaus (5) detektavimui geriausiai tinka sūkurinis pluoštas kurio intensyvumo skirstinio moduliacija azimutinės koordinatės kryptimi yra maksimali. Tokiam sūkuriniam pluoštui nusklidus atstumą nuo z = 0 (atstumas z atskaitomas nuo pluošto sąsmaukos) iki zR sūkurinio pluošto intensyvumo nuliai pasisuka kampu tt/4. O nusklidus atstumą nuo z = 0 iki begalybės sūkurinio pluošto intensyvumo nuliai pasisuka kampu tt/2. Čia zR yra Relėjaus (Rayleigh) ilgis, tai atstumas kurį nusklidęs pluoštas išplinta du kartus, o intensyvumas sumažėja 21/2 kartų. Lygiai taip pat sūkuriniam pluoštui nusklidus atstumą nuo -oo iki z = 0 jo intensyvumo nuliai pasisuka kampu ττ/2, o nusklidus atstumą nuo - zR iki z = 0 intensyvumo nulių pasisukimo kampas lygus n/4. Taigi, atstume nuo -oo iki oo sūkurinis pluoštas pasisuka kampu n, o pluošto sąsmaukoje atstume nuo -zR iki zR sūkurinis pluoštas pasisuka kampu tt/2.
Fotodetektorius (7) detektuoja atspindėto sūkurinio pluošto pasisukimo kampą priklausomai nuo atspindinčio paviršiaus padėties objektyvo židinio atžvilgiu. Sūkurinis šviesos pluoštas yra Lagero ir Gauso modų superpozicija, kurio kompleksinės amplitudės ΰ
išraiška yra: w(r) = ^AjUn m (r), čia Aj yray'-sios modos kompleksinė amplitudė ir un m yra Lagero ir Gauso moda, Q yra sūkurinį šviesos pluoštą sudarančių Lagero ir Gauso modų skaičius.
Claims (8)
- IŠRADIMO APIBRĖŽTIS1. Fokusavimo klaidos nustatymo būdas, kai į medžiagos paviršių^ nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimantis nuo minėto paviršiaus atspindėto koherentinio šviesos pluošto atskyrimą fokusavimą bei erdvinio intensyvumo skirsnio registravimą nustatant fokusavimo klaidą pagal registruojamo šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio vaizdo pakitimus registravimo plokštumoje, besiskiriantis tuo, kad registruojamas koherentinės šviesos pluoštas yra transformuotas į sūkurinį šviesos pluoštą kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, o fokusavimo klaidą nustato registravimo plokštumoje pagal sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kur pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus .
- 2. Fokusavimo klaidos nustatymo būdas pagal 1 punktą besiskiriantis tuo, kad koherentinės šviesos pluoštą transformuoja į sūkurinį pluoštą prieš nukreipiant jį į medžiagos paviršių.
- 3. Fokusavimo klaidos nustatymo būdas pagal 1 punktą besiskiriantis tuo, kad koherentinės šviesos pluoštą transformuoja į sūkurinį pluoštą po jo atsispindėjimo nuo medžiagos paviršiaus.
- 4. Fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys, kai į medžiagos paviršių (5) nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, apimantis atspindėtos nuo minėto paviršiaus (5) koherentinės šviesos pluošto kelyje esančią optinę sistemą kuri turi šviesos daliklį (3), atskiriantį atspindėtą šviesos pluoštą bei nukreipiantį per fokusavimo priemonę (6) į šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimo priemonę (7), kuri nustato fokusavimo klaidą pagal registruojamo šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio vaizdo pakitimus registravimo plokštumoje, besiskiriantis tuo, kad koherentinės šviesos pluošto kelyje yra priemonė (2), transformuojanti šviesos pluoštą į sūkurinį šviesos pluoštą kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, o fokusavimo klaidą nustato pagal registravimo plokštumoje sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kur pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus.
- 5. Fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys pagal 4 punktą besiskiriantis tuo, kad minėta šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė (2) yra išdėstyta nukreipiamo į minėtos medžiagos paviršių (5) šviesos pluošto kelyje.
- 6. Fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys pagal 4 punktą besiskiriantis tuo, kad minėta šviesos pluošto· transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė (2) yra išdėstyta atspindėto nuo minėtos medžiagos paviršiaus (5) šviesos pluošto kelyje.
- 7. Fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys pagal bet kurį iš 4 - 6 punktų besiskiriantis tuo, kad minėta šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė (2) yra holografinė plokštelė.
- 8. Fokusavimo klaidos nustatymo įrenginys pagal bet kurį iš 4 - 6 punktų besiskiriantis tuo, kad minėta šviesos pluošto transformavimo į sūkurinį pluoštą priemonė (2) yra fazinė plokštelė.Fig.1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2006041A LT5479B (lt) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| LT2006041A LT5479B (lt) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| LT2006041A LT2006041A (lt) | 2007-12-27 |
| LT5479B true LT5479B (lt) | 2008-03-26 |
Family
ID=38814651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| LT2006041A LT5479B (lt) | 2006-05-29 | 2006-05-29 | Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| LT (1) | LT5479B (lt) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58200442A (ja) | 1982-05-19 | 1983-11-22 | Ricoh Co Ltd | 光ピツクアツプ等の焦点検出装置 |
| JPS5933643A (ja) | 1982-08-17 | 1984-02-23 | Mitsubishi Electric Corp | 光ピツクアツプ |
-
2006
- 2006-05-29 LT LT2006041A patent/LT5479B/lt not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58200442A (ja) | 1982-05-19 | 1983-11-22 | Ricoh Co Ltd | 光ピツクアツプ等の焦点検出装置 |
| JPS5933643A (ja) | 1982-08-17 | 1984-02-23 | Mitsubishi Electric Corp | 光ピツクアツプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| LT2006041A (lt) | 2007-12-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2913984B2 (ja) | 傾斜角測定装置 | |
| US8570502B2 (en) | Scanning mirror device | |
| NO743521L (lt) | ||
| JPH0723844B2 (ja) | 表面形状測定器 | |
| KR940008404B1 (ko) | 자동초점장치 및 방법 | |
| JPH10239051A (ja) | 傾斜角測定装置 | |
| KR20000057176A (ko) | 거리측정 방법 및 거리측정 장치 | |
| JP2020076718A (ja) | 距離測定装置及び移動体 | |
| US20010050763A1 (en) | Surveying instrument having a phase-difference detection type focus detecting device and a beam-splitting optical system | |
| WO2002093567A2 (en) | Focus error correction method and apparatus | |
| JP3286893B2 (ja) | レーザレーダ装置 | |
| JP3120885B2 (ja) | 鏡面の測定装置 | |
| JPS6161178B2 (lt) | ||
| JP2019168313A (ja) | 光学式高さ計測用光モジュール | |
| LT5479B (lt) | Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys | |
| JPS6341402B2 (lt) | ||
| JP4323230B2 (ja) | 光学系偏心測定装置及び光学系偏心測定方法 | |
| JP3517262B2 (ja) | 光軸調整装置および光軸調整方法 | |
| US6750436B2 (en) | Focus error detection apparatus and method having dual focus error detection path | |
| JP2005003667A (ja) | 基準軸設定光学系、並びにこれを用いた偏心量測定機及び偏心測定方法 | |
| JP2003161610A (ja) | 光学式測定装置 | |
| JP3066056B2 (ja) | レンズの偏心量測定方法およびその装置 | |
| JP2808713B2 (ja) | 光学式微小変位測定装置 | |
| JPS6172214A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPH1123953A (ja) | 焦点検出装置を備えた顕微鏡および変位計測装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM9A | Lapsed patents |
Effective date: 20110529 |