LT2006041A - Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys - Google Patents

Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys

Info

Publication number
LT2006041A
LT2006041A LT2006041A LT2006041A LT2006041A LT 2006041 A LT2006041 A LT 2006041A LT 2006041 A LT2006041 A LT 2006041A LT 2006041 A LT2006041 A LT 2006041A LT 2006041 A LT2006041 A LT 2006041A
Authority
LT
Lithuania
Prior art keywords
focusing error
light beam
material surface
error detection
rotation angle
Prior art date
Application number
LT2006041A
Other languages
English (en)
Other versions
LT5479B (lt
Inventor
Kęstutis REGELSKIS
Valerijus SMILGEVIČIUS
Gediminas RAČIUKAITIS
Original Assignee
Fizikos Institutas
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fizikos Institutas filed Critical Fizikos Institutas
Priority to LT2006041A priority Critical patent/LT5479B/lt
Publication of LT2006041A publication Critical patent/LT2006041A/lt
Publication of LT5479B publication Critical patent/LT5479B/lt

Links

Landscapes

  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)

Abstract

Išradimas priklauso optinių technologijų sričiai ir yra skirtas fokusavimo klaidos nustatymo būdamsir įrenginiams, kai į medžiagos paviršių nukreipiamas ir fokusuojamas koherentinės šviesos pluoštas, pagrįstas to paviršiaus atspindėtos šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio registravimu. Registruojamas koherentinės šviesos pluoštas yra transformuotas į sūkurinį šviesos pluoštą, kurio intensyvumo skirstinys yra moduliuotas azimutinės koordinatės kryptimi, o fokusavimo klaidą nustato registravimo plokštumoje pagal sūkurinio šviesos pluošto erdvinio intensyvumo skirstinio pasisukimo kampą atžvilgiu pradinės azimutinės koordinatės, kuri atitinką tikslią fokusavimo padėtį minėtos medžiagos paviršiuje, o pasisukimo kampo vertė priklauso nuo fokusavimo tikslios padėties nukrypimo nuo medžiagos paviršiaus.
LT2006041A 2006-05-29 2006-05-29 Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys LT5479B (lt)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2006041A LT5479B (lt) 2006-05-29 2006-05-29 Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT2006041A LT5479B (lt) 2006-05-29 2006-05-29 Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys

Publications (2)

Publication Number Publication Date
LT2006041A true LT2006041A (lt) 2007-12-27
LT5479B LT5479B (lt) 2008-03-26

Family

ID=38814651

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
LT2006041A LT5479B (lt) 2006-05-29 2006-05-29 Fokusavimo klaidos nustatymo būdas ir įrenginys

Country Status (1)

Country Link
LT (1) LT5479B (lt)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58200442A (ja) 1982-05-19 1983-11-22 Ricoh Co Ltd 光ピツクアツプ等の焦点検出装置
JPS5933643A (ja) 1982-08-17 1984-02-23 Mitsubishi Electric Corp 光ピツクアツプ

Also Published As

Publication number Publication date
LT5479B (lt) 2008-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009120706A3 (en) Autofocus method and apparatus for wafer scribing
RU2013136304A (ru) Устройство для лучевой обработки
WO2008149949A1 (ja) レーザー加工方法及びレーザー加工品
WO2007130313A3 (en) Laser safety system
EP2006848A3 (en) Optical disc device and converging position correction method
TW200603440A (en) Laser irradiation method and method for manufacturing semiconductor device using the same
WO2009117048A3 (en) System and methods for target material delivery in a laser produced plasma euv light source
MX2009004286A (es) Dispositivo para cirugia de ojo con laser optico.
WO2011123500A3 (en) Laser beam positioning system
WO2009134381A3 (en) Laser scoring with curved trajectory
WO2016024158A3 (en) Confocal imaging apparatus with curved focal surface or target reference element and field compensator
WO2008133650A3 (en) Method and system for providing a high definition triangulation system
WO2015007799A3 (de) Lasertracker mit zielsuchfunktionalität
JP2015505617A5 (lt)
JP2007147583A5 (lt)
TW200801839A (en) Moving beam with respect to diffractive optics in order to reduce interference patterns
WO2019118756A3 (en) Scanning systems for emr-based tissue treatment
WO2010012839A3 (de) Objektiv für eine dentalkamera mit gekippten linsen zur verhinderung von direktem reflexlicht
ATE551701T1 (de) Röntgenstrahlenverdichtungsverfahren und vorrichtung mit phasenwiederherstellungsverfahren
TW200943288A (en) Optical disk apparatus, position control method, and optical pickup
TW200728767A (en) Laser optical device
EP2058688A3 (en) Beam-adjusting optics
TWI266860B (en) Optical inspection apparatus and optical inspection method
WO2006090248A3 (en) Method and apparatus for laser processing
WO2006102026A3 (en) Focusing system using light source and image sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM9A Lapsed patents

Effective date: 20110529