LT4805B - Dujų jutiklis - Google Patents

Dujų jutiklis Download PDF

Info

Publication number
LT4805B
LT4805B LT1999088A LT99088A LT4805B LT 4805 B LT4805 B LT 4805B LT 1999088 A LT1999088 A LT 1999088A LT 99088 A LT99088 A LT 99088A LT 4805 B LT4805 B LT 4805B
Authority
LT
Lithuania
Prior art keywords
gas
porous silicon
contacts
concentration
electrically conductive
Prior art date
Application number
LT1999088A
Other languages
English (en)
Other versions
LT99088A (lt
Inventor
Ingrida Ancutienė
Vitalijus Janickis
Algirdas Jonas Galdikas
Audružis Mironas
Arūnas Šetkus
Viktorija Strazdienė
Irena Šimkienė
Original Assignee
Kauno technologijos universitetas
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kauno technologijos universitetas filed Critical Kauno technologijos universitetas
Priority to LT1999088A priority Critical patent/LT4805B/lt
Publication of LT99088A publication Critical patent/LT99088A/lt
Publication of LT4805B publication Critical patent/LT4805B/lt

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Description

Siūlomo išradimo tikslas - pažeminti darbo temperatūrą iki kambario temperatūros ir supaprastinti matavimus kambario (aplinkos) temperatūroje, panaudojant akyto silicio padėklą su vario sulfido dangomis.
Tikslas pasiekiamas tuo, kad rezistyvinis dujų jutiklis susideda iš izoliuojančio akyto silicio padėklo su izoliuojančiu SiO2 sluoksniu, dujoms jautraus sluoksnio ir planarinių metalo (pavyzdžiui, vario ) kontaktų. Dujoms jautrus elementas yra akyto silicio padėklas su elektrai laidžiomis dangomis. Kaip elektrai laidžios dangos ant akyto silicio padėklo yra suformuoti vario sulfido sluoksniai. Matuojamas dujoms jautraus elemento elektrinio laidumo pastoviai srovei pokytis, indukuotas tiriamų aplinkos dujų. Čia panaudojama iki šiol nežinoma vario sulfido dangų ant akyto silicio savybė - jautris dujoms kambario temperatūroje.
Išradimas iliustruojamas brėžiniu: fig.1 - principinė rezistyvinio dujų jutiklio struktūrinė schema.
Dujų jutiklis sudarytas iš akyto silicio su izoliuojančiu S1O2 sluoksniu padėklo 1, ant kurio suformuotos dujoms jautrios CuxS dangos 2, ir ant jų užlydyti planariniai metalo kontaktai 3.
Dujų koncentracija nustatoma prie kontaktų pritvirtinus elektrinius įvadus ir išmatavus varžos pokytį.
Siūlomas išradimas, palyginus jį su žinomu, pasižymi šiais privalumais:
- leidžia žymiai sumažinti dujų jutiklių darbo temperatūrą (200500°C iki kambario temperatūros),
- paprastas (nesudėtingas) elektrai laidžių vario sulfidų dangų gavimo būdas,
- naudojamos medžiagos yra nedeficitinės ir pigios.

Claims (2)

  1. IŠRADIMO APIBRĖŽTIS
    1. Dujų jutiklis, susidedantis iš izoliuojančio padėklo, dujoms jautraus sluoksnio ir kontaktų, besiskiriantis tuo, kad dujoms jautrus elementas yra akyto silicio su izoliuojančiu S1O2 sluoksniu padėklas su elektrai laidžiomis dangomis.
  2. 2. Dujų jutiklis pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad kaip elektrai laidžios dangos ant akyto silicio yra suformuoti vario sulfido sluoksniai.
LT1999088A 1999-07-20 1999-07-20 Dujų jutiklis LT4805B (lt)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT1999088A LT4805B (lt) 1999-07-20 1999-07-20 Dujų jutiklis

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
LT1999088A LT4805B (lt) 1999-07-20 1999-07-20 Dujų jutiklis

Publications (2)

Publication Number Publication Date
LT99088A LT99088A (lt) 2001-01-25
LT4805B true LT4805B (lt) 2001-06-25

Family

ID=19722101

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
LT1999088A LT4805B (lt) 1999-07-20 1999-07-20 Dujų jutiklis

Country Status (1)

Country Link
LT (1) LT4805B (lt)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2166247A (en) 1984-10-25 1986-04-30 Atomic Energy Authority Uk Gas sensors
US4887455A (en) 1987-04-06 1989-12-19 Cogent Limited Gas sensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2166247A (en) 1984-10-25 1986-04-30 Atomic Energy Authority Uk Gas sensors
US4887455A (en) 1987-04-06 1989-12-19 Cogent Limited Gas sensor

Also Published As

Publication number Publication date
LT99088A (lt) 2001-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4307373A (en) Solid state sensor element
WO2001042775A1 (en) Absolute humidity sensor
JP4027460B2 (ja) 電気化学センサ
JPH0517650Y2 (lt)
WO2004095013A1 (en) A thin semiconductor film gas sensor device
US7918123B2 (en) Gas sensor
JPH04216452A (ja) 混合気の組成とガス速度を同時に検出するためのセンサ
US20090134026A1 (en) Gas sensor and method for the production thereof
CA1286360C (en) Heated solid electrolyte oxygen sensor having unique heater element
LT4805B (lt) Dujų jutiklis
US8324913B2 (en) Moisture sensor and method for measuring moisture of a gas-phase medium
JP5984959B2 (ja) 高い測定精度を有する赤外光センサチップ、および、当該赤外光センサチップの製造方法
JP2004325142A (ja) ガスセンサ
US3522732A (en) Sensing element for hygrometers
GB2002907A (en) Semiconductor gas sensing elements
US6796166B1 (en) All polymer humidity sensor based on laser carbonized polyimide substrate
US6145371A (en) Gas sensor
LT4584B (lt) Dujų jutiklis
RU2242752C1 (ru) Датчик влажности
EP1160567A2 (en) Sensor and method for measuring gas concentrations
RU1805367C (ru) Конденсационный гигрометр
EP0936461A2 (en) Gas sensor
JP2000131258A (ja) 汚損検出センサ
EP0701123A1 (en) Formaldehyde vapour detector
JPH04235338A (ja) 湿度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
MM9A Lapsed patents

Effective date: 20010720