KR980011817A - 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명에 의한 용액 공급 설비는 피팅부, 즉 아웃터 피팅의 길이를 연장하고, 연장된 아웃터 피팅에 보호관이 삽입될 수 있도록 보호관의 직경보다 큰 삽입공을 형성하여 직경이 약 1.62mm인 제2공급관을 먼저 아웃터피팅에 삽입하고 그 후에 제2보호관을 보호해주는 보호관을 아웃터 피팅 삽입공에 삽입함으로 제2공급관은 외부로 노출되지 않는다.

따라서, 제2공급괌이 외부의 충격에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있으므로 공정불량 및 가동시간이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Description

공급관을 보호하기 위한 피팅 구조

본 발명은 OCD 용액 공급 설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 OCD 용액의 공급관이 외부의 충격으로 인해 꺾이는 것을 방지하기 위해서 공급관이 삽입되는 아웃터 피팅을 연장하여 공급관과 보호관을 함께 삽입한 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조에 관한 것이다.

일반적으로 OCD 용액 공급 설비는 용액 저장용기와, 용액 공급관과, 필터와, 밸브와, 분사노즐로 형성된 것으로 IPA(Isopropyl Alcohol)와 Si(Silicon)가 혼합된 OCD 용액을 공정이 진행될 웨이퍼와 분사하는 장치이다.

여기서, 용액을 공급하는 공급관의 직경은 1/16인치(약1.62mm)로써 그 굵기가 매우 얇기 때문에 충격에 약하다.

이와 같이 1/16 인치 공급관이 충격을 받으면 꺾이게 되는데, 꺾여진 부분에서 OCD 용액에 미세한 알갱이로 존재하는 Si이 쌓여 OCD 용액의 흐름을 방해하거나 관을 막는다.

도 1은 종래의 OCD 용액 공급 설비의 구성을 간략하게 나타낸 구성도이다.

종래의 OCD 용액 공급 설비에는 OCD 용액을 저장하는 용액 저장용기(1)가 형성되어 있고, 용액 저장용기(1) 상부 일정 영역에는 가스 주입관(3)이 형성되어 있고 제1공급관(5)이 삽입되어 있다.

제1공급관(5)은 OCD 용액을 필터링해주는 필터(7)와, 제1공급관을 개폐하는 개폐 밸브(9)와, 서크-백(suck back) 밸브(11)와 연통되어 있으며, 또한, 제1공급관(5)은 피팅부(13)에 의해 제2공급관(15)과 연결되어 있다. 여기서, 제1공급관(5)은 피팅부(13)의 인너 피팅(13b)에 삽입되어 있고 제2공급관(15)은 피팅부(13)의 아웃터 피팅(13a)에 삽입되어 있으며, 상기 인너 피팅(13b)과 상기 아웃터 피팅(13a)은 나사 결합되어 있다.

또한, 아웃터 피팅(13a)과 일정간격 이격되어 보호관(17)이 형성되어 있고, 보호관은 제2공급관(15) 외부에 둘러싸고 있으며, 보호관(17)에 삽입되어 있는 제2공급관(15)은 분사 노즐(19)까지 연장되어 분사 노즐(19)에 삽입되어 있다.

여기서, 제2공급관(15)의 직경은 약 1/16인치(약 1.62mm)이고, 보호관(17)의 직경은 약 1/8인치(약 3.05mm)이다.

이와 같이 구성된 종래의 OCD 용액 공급 설비의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 개폐 밸브(9)를 개방한 상태에서 OCD 용액 저장용기(1)에 형성되어 있는 가스 주입관(3)에 헬륨 가스를 주입하면 헬륨가스로 인해 OCD 용액이 제1공급관(5)으로 유입되는데 제1공급관(5)으로 유입된 OCD 용액중에는 Si이 응고되어 기준치 이상으로 커진 알갱이가 존재하게 되고 기준치보다 커진 알갱이가 제2공급관(15)으로 유입되면 제2공급관(15)이 막히거나 OCD 용액의 흐름을 방해하게 된다. 따라서, 기준치보다 커진 Si 알갱이를 제거하기 위해서 OCD 용액은 필터(7)를 통과하게 되고 필터링된 OCD 용액이 제2공급관(15)으로 공급된다.

제2공급관(15)으로 공급된 OCD 용액은 분사 노즐(19)에서 스핀들(도시안됨) 위에 놓여져 있는 웨이퍼에 분사된다.

여기서, OCD 용액이 웨이퍼에 일정량, 예를 들어 1.2~1.4cc 정도 분사되면 개폐 밸브(9)를 폐쇄하여 제2공급관(15)으로 OCD 용액이 공급되는 것을 차단하고 분사 노즐(19) 헤드 외부에 잔존해 있는 OCD 용액이 공기중에 노출되어 응고되는 것을 방지하기 위해서 서크-백 밸브(11)를 구동시켜 OCD 용액을 관 내부로 약 2mm 정도 빨아들여 OCD 용액이 최대한 공기중에 노출되지 않도록 한다.

그러나, 작업자가 제2공급관을 아웃터 피팅에 삽입하기 위해서는 도 1에 도시된 바와 같이 제2공급관 일정부분이 보호관 외부로 노출되어야 한다. 여기서 보호관 외부로 노출된 제2공급관은 약한 충격에도 쉽게 꺾여 상기 꺾인 부분에서 OCD 용액에 미세한 알갱이로 존재하는 Si이 쌓이게 되고 이로 인해 OCD 용액의 흐름을 방해되어 공정상 불량이 야기되며 일정시간이 경과하면 제2공급관이 막히게 됨으로 제2공급관을 자주 교체하여 설비 가동률의 저하되는 원인이 되었다.

따라서, 본 발명의 목적은 보호관 외부로 노출된 제2공급관이 외부의 충격으로 인해 손상되는 것을 방지하기 위해서 제2공급관과 보호관을 아웃터 피팅에 함께 삽입하여 제2공급관이 외부의 충격으로 인해 손상되는 것을 방지하여 용액의 흐름이 방해되거나 관이 막히는 것을 방지함으로 웨이퍼 수욜을 향상시키고 설비 가동률을 증가시키기 위한 공급관을 보호하기 위해 연정된 피팅을 제공하는데 있다.

제1도는 종래의 OCD 용액 공급 설비의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도,

제2도는 본 발명에 의한 OCD 용액 공급 설비의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도.

제3도는(A)는 도 2 A부분을 확대한 단면도이고, (B)는 도 2 B부분을 확대한 부분 확대 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

21 : 용액 저장용기 25 : 제 1 공급관

27 : 필터 29 : 개폐 밸브

31 : 서크-백 밸브(Suck Back Valve) 33a : 아웃터 피팅

33b : 인너 피팅 35 : 제 2 공급관

37, 38 : 보호관 39 : 분사 노즐

41 : 엘보우관

이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 피팅부의 아웃터 피팅의 길이를 연장하고, 아웃터 피팅에 보호관보다 약간 큰 삽입공을 형성하며, 제2공급관이 아웃 피팅에 용이하게 삽입될 수 있게 보호관을 분리하며, 분리된 보호관을 연결 수단에 삽입한 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 의한 OCD 용액 공급 설비를 도 2 및 도 3을 참조하여 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 의한 OCD 용액 공급관의 구성을 간략하게 나타낸 구성도이고, 도 3은 도 2의 A, B 부분을 확대한 단면도이다.

본 발명에 의한 OCD 용액 공급 설비는 OCD 용액을 저장하는 용액 저장용기(21)가 형성되어 있고, 용액 저장용기(21) 상부 일정 영역에는 가스 주입관(23)이 형성되어 있으며, 제1공급관(25)이 삽입되어 있다.

제1공급관(25)은 OCD 용액을 필터링해주는 필터(27)와, 제1공급관을 개폐하는 개폐 밸브(29)와, 서크-백 밸브(31)와 연통되어 있고, 제1공급관(25)은 피팅부(35)과 연결되어 있다.

또한, 제1공급관(25)은 피팅부(33)의 인너 피팅(33b)에 삽입되어 있고 제2공급관(35)과 보호관(37)은 피팅부(33)의 아웃터 피팅(33a)에 삽입되어 있으며, 인너 피팅(33b)과 아웃터 피팅(33a)은 나사 결합되어 있다.

여기서, 도 3 (A)에 도시된 바와 같이 피팅부(33)의 아웃터 피팅(33a)의 길이가 제2공급관(30)쪽으로 연장되어 형성되어 있고, 또한 아웃터 피팅(33a)에 보호관(37)이 삽입될 수 있도록 보호관(33) 직경보다 큰 삽입공(34)이 형성되어 있는데 삽입공(34)의 직경은 3.1mm 정도이다.

또한, 도 3 (B)에 도시된 바와 같이 제2공급관(35)을 보호해 주는 보호관(37, 38)이 분리되어 보호관(37)과 보호관(38) 사이 일정 간격이 이격되어 있으며 보호관들(37, 38)이 이격된 부분에서는 제2공급관(35)이 외부로 노출되어 있다.

이와 같이 분리되어 있는 보호관들(37,38)은 연결 수단, 예를 들어 엘보우(elbow)관(41)에 삽입되어 서로 연결되어 있는데, 엘보우관(41)의 직경은 보호관들(37, 38)의 직경보다 큰 관이다.

여기서, 피팅측에 형성되어 있는 보호관(37)은 엘보우관(41) 내외로 유동성 있게 이동할 수 있으며, 분사 노즐측에 형성되어 있는 보호관(38)은 엘보우관(41)에 고정되어 있고, 보호관 말단에는 분사노즐이 형성되어 있다.

이때, 예를 들어 제2공급관(35)은 1/16 인치(약1.62mm)이고, 보호관(37, 38)은 1/8 인치(약 3.05mm)이며, 엘보우관(41)은 1/4 인치(6.1mm)이다.

이와 같이 구성된 OCD 용액 공급 설비의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 개폐 밸브(29)를 개방한 상태에서 OCD 용액 저장용기(21)에 형성되어 있는 가스 주입관(23)에 헬륨 가스를 주입하면 헬륨 가스로 인해 OCD 용액이 제1공급관(25)으로 유입되는데 제1공급관(25)으로 유입된 OCD 용액 중에는 Si가 응고되어 기준치 이상으로 커진 알갱이가 존재하게 되고 기준치보다 커진 알갱이가 제2공급관(35)으로 유입되면 제2공급관(35)이 막히거나 OCD 용액의 흐름을 방해하게 된다. 따라서, 기준치보다 커진 Si 알갱이를 제거하기 위해서 OCD 용액은 필터(27)를 통과하게 되고 필터링된 OCD 요액이 제2공급관(35)으로 공급된다.

제2공급관(35)으로 공급된 OCD 용액은 분사 노즐(39)에서 스핀들(도시안됨) 위에 놓여져 있는 웨이퍼에 분사된다.

여기서, OCD 용액이 웨이퍼에 일정량, 예를 들면 1.2~1.4cc 정도 분사되면 개폐 밸브(29)를 폐쇄하여 OCD 용액이 제2공급관(35)으로 공급되는 것을 차단함과 아울러 분사 노즐(39) 헤드 외부에 잔존해 있는 OCD 용액이 공기중에 노출되어 응고되어 관이 막히는 것을 방지하기 위해서 서크-백 밸브(31)를 구동시켜 OCD 용액을 관내로 약 2mm 정도 빨아들여 OCD 용액이 최대한 공기중에 노출되지 않도록 한다.

만약 제2공급관(35)을 교체하여 아웃터 피팅(33a)에 제2공급관(35)을 삽입할 경우 먼저 아웃터 피팅(33a)에 삽입될 보호관(37)을 좌측으로 이동시켜 엘보우관(41)으로 밀어 넣는다. 그러면, 보호관(37)이 엘보우관(41) 내부로 밀려들어간 만큼 제2공급관(35)이 보호관(37) 외부로 노출된다. 제2공급관(35)이 보호관(37) 외부로 노출되면 작업자는 노출된 제2공급관(35)을 잡고 연장된 아웃터 피팅(33a)에 제2공급관(35)을 삽입한 후 엘보우관(41) 내부로 이동시킨 보호관(37)을 다시 엘보우관(41) 우측으로 이동시켜 엘보우관(41) 외부로 빼낸 후 아웃터 피팅(33a)에 형성되어 있는 삽입공(34)에 보호관(37)을 삽입하여 제2공급관(35)이 외부로 노출되는 것을 방지한다.

이와 같이 제2공급관(35)이 외부로 노출되지 않으므로 외부의 충격에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있으므로 공정불량 및 가동시간이 저하되는 것을 방지 할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 아웃터 피팅의 길이를 연장하여 제2공급관과 보호관을 아웃터 피팅에 함께 삽입하면 제2공급관이 외부로 노출되지 않으므로 제2공급관이 외부 충격에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있어 공정 불량으로 인해 웨이퍼 수율이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 가동시간을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 용액 저장 용기와, 상기 용액 저장용기에 삽입되어 용액을 공급하는 제1공급관과, 상기 제1공급관과 연통되어 용액을 필터링해주는 필터와, 상기 제1공급관을 개폐해주는 개폐 밸브와, 분사 노즐 헤드 외부에 잔존해 있는 용액을 관내로 흡입하는 서크-백 밸브와, 상기 분사 노즐 헤드와 연결된 제2공급관과, 상기 제1공급관과 상기 제2공급관을 연결하는 피팅부 및 상기 제2공급관을 둘러싸는 보호관으로 구성된 용액 공급 설비에 있어서, 상기 피팅부는 일측단부에 상기 제2공급관과 상기 보호관이 삽입되는 삽입공이 형성된 아웃터 피팅과 상기 아웃터 피팅과 나사 결합되고 상기 제1공급관이 삽입되는 인너 피팅을 포함하는 것을 특징으로 하는 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조.
2. 제1항에 있어서, 상기 삽입공의 직경은 상기 보호관의 삽입이 가능하도록 상기 보호관의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조.
3. 제2항에 있어서, 상기 삽입공의 직경은 대략 3.1mm인 것을 특징으로 하는 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조.
4. 제1항에 있어서, 상기 보호관은 상기 분사 노즐에 고정된 제1보호관과 상기 삽입공에 분리 가능하게 고정된 제2보호관으로 각각 분리 형성된 것을 특징으로 하는 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1보호관과 상기 제2보호관은 연결관에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조.
6. 제5항에 있어서, 상기 제1보호관은 상기 연결관에 고정되고, 상기 제2보호관은 상기 연결관에 슬레이드 삽입되는 것을 특징으로 하는 공급관을 보호하기 위한 피팅 구조.
7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 연결관은 엘보우관인 것을 특징으로 하는 공급관을 보호하기 위한 피팅구조.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임