KR980006442A - 칼라 고체촬상소자의 제조방법 - Google Patents

칼라 고체촬상소자의 제조방법 Download PDF

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박철호
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문정환
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Abstract

본 발명은 고체촬상소자에 관한 것으로, 특히 염색공정없이 노광공정만으로 칼라필터층을 제조할 수 있는 칼라 고체촬상소자의 제조방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 칼라 고체촬상소자의 제조방법은 반도체기판에 복수개의 광전변환영역과 전하전송영역을 교대로 형성하는 단계; 상기 전하전송영역 및 광전변환영역상에 제1평탄화용 절연막을 형성하는 단계; 상기 제1평탄화용 절연막상에 제1 내지 제3색에 선택적으로 반응하는 감광유제층을 차례로 형성하는 단계; 특정파장의 빛만을 선택적으로 투과하는 칼라마스크를 이용한 노광공정으로 감광유제층을 선택적으로 제1 내지 제3색의 칼라필터층으로 형성하는 단계; 기판전면에 제2평탄화용 절연막을 형성하는 단계; 그리고 상기 제2평탄화용 절연막상에 광전변환영역에 대응되게 복수개의 마이크로렌즈를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

칼라 고체촬상소자의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도 (a) 내지 (d)는 본 발명에 따른 칼라 고체촬상소자의 제조공정 순서도.

Claims (3)

  1. 반도체기판에 복수개의 광전변환영역과 전하전송영역을 교대로 형성하는 단계; 상기 전하전송영역 및 광전변환영역상에 제1평탄화용 절연막을 형성하는 단계; 상기 제1평탄화용 절연막상에 원색광의 제1 내지, 제3색에 선택적으로 반응하는 감광유제층을 차례로 형성하는 단계; 특정파장의 빛만을 선택적으로 투과하는 칼라마스크를 이용한 노광공정으로 감광유제층을 선택적으로 제1 내지, 제3색의 칼라필터층으로 형성하는 단계; 기판전면에 제2평탄화용 절연막을 형성하는 단계; 그리고 상기 제2평탄화용 절연막상에 광전변환영역에 대응되게 복수개의 마이크로렌즈를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 칼라 고체촬상소자의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 칼라마스크는 적, 녹, 청의 3색만을 선택적으로 투과하는 마스크임을 특징으로 하는 칼라 고체촬상소자의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 감광유제층은 칼라마스크를 통과한 어느 한가지 광에만 선택적으로 반응하여 해당 광의 파장에 따른 어느 한색의 칼라필터층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 칼라 고체촬상소자의 제조방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100648800B1 (ko) * 2000-08-17 2006-11-23 매그나칩 반도체 유한회사 이미지 센서의 칼라필터 및 마이크로 렌즈 형성 방법

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