KR980005954A - 반도체제조장치의 에러감시시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체제조장치에 적용되어서 반도체제조공정중에 어떠한 에러가 발생될 때 그 에러원인을 규명하기 위하여 에러발생 시점이전에서 도체 제조장치의 작동을 감시하는 카메라가 찍은 수십컷트의 정보를 저장할수 있도록 하는 에러감지시스템에 관한 것으로서, 그구성은 상기 반도체제조장치의 작동을 감시하면서 찍은 화상정보를 발생하는 감시용 카메라(40)와; 상기 반도체제조장치의 에러발생시 그 에러를 검출하여 소정의 에러정보를 출력하는 인터페이스(20)및; 에러검출시 그 이전에 상기 감시용 카메라(40)에서 찍은 화상정보들 기억부에 저장되게 하는 컴퓨터(30)를 구비한다. 그 결과, 반도체제조장치의 에러발생시 그 시점 이전에 이미 감시용 카메라에서 찍은 수십컷트의 화상정보들을 기억장치에 저장시킬 수 있어서, 그 기억장치에 저장된 화상정보들을 분석하게 되면 반도체제조장치의 에러 원인을 용이하면서도 신속하게 규명할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
첨부 도면은 본 발명의 실시예에 따른 반도체제조장치의 에러 감시 시스템의 구성을 보여주고 있는 시스템 결선도이다.
Claims (2)
- 반도체제조장치에 설치되어서 그의 작동을 감시하는 에어감시용 시스템에 있어서, 상기 반도체제조장치의 작동을 감시하면서 찍은 화상정보를 발생하는 감시용 카메라(40)와; 상기 반도체제조장치의 에러발생시 그 에러를 검출하여 소정의 에러정보를 출력하는 인터페이스(20) 및; 에러검출시 그이전에 상기 감시용 카메라(40)에서 찍은 화상정보들 기억부에 저장되게 하는 컴퓨터(30)를 구비한 것을 특징으로 하는 에러감시용 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 컴퓨터(30)는 화면을 상황별로 보관하는 프로그램과 화상신호를 처리할 수 있는 비디오 카드가 내장되어 있는 것을 특징으로 하는 에러감시용 시스템.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022356A KR980005954A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 반도체제조장치의 에러감시시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022356A KR980005954A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 반도체제조장치의 에러감시시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005954A true KR980005954A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960022356A KR980005954A (ko) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 반도체제조장치의 에러감시시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005954A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100836946B1 (ko) * | 2000-10-23 | 2008-06-11 | 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드 | 툴 시스템에서의 내장 프로세스 제어 프레임워크를 위한 방법 및 장치 |
-
1996
- 1996-06-19 KR KR1019960022356A patent/KR980005954A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100836946B1 (ko) * | 2000-10-23 | 2008-06-11 | 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드 | 툴 시스템에서의 내장 프로세스 제어 프레임워크를 위한 방법 및 장치 |
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