KR980005740A - 반도체 소자의 세정장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자의 세정장치에 관한 것으로, 본 발명에 의한 세정장치는 상기 약액조 본체의 저면이 중앙부는 낮고 양측 에지는 높게 되도록 라운드 (round) 형태로 형성되고, 상기 캐리어 가이드는 평탄한 평면으로 구성된 중앙면과 상기 중앙면의 양측에서 소정의 경사각으로 상부로 경사지도록 형성된 경사면을 포함하고, 상기 중앙면과 경사면에는 복수의 개구부가 형성되어 있다. 본 발명에 의하면, 반도체 소자의 세정시에 세정에 사용되는 유체의 흐름 및 배출이 원활하게 이루어지며, 웨이퍼상의 각 부분에서 균일한 세정 효과를 얻을 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 세정장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
Claims (2)
- 외조와 내조로 이루어지고, 캐리어에 수용된 웨이퍼를 상기 내조의 하부로부터 공급되는 약액에 의해 세정하는 약액조 본체와, 상기 약액조 본체의 내조내에서 상기캐리어를 소정의 높이로 지지하는 캐리어 가이드를 포함하는 반도체 소자의 세정장치에 있어서, 상기 약액조 본체의 저면이 중앙부는 낮고 양측 에지는 높게 되도록 라운드(round) 형태로 형성되고, 상기 캐리어 가이드는 평탄한 평면으로 구성된 중앙면과 상기 중앙면의 양측에서 소정의 경사각으로 상부로 경사지도록 형성된 경사면을 포함하고, 상기 중앙면과 경사면에는 복수의개구부가 형성된 것을 특징으로하는 반도체 소자의 세정장치.
- 제1항에 있어서, 상기 캐리어 가이드는 상기 약액조 본체와 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 세정장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023951A KR980005740A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 세정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023951A KR980005740A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 세정장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005740A true KR980005740A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66288417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960023951A KR980005740A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 세정장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005740A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100850860B1 (ko) * | 2003-12-22 | 2008-08-06 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 웨이퍼 세정장치의 웨이퍼 가이드 |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960023951A patent/KR980005740A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100850860B1 (ko) * | 2003-12-22 | 2008-08-06 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 웨이퍼 세정장치의 웨이퍼 가이드 |
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