KR980005373U - 진공 라인내 이물질 제거장치 - Google Patents
진공 라인내 이물질 제거장치Info
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019960019287U KR980005373U (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 진공 라인내 이물질 제거장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR2019960019287U KR980005373U (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 진공 라인내 이물질 제거장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR980005373U true KR980005373U (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=60874160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2019960019287U KR980005373U (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 진공 라인내 이물질 제거장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR980005373U (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190140334A (ko) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 주식회사 에이씨엔 | 캠 타입의 게이트 밸브 시스템 및 반도체 기판 처리 장비 |
-
1996
- 1996-06-29 KR KR2019960019287U patent/KR980005373U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190140334A (ko) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 주식회사 에이씨엔 | 캠 타입의 게이트 밸브 시스템 및 반도체 기판 처리 장비 |
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