KR980005341A - 노광 장치 - Google Patents
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Abstract
감광기판의 노광영역 전체에 걸쳐 양호한 투영상을 얻을 수 있는 주사(주사)형 노광장치로서, 제 1 기판 101과 제 2 기판 102사이의 주사방향을 따르는 변위량을 계측하기 위한 제 1 상대 계측수단 X1 및 제 2 상대 계측수단 X2를 구비한다. 또한 투영광학계 1에 대한 제 1 기판의 주사 직교 방향을 따르는 변위량을 계측하기 위한 제 2 계측수단 MY과, 투영광학계에 대한 제 2 기판의 주사 직교 방향에 따른 변위량을 계측하기 위한 제 3 계측수단 PY를 구비한다. 또한 제 1 기준면 51a에 대한 제 1 기판 101 및 제 2 기준면 51b에 대한 제 2 기판 102의 주사 직교 방향에 따른 변위량을 측정하기 위한 제 2 계측수단 MY 및 제 3 계측수단 PY와, 제 1 기준면과 제 1 기판과의 사이의 주사직교 방향을 따른 거리와 제 2 기준면과 제 2 기판 사이의 주사 직교 방향을 따른 거리의 차이를 주사방향에 따라 계측하기 위한 제 3 상대 계측수단을 구비한다. 이로서, 제 2 계측수단의 출력과 제 3 계측수단의 출력 및 제 3 상대 계측수단에 기초하여, 제 1 기준면과 제 2 기준면 사이의 주사 직교방향을 따르는 거리의 주사방향에 따른 변동의 영향을 보정한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예에 관한 제 1 노광장치의 요부구성을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
Claims (17)
- 패턴이 형성된 제 1 기판을 조명하기 위한 조명광학계와, 상기 제 1 기판에 형성된 패턴의 정립등배율 상을 제 2 기판상에 형성하기 위한 투영광학계를 구비하고, 상기 투영광학계에 대해 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 소정 주사방향을 따라 일체적으로 이동시켜 상기 제 1 기판의 패턴을 상기 제 2 기판에 전사노광하는 노광장치에 있어서, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판 사이의 상기 주사방향을 따르는 상대변위량을 계측하기 위한 제 1 상대계측계와, 상기 제 1 기판의 패턴면에서 상기 주사방향과 직교하는 주사직교방향을 따라 상기 제 1 상대계측계와 소정의 간격을 가지는 위치를 계측하도록 배치되고, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판사이의 상기 주사방향을 따른 상대변위량을 계측하기 위한 제 2 상대계측계와, 상기 제 1 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위량을 계측하기 위한 제 1 측정계와, 상기 제 2 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위량을 계측하기 위한 제 2 측정계와, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판중 적어도 한쪽의 위치를 조정하기 위한 조정계와, 상기 제 1 상대계측계, 상기 제 2 상대계측계, 상기 제 1 측정계 및 상기 제 2 측정계로부터의 각 출력에 기초하여 조정량을 산출하기 위한 연산계와, 상기 연산계로 부터의 출력에 기초하여, 상기 조정계를 제어하기 위한 제어계와, 룰 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치
- 제 1 항에 있어서, 상기 주사방향을 따라 형성된 제1 기준면을 갖는 제 1 기준부재와, 상기 주사방향을 따라 형성된 제 2 기준면을 갖는 제 2 기준부재가 설치되고, 상기 제 1 측정계는, 상기 제 1 기준면과 상기 제 1 기판 사이의 상대변위에 기초하여 상기 제 1 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위량을 계측하고, 상기 제 2 측정계는, 상기 제 2 기준면과 상기 제 2 기판 사이의 상대 변위에 기초하여 상기 제 2 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위량을 계측하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1 항에 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 기판의 패턴을 상기 제 2 기판에 전사노광하기 위해 상기 투영광학계에 대해 상기 제 1 기판 및 상기 제2 기판을 소정 주사방향을 따라 일체적으로 이동시키기 위한 이동계와, 상기 투영광학계에 대한 사이 제 1 기판 또는 제2 기판의 상기 주사방향을 따른 변위량을 쳬측하기 위한 제 3 측정계와, 상기 제 3 측정계의 출력에 의거해 상기 이동계를 제어하기 위한 제 2 제어계를 구비하고있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 제 1 측정계, 상기 제 2 측정계 및 상기 제 3 측정계는, 대응하는 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 코너리플렉터(coner reflector)를 갖는 길이측정 간섭계이고, 상기 코너리클렉터의 정점은 상기 제 1 기판의 패턴면 또는 상기 제 2 기판의 피노광면과 거의 동일한 면내에 위치결정되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 상대계측계 및 상기 제 2 상대계측계는, 상기 제 1 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 제 1 코너리플렉터와, 상기 제 2 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 제 2 코너리플렉터를 갖는 차동간섭계이고, 상기 제 1코너리플렉터의 정점은 상기 제 1 기판의 패턴면과 거의 동일한 면내에 위치 결정되고, 상기 제 2 코너리플렉터의 정점은 상기 제 2 기판의 피노광면과 거의 동일면내에 위치 결정되는 겻을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1 항 내지 제 5 항중 어느하나의 항에 있어서, 상기 제 1 측정계 및 제2 측정계는 대응하는 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 이동경으로써의 코너리플렉너와, 광원으로부터의 빔을 상기 대응하는 기준부재를 향하는 참조(參照)빔과 상기 코너리플렉터를 향하는 길이측정빔으로 분리하기 위한 빔분리부와, 상기 기준부재를 통하여 상기 참조빔과 상기 코너리플렉터를 매개한 길이측정 빔의 간섭빔을 수광하기 위한 광검출부와, 상기 대응하는 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위에 수반하는 상기 간섭빔의 변동을 보정하기 위한 빔 변동 보정부를 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1 항 내지 제 6 항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 투영광학계는 상기 제 1 기판에 형성된 패턴의 정립등배율상을 상기 제 2 기판에 형성하기 위한 복수의 투영광학 유니트로 된 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 1 항 내지 제 7 항중 어느 하나의 항에 기재된 노광장치를 이용하여 표시소자를 제조하는 방법에 있어서, 상기 제 1 상대 계측계, 상기 제 2 상대 계측계, 상기 제 1 측정계, 및 상기 제 2 측정계로부터의 각 출력에 기초하여 상기 제어계가 상기 조정계를 제어하는 제어공정과, 상기 투영광학계에 대해 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 소정의 주사방향을 따라 일체적으로 이동시켜, 상기 제1 기판의 패턴을 상기 제 2 기판에 전사 노광하는 노광공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.
- 패턴이 형성된 제 1 기판을 조명하기 위한 조명광학계와, 상기 제 1 기판에 형성된 패턴의 정립등배율 상을 제 2 기판상에 형성하기 위한 투영광학계를 구비하며, 상기 투영광학계에 대해 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 소정의 주사방향을 따라 일체적으로 이동시켜 상기 제 1 기판의 패턴을 상기 제 2 기판의 전사노광하는 노광장치에 있어, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판사이의 상기 주사방향을 따른 상대변위량을 계측하기 위한 제 1 상대 계측계와, 상기 제 1 기판의 패턴면에서 상기 주사방향과 직교하는 주사직교방향을 따라 상기 제 1 상대 계측계와 소정 간격을 가지는 위치를 계측하도록 배치되고, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판간의 주사방향을 따른 상대변위량을 계측하기 위한 제 2 상대 계측계와, 상기 주사방향과 거의 평행하게 연장되는 제 1 기준면에 대해, 상기 제 1 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위량을 계측하기 위한 제 1 측정계와, 상기 주사방향과 거의 평행하게 연장되는 제 2 기준면에 대한 상기 제 2 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위량을 계측하기 위한 제 2 측정계와, 상기 제 1 기준면과 상기 제 1 기판 사이의 상기 주사직교방향을 따른 거리와, 상기 제 2 기준면과 상기 제 2 기판간의 상기 주사직교방향을 따른 거리의 차를 상기 주사방향을 따라 계측하기 위한 제 3 상대 계측계와, 상기 제 1 측정계의 출력과 상기 제 2 측정계의 출력 및 상기 제 3 상대 계측계의 출력에 기초하여,상기 제 1 기준면과 상기 제 2 기준면간의 상기 주사직교방향을 따르는 거리의 상기 주사방향에 따른 변동의 영향을 보정하는 보정량을 산출하기 위한 보정계와, 상기 제1 기판과 상기 제 2 기판중 적어도 한쪽의 위치를 조정하는 조정계와, 제 1 상대 계측계, 상기 제 2 상대 계측계, 상기 제 1 측정계, 상기 제 2 측정계 및 상기 보정계의 각 출력에 기초하여 조정량을 산출하기 위한 연산계와, 상기 연산계의 출력에 기초하여 상기 조정계를 제어하기 위한 제어계를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 기판의 패턴을 상기 제 2 기판에 전사노광하기 위해서, 상기 투영광학계에 대해 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 소정의 주사방향을 따라 일체적으로 이동시키기 위한 이동계와, 상기 투영광학계에 대한 제 1 기판 또는 제 2 기판의 상기 주사방향을 따른 변위량을 계측하기 위한 제 3 측정계와, 상기 제 3 측정계의 출력에 기초하여 상기 이동계를 제어하기 위한 제 2 제어계를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항 또는 제 10항에 있어서, 상기 제 1 기준면 및 상기 제 2 기준면은 상기 투영광학계에 설치된 두 개의 장척(長尺) 거울의 반사면인 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항 내지 제 11 항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 3 상대 계측계는 차동간섭계이고, 광원으로부터의 빔을 상기 제 1 기준면을 향하는 제 1 빔과 상기 제 2 기준면을 향하는 제 2 빔으로 분리하기 위한 제 1 빔분리부와, 상기 제 1 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 반사부재를 매개하여 상기 제 1 기준면에서 반사된 제 1 빔과, 상기 제 2 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 반사부재를 매개하여 상기 제 2 기준면에서 반사된 제 2 빔의 간섭빔을 수광하기 위한 제 1 광검출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 10 항 내지 제 12 항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 1 측정계, 상기 제 2 측정계 및 상기 제 3 측정계는 대응하는 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 코너 리플렉트를 가지는 길이측정 간섭계이고, 상기 코너 리플렉트의 정점은 상기 제 1 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 코너 리플렉트를 가지는 길이측정 간섭계이고, 상기 코너 리플렉트의 정점은 상기 제 1 기판의 패턴면 또는 상기 제 2 기판의 피노광면과 거의 동일한 면내에 위치결정되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항 내지 제 13 항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 1 상대 계측계 및 상기 제 2 상대 계측계는 상기 제 1 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 제 1 코너 리플렉터와, 상기 제 2 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 제 2 코너 리플렉터를 갖는 자동간섭계이고, 상기 제 1 코너 리플렉터의 정점은 상기 제 1 기판의 패턴면과 거의 동일면내에 위치 결정되고, 상기 제 2 코너 리플렉터의 정점은 상기 제 2 기판의 피노광면과 동일면내에 위치 결정되어 있을 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항 내지 제 14 항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제 1 측정계 및 상기 제 2 측정계는, 상기 투영광학계에 설치된 고정경과, 대응하는 기판을 지지하는 스테이지에 설치된 이동경으로서의 코너 리플렉터와, 광원으로부터 빔을 상기 고정경을 향하는 참조(參照) 빔과 상기 코너 리플렉터를 향하는 길이측정빔으로 분리하기 위한 제 2 빔 분리부와, 상기 고정경을 통한 참조빔과 상기 코너리플렉터를 통한 길이측정 빔의 간섭빔을 수광하기 위한 제 2 광검출부와, 상기 대응하는 기판의 상기 주사직교방향을 따른 변위에 수반하는 상기 간섭빔의 변동을 보정하기 위한 빔 변동 보정부를 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항 내지 제 15 항중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 투영광학계는 상기 제 1 기판에 형성된 패턴의 정립등 배상을 상기 제 2 기판에 형성하기 위한 복수의 투영광학 유니트로 되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
- 제 9 항 내지 제 16 항중 어느 하나의 항에 기재된 노광장치를 이용하여 표시소자를 제조하는 방법에 있어서, 상기 제 1 측정의 출력과 상기 제 2 측정계의 출력 및 상기 제 3 상대 계측계의 출력에 기초하여, 상기 제 1 기준면과 상기 제 2 기준면간의 상기 주사직교방향을 따른 거리의 상기 주사방향에 따른 변동의 영향을 보정하는 보정량을 산출하는 제 1 공정과, 상기 제 1 상대 계측계, 상기 제 2 상대 계측계, 및 상기 보정수단의 각 출력에 의거해, 상기 제어계가 상기 조정계를 제어하면서, 상기 투영광학계에 대해 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판을 소정의 주사방향을 따라 일체적으로 이동시켜 상기 제 1 기판의 패턴을 상기 제 2 기판에 전사노광하는 제 2 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (4)
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|---|---|---|---|
| JP18411296 | 1996-06-25 | ||
| JP184113/1996 | 1996-06-25 | ||
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| JP184112/1996 | 1996-06-25 |
Publications (1)
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ID=65986635
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970025766A KR980005341A (ko) | 1996-06-25 | 1997-06-19 | 노광 장치 |
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| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005341A (ko) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH08124842A (ja) * | 1994-10-21 | 1996-05-17 | Nikon Corp | 露光装置 |
| JPH08139009A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-05-31 | Nikon Corp | 照明光学装置 |
| JPH08153662A (ja) * | 1994-11-29 | 1996-06-11 | Nikon Corp | ステージ移動制御装置及び投影型露光装置 |
-
1997
- 1997-06-19 KR KR1019970025766A patent/KR980005341A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (5)
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