KR980005339A - 진동절연 장치 및 노광 장치 - Google Patents

진동절연 장치 및 노광 장치 Download PDF

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고노 시게오
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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Abstract

스테이지의 이동위치의 영향을 받는 일 없이 노광장치 본체에 대한 외란진동의 억제 (진동제어) 효과를 향상시킬수 있는 진동절연장치 및 그를 이용하는 노광장치를 제공코자 하는 것으로, 스테이지 가감속에 수반하는 반력에 의해 진동절연대를 포함하는 장치 본체에 진동이 가해지는 것을 막기 위해, 그 반력과 역방향의 힘인 저항력의 지령치로서, 장치 본체의 기계공진 주파수 성분을 포함하지 않는 값이 진동제어계에 피드 포워드 입력된다. 상기 입력된 지령치에 기초하여, 진동절연대의 진동을 억제하도록 각 액츄에이터를 구동제어한다. 이것에 의해 진동절연대의 진동이 효과적으로 억제됨과 동시에 피드 포워드 입력된 지령치에 의거해 발생된 저항력에 의해 스테이지의 가감속에 수반하는 반력의 영향이 상쇄되고, 또 장치 본체의 기계공진을 여기하는 일도 없다.

Description

진동절연 장치 및 노광 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 제1 실시 형태의 투영 노광 장치를 도시한 사시도이다.

Claims (6)

  1. 복수의 진동절연 패드를 매개하여 수평으로 유지되는 진동절연대 와; 상기 진동절연대 상에서 이동하는 적어도 하나의 스테이지와; 상기 진동절연대를, 각각 다른 곳에서 연직 방향으로 구동시키는 적어도 3개의 액튜에이터를 포함하는 복수의 액튜에이터와; 상기 진동절연대의 변위를 검출하는 1 또는 2 이상이 변위 센서와; 상기 진동절연대의 진동을 검출하는 1 또는 2 이상의 진동 센서와; 상기 변위 센서 및 진동 센서의 출력에 근거하여 상기 진동절연대의 진동을 억제하도록 상기 각 액튜에이터를 구동 제어하는 진동 제어계와; 상기 각 스테이지의 이동 위치를 계측하는 위치 계측 수단과; 상기 스테이지 가감속에 수반하는 반력에 의해 상기 진동절연대를 포함하는 장치 본체에 진동이 가해지는 것을 방지하기 위해, 상기 반력과 역방향의 힘인 저항력 (counterforee)의 명령치를 상기 진동 제어계에 피드 포워드(feed forward)입력하는 진동 보상계를 구비하며, 상기 진동 보상계는, 상기 스테이지의 가감속시에, 상기 위치 계측 수단의 출력에 근거하여 스테이지의 위치 변동에 의한 상기 장치 본체의 가진량(加振量)을 미리 예측하고, 이 예측 결과에 근거하여 상기 장치 본체의 흔들림(yawing)을 억제하는데 가장 적합한 저항력의 명령치를 상기 진동 제어계에 피드 포워드 입력하는 것을 특징으로 하는 진동절연 장치.
  2. 진동절연 패드를 매개하여 수평으로 유지되는 진동절연대와; 상기 진동절연대를 구동하는 액튜에이터와; 상기 진동절연대 상에서 이동하는 적어도 하나의 수테이지와; 상기 스테이지의 이동 위치를 계측하는 위치 계측 수단과; 상기 진동절연대의 진동을 억제하도록 상기 액튜에이터를 구동 제어하는 진동 제어계를 구비하며, 상기 진동제어계는, 상기 위치 계측 수단의 계측 결과에 근거하여 상기 진동절연대를 포함한 장치 본체의 흔들림을 억제하는데 가장 적합한 힘을 상기 액튜에이터의 구동 전에 산출하는 것을 특징으로 하는 진동절연 장치.
  3. 마스트에 형성된 패턴을 투영 광학계를 매개하여 기판 스테이지상의 감광 기판에 전사하는 노광 장치에 있어서, 상기 제 2 항에 기재된 진동절연 장치를 상기 노광 장치 본체의 진동절연 장치로서 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  4. 복수의 진동절연 패드를 매개하여 수평으로 유지되는 진동절연대와; 상기 진동절연대 상에서 이동하는 적어도 하나의 스테이지와; 상기 진동절연대를, 각각 다른 곳에서 연직 방향으로 구동하는 적어도 3개의 액튜에이터를 포함한 복수의 액튜에이터와; 상기 진동절연대의 변위를 감출하는 1 또는 2 이상의 변위센서와; 상기 진동절연대의 진동을 검출하는 1 또는 2이상의 진동 센서와; 상기 변위 센서 및 진동 센서의 출력에 근거하여 상기 진동절연대의 진동을 억제하도록 상기 각 액튜에이터를 구동 제어하는 진동 제어계와; 상기 각 스테이지의 이동 위치를 계측하는 위치 계측 수단과; 상기 스테이지 가감속에 수반하는 반력에 의해, 상기 진동절연대를 포함한 장치 본체에 진동이 가해지는 것을 방지하도록, 상기 반력에 역방향의 힘인 저항력(counter force)의 명령치를 상기 진동 제어계에 피드 포워드(feed forward)입력하는 진동 보상계를 구비하며, 상기 진동 보상계는, 상기 장치 본체의 기계 공진 주파수 성분을 포함하지 않는 상기 저항력의 명령치를 상기 진동 제어계에 피드 포워드 입력하는 것을 특징으로하는 진동절연 장치.
  5. 복수의 진동절연 패드를 매개하여 수평으로 유지되는 진동절연대와; 상기 진동절연대 상에서 이동하는 적어도 하나의 스테이지와; 상기 진동절연대를 구동하는 액튜에이터와; 상기 진동절연대의 진동을 억제하도록 상기 엑튜에이터를 구동제어하는 진동제어계를 구비하며, 상기 진동 제어계는, 상기 스테이지의 이동에 수반되는 반력에 역방향인 힘이면서, 상기 진동절연대를 포함한 장치 본체의 기계 공진 주파수 성분을 포함하지 않는 힘에 관한 정보를 산출하고, 그 정보를 사용하여 상기 액튜에이터를 피드 포워드적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 진동절연 장치.
  6. 마스크에 형성된 패턴을 투영 광학계를 매개하여 기판 스테이지상의 감광 기판에 노광 장치에 있어서, 상기 제 5 항에 기재된 진동절연 장치를 상기 노광 장치 본체의 진동절연 장치로서 구비하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970023526A 1996-06-07 1997-06-07 진동절연장치및노광장치 KR100483982B1 (ko)

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