KR970078551A - 투사형 화상 표시 장치용 박막형 광로 조절 장치 - Google Patents
투사형 화상 표시 장치용 박막형 광로 조절 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR970078551A KR970078551A KR1019960018395A KR19960018395A KR970078551A KR 970078551 A KR970078551 A KR 970078551A KR 1019960018395 A KR1019960018395 A KR 1019960018395A KR 19960018395 A KR19960018395 A KR 19960018395A KR 970078551 A KR970078551 A KR 970078551A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thin film
- optical path
- array
- film type
- layer
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
본 발명에 따른 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이는 구동기판, 비활성층, 식각 방지층 및 M×N개의 구동 구조의 어레이를 포함한다. 상기 각 구동 구조는 다른 쪽 끝에 돌출부 및 관통되는 식각 구멍을 갖으며 게다가 수평 스트라이프를 갖는 박막형 제1전극, 박막형 제2전극, 탄성부 및 플러그를 포함한다. 상기 수평 스트라이프, 돌출부 및 식각 구멍은 각 박막형 광로 조절 장치의 광효율을 증가시키고 린스 액의 제거를 용이하게 하며 박막형 회생층의 제거를 용이하게 하도록 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이를 설명하는 단면도, 제3A도부터 제3N도는 제2도에 도시된 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법을 설명하는 개략적인 단면도, 제4A도부터 제4D도는 제2도에 보여진 각 박막형 광로 조절장치를 구성하는 박막층들의 평면도.
Claims (16)
- 각 접속 단자가 관련 트랜지스터에 전기적으로 연결되어진 M×N개의 접속 단자의 어레이, M×N개의 트랜지스터의 어레이 및 기판을 포함하는 구동기판과; 구동기판의 상부에 형성된 비활성층과; 비활성층의 상부에 형성된 식각 방지층과; 각 구동 구조가 한 쪽 끝 및 다른 쪽 끝으로 구성되며, 각 구동 구조는 다른 쪽 끝에 돌출부와 구동 구조를 관통하는 식각 구멍을 갖으며, 각 구동 구조는 박막형 제1전극, 박막형 변형부, 바막형 제2전극, 탄성부 및 플러그(plug)를 포함하며, 상기 박막형 제1전극은 박막형 변형부의 상부에 위치하고 수평 스트라이프(stripe)에 의해 구동 부분 및 반사 부분으로 나누어져 서로 전기적으로 분리되며, 상기 박막형 제1전극의 구동 부분은 접지되어져 구동 부분은 바이어스 전극 및 거울로서, 빛 반사 부분은 거울로서 각각 기능을 하도록 하며, 상기 박막형 변형부는 박막형 제2전극의 상부에 위치하고, 상기 박막형 제2전극은 탄성부의 상부에 형성되어 있으며 플러그 및 접속단자를 통해 관련 트랜지스터에 전기적으로 연결되고 이웃하는 박막형 광로 조절 장치들의 박막형 제2전극과 서로 전기적으로 분리되어져 각 박막형 광로 조절 장치에서 신호 전극의 기능을 하며, 상기 탄성부는 박막형 제2전극의 하부에 위치하며 탄성부의 한 쪽 끝의 밑 부분이 식각 방지층 및 비활성층을 개재하여 구동기판의 상부에 붙여져서 각 구동 구조를 지지하게 되고, 상기 플러그는 박막형 변형부의 상부로부터 관련 접속 단자의 상부까지 형성되어져 박막형 제2전극을 접속 단자에 전기적으로 연결하게 되는 M×N개의 구동 구조의 어레이(array)를 포함하는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이.
- 제1항에 있어서, 상기 비활성층이 PSG 또는 질화 실리콘으로 형성되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이.
- 제1항에 있어서, 상기 식각 방지층이 질화 실리콘으로 형성되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이.
- 각 접속 단자가 관련 트랜지스터에 전기적으로 연결되어진 M×N개의 접속 단자의 어레이, M×N개의 트랜지스터의 어레이 및 기판을 포함하는 구동기판을 준비하는 공정과; 상기 구동기판의 상부에 비활성층을 침적시키는 공정과; 상기 비활성층의 상부에 식각 방지층을 침적시키는 공정과; 상기 식각 방지층의 상부에 상부 표면을 갖는 박막형 회생층을 침적시키는 공정과; 상기 박막형 회생층의 상부 표면을 평탄하게 하는 공정과; 상기 박막형 회생층에 각 쌍의 빈 구멍의 하나가 접속 단자를 둘러싸도록 M×N쌍의 빈 구멍의 어레이를 형성하는 공정과; 상기 빈 구멍을 포함한 박막형 회생층의 상부에 탄성층 및 박막형 제2층을 연속해서 침적시키는 공정과; 상기 박막형 제2층을 각각이 서로 전기적으로 분리되는 M×N개의 박막형 제2전극의 어레이로 컷팅(cutting)하는 공정과; 상기 M×N개의 박막형 제2전극의 어레이의 상부에 박막형 변형층 및 박막형 제1층을 연속해서 침적하여 다층 구조를 형성하는 공정과; 상기 다층 구조를 박막형 회생층이 노출될 때까지 M×N개의 광로 조절 장치 구조의 어레이로 패터닝하여 각 광로 조절 장치 구조가 다른 쪽 끝에 돌출부 및 각 광로조절 장치를 관통하는 식각 구멍을 갖게 되고, 각 광로 조절 장치 구조가 박막형 제1전극, 박막형 변형부, 박막형 제2전극 및 탄성부를 포함하며, 상기 박막형 제1전극은 수평 스트라이프에 의해 구동 부분 및 반사부분으로 나누어져 전기적으로 분리되어지며, 상기 구동 부분은 접지되어지는 공정과; 각 구멍이 박막형 변형부의 상부로부터 관련 접속 단자의 상부까지 관통하는 M×N개의 구멍의 어레이를 형성하는 공정과; 상기 각 구멍에 금속을 채움으로 인해 플러그를 형성하게 되어 M×N개의 미완성 광로 조절 장치의 어레이를 형성하는 공정과; 상기 구동기판에 소정 깊이의 틈을 형성하여 구동기판을 세미 다이싱(semi-dicing)하는 공정과; 상기 각 미완성 광로 조절 장치를 박막형 보호층으로 완전히 덮는 공정과; 식각 액 또는 화학 용제를 각 미완성 광로 조절 장치의 식각 구멍과 미완성 광로 조절 장치들 사이의 틈을 통해 주입하여 박막형 회생층을 제거하는 공정과; 상기 박막형 보호층을 제거하는 공정과; 상기 구동기판을 소요의 형태로 완전히 컷팅(cutting)하여 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이를 완성하는 공정을 포함하며 각 박막형 광로 조절 장치가 픽셀에 일치하는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 비활성층이 PSG 또는 질화 실리콘으로 형성되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 비활성층이 0.1-2㎛의 두께로 형성되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 비활성층이 화학 기상 침적법 또는 스핀 코팅(spin coating) 방법을 이용하여 형성되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 식각 방지층이 질화 실리콘으로 형성되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 식각 방지층이 0.1-2㎛의 두께로 형성되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 식각 방지층이 스퍼터링(sputtering)또는 화학 기상 침적 법을 이용하여 형성되어지는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 박막형 회생층의 상부 표면이 SOG 방법 또는 CMP 방법 및 스크러빙(scrubbing)방법을 이용하여 평탄화되어지는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 빈 구멍의 어레이가 건식 또는 습식 식각 방법을 이용하여 형성되어지는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 박막형 제2층이 건식 식각 방법을 이용하여 컷팅되어지는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 박막형 변형층이 RTA 방법을 이용하여 열처리되는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 구동기판의 소정 깊이의 틈이 구동기판의 1/3의 깊이로 형성되는 투사형 화상표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 구동기판이 다이싱(dicing) 또는 레이저 절단 방법을 이용하여 완전히 다이싱되어지는 투사형 화상 표시 장치용 M×N개의 박막형 광로 조절 장치의 어레이의 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960018395A KR100207430B1 (ko) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 투사형 화상 표시 장치용 박막형 광로 조절 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960018395A KR100207430B1 (ko) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 투사형 화상 표시 장치용 박막형 광로 조절 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970078551A true KR970078551A (ko) | 1997-12-12 |
| KR100207430B1 KR100207430B1 (ko) | 1999-07-15 |
Family
ID=19460000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960018395A KR100207430B1 (ko) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | 투사형 화상 표시 장치용 박막형 광로 조절 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100207430B1 (ko) |
-
1996
- 1996-05-29 KR KR1019960018395A patent/KR100207430B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100207430B1 (ko) | 1999-07-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4519968B2 (ja) | 電気機械格子装置の製造方法 | |
| JP3734271B2 (ja) | 薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイ及びその製造方法 | |
| RU97119085A (ru) | Матрица тонкопленочных управляемых зеркал для использования в оптической проекционной системе | |
| US6947197B2 (en) | Micromirror actuator | |
| EP0608090B1 (en) | Semiconductor device which can be applied to liquid crystal display apparatus and method of manufacturing such a semiconductor device | |
| KR970078551A (ko) | 투사형 화상 표시 장치용 박막형 광로 조절 장치 | |
| JPH1082961A (ja) | Ｍ×ｎ個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法 | |
| KR970077763A (ko) | 광로 조절 장치의 제조 방법 | |
| KR100294406B1 (ko) | 박막형광로조절장치의제조방법 | |
| KR100276663B1 (ko) | 박막형 광로조절 장치의 제조방법 | |
| KR100195640B1 (ko) | 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR0177229B1 (ko) | 광로 조절 장치의 희생층 패턴 형성 방법 | |
| KR100247592B1 (ko) | 박막형 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR0164186B1 (ko) | 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR100270989B1 (ko) | 박막형 광로 조절 장치 및 그 제조 방법 | |
| KR100209947B1 (ko) | 박막형 광로 조절 장치 | |
| KR100273901B1 (ko) | 박막형광로조절장치의제조방법 | |
| JPH0950249A (ja) | 薄膜アクチュエーテッドミラーアレイにおける薄膜電極と能動マトリックス上の接続端子とを電気的に接続する方法及びこの方法を組み込んだ薄膜アクチュエーテッドミラーアレイの製造方法及びこの製造方法によって製造された薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ | |
| KR19980023293A (ko) | 박막형 광로 조절 장치의 제조 방법 | |
| KR19990035336A (ko) | 2층구조 박막형 광로조절장치의 제조방법 | |
| KR19990018831A (ko) | 박막형 광로 조절 장치의 제조방법 | |
| KR19980046145A (ko) | 박막형 광로 조절장치의 제조 방법 | |
| KR20000032305A (ko) | 박막형 광로조절 장치의 제조 방법 | |
| JP2004082260A (ja) | Ｍｅｍｓデバイスの製造方法 | |
| KR960043852A (ko) | 광로 조절 장치의 제조방법 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20090401 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |