KR970072130A - 기판 건조 방법 및 스핀(spin) 건조 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 종래의 스핀 건조 장치가 회전판의 회전시 비산된 상기 세정수가 커버에 부딪치면서 아주 미세한 입자의 미스트가 발생되어 상기 미스트가 상기 기판에 재부착되어 세정 완료된 기판을 재오염시키는 문제점이 있기 때문에, 회전판의 회전에 의한 세정수의 비산시 고온 고압의 가스를 회전 중인 가판에 방사하여 할로우 콘 타입의 기류 커튼을 형성시켜, 기판의 건조 속도가 빨라지고 고속 회전시 발생되는 미스트의 기판 재부착을 차단하여 증발시킴으로써 재오염에 의한 건조 불량을 방지할 수 있는 기판 건조 방법과, 회전판의 상측에 고압의 청정 가스를 하측의 기판을 향해 할로우 콘 타입으로 방사하는 노즐부가 설치되는 스핀 건조 장치에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 의한 스핀 건조 장치의 정면도.
Claims (5)
- 기판이 서포트 암에 고정되는 제1과정과, 상기 서포트 암이 형성된 회전판이 회전되어 상기 기판 표면의 세정수를 제거하는 제2과정과, 고온 고압의 가스가 분사되어 기류 커튼을 형성함으로써 상기 기판의 표면을 건조시키고 미스트의 재부착을 방지하는 제3과정으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2과정과 상기 제3과정은 일정 정도의 시차를 두고 시작된 후 동시에 시행, 완료되는 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제3과정에서 사용된 상기 가스는 에어 클리너 유니트에서 여과된 청정 가스인 것을 특징으로 하는 기판 건조 방법.
- 모터와, 상기 모터에 의해 회전되는 회전판과, 상기 회전판으로부터 돌출되게 형성되고 기판을 고정·지지하는 서포트 암과, 상기 서포트 암에 형성되어 상기 기판을 고정하는 고정핀을 포함하여 구성되는 스핀 건조장치에 있어서, 상기 회전판의 상측에 고압의 청정 가스를 하측을 향해 할로우 콘 타입으로 방사하는 노즐부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 노즐부는 가스를 압축하는 컴프레서와, 상기 컴프레서에서 압축된 상기 가스를 여과시키는 에어 클리너 유니트와, 상기 에어 클리너 유니트에서 여과된 상기 가스를 일정 온도를 가열하는 히터와, 상기 히터에서 가열된 상기 가스를 분사하여 상기 기판을 건조시키고 기류커튼을 형성함으로써 미스트의 재부착을 방지하는 할로우 콘 스트레이 노즐로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 건조 장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960010999A KR970072130A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 기판 건조 방법 및 스핀(spin) 건조 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960010999A KR970072130A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 기판 건조 방법 및 스핀(spin) 건조 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970072130A true KR970072130A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960010999A KR970072130A (ko) | 1996-04-12 | 1996-04-12 | 기판 건조 방법 및 스핀(spin) 건조 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970072130A (ko) |
-
1996
- 1996-04-12 KR KR1019960010999A patent/KR970072130A/ko not_active Application Discontinuation
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