KR970072052A - 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치 - Google Patents

화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치 Download PDF

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Abstract

고청정 상태로 송풍되어 유입되는 공기의 흐름이 웨이퍼가 위치한 보트쪽으로 이루어지도록 공기가 유입되는 부분을 개선시킨 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실의 공기흐름안내장치에 관한 것이다.
본 발명은, 화학기상증착을 위한 반응실에 보트를 통하여 로딩되는 웨이퍼의 청정유지를 위하여 웨이퍼로딩실 내부로 청정 공기류를 제공하기 위한 송풍부에 있어서, 상기 송풍부의 내벽에 공기흐름을 일정방향으로 안내하기 위한 안내수단이 설치되어 이루어진다.
따라서, 저압화학기상증착 설비의 웨이퍼로딩실에서의 기류가 원활히 안내되고 와류가 형성되지 않아서 공기의 풍속이 적정 수준으로 유지되므로, 웨이퍼 로딩실내의 파티클 수가 격감되어 웨이퍼의 오염을 크게 줄일 수 있는 효과가 있다.

Description

화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치의 실시예를 나타내는 모식도이다.

Claims (7)

  1. 화학기상증착을 위한 반응실에 보트를 통하여 로딩되는 웨이퍼의 청정유지를 위하여 웨이퍼로딩실 내부로 청정 공기류를 제공하기 위한 송풍부에 있어서, 상기 송풍부의 내벽에 공기흐름을 일정방향으로 안내하기 위한 안내수단이 설치됨을 특징으로 하는 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 안내수단은; 복수개의 댐퍼로 이루어짐을 특징으로 하는 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 복수개의 댐퍼는 실내로 송풍되는 공기를 필터링하여 유입시키도록 구성된 필터에 설치됨을 특징으로 하는 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복수개의 댐퍼는 상기 필터의 상기 보트 쪽 일부영역에 부분적으로 설치됨을 특징으로 하는 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 복수개의 댐퍼 중 양단의 각 댐퍼는 각각 상기 보트에 외접하는 방향으로 지향되고, 다른 댐퍼는 이를 기준으로 일정비율로 조절된 서로 상이한 지향방향을 갖도록 구성됨을 특징으로 하는 특징으로 하는 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 복수개의 댐퍼는 각각 길이가 다르게 구성됨을 특징으로 하는 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 복수개의 댐퍼는 필터의 변부로 가면서 길이가 길어지도록하여 공기류의 방향성을 증가시킴으로써 공기 와류 형성이 억제되도록 한 것을 특징으로 하는 화학기상증착설비의 웨이퍼로딩실 공기흐름안내장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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